JPS6161478B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6161478B2
JPS6161478B2 JP57106666A JP10666682A JPS6161478B2 JP S6161478 B2 JPS6161478 B2 JP S6161478B2 JP 57106666 A JP57106666 A JP 57106666A JP 10666682 A JP10666682 A JP 10666682A JP S6161478 B2 JPS6161478 B2 JP S6161478B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bubble
pattern
bubbles
magnetic
permalloy
Prior art date
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Expired
Application number
JP57106666A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS58224493A (en
Inventor
Yoshio Sato
Takeyasu Yanase
Kazunari Yoneno
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
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Priority to CA000430571A priority patent/CA1197924A/en
Priority to US06/505,978 priority patent/US4561069A/en
Priority to EP83303563A priority patent/EP0097524B1/en
Priority to DE8383303563T priority patent/DE3380503D1/en
Publication of JPS58224493A publication Critical patent/JPS58224493A/en
Publication of JPS6161478B2 publication Critical patent/JPS6161478B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C19/00Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers
    • G11C19/02Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements
    • G11C19/08Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using magnetic elements using thin films in plane structure
    • G11C19/0875Organisation of a plurality of magnetic shift registers
    • G11C19/0883Means for switching magnetic domains from one path into another path, i.e. transfer switches, swap gates or decoders
    • G11C19/0891Means for switching magnetic domains from one path into another path, i.e. transfer switches, swap gates or decoders using hybrid structure, e.g. ion doped layers

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の技術分野 本発明は電子計算装置あるいはその端末機等の
記憶装置として用いられる磁気バブルメモリデバ
イスに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a magnetic bubble memory device used as a storage device for an electronic computing device or its terminal.

(2) 技術の背景 磁気バブルを利用して情報の蓄積、論理演算等
を行なう磁気バブル利用装置は、不揮発性、高記
憶密度及び低消費電力であり、さらには機械的要
素を全く含まない固体素子であることから非常に
高い信頼性を有している等種々の特徴をもつてい
るため大容量メモリとして将来が期待されてい
る。この磁気バブルメモリデバイスは磁気バブル
が磁界により一軸異方性を有する磁性薄膜内を自
由に動かすことができることを利用したものであ
つて、第1図に示す如く磁性ガーネツト等の薄膜
にパーマロイ又はイオン注入法によつて形成され
たバブル転送路をもつ素子1と、バブルを転送路
に沿つて駆動するための回転磁界を発生する直交
した2個のコイル2及び3とバブルを安定に保持
するためのバイアス磁界発生用の磁石4及び5と
シールドケース6等により構成されている。
(2) Background of the technology Magnetic bubble utilization devices that use magnetic bubbles to store information, perform logical operations, etc. are nonvolatile, have high storage density, low power consumption, and are solid-state devices that do not contain any mechanical elements. Because it is an element, it has various characteristics such as extremely high reliability, and is therefore expected to have a promising future as a large-capacity memory. This magnetic bubble memory device takes advantage of the fact that magnetic bubbles can be moved freely within a magnetic thin film with uniaxial anisotropy by a magnetic field. An element 1 having a bubble transfer path formed by an injection method, two orthogonal coils 2 and 3 that generate a rotating magnetic field for driving the bubbles along the transfer path, and for stably holding the bubbles. It is composed of magnets 4 and 5 for generating a bias magnetic field, a shield case 6, and the like.

(3) 従来技術と問題点 このような磁気バブルメモリデバイスにおい
て、バブル転送路をパーマロイパターンで作成す
るとそのホトリソグラフイの寸法精度に限度があ
り、イオン注入法で作成したパターンの方が小さ
くでき記憶密度を高くすることができる。しかし
転送路がメジヤーマイナー構成の場合イオン注入
法によるとそのトランスフア、レプリケート等の
フアンクシヨンゲートの動作マージンが小さい。
そこでイオン注入バブルデバイスとパーマロイデ
バイスとを合成したバブルデバイスが考えられる
がイオン注入法によるパターンとパーマロイパタ
ーンとの間のバブルの授受及びゲート動作につい
ての公知の従来技術はない。従つてこのような技
術の開発が求められている。
(3) Prior art and problems In such magnetic bubble memory devices, if the bubble transfer path is created using a permalloy pattern, there is a limit to the dimensional accuracy of photolithography, and patterns created using ion implantation can be made smaller. Storage density can be increased. However, when the transfer path has a major-minor configuration, the operating margin of function gates such as transfer and replication is small when using the ion implantation method.
Therefore, a bubble device that is a combination of an ion-implanted bubble device and a permalloy device is considered, but there is no known conventional technology regarding the transfer and gate operation of bubbles between a pattern formed by ion implantation and a permalloy pattern. Therefore, the development of such technology is required.

(4) 発明の目的 本発明の目的は上記従来の要求に鑑み、イオン
注入法による転送パターンとパーマロイパターン
間のバブルの授受とレプリケート動作とを兼ね備
えた機能を持つたゲートを有する磁気バブルメモ
リデバイスを提供することを目的とするものであ
る。
(4) Object of the Invention In view of the above-mentioned conventional requirements, the object of the present invention is to provide a magnetic bubble memory device having a transfer pattern by ion implantation, a gate having a function of transmitting and receiving bubbles between permalloy patterns, and a replication operation. The purpose is to provide the following.

(5) 発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、情報を格納
するマイナーループを形成したイオン注入転送パ
ターンのカスプ部とメジヤーラインのパーマロイ
転送パターンとをU字形コンダクタパターンとで
接続して非破壊読み出しゲートを構成し、該ゲー
トは回転駆動磁界の一周期内で前記コンダクタパ
ターンへバブル伸長パルスとバブル切断パルスが
通電されることにより、前記イオン注入転送パタ
ーン上の磁気バブルを前記パーマロイ転送パター
ン上で分割すると共に、一方の分割バブルを再び
前記イオン注入転送パターンへ戻し且つ他方の分
割バブルを前記メジヤーライン上へ転送させるゲ
ート機能を有することを特徴とした磁気バブルメ
モリデバイスを提供することによつて達成され
る。
(5) Structure of the Invention According to the present invention, the cusp portion of the ion implantation transfer pattern forming a minor loop for storing information and the permalloy transfer pattern of the major line are connected with a U-shaped conductor pattern to form a non-conductor. A destructive readout gate is configured, and the gate is configured to convert the magnetic bubbles on the ion implantation transfer pattern into the permalloy transfer pattern by applying a bubble extension pulse and a bubble cutting pulse to the conductor pattern within one period of the rotational driving magnetic field. By providing a magnetic bubble memory device, the magnetic bubble memory device is characterized in that it has a gate function to divide one divided bubble onto the ion implantation transfer pattern and transfer the other divided bubble onto the major line. It will be achieved.

(6) 発明の実施例 以下本発明実施例を図面によつて詳述する。(6) Examples of the invention Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

第2図は本発明による磁気バブルメモリデバイ
スを説明するための図であり、aはゲートの上面
図、bはその断面図をそれぞれ示す。
FIG. 2 is a diagram for explaining the magnetic bubble memory device according to the present invention, in which a shows a top view of the gate and b shows a cross-sectional view thereof.

同図において、7はピカツクスパーマロイパタ
ーン、8,8′は棒状パーマロイパターン、9,
9′はハーフデイスクパーマロイパターン、10
はマイナーループ、11はコンダクタパターン、
12は磁気バブル結晶、13はイオン注入領域、
14,15はスペーサをそれぞれ示している。
In the figure, 7 is a pick-up permalloy pattern, 8, 8' is a bar-shaped permalloy pattern, 9,
9' is a half disk permalloy pattern, 10
is a minor loop, 11 is a conductor pattern,
12 is a magnetic bubble crystal, 13 is an ion implantation region,
14 and 15 indicate spacers, respectively.

本実施例は図に示す如く磁気バブル結晶12に
イオン注入法によつて、非イオン注入領域のマイ
ナーループ10が形成され、その上にスペーサ1
4を介してU字形のコンダクタパターン11が形
成され、さらにその上にスペーサ15を介してパ
ーマロイパターン7,8,8′,9,9′で構成さ
れるメジヤーライン16が形成されており、ピカ
ツクスパーマロイパターン7はマイナーループ1
0のカスプと対向し、コンダクタパターン11は
両者を結んだ線上に配置されている。
In this embodiment, as shown in the figure, a minor loop 10 in a non-ion implanted region is formed in a magnetic bubble crystal 12 by an ion implantation method, and a spacer 1 is formed on the minor loop 10 in a non-ion implanted region.
A U-shaped conductor pattern 11 is formed through the conductor pattern 4, and a measure line 16 consisting of the permalloy patterns 7, 8, 8', 9, 9' is further formed through the spacer 15. Permalloy pattern 7 is minor loop 1
The conductor pattern 11 faces the cusp 0 and is arranged on a line connecting the two.

次に、このように構成された本実施例のレプリ
ケート動作を第3図の動作説明図及び第4図の動
作電流波形図を用いて説明する。
Next, the replicate operation of this embodiment configured as described above will be explained using the operation explanatory diagram of FIG. 3 and the operating current waveform diagram of FIG. 4.

先ずa図の如く時刻t0で駆動磁界HRが矢印方
向に向くとマイナーループ10のバブル17はカ
スプCに到達する。次にb図の如く時刻t1でコン
ダクターパターン11にバブルが伸長する方向の
伸長パルスIstを流しバブル17を伸長させる。
次にC図の如く駆動磁界HRが回転し時刻t2に達
したとき伸長パルスIstを切るとバブル17は収
縮してピカツクスパーマロイパターン7の頭に吸
引される。伸長パルスIstを切ると同時に第4図
の如くバブルカツトのための切断パルスIc1を流
すとd図の如くバブルは2つに分割される。その
後回転磁界が2分割されたバブルがそれぞれメジ
ヤーラインとマイナーループへ戻るのに適した位
相に達するまで2つのバブル17′と17″をコン
ダクタパターン11の両側に保持しておくための
電流Ic2をIc1と同方向に且つ電流値を下げて流し
続ける。その間e及びf図に示す様に2つのバブ
ル17′,17″はピカツクスパーマロイパターン
7とマイナーループ10間に伸長する。次に時刻
t3において電流Ic2を切る。するとg図の如くマイ
ナーループ10のカスプC部の一方の斜辺部m1
はバブルを反撥する磁極に、他方の斜辺部m2
吸引する磁極になり、またメジヤーライン16の
ピカツクスパーマロイパターン7の左側の頭M1
は吸引する磁極に、右側の頭M2は反撥する磁極
に磁化されるため、2つのバブル17′,17″は
電流Ic2を切つた後ただちにピカツクスパーマロ
イパターン7の頭M1にバブル17′が、マイナ
ーループ10の斜辺部m2にバブル17″がそれぞ
れ吸引される。さらに駆動磁界が回転するとh図
の如くバブル17′,17″がメジヤーライン16
とマイナーループ10を伝搬しレプリケート動作
が完了する。
First, as shown in figure a, when the driving magnetic field H R turns in the direction of the arrow at time t 0 , the bubble 17 of the minor loop 10 reaches the cusp C. Next, as shown in Figure b, at time t1 , an expansion pulse Ist is applied to the conductor pattern 11 in the direction in which the bubble expands, causing the bubble 17 to expand.
Next, as shown in Fig. C, the driving magnetic field H R rotates, and when the elongation pulse Ist is cut off at time t2 , the bubble 17 contracts and is attracted to the head of the pickax permalloy pattern 7. When the stretching pulse Ist is turned off and the cutting pulse Ic1 for bubble cutting is applied at the same time as shown in Fig. 4, the bubble is divided into two as shown in Fig. d. After that, a current Ic 2 is applied to hold the two bubbles 17' and 17'' on both sides of the conductor pattern 11 until the rotating magnetic field is split into two and the bubbles reach a phase suitable for returning to the major line and minor loop, respectively . The current continues to flow in the same direction as Ic 1 and at a lower value. Meanwhile, two bubbles 17' and 17'' extend between the pickax permalloy pattern 7 and the minor loop 10, as shown in figures e and f. Then the time
At t 3 the current Ic 2 is cut off. Then, as shown in figure g, one hypotenuse part m 1 of the cusp C part of the minor loop 10
is the magnetic pole that repels the bubble, and the other oblique side m 2 is the magnetic pole that attracts the bubble.
is magnetized by the attracting magnetic pole, and the head M2 on the right side is magnetized by the repelling magnetic pole, so the two bubbles 17' and 17'' are magnetized immediately after the current Ic 2 is cut off. , a bubble 17'' is attracted to the oblique side m2 of the minor loop 10, respectively. When the driving magnetic field further rotates, the bubbles 17' and 17'' move to the major line 16 as shown in figure h.
is propagated through the minor loop 10, and the replication operation is completed.

次に実施例のスワツプゲートとしての動作を第
5図の動作説明図及び第6図の動作電流波形図を
用いて説明する。
Next, the operation of the swap gate of the embodiment will be explained using the operation explanatory diagram of FIG. 5 and the operating current waveform diagram of FIG. 6.

先ず第5図aの如く時刻t0で駆動磁界HRが矢
印方向に向いたときバブル17′及び17″がマイ
ナーループ10のテイツプと、メジヤーライン1
6のピカツクスパーマロイパターン7にそれぞれ
到達する。
First, when the driving magnetic field H R is directed in the direction of the arrow at time t 0 as shown in FIG.
Each of the 6 picks reach the permalloy pattern 7.

次にb図の如く時刻t1になつたときコンダクタ
パターン11に、その外側でバブルが伸長する方
向に伸長パルスIstを流しバブル17′,17″を
伸長させる。次いで駆動磁界が回転し、e図の如
く時刻t2になつたとき伸長パルスIstを切るとバブ
ル17′,17″は縮小し、前述の第3図gで説明
したと同様の作用でそれぞれメジヤーラインのピ
カツクスパーマロイパターン7の頭とマイナール
ープ10のカスプの斜面へ吸引される。さらに駆
動磁界が回転するとd図の如くバブル17′,1
7″はメジヤーライン16とマイナーループ10
を伝搬しスワツプ動作が完了する。すなわちa図
においてマイナーループ10にあつたバブル1
7′はメジヤーライン16へ、メジヤーライン1
6にあつたバブル17″はマイナーループ10へ
と相互に交換されるのである。
Next, as shown in figure b, at time t 1 , an expansion pulse Ist is applied to the conductor pattern 11 in the direction in which the bubbles expand on the outside to expand the bubbles 17' and 17''.Then, the driving magnetic field rotates, and e As shown in the figure, when the extension pulse Ist is cut off at time t2 , the bubbles 17' and 17'' contract, and the heads of the pick up permalloy pattern 7 of the major line are affected by the same action as explained in Fig. 3g above. and is attracted to the slope of the cusp of minor loop 10. When the driving magnetic field further rotates, bubbles 17', 1 as shown in figure d
7″ is major line 16 and minor loop 10
is propagated and the swap operation is completed. In other words, bubble 1 that is in minor loop 10 in diagram a
7' to major line 16, major line 1
The bubbles 17'' that were in the loop 6 are mutually exchanged into the minor loop 10.

以上のように本発明によれば、マイナーループ
部を純粋にイオ注入のデバイス部のみで、メジヤ
ーライン部をパーマロイパターンで構成される合
成型のバブルメモリを作ることができるため、レ
プリケートあるいはスワツプ等のゲート機能が円
滑に行なわれるとともにイオン注入部からパーマ
ロイ部またはその逆方向へのバブルの伝搬も特別
なループもしくはゲートを必要とすることなく行
なうことができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to create a composite bubble memory in which the minor loop part is made up of purely ion-implanted device parts and the major line part is made up of permalloy patterns. The gate function can be performed smoothly, and bubbles can be propagated from the ion implantation part to the permalloy part or vice versa without requiring a special loop or gate.

第7図は本発明の磁気バブルメモリデバイスに
おけるゲートの他の実施例を示す図である。同図
において第2図と同一部分は同一符号を付して示
した。本実施例が第2図に示した前実施例と異な
るところは、コンダクタパターン11を180゜回
転させて配置したことであり、その動作及び効果
は前実施例と全く同様である。
FIG. 7 is a diagram showing another embodiment of the gate in the magnetic bubble memory device of the present invention. In this figure, the same parts as in FIG. 2 are designated by the same reference numerals. This embodiment differs from the previous embodiment shown in FIG. 2 in that the conductor pattern 11 is rotated by 180 degrees and its operation and effects are exactly the same as those of the previous embodiment.

第8図及び第9図は本発明による磁気バプルメ
モリデバイスの1例を示した図であり、第8図は
全体図、第9図は第8図のA部を拡大して示した
図である。両図において、メジヤーライン16は
1本でパーマロイで形成され、マイナーループ1
0は山形に3本のループを連ねておりイオン注入
パターンで形成されている。そして情報はジエネ
レータ18からレプリケータ/スワツプゲートの
スワツプ機能でマイナーループ10に書き込ま
れ、必要に応じて同ゲートをレプリケート機能で
動かして情報をデイテクタ19に送り読み出すこ
とができるようになつている。
8 and 9 are views showing one example of the magnetic bubble memory device according to the present invention, FIG. 8 is an overall view, and FIG. 9 is an enlarged view of part A in FIG. 8. be. In both figures, there is one major line 16 made of permalloy, and one minor loop 1.
0 has three loops connected in a chevron shape and is formed by an ion implantation pattern. Information is then written from the generator 18 to the minor loop 10 by the swap function of the replicator/swap gate, and if necessary, the gate can be operated with the replicate function to send the information to the detector 19 and read it out.

(7) 発明の効果 以上、詳細に説明したように本発明による磁気
バブルメモリデバイスは、高密度化が可能で比較
的低駆動磁界で動作するイオン注入バブルデバイ
スをマイナーループ部に、レプリケート動作が容
易なパーマロイバブルデバイスをパターン形状を
大きくしても良いメジヤーライン部に、それぞれ
特徴を生かして適用する際問題となるイオン注入
部とパーマロイ部の接合部での動作を円滑かつ簡
便にし、全体として特性の良好なバブルメモリデ
バイスが得られるといつた効果大なるものであ
る。
(7) Effects of the Invention As described above in detail, the magnetic bubble memory device according to the present invention has an ion implantation bubble device that can be highly densified and operates with a relatively low driving magnetic field in the minor loop part, and has a replication operation. When applying a simple permalloy bubble device to a major line part where the pattern shape can be enlarged by taking advantage of each feature, the operation at the junction between the ion implantation part and the permalloy part, which is a problem, is made smooth and simple, and the overall characteristics are improved. It is a great advantage that a bubble memory device with good quality can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図の従来のバブルメモリデバイスを説明す
るための図、第2図は本発明による磁気バブルメ
モリデバイスを説明するための図、第3図は本発
明による磁気バブルメモリデバイスにおけるゲー
トのレプリケート動作を説明するための図、第4
図はその動作電流波形図、第5図は本発明による
磁気バブルメモリデバイスにおけるゲートのスワ
ツプ動作を説明するための図、第6図はその動作
電流波形図、第7図は本発明による磁気バブルメ
モリデバイスにおけるゲートの他の実施例を示す
図、第8図及び第9図は本発明による磁気バブル
メモリデバイスの1例を示す図である。 図面において、10はマイナーループ、11は
コンダクタパターン、12はバブル結晶、13は
イオン注入領域、14,15はスペーサ、16は
メジヤーライン、17,17′,17″はバブルを
それぞれ示す。
FIG. 1 is a diagram for explaining the conventional bubble memory device, FIG. 2 is a diagram for explaining the magnetic bubble memory device according to the present invention, and FIG. 3 is a diagram for explaining the gate replication operation in the magnetic bubble memory device according to the present invention. Diagram for explaining, No. 4
5 is a diagram for explaining the gate swap operation in the magnetic bubble memory device according to the present invention. FIG. 6 is a diagram of the operating current waveform. FIG. 7 is a diagram for explaining the operation current waveform of the magnetic bubble memory device according to the present invention. Figures 8 and 9 illustrating other embodiments of gates in memory devices are diagrams illustrating an example of a magnetic bubble memory device according to the present invention. In the drawing, 10 is a minor loop, 11 is a conductor pattern, 12 is a bubble crystal, 13 is an ion implantation region, 14 and 15 are spacers, 16 is a major line, and 17, 17', and 17'' are bubbles, respectively.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 情報を格納するマイナーループを形成したイ
オン注入転送パターンのカスプ部とメジヤーライ
ンのパーマロイ転送パターンとをU字形コンダク
タパターンとで接続して非破壊読み出しゲートを
構成し、該ゲートは回転駆動磁界の一周期内で前
記コンダクタパターンへバブル伸長パルスとバブ
ル切断パルスが通電されることにより、前記イオ
ン注入転送パターン上の磁気バブルを前記パーマ
ロイ転送パターン上で分割すると共に、一方の分
割バブルを再び前記イオン注入転送パターンへ戻
し且つ他方の分割バブルを前記メジヤーライン上
へ転送させるゲート機能を有することを特徴とし
た磁気バブルメモリデバイス。
1 A non-destructive readout gate is constructed by connecting the cusp portion of the ion implantation transfer pattern forming a minor loop for storing information and the major line permalloy transfer pattern with a U-shaped conductor pattern, and the gate is connected to one part of the rotational driving magnetic field. By applying a bubble extension pulse and a bubble cutting pulse to the conductor pattern within a cycle, the magnetic bubbles on the ion implantation transfer pattern are divided on the permalloy transfer pattern, and one of the divided bubbles is re-injected into the ion implantation pattern. A magnetic bubble memory device characterized by having a gate function for returning to the transfer pattern and transferring the other divided bubble onto the major line.
JP57106666A 1982-06-23 1982-06-23 Gate structure of bubble memory device Granted JPS58224493A (en)

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CA000430571A CA1197924A (en) 1982-06-23 1983-06-16 Magnetic bubble memory device
US06/505,978 US4561069A (en) 1982-06-23 1983-06-20 Magnetic bubble memory device gates
EP83303563A EP0097524B1 (en) 1982-06-23 1983-06-21 Magnetic bubble memory device
DE8383303563T DE3380503D1 (en) 1982-06-23 1983-06-21 Magnetic bubble memory device

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JPS58224493A JPS58224493A (en) 1983-12-26
JPS6161478B2 true JPS6161478B2 (en) 1986-12-25

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57186287A (en) * 1981-05-11 1982-11-16 Hitachi Ltd Magnetic bubble element

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS57186287A (en) * 1981-05-11 1982-11-16 Hitachi Ltd Magnetic bubble element

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JPS58224493A (en) 1983-12-26

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