JPS6159674U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6159674U JPS6159674U JP14304084U JP14304084U JPS6159674U JP S6159674 U JPS6159674 U JP S6159674U JP 14304084 U JP14304084 U JP 14304084U JP 14304084 U JP14304084 U JP 14304084U JP S6159674 U JPS6159674 U JP S6159674U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- epitaxial growth
- flow direction
- carrier gas
- filling hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図ないし第４図はこの考案の液相エピタキ
シヤル成長用スライデイングボート装置の実施例
を示し、第１図および第２図は実施例１の平面図
および切断正面図、第３図および第４図は実施例
２の平面図および切断正面図、第５図および第６
図はそれぞれ従来のスライデイングボート装置の
切断正面図である。 １…ボート本体、２，２′…充填穴、３，３′
…溶液、４…スライド板、６…嵌挿部、７…基板
、１１…溝、１２，１５…緩和壁、１３，１６…
スライデイングボート装置、１４…穴。
シヤル成長用スライデイングボート装置の実施例
を示し、第１図および第２図は実施例１の平面図
および切断正面図、第３図および第４図は実施例
２の平面図および切断正面図、第５図および第６
図はそれぞれ従来のスライデイングボート装置の
切断正面図である。 １…ボート本体、２，２′…充填穴、３，３′
…溶液、４…スライド板、６…嵌挿部、７…基板
、１１…溝、１２，１５…緩和壁、１３，１６…
スライデイングボート装置、１４…穴。
Claims (1)
- 反応管内にキヤリアガスの通流方向に平行に配
設されたカーボンからなる長尺のボート本体と、
前記本体に形成され半導体溶液が充填される充填
穴と、前記本体に前記通流方向に摺動自在に前記
充填穴を貫通して設けられたカーボンからなるス
ライド板と、前記スライド板の上面に形成され半
導体基板が嵌挿される嵌挿部とを備えた液相エピ
タキシヤル成長用スライデイングボート装置にお
いて、前記本体の前記キヤリアガスの上流側端部
に空間を隔てて一体に緩和壁を形成した液相エピ
タキシヤル成長用スライデイングボート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304084U JPS6159674U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304084U JPS6159674U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6159674U true JPS6159674U (ja) | 1986-04-22 |
Family
ID=30701353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14304084U Pending JPS6159674U (ja) | 1984-09-20 | 1984-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6159674U (ja) |
-
1984
- 1984-09-20 JP JP14304084U patent/JPS6159674U/ja active Pending