JPS6159417A - Rotary polygon mirror and its manufacture - Google Patents

Rotary polygon mirror and its manufacture

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JPS6159417A
JPS6159417A JP59180496A JP18049684A JPS6159417A JP S6159417 A JPS6159417 A JP S6159417A JP 59180496 A JP59180496 A JP 59180496A JP 18049684 A JP18049684 A JP 18049684A JP S6159417 A JPS6159417 A JP S6159417A
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JP
Japan
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base material
mold
molding
mirror surface
polygon mirror
Prior art date
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Application number
JP59180496A
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Japanese (ja)
Inventor
Norihisa Saito
斎藤 憲久
Kimio Takahashi
公夫 高橋
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To form the rotary polygon mirror easily at low manufacturing cost by providing a resin film which has a reflecting mirror surface molded by using a specular surface mold on flanks of polygonal shape parts of a base material molded out of aluminum or aluminum alloy material. CONSTITUTION:The base material which is in the shape of, for example, a regular hexagonal prism and has a through hole 4 for installing a rotary polygon mirror coaxial with the center axis of a regular hexagon onto a rotary driving shaft in its center is molded out of aluminum or aluminum alloy. A resin film 2 given surface precision as a reflecting mirror surface 2a molded by a specular surface mold is provided on >=1 flank that the polygonal shape part of the base material 1 has. A film 3 which functions as a reflection enhancing film and/or protection film is provided on the reflecting surface 2a.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レザー走査系光学装置などに用いられる回転
多面鏡及びその製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a rotating polygon mirror used in a laser scanning optical device and a method for manufacturing the same.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

回転多面鏡は、レーザー走査系光学装置などに装着され
、例えばレーザービームの進路を変換させて、レーザー
ビームを受光面上を走査させるのに用いられ、代表的に
は、例えば断面が正六角形状などの正多角形からなる角
柱部材の側面を反射鏡面として形成したものが知られて
いる。このような回転多面鏡は、従来、光学ガラス部材
を、正多角柱状に研削、研磨等の工程によって成形し、
更に、角柱の側面を研磨処理して反射鏡面を形成する方
法、あるいはアルミニウム合金等の金属材料からなる部
材を断面が正多角形状である角柱状に切削形成し、ダイ
ヤモンド切削工具を用いて、側面を超精密切削して反射
鏡面を形成する方法によって製造されてきた。
A rotating polygon mirror is attached to a laser scanning optical device, etc., and is used, for example, to change the course of a laser beam so that the laser beam scans a light receiving surface.Typically, the rotating polygon mirror has, for example, a regular hexagonal cross section. It is known that the side surfaces of a prismatic member made of a regular polygon are formed as reflective mirror surfaces. Conventionally, such a rotating polygon mirror is made by forming an optical glass member into a regular polygonal column through processes such as grinding and polishing.
Furthermore, there is a method of polishing the side surfaces of a prism to form a reflective mirror surface, or cutting a member made of a metal material such as an aluminum alloy into a prism shape with a regular polygonal cross section, and using a diamond cutting tool to form a reflective mirror surface. It has been manufactured by ultra-precision cutting to form a reflective mirror surface.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかしながら、上記の方法による回転多面鏡の製造に於
いては、光学ガラスあるいは金属材本1部材からの切削
等の工程による角柱状基材の成形及び研磨や切削処理に
よる精度良い反射鏡面の形成に多大な労力、時間及び高
度な技術が必要とされ、特に反射鏡面以外の部分を複雑
な形状に成形するには、より複雑で高度な工程が必要と
され、製造コストが高くなるという問題があった。
However, in manufacturing a rotating polygon mirror by the above method, it is difficult to form a prismatic base material through a process such as cutting from a single optical glass or metal material, and to form a reflective mirror surface with high precision through polishing or cutting treatment. It requires a great deal of labor, time, and advanced technology, and in particular, molding parts other than the reflective mirror surface into a complex shape requires a more complex and advanced process, which raises the problem of high manufacturing costs. Ta.

本発明の目的は、低い製造コストで簡易に形成すること
のできる回転多面鏡及びその製造方法方法を提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to provide a rotating polygon mirror that can be easily formed at low manufacturing cost and a method for manufacturing the same.

本発明の他の目的は、反射鏡面以外の部分が複雑な回転
多面鏡をも低い製造コストで簡易に形成可能な方法を提
供することにある。
Another object of the present invention is to provide a method that can easily form a rotating polygon mirror whose parts other than the reflecting mirror surface are complicated at a low manufacturing cost.

〔問題点を解決する手段〕[Means to solve problems]

−に記の目的は、以下の本発明の方法により達成するこ
とができる。
The objects described in - can be achieved by the following method of the present invention.

すなわち、本発明は、側面の1つ以−1−に反射鏡面を
設けてなる多角柱形状部分を有する回転多面鏡に於いて
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金を型によって
成形した多角柱状部分を有する基材と、該角柱状部分の
有する1つ以−I−の側面上に設けられ、その表面が鏡
面型によって成形され1反射鏡面が形成されている樹脂
被膜と、該反射鏡面上に設けられた増反射膜及び/また
は保護膜として機能する被膜とを有することを特徴とす
る回転多面鏡及び、アルミニウム若しくはアルミニウム
合金材料を、型を用いた成形法により多角柱形状部分を
有する基材に成形する過程と、該基材と鏡面を成形する
面を有する成形用型との間に、樹脂成形用材料を配置し
、前記基材と成形型によって前記基材−hに樹脂被膜を
形成するとともに、前記型の鏡面を成形する面に対応し
た反射鏡面を該樹脂被膜面に形成する過程と、該反射鏡
面上に増反射膜及び/または保護膜として機能するII
りを設ける過程とを有することを特徴とする回転多面鏡
の製造方法である。
That is, the present invention provides a rotating polygon mirror having a polygonal column-shaped portion provided with a reflective mirror surface on one or more of its side surfaces, and a base material having a polygonal column-shaped portion formed by molding aluminum or an aluminum alloy. and a resin coating provided on one or more -I- side surfaces of the prismatic portion, the surface of which is molded by a mirror mold to form one reflective mirror surface, and a resin coating provided on the reflective mirror surface. A process of forming a rotating polygon mirror characterized by having a film functioning as a reflective film and/or a protective film, and an aluminum or aluminum alloy material into a base material having a polygonal prism-shaped portion by a molding method using a mold. A resin molding material is placed between the base material and a mold having a mirror surface molding surface, and a resin coating is formed on the base material-h by the base material and the mold, and the A process of forming a reflective mirror surface corresponding to the mirror surface of the mold on the resin coating surface, and II functioning as a reflection increasing film and/or a protective film on the reflective mirror surface.
1. A method of manufacturing a rotating polygon mirror, comprising the steps of: providing a ridge;

以下、本発明を、正六角柱状の形状を有する回転多面鏡
をその一例として図面に従って更に詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings, taking as an example a rotating polygon mirror having a regular hexagonal column shape.

第1図は、正六角柱状の形状を有する場合の回転多面鏡
であり、第1図(a)はその斜視図であり、第1図(b
)は、第1図(a)に於けるA−B線での切断断面図で
ある。
Fig. 1 shows a rotating polygon mirror having a regular hexagonal prism shape, Fig. 1(a) is a perspective view thereof, and Fig. 1(b)
) is a cross-sectional view taken along line A-B in FIG. 1(a).

■は基材であり、正六角柱状の形状を有し、その中心に
は、正六角形の中心軸と同軸の回転多面鏡を回転駆動軸
に設置するための貫通孔4が設けられている。
2 is a base material, which has a regular hexagonal columnar shape, and a through hole 4 is provided in the center thereof for installing a rotating polygon mirror coaxial with the central axis of the regular hexagon on a rotational drive shaft.

この基材lは、アルミニウム若しくはアルミニウム合金
材料を用いた型による成形法によって成形されている。
This base material 1 is molded by a molding method using a mold using aluminum or an aluminum alloy material.

2は樹脂被膜であり、例えばPMMA (ポリメチルメ
タアクリレート)、エポキシ樹脂等の樹脂からなり、該
樹脂被膜のうち多角柱の側面に設けられている部分2a
の表面には、型による成形によって、反射鏡面としての
必要面精度が付学されている。
2 is a resin coating made of resin such as PMMA (polymethyl methacrylate) or epoxy resin, and a portion 2a of the resin coating is provided on the side surface of the polygonal prism.
The surface of the mirror is molded to have the required surface precision as a reflective mirror surface.

3は、増反射膜及び/または保護膜として機能する被膜
であり、前記その表面が切削処理されている樹脂被膜面
の反射鏡面として形成された面上に設けられている。
Reference numeral 3 denotes a coating that functions as a reflective coating and/or a protective coating, and is provided on a surface formed as a reflective mirror surface of the resin coating surface whose surface has been subjected to cutting treatment.

このような構成の回転多面鏡を製造するには、まず、第
1図に示したような正六角柱状の形状を有する基材lが
、アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を用いた
ダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法等の型を用
いた成形法により成形される。
To manufacture a rotating polygon mirror with such a configuration, first, a base material l having a regular hexagonal columnar shape as shown in FIG. It is molded by a molding method using a mold, such as injection molding.

この基材lの成形に使用することのできる材料は、上記
したようなダイカスティング、圧縮成形法、射出成形法
等の型による成形法によって成形可能なアルミニウム材
料またはアルミニウム合金材料であり、具体的には、A
DGlo、Al070.A3081等のアルミニウム材
料及びアルミニウム合金を挙げることかでき、これらの
なかから、形成される回転多面鏡に要求される強度、回
転多面鏡の用途、あるいは以後に述べる樹脂被膜として
使用される材料とのマツチング等に応じて適宜選択し、
基材1成形用材料とすれば良い。
The material that can be used for forming this base material l is an aluminum material or an aluminum alloy material that can be formed by molding methods such as die casting, compression molding, and injection molding as described above. For A
DGlo, Al070. Aluminum materials and aluminum alloys such as A3081 can be mentioned, and among these, the strength required for the rotating polygon mirror to be formed, the use of the rotating polygon mirror, or the material used as the resin coating described below are important. Select as appropriate depending on matching etc.
It may be used as a material for forming the base material 1.

このように本発明の方法に於いては、アルミニウム若し
くはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティング、
圧1ii成形法、射出成形法等の型を用いた成形法によ
り、基材1を成形するので、基材1を容易に所望の形状
とすることができ、特に、反射鏡面が形成される部分以
外の部分が複雑な形状を有する基材であっても容易に形
成可能となった。
As described above, in the method of the present invention, die casting using aluminum or aluminum alloy material,
Since the base material 1 is molded by a molding method using a mold such as a pressure molding method or an injection molding method, the base material 1 can be easily formed into a desired shape. Even if the other parts of the base material have a complicated shape, they can be easily formed.

次に、このようにして成形された基材1の少なくとも反
射鏡面が形成yれる部分1aに、樹脂からなる被膜が第
1図に示すように形成される。なお、第1図に示した例
に於いては、基材lの側面及び底面にも樹脂被膜が形成
されており、このように基材1の底面にも樹脂被膜を設
けることにより、基材の硬度あるいは強度を高めること
もができる。
Next, as shown in FIG. 1, a coating made of resin is formed on at least the portion 1a of the base material 1 formed in this way, where the reflective mirror surface will be formed. In the example shown in FIG. 1, the resin coating is also formed on the side and bottom surfaces of the base material 1, and by providing the resin coating on the bottom surface of the base material 1 in this way, the base material It is also possible to increase the hardness or strength of

本発明の方法に於ける被膜2の形成に使用することので
きる樹脂としては、前記したアルミニウム若しくはアル
ミニウム合金材料からなる基材」二に連続被膜を形成す
ることができ、かつ型による成形により、その表面に精
度良い反射鏡面を形成できるものならばどのようなもの
も使用可能であり、例えば先に挙げたような樹脂を使用
することができる。
The resin that can be used to form the coating 2 in the method of the present invention can be used to form a continuous coating on the above-mentioned base material 2 made of aluminum or aluminum alloy material, and by molding with a mold. Any material can be used as long as it can form a reflective mirror surface with high precision on its surface, and for example, the resins mentioned above can be used.

なお、−I−記材料のなかから、基材1を構成している
材料に応じて適宜選択して、基材lの硬度や強度を補強
することもできる。
Note that the hardness and strength of the base material 1 can be reinforced by appropriately selecting one from the materials listed in -I- depending on the material constituting the base material 1.

本発明の方法に於ける樹脂被膜2の形成は1例えば、第
2図(a)に示すように、前記した樹脂被膜の形成用材
料23を、形成される反射鏡面に必要とされる面精度に
対応した、好ましくは離型剤22によって被覆された成
形面21を有し、基材lに対応した形状を有する成形用
型20内に配置し、この型内に第2図(b)に示すよう
に、保持具25によって保持した基材lを挿入し、基材
1と型の成形面21とによって樹脂形成用材料23を所
定の形状に成形し、これを硬化させ樹脂被膜2を形成さ
せる方法によって行なうことができる。
In the method of the present invention, the resin coating 2 is formed by applying the above-mentioned resin coating material 23 to the surface precision required for the reflective mirror surface to be formed, as shown in FIG. 2(a). The molding surface 21 is preferably coated with a mold release agent 22 corresponding to As shown, the base material 1 held by the holder 25 is inserted, and the resin forming material 23 is molded into a predetermined shape by the base material 1 and the molding surface 21 of the mold, and this is cured to form the resin coating 2. This can be done by the following method.

このようにして成形された樹脂被膜2の成形用型の成形
面21によって成形されたに面2aは、成形用型の成形
面21の平面精度が転写され、精度良い反射鏡面が樹脂
被膜2面の所定の部分に形成される。
The surface 2a of the resin coating 2 molded in this way is formed by the molding surface 21 of the molding die, and the plane precision of the molding surface 21 of the molding die is transferred, and a highly accurate reflective mirror surface is formed on the resin coating 2. It is formed in a predetermined part of.

本発明の方法に於いては、最後に上記のようにして形成
された反射鏡面上に該反射鏡面の反射機能を高めたり、
反射鏡面を保護する機能を有する被膜3が形成され、第
1図に示すような回転多面鏡を得ることができる。
In the method of the present invention, finally, on the reflective mirror surface formed as described above, enhancing the reflection function of the reflective mirror surface,
A coating 3 having a function of protecting the reflecting mirror surface is formed, and a rotating polygon mirror as shown in FIG. 1 can be obtained.

上記被膜3の形成には、 A1. Cu、 5i02、
MgF2等の材料を用いた、蒸着法、スパッタリング法
等の薄膜形成法を好適に適用することができる。
For forming the coating 3, A1. Cu, 5i02,
A thin film forming method such as a vapor deposition method or a sputtering method using a material such as MgF2 can be suitably applied.

以上のような本発明の方法によれば、主に、アルミニウ
ム若しくはアルミニウム合金材料を用いたダイカスティ
ング、圧縮成形法、射出成形法等の型による成形法によ
り、木材が成形され、更に該基材の所定部分に樹脂材料
からなる被膜を型により成形するとともに、該被膜面に
反射鏡面を形成するために、従来のガラス材料や金属材
料からなる部材を切削して基材を形成し、研磨処理によ
って反射鏡面を形成していたのと異なり、基材及び反射
鏡面を簡易により短時間で成形可能であり、また反射鏡
面が形成される部分以外の部分を複雑な形状に簡易に成
形することもできるようになり、回転多面鏡を低い製造
コストで製造することが可能となった。
According to the method of the present invention as described above, wood is molded mainly by a molding method using a mold such as die casting, compression molding, or injection molding using aluminum or aluminum alloy material, and the base material is further molded. A coating made of a resin material is molded onto a predetermined portion of the substrate, and in order to form a reflective mirror surface on the coating surface, a base material is formed by cutting a conventional member made of glass or metal material, and then polished. Unlike the method used to form reflective mirror surfaces, it is possible to form the base material and reflective mirror surface simply and in a short time, and it is also possible to easily mold parts other than the part where the reflective mirror surface is formed into complex shapes. This made it possible to manufacture rotating polygon mirrors at low manufacturing costs.

以下、実施例に従って本発明の方法を更に詳細に説明す
る。
Hereinafter, the method of the present invention will be explained in more detail according to Examples.

実施例 Anctoのアルミ材料をダイカストにより多角柱状に
成形し基材とした。その後必要精度に仕上がった鏡面型
と基材の間に0.2〜0.31のクリアランスをもたせ
エポキシ樹脂を流し込み硬化させ基材につけた。樹脂の
付いた基材は熱ショック等の方法で型から取り出した。
The aluminum material of Example Ancto was formed into a polygonal column shape by die-casting and used as a base material. Thereafter, a clearance of 0.2 to 0.31 was provided between the mirror-finished mold and the base material, which had been finished to the required precision, and an epoxy resin was poured in, cured, and attached to the base material. The base material coated with resin was removed from the mold by a method such as thermal shock.

この方法により鏡面型の精度が転写され面粗さRmax
o、02u以下、平面変人15(0,121LI11以
下)の面が、基材側面に反射鏡面として出来上がった。
With this method, the precision of the mirror surface mold is transferred and the surface roughness Rmax
o, 02u or less, a plane eccentric 15 (0,121LI11 or less) surface was completed as a reflective mirror surface on the side surface of the base material.

更に、その上に、増反射・保護を目的としてCu、 5
i07膜を蒸着により施し木発明の回転多面鏡を完成さ
せた。
Furthermore, Cu, 5 is added for the purpose of increasing reflection and protection.
The i07 film was applied by vapor deposition to complete the rotating polygon mirror invented by Wooden.

この製造法により得られた木発明の回転多面鏡は、従来
のものと比較すると、基材自体の安い11(及び基材製
造が簡単になる事、及びダイヤモンド鏡面切削工程を省
くことが出来る事により、約50%の低い製造コストで
製造できた。
The rotating polygon mirror of Wooden invention obtained by this manufacturing method has the advantage that the base material itself is cheaper11 (and the base material manufacturing is easier and the diamond mirror cutting process can be omitted) compared to conventional ones. As a result, it was possible to manufacture the product at approximately 50% lower manufacturing cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明方法により形成された回転多面鏡の一
例であり、第1図(a)はその平面図、第1図(b)は
第1図(a)に於けるA−B線での切断断面図である。 また第2図(a)及び第2図(b)は樹脂被膜の成形工
程を説明するための成形用型の主要部の断面図である。 l、24:基材     1a:側面 2二金属被膜     2a:反射鏡面3:被膜   
    4:貫通孔 20:型        21:成形部22:#型剤 
     23:樹脂形成用材料25:保持具 第   1  図 (a) 第   1  図 (b) 第慟歯
FIG. 1 shows an example of a rotating polygon mirror formed by the method of the present invention, FIG. 1(a) is a plan view thereof, and FIG. It is a sectional view taken along a line. Moreover, FIGS. 2(a) and 2(b) are sectional views of the main parts of the mold for explaining the process of molding the resin coating. l, 24: Base material 1a: Side surface 2 metal coating 2a: Reflective mirror surface 3: Coating
4: Through hole 20: Mold 21: Molding part 22: # Mold agent
23: Resin forming material 25: Holder Fig. 1 (a) Fig. 1 (b) No. 1 tooth

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)側面の1つ以上に反射鏡面を設けてなる多角柱形状
部分を有する回転多面鏡に於いて、アルミニウム若しく
はアルミニウム合金を型によつて成形した多角柱状部分
を有する基材と、該角柱状部分の有する1つ以上の側面
上に設けられ、その表面が鏡面型によつて成形され、反
射鏡面が形成されている樹脂被膜と、該反射鏡面上に設
けられた増反射膜及び/または保護膜として機能する被
膜とを有することを特徴とする回転多面鏡。 2)側面の1つ以上に反射鏡面が設けられてなる多角柱
形状部分を有する回転多面鏡を製造する方法に於いて、
アルミニウム若しくはアルミニウム合金材料を、型を用
いた成形法により多角柱形状部分を有する基材に成形す
る過程と、該基材と鏡面を成形する面を有する成形用型
との間に、樹脂成形用材料を配置し、前記基材と成形型
によつて前記基材上に樹脂被膜を形成するとともに、前
記型の鏡面を成形する面に対応した反射鏡面を該樹脂被
膜面に形成する過程と、該反射鏡面上に増反射膜及び/
または保護膜として機能する膜を設ける過程とを有する
ことを特徴とする回転多面鏡の製造方法。
[Scope of Claims] 1) In a rotating polygon mirror having a polygonal column-shaped portion with a reflecting mirror surface on one or more side surfaces, a base having a polygonal column-shaped portion formed by molding aluminum or an aluminum alloy with a mold. a resin coating provided on one or more side surfaces of the prismatic portion, the surface of which is molded with a mirror mold to form a reflective mirror surface, and a resin coating provided on the reflective mirror surface. A rotating polygon mirror comprising a coating that functions as a reflective film and/or a protective film. 2) In a method of manufacturing a rotating polygon mirror having a polygonal prism-shaped portion having a reflective mirror surface on one or more side surfaces,
During the process of molding aluminum or aluminum alloy material into a base material having a polygonal prism-shaped portion by a molding method using a mold, and between the base material and a molding mold having a mirror surface molding surface, a resin molding material is used. arranging a material, forming a resin coating on the base material using the base material and the mold, and forming a reflective mirror surface corresponding to the mirror surface of the mold on the resin coating surface; A reflection-enhancing film and/or
or a step of providing a film functioning as a protective film.
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