JPS6155384A - Vacuum pump with diaphragm - Google Patents
Vacuum pump with diaphragmInfo
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- JPS6155384A JPS6155384A JP17713184A JP17713184A JPS6155384A JP S6155384 A JPS6155384 A JP S6155384A JP 17713184 A JP17713184 A JP 17713184A JP 17713184 A JP17713184 A JP 17713184A JP S6155384 A JPS6155384 A JP S6155384A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ダイアフラムの変位によって必要な負圧を得
るダイアフラム式バキュームポンプに関するもので、特
に、起動時のダイアフラム駆動トルクを小さく押えたダ
イアフラム式バキュームポンプに関するものであり、こ
の種のダイアフラム式バキュームポンプは、エンジン負
圧が不足する場合等の負圧確保のための負圧源として、
例えば、バキューム式オートドライブシステム、或いは
、ブレーキ倍力装置等に使用されるものである。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a diaphragm type vacuum pump that obtains necessary negative pressure by displacement of a diaphragm, and particularly relates to a diaphragm type vacuum pump that suppresses the diaphragm drive torque at startup to a low level. This type of diaphragm vacuum pump is used as a negative pressure source to ensure negative pressure when engine negative pressure is insufficient.
For example, it is used in a vacuum type auto drive system or a brake booster.
[従来の技術]
この種のダイアフラム式バキュームポンプの使用例とし
てオートドライブシステムを挙げることができる。[Prior Art] An example of the use of this type of diaphragm vacuum pump is an autodrive system.
ドライバーが希望の車速にセットすると、アクセルペダ
ルを踏まなくても車速を自動釣に制御して一定速度に保
つオートドライブシステムには、その制御方式から、モ
ータの回転を利用してスロットル開度を制御するモータ
式と、エンジンバキュームを利用してスロットル開度を
制御するバキューム式とがあり、本発明のダイアフラム
式バキュームポンプは後者等に使用されるものである。When the driver sets the desired vehicle speed, the auto drive system automatically controls the vehicle speed and maintains a constant speed without pressing the accelerator pedal. Due to its control method, the auto drive system uses the rotation of the motor to adjust the throttle opening. There are two types: a motor-type vacuum pump that controls the throttle opening, and a vacuum-type vacuum pump that uses engine vacuum to control the throttle opening.The diaphragm-type vacuum pump of the present invention is used for the latter and the like.
この種のダイアフラム式バキュームポンプとして、実開
昭50−155610号公報及び実公昭58−3686
7号公報等を挙げることができる。This type of diaphragm vacuum pump is disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 50-155610 and Japanese Utility Model Publication No. 58-3686.
Publication No. 7 can be mentioned.
これらに記載のダイアフラム式バキュームポンプは、バ
キューム圧が所定の値に達したとき、ダイアフラムを往
復運動させて必要負圧を得るものである。The diaphragm vacuum pump described in these documents reciprocates the diaphragm to obtain the necessary negative pressure when the vacuum pressure reaches a predetermined value.
この種のダイアフラム式バキュームポンプをバキューム
式オートドライブシステムに用いた場合について、更に
、第3図のバキューム式オートドライブシステムの系統
図を用いて詳述する。The use of this type of diaphragm vacuum pump in a vacuum autodrive system will be further described in detail with reference to the system diagram of the vacuum autodrive system shown in FIG.
通常、インテーク・マニホールド1の負圧は配管2によ
ってバキュームポンプ1oのマニホールド室10aの圧
力を負圧とし、バルブ11が間き、アクチュエータ室1
0bを負圧とし配管4によってアクチュエータ5に負圧
を導入する。前記アクチュエータ5がこの負圧によって
、アクセルリンクを引張るためには、定められた任意の
圧力(これを、a層Hgとする)程度以下の圧力が必要
である。アクチュエータ5はコントローラ6によって、
スロットルバルブ7の開度を制御する。インテーク・マ
ニホールド1の負圧のみではtfJ記アクチュエータ5
の必要負圧が得られないとき、バキュームスイッチ8が
それを検出し、その検出信号をコントローラ6に送出す
る。その負圧不足信号はバキュームポンプ10の駆動源
のモータ12に送出され、モータ12はバキュームポン
プ10のクランク軸を回転させることにより、ダイアフ
ラム13が上下動を行い、それに伴ってバルブ14及び
15が開閉動作を行い、アクチュエータ室10bの負圧
を更に減圧し、アクチュエータ5に負圧を供給する。Normally, the negative pressure in the intake manifold 1 is changed to the pressure in the manifold chamber 10a of the vacuum pump 1o by the piping 2, and the valve 11 is closed, and the actuator chamber 1
0b is set as a negative pressure, and the negative pressure is introduced into the actuator 5 through the piping 4. In order for the actuator 5 to pull the accelerator link using this negative pressure, a pressure equal to or lower than a predetermined arbitrary pressure (this is referred to as the a-layer Hg) is required. The actuator 5 is controlled by the controller 6.
Controls the opening degree of the throttle valve 7. If only the negative pressure of intake manifold 1 is used, tfJ actuator 5
When the required negative pressure cannot be obtained, the vacuum switch 8 detects this and sends the detection signal to the controller 6. The negative pressure shortage signal is sent to the motor 12 that is the drive source of the vacuum pump 10, and the motor 12 rotates the crankshaft of the vacuum pump 10, causing the diaphragm 13 to move up and down, and the valves 14 and 15 to move up and down. The opening and closing operations are performed to further reduce the negative pressure in the actuator chamber 10b and supply the negative pressure to the actuator 5.
このとき必要なバキュームポンプ1oの能力は、アクチ
ュエータ5の最大清費流伍時に設定圧8以上の負圧が発
生できればよい。そこで、第4図の如きポンプ特性を持
つバキュームポンプが使用されている。The capacity of the vacuum pump 1o required at this time is just to be able to generate a negative pressure of a set pressure of 8 or more when the actuator 5 reaches its maximum discharge. Therefore, a vacuum pump having pump characteristics as shown in FIG. 4 is used.
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、この種のダイアフラム式バキュームポンプ10
は、その特性図からも判るように、アクチュエータ5の
消費流怜が少なくなると、その発生負圧が大きくなり、
特に、バキュームポンプ10の起動時に駆動源のモータ
12に大きな負荷が加わるから、モータ12の起動トル
クを大ぎくする必要がでてくる。当然ながらモータが大
型化し、かつ、耐久性のあるものにならざるを得ないと
いう問題点があった。[Problems to be solved by the invention] However, this type of diaphragm vacuum pump 10
As can be seen from the characteristic diagram, as the consumption flow of the actuator 5 decreases, the negative pressure generated increases.
In particular, since a large load is applied to the motor 12 as the drive source when starting the vacuum pump 10, it becomes necessary to increase the starting torque of the motor 12. Naturally, there were problems in that the motor had to be large and durable.
そこで、本発明はダイアフラム式バキュームポンプの起
動時のダイアフラム駆動トルクを小さく、かつ、その駆
動装置を小型化することをその課題とするものである。Therefore, an object of the present invention is to reduce the diaphragm drive torque at the time of starting a diaphragm vacuum pump and to downsize the drive device.
[問題点を解決するための手段]
本発明は、ダイアフラムが変位して、その体積変化によ
って吐出用チェックバルブ及び吸入用チェックバルブを
開閉するポンプ室に、前記ポンプ室内と前記ポンプ室外
の大気とが連通ずるオリフィスを穿設したものである。[Means for Solving the Problems] The present invention provides a system in which a diaphragm is displaced to open and close a discharge check valve and a suction check valve due to the change in volume of the diaphragm. It has an orifice through which it communicates.
[作用]
上記構成によれば、ダイアフラムの変位開始時には、更
に、ポンプ室に大気が導かれているから、ダイアフラム
を変位する起動トルクを小さくすることができる。[Operation] According to the above configuration, since the atmosphere is further introduced into the pump chamber when the diaphragm starts to be displaced, the starting torque for displacing the diaphragm can be reduced.
[実施例コ
第1図は、本発明の第一実施例のダイアフラム式バキュ
ームポンプの要部断面図を示すものである。[Example 1] FIG. 1 shows a sectional view of essential parts of a diaphragm vacuum pump according to a first example of the present invention.
図において、ポンプ室Δは、ゴム製等の可撓性材料から
なるダイアフラム23と第2ハウジング26との間で形
成される。前記ダイアフラム23は第3ハウジング27
と第2ハウジング26との間にその周辺部が挾持されて
いる。前記周辺部の挟持圧力は第1ハウジング28と第
3ハウジング27の螺着によって得ているが、第1ハウ
ジング28と第2ハウジング26及び第3ハウジング2
7との螺着によって得てもよい。また、他の固着手段に
よってもよい。そして、前記ダイアフラム23の中央部
には、コネクティングロッド29の端部が固着されてい
て、前記コネクティングロッド29の他端は、クランク
!Ttl137に軸支されている。クランク軸37はモ
ータ22の軸に連結されており、バキュームポンプのク
ランク軸として作用し、モータ22の回転に伴いコネク
ティングロッド29を上下動させる。前記コネクティン
グロッド29とダイアフラム23との固着部分は、コネ
クティングロッド29の単純な上下動のみでなく、左右
に揺動するから、前記固着は単にコネクティングロッド
29の端部とダイアフラム23とを一体にするだけでな
く、前記揺動によってダイアフラム23が破損しない構
造とする。なお、前記駆動源のモータ22はソレノイド
で往復動する電磁的駆動手段とすることができる。In the figure, the pump chamber Δ is formed between a diaphragm 23 and a second housing 26 made of a flexible material such as rubber. The diaphragm 23 is connected to the third housing 27
The peripheral portion thereof is held between the housing 26 and the second housing 26. The clamping pressure at the peripheral portion is obtained by screwing the first housing 28 and the third housing 27 together.
It may also be obtained by screwing with 7. Alternatively, other fixing means may be used. An end of a connecting rod 29 is fixed to the center of the diaphragm 23, and the other end of the connecting rod 29 is connected to a crank! It is pivotally supported by Ttl137. The crankshaft 37 is connected to the shaft of the motor 22, acts as a crankshaft of the vacuum pump, and moves the connecting rod 29 up and down as the motor 22 rotates. Since the fixed portion between the connecting rod 29 and the diaphragm 23 not only allows the connecting rod 29 to move up and down but also swings from side to side, the fixed portion simply makes the end of the connecting rod 29 and the diaphragm 23 integral. In addition, the structure is such that the diaphragm 23 is not damaged by the swinging. The motor 22 as the drive source may be an electromagnetic drive means that reciprocates using a solenoid.
また、第2ハウジング26には、吸入用チェックバルブ
24及び吐出用チェックバルブ25が配設されていて、
吐出用チェックバルブ25側には、ポンプ室Aと大気と
を連通ずるオリフィス31が穿設されている。Further, the second housing 26 is provided with a suction check valve 24 and a discharge check valve 25.
An orifice 31 is provided on the discharge check valve 25 side to communicate the pump chamber A with the atmosphere.
そして、アクチュエータに接続される吸気ボート32と
インテーク・マニホールドに接続される排気ボート33
との間には、インテーク・マニホールドの負圧によって
開閉するバルブ取付部材34に装備した排気用チェック
バルブ21が配設されていて、アクチュエータに吸気ボ
ート32、排気用チェックバルブ21、排気ボート33
を介して、インテーク・マニホールドの負圧が導かれる
。Then, an intake boat 32 connected to the actuator and an exhaust boat 33 connected to the intake manifold.
An exhaust check valve 21 mounted on a valve mounting member 34 that opens and closes by the negative pressure of the intake manifold is disposed between the actuator, and an intake boat 32, an exhaust check valve 21, and an exhaust boat 33.
The negative pressure of the intake manifold is led through.
また、排気ボート33と排気用チェックバルブ21との
間には、フィルタ35が配設されている。Further, a filter 35 is disposed between the exhaust boat 33 and the exhaust check valve 21.
なお、排気ボート33と排気用チェックバルブ21との
間で形成されたインテーク・マニホールドの負圧を導く
室を、以下、排気室Bと呼ぶ。Note that the chamber that is formed between the exhaust boat 33 and the exhaust check valve 21 and which introduces the negative pressure of the intake manifold is hereinafter referred to as exhaust chamber B.
前記吸気ボート32と排気ボート33との間において、
前記排気室Bを形成する排気用チェックバルブ21及び
バルブ取付部材34と第2ハウジング26との間にアク
チュエータへの負圧を導く室を形成する。以下、これを
吸気室Cと呼ぶ。Between the intake boat 32 and the exhaust boat 33,
A chamber for introducing negative pressure to the actuator is formed between the exhaust check valve 21 and the valve mounting member 34 forming the exhaust chamber B, and the second housing 26. Hereinafter, this will be referred to as the intake chamber C.
前記吸気室Cを封止するため、第2ハウジング26と第
1ハウジング28間に○リング36を介在さ♂る。また
、第2ハウジング26には、常に大気圧とポンプ室への
内圧とを任意の流体抵抗で連通ずるオリフィス31が穿
設されている。In order to seal the intake chamber C, a ring 36 is interposed between the second housing 26 and the first housing 28. Further, the second housing 26 is provided with an orifice 31 that always communicates the atmospheric pressure and the internal pressure to the pump chamber with a given fluid resistance.
なお、排気用チェックバルブ21、吸入用チェックバル
ブ24及び吐出用チェックバルブ25は公知のゴム系の
弁体で、中央部に支持部を有しており、その周辺の傘部
で連通孔を開閉するように構成されている。Note that the exhaust check valve 21, suction check valve 24, and discharge check valve 25 are known rubber-based valve bodies, and have a support part in the center, and an umbrella part around the support part opens and closes the communication hole. is configured to do so.
この様に構成された第1図で示したダイアフラム式バキ
ュームポンプは次の様に動作することができる。The diaphragm vacuum pump shown in FIG. 1 constructed in this manner can operate as follows.
インテーク・マニホールドの負圧は排気ボート33を介
して排気室Bを負圧にするから、排気用チェックバルブ
21が間ぎ、負圧を吸気ボート32を介してアクチュエ
ータへ導く。通常、インテーク・マニホールドの負圧は
、そのまま、アクチュエータに導かれ、スロットルバル
ブの開閉制御に使用される。Since the negative pressure in the intake manifold makes the exhaust chamber B negative pressure via the exhaust boat 33, the exhaust check valve 21 is closed and the negative pressure is guided to the actuator via the intake boat 32. Normally, the negative pressure in the intake manifold is directly guided to the actuator and used to control the opening and closing of the throttle valve.
前記インテーク・マニホールドの負圧が不足する状態が
生ずると、モータ22が回転して、ダイアフラム23が
変位し、ポンプ室Aによって、吸気室Cの負圧を更に減
圧する。例えば、ポンプ室Aが膨張したとき、吸入用チ
ェックバルブ24が開ぎ、吸気室C内を減圧し、ポンプ
室Aが圧縮されたとき、吐出用チェックバルブ25が間
き、ポンプ室A内の圧力を大気中に排出する。When a situation arises in which the negative pressure in the intake manifold is insufficient, the motor 22 rotates, the diaphragm 23 is displaced, and the negative pressure in the intake chamber C is further reduced by the pump chamber A. For example, when the pump chamber A expands, the suction check valve 24 opens to reduce the pressure inside the intake chamber C, and when the pump chamber A is compressed, the discharge check valve 25 opens and the pressure inside the pump chamber A decreases. Venting pressure to atmosphere.
所が、本実施例のダイアフラム式バキュームポンプがオ
ートドライブシステムに使用されている場合において、
所定の車速で運転中に減速を予儀無くされ、その侵、リ
ジュームスイッチがオンされ、セットされた所定の車速
に復帰するときには、アクチュエータでの消費流量が少
なく、吸気室Cの負圧が高い場合がある。このとき、バ
キュームポンプを作動させるとチェックバルブ24はポ
ンプ室Aの圧力が吸気室Cの圧力より低くならないと開
弁じないため、ポンプ室Aは密閉状態となり、モータ2
7の起動トルクがきわめて大きなものとなる。However, when the diaphragm vacuum pump of this embodiment is used in an autodrive system,
When the vehicle is driven at a predetermined speed and is forced to decelerate unexpectedly, the resume switch is turned on and when the vehicle returns to the set predetermined speed, the amount of flow consumed by the actuator is small and the negative pressure in the intake chamber C is high. There are cases. At this time, when the vacuum pump is operated, the check valve 24 will not open unless the pressure in the pump chamber A becomes lower than the pressure in the intake chamber C, so the pump chamber A becomes sealed and the motor 2
7, the starting torque becomes extremely large.
また、バキュームポンプのモータ軸37とコネクティン
グロッド29の接続点が90度回動するとぎ、即ち、ダ
イアフラム23を上下動するコネクティングロッド29
とモータ軸37との接続点の位置を第2図の如く、その
回転角度θで現わすとき、その回転角度9o度の回動位
置に最大トルクが必要となる。In addition, when the connection point between the motor shaft 37 of the vacuum pump and the connecting rod 29 rotates 90 degrees, that is, the connecting rod 29 moves up and down the diaphragm 23.
When the position of the connection point between the motor shaft 37 and the motor shaft 37 is expressed by its rotation angle θ as shown in FIG. 2, the maximum torque is required at the rotation position of the rotation angle 90 degrees.
ポンプ室Aと前記ポンプ室外の大気とが連通ずるオリフ
ィス31を穿設していない左図のダイアフラム式バキュ
ームポンプの特性は、第2図の実線で示したオリフィス
なしのバキュームポンプの特性図の如くなる。この状態
下でバキュームポンプのモータ22を起a」するには、
モータ22に大きな起動トルクを必要と1°る。The characteristics of the diaphragm vacuum pump shown on the left, which does not have the orifice 31 through which the pump chamber A communicates with the atmosphere outside the pump room, are as shown in the characteristic diagram of the vacuum pump without orifice shown by the solid line in FIG. 2. Become. To start the vacuum pump motor 22 under this condition,
The motor 22 requires a large starting torque.
しかし、本実施例のダイアフラム式バキュームポンプは
ポンプ室Aと前記ポンプ室外の大気とが連通ずるオリフ
ィス31を穿設した右図のダイアフラム式バキュームポ
ンプにあっては、常に、オリフィス31によってポンプ
室へに大気を導いて゛ いるから、そのトルクは第2図
の破線で示したオリフィスありのバキュームポンプの特
性図の如くなる。モータ軸37とコネクティングロッド
29の接続点が90度回動じた状態下から、バキューム
ポンプのモータ22を起動しても、オリフィス31によ
ってポンプ室Aに大気を導いているから、バキュームポ
ンプの停止時にはポンプ室Aは大気と等しい圧力状態に
あり、その起動トルクを小さくすることができる。However, in the diaphragm type vacuum pump of this embodiment, the pump chamber A is always connected to the pump chamber through the orifice 31 in the diaphragm type vacuum pump shown in the right figure, which is provided with an orifice 31 through which the pump chamber A communicates with the atmosphere outside the pump chamber. Since the atmosphere is introduced into the pump, the torque becomes as shown in the characteristic diagram of a vacuum pump with an orifice shown by the broken line in FIG. Even if the vacuum pump motor 22 is started with the connection point between the motor shaft 37 and the connecting rod 29 rotated 90 degrees, the atmosphere is introduced into the pump chamber A through the orifice 31, so when the vacuum pump is stopped, The pump chamber A is at a pressure equal to that of the atmosphere, and its starting torque can be reduced.
この様に、本実施例のダイアフラム式バキュームポンプ
は、ダイアフラム23が変位して、その体積変化によっ
て吐出用チェックバルブ25及び吸入用チェックバルブ
24を開閉するポンプ室を具備するダイアフラム式バキ
ュームポンプにおいて、前記ポンプ室を構成するハウジ
ングにオリフィス31を穿設したものであるから、ポン
プ室Aの圧力と大気圧との圧力差が特定の流体抵抗によ
って連通されており、常に、停止中のダイアフラム式バ
キュームポンプのポンプ室Aの圧力が大気圧と等しくな
るから、その起動トルクを小さくすることができる。As described above, the diaphragm type vacuum pump of this embodiment is a diaphragm type vacuum pump having a pump chamber in which the diaphragm 23 is displaced and the discharge check valve 25 and the suction check valve 24 are opened and closed by the volume change. Since the orifice 31 is bored in the housing constituting the pump chamber, the pressure difference between the pressure in the pump chamber A and the atmospheric pressure is communicated by a specific fluid resistance, and the diaphragm type vacuum is always stopped. Since the pressure in the pump chamber A of the pump becomes equal to atmospheric pressure, the starting torque can be reduced.
なお、第一実施例では、オリフィス31を第2ハウジン
グに穿設したものであるが、オリフィス31はポンプ’
JAと大気圧との間に穿設すればよいから、第1図の破
線で示した様にコネクティングロッド29内にオリフィ
ス31aを穿設してもよい。In the first embodiment, the orifice 31 is bored in the second housing, but the orifice 31 is
Since it is sufficient to drill the orifice 31a between JA and atmospheric pressure, the orifice 31a may be bored in the connecting rod 29 as shown by the broken line in FIG.
[発明の効果]
以上の様に、本発明のダイアフラム式バキュームポンプ
は、ポンプ室内と前記ポンプ室外の大気とが連通ずるオ
リフィスを穿設したものであるから、常に、ダイアフラ
ム式バキュームポンプの停止時にポンプ室Aは大気と等
しい圧力状態或いは略大気と等しい圧力状態にあり、そ
の起動トルクを小さくすることができる。そして、ダイ
アフラム式バキュームポンプの駆動源を小型化すること
ができる。[Effects of the Invention] As described above, since the diaphragm vacuum pump of the present invention is provided with an orifice through which the pump chamber communicates with the atmosphere outside the pump chamber, when the diaphragm vacuum pump is stopped, the The pump chamber A is in a pressure state equal to or substantially equal to the atmosphere, and its starting torque can be reduced. In addition, the drive source of the diaphragm vacuum pump can be downsized.
第1図は本発明の第一実施例のダイアフラム式バキュー
ムポンプの要部断面図、第2図はダイアフラム式バキュ
ームポンプの特性図、第3図はダイアフラム式バキュー
ムポンプをバキューム式オートドライブシステムに用い
た系統図、第4図はバキュームポンプのポンプ特性図を
示すものである。
図において、
23・・・ダイアフラム、
24・・・吸入用チェックバルブ、
25・・・吐出用チェックバルブ、
26・・・第2ハウジング、
27・・・第3ハウジング、
28・・・第1ハウジング、
2つ・・・コネクティングロッド、
31.31a・・・オリフィス、
A・・・ポンプ室、
B・・・排気室、
C・・・吸気室、
である。
なお、図中、同−符号及び同一記号は、同一または相当
部分を示す。Fig. 1 is a sectional view of essential parts of a diaphragm vacuum pump according to the first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a characteristic diagram of the diaphragm vacuum pump, and Fig. 3 is a diaphragm vacuum pump used in a vacuum autodrive system. The system diagram shown in Figure 4 shows the pump characteristics of the vacuum pump. In the figure, 23... diaphragm, 24... suction check valve, 25... discharge check valve, 26... second housing, 27... third housing, 28... first housing , Two... Connecting rod, 31.31a... Orifice, A... Pump chamber, B... Exhaust chamber, C... Intake chamber. In addition, in the figures, the same reference numerals and the same symbols indicate the same or equivalent parts.
Claims (3)
吐出用チェックバルブ及び吸入用チェックバルブを開閉
するポンプ室を具備するダイアフラム式バキュームポン
プにおいて、前記ポンプ室内と前記ポンプ室外の大気と
が連通するオリフィスを穿設したことを特徴とするダイ
アフラム式バキュームポンプ。(1) In a diaphragm vacuum pump equipped with a pump chamber that opens and closes a discharge check valve and a suction check valve according to a volume change of the diaphragm when the diaphragm is displaced, an orifice through which the pump chamber communicates with the atmosphere outside the pump chamber. A diaphragm-type vacuum pump characterized by having a hole.
グに穿設してなることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載のダイアフラム式バキュームポンプ。(2) The orifice is formed by being bored in a housing that forms a pump chamber.
Diaphragm type vacuum pump as described in section.
ネクティングロッドに穿設してなることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載のダイアフラム式バキューム
ポンプ。(3) The diaphragm vacuum pump according to claim 1, wherein the orifice is formed in a connecting rod that displaces the diaphragm.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17713184A JPS6155384A (en) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | Vacuum pump with diaphragm |
US07/058,708 US4743169A (en) | 1984-08-25 | 1987-06-02 | Diaphragm-type vacuum pump device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17713184A JPS6155384A (en) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | Vacuum pump with diaphragm |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6155384A true JPS6155384A (en) | 1986-03-19 |
Family
ID=16025714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17713184A Pending JPS6155384A (en) | 1984-08-25 | 1984-08-25 | Vacuum pump with diaphragm |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6155384A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61137891U (en) * | 1985-02-15 | 1986-08-27 |
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