JPS6155341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6155341U JPS6155341U JP14076684U JP14076684U JPS6155341U JP S6155341 U JPS6155341 U JP S6155341U JP 14076684 U JP14076684 U JP 14076684U JP 14076684 U JP14076684 U JP 14076684U JP S6155341 U JPS6155341 U JP S6155341U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- wafer
- counter according
- wafer counter
- slider base
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の実施例を示す正面図の一部
断面図、第２図は、第１図のブロツク図、第３図
は従来例を示す縦断面図の要部を示す図である。 １…キヤリア搬送装置、６…ウエハ溝位置読取
装置、７…発光部、１３…発光部。
断面図、第２図は、第１図のブロツク図、第３図
は従来例を示す縦断面図の要部を示す図である。 １…キヤリア搬送装置、６…ウエハ溝位置読取
装置、７…発光部、１３…発光部。
補正 昭６０．４．８
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書の第８ページ第１５行から１６行目の「
第３図は…示す図」を削除する。
第３図は…示す図」を削除する。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ キヤリア搬送装置にのせたキヤリアの移動軌
跡にまたがつて発光部と受光部を設けたウエハカ
ウンタ。 ２ キヤリア搬送装置が、キヤリアスライダーベ
ースを有することを特徴とする実用新案登録請求
の範囲第１項記載のウエハカウンタ。 ３ キヤリアスライダーベースに、オフセツトス
テージが設けられていることを特徴とする実用新
案登録請求の範囲第２項記載のウエハカウンタ。 ４ キヤリア搬送装置に、ウエハ溝位置読取装置
が設けられていることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載のウエハカウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076684U JPS6155341U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076684U JPS6155341U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155341U true JPS6155341U (ja) | 1986-04-14 |
Family
ID=30699115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14076684U Pending JPS6155341U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6155341U (ja) |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP14076684U patent/JPS6155341U/ja active Pending
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