JPS6154455U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6154455U JPS6154455U JP1984137226U JP13722684U JPS6154455U JP S6154455 U JPS6154455 U JP S6154455U JP 1984137226 U JP1984137226 U JP 1984137226U JP 13722684 U JP13722684 U JP 13722684U JP S6154455 U JPS6154455 U JP S6154455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding jig
- elastic body
- holder
- fluid
- fitted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の保持治具の断面図
、第２図及び第３図は第１図に示す保持治具によ
る被加工物の保持を示す図、第４図は平面ホーニ
ング加工の説明図である。 １……保持治具、２……保持体、３……弾性体
、５……流体、７……被加工物。
、第２図及び第３図は第１図に示す保持治具によ
る被加工物の保持を示す図、第４図は平面ホーニ
ング加工の説明図である。 １……保持治具、２……保持体、３……弾性体
、５……流体、７……被加工物。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端面が平面研磨加工される柱状の被加工
物の他端面側が嵌合される中空部が形成された有
底筒状の保持体と、この保持体の中空部の内底部
に固着された伸縮自在な弾性体とを具備すること
を特徴とする保持治具。 (2) 弾性体は流体を内包していることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の保持治
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984137226U JPS6154455U (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984137226U JPS6154455U (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6154455U true JPS6154455U (ja) | 1986-04-12 |
Family
ID=30695640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984137226U Pending JPS6154455U (ja) | 1984-09-12 | 1984-09-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6154455U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0615564A (ja) * | 1992-05-27 | 1994-01-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ウエハ研磨治具及びウエハ担持方法 |
-
1984
- 1984-09-12 JP JP1984137226U patent/JPS6154455U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0615564A (ja) * | 1992-05-27 | 1994-01-25 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ウエハ研磨治具及びウエハ担持方法 |