JPS6152237B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6152237B2
JPS6152237B2 JP9336384A JP9336384A JPS6152237B2 JP S6152237 B2 JPS6152237 B2 JP S6152237B2 JP 9336384 A JP9336384 A JP 9336384A JP 9336384 A JP9336384 A JP 9336384A JP S6152237 B2 JPS6152237 B2 JP S6152237B2
Authority
JP
Japan
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masking tape
plating
treatment
parts
pressure
Prior art date
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Expired
Application number
JP9336384A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS60238497A (en
Inventor
Gi Iohara
Takemasa Uemura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Electric Industrial Co Ltd filed Critical Nitto Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP9336384A priority Critical patent/JPS60238497A/en
Publication of JPS60238497A publication Critical patent/JPS60238497A/en
Publication of JPS6152237B2 publication Critical patent/JPS6152237B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0073Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Coating With Molten Metal (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

この発明は、マスキングテープを用いた部分メ
ツキなどの部分処理方法に関するものである。 従来から、物体の表面を部分的にメツキなどの
処理を施すにあたり、この表面の処理不要部分に
マスキングテープを貼り付けたのち処理必要部分
にメツキなどの処理を施し、この処理後上記のマ
スキングテープを剥離する部分処理方法が行われ
ている。 この方法では、マスキングテープが物体表面の
処理不要部分に密着性良好に接着していることが
必要であり、マスキングテープの接着が不充分な
場合には処理不要部分への液もれが生じて充分な
マスキング効果が得られない。しかし、マスキン
グテープの接着力が大きすぎると処理後にこのテ
ープ剥離が困難となる。このため、マスキングテ
ープの接着力は上記の液もれを生じさせない大き
さでかつ処理後の剥離が困難とならないような大
きさに調整されていることが必要であるが、この
調整が難しいため場合によつては上記の液もれが
生じたり、あるいは処理後のテー剥離時における
作業性が低かつたり、さらにはこのテープの剥離
時に物体を変形させることがある。 とくにICリードフレーム、トランジスタリー
ドフレームなどの電子部品の製造における部分メ
ツキにおいては、メツキ不要部分への液もれ、あ
るいはメツキ後におけるマスキングテープ剥離時
の被メツキ体の変形などは電気的特性など電子部
品の特性に大きな影響を与えることになり、ま
た、上記の電子部品の製造においては通常連続的
に部分メツキを行うため、メツキ後のマスキング
テープの剥離作業性が低いと生産効率が悪くなる
などマスキングテープの接着力の影響が大きい。 そこで、この発明者らは、上記の事情に鑑み
て、マスキングテープを用いた部分メツキなどの
部分処理方法の信頼性および作業性を改善するた
めに鋭意検討した結果、この発明をなすに至つ
た。 すなわち、この発明は、物体の表面に部分的に
メツキなどの処理を施すにあたり、この表面の処
理不要部分にマスキングテープを貼り付けたのち
処理必要部分にメツキなどの処理を施し、この処
理後上記のマスキングテープを剥離する部分処理
方法において、上記のマスキングテープが光透過
性の支持体とこの支持体上に設けられた光照射に
より硬化し三次元網状化する性質を有する感圧性
接着剤層とからなり、メツキなどの処理後このマ
スキングテープを剥離する前にこのマスキングテ
ープに光照射することを特徴とする部分処理方法
に係るものである。 この発明の方法によれば、マスキングテープの
接着力をメツキ後の剥離作業性を考慮せずに確実
にマスキング効果が得られるだけの充分な大きさ
とすることができるため、メツキなどの処理時に
はこのマスキングテープは物体表面の処理不要部
分に密着性良効に強固に接着してメツキ液などの
処理液の液もれが生じることがない。 一方、メツキなどの処理後は、マスキングテー
プに光照射することによりこのテープの感圧性接
着剤層は硬化して三次元網状化するため、この接
着剤層は凝集力が上昇しこれにともない粘着性を
ほとんど失うため、マスキングテープの物体表面
に対する接着力は大幅に低下する、このため、こ
のテープの剥離は極めて容易に行うことができ剥
離作業性が良好で被処理体を変形させることがな
い。 このように、この発明の方法によれば、マスキ
ングテープを用いて信頼性および作業性にすぐれ
た部分メツキなどの処理を行うことができる。と
くにこの発明の方法は電子部品の製造において連
続的に部分メツキなどの処理を行う場合に有効で
ある。 この発明の方法において使用するマスキングテ
ープを構成する光透過性の支持体としては、ポリ
塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレン、ポリプロピレンなどのプラスチツクフ
イルムが挙げられる。この不イルムの厚みとして
は通常10〜200μm程度とするのがよい。 この光透過性の支持体上に設けられた光照射に
より硬化し三次元網状化する性質を有する感圧性
接着剤層は、たとえば通常のゴム系あるいはアク
リル系の感圧性接着剤層に分子中に少なくとも2
個の光重合性炭素−炭素二重結合を有する低分子
量化合物(以下、光重合性化合物という)および
光重合開始剤が配合されてなる感圧性接着剤組成
物を用いて形成される。 上記のゴム系あるいはアクリル系の感圧性接着
剤は、天然ゴム、各種の合成ゴムなどのゴム系ポ
リマーあるいはポリ(メタ)アクリル酸アルキル
エステル、(メタ)アクリル酸アルキルエステル
とこれと共重合可能な他の不飽和単量体との共重
合物などのアクリル系ポリマーをベースポリマー
とし、これに必要に応じてポリイソシアネート化
合物、アルキルエーテル化メラミン化合物の如き
架橋剤などが配合されたものである。なお、上記
のベースポリマーが分子内に光重合性炭素−炭素
二重結合を持つものであつてもよい。 上記の光重合性化合物は、その分子量が通常
10000以下程度であるのがよく、より好ましく
は、光照射による感圧性接着剤層の三次元網状化
が効率よくなされるように、その分子量が5000以
下でかつ分子内の光重合性炭素−炭素二重結合の
数が2〜6個のものを用いるのがよい、このよう
なとくに好ましい光重合性化合物としては、例え
ばトリメチロールプロパントリアクリレート、テ
トラメチロールメタンテトラアクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラアクリレート、ジペンタエリス
リトールモノヒドロキシペンタアクリート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレートなどが挙
げられる。また、その他の光重合性化合物として
は、1,4−ブチレングリコールジアクリレー
ト、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、
ポリエチレングリコールジアクリレート、市販の
オリゴエステルアクリレートなどが挙げられる。 光重合性化合物としては、上記の化合物のうち
の1種を単独で用いてもよいし2種以上を併用し
てもよく、その使用量は、通常上記のベースポリ
マー100重量部に対して1〜100重量部の範囲とす
るのがよい。この使用量が少なすぎると、感圧性
接着剤層の光照射による三次元網状化が不充分と
なり、物体表面に対する接着力の低下の程度が小
さすぎて好ましくない。また、この使用量が多す
ぎると、感圧性接着剤層の可塑化が著しく半導体
ウエハ切断時に必要な接着力が得られないため好
ましくない。 上記の光重合開始剤としては、例えばイソプロ
ピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾイン
エーテル、ベンゾフエノン、ミヒラー氏ケトン、
クロロチオキサントン、ドデシルチオキサント
ン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサ
ントン、アセトフエノンジエチルケタール、ベン
ジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヘ
キシルフエニルケトン、2−ヒドロキシメチルフ
エニルプロパンなどが挙げられ、これらのうちの
1種を単独であるいは2種以上の混合で使用すれ
ばよい。 この光重合開始剤の使用量としては、通常上記
のベースポリマー100重量部に対して0.1〜5重量
部の範囲とするのがよい。この使用量が少なすぎ
ると、感圧性接着剤層の光照射による三次元網状
化が不充分となり、物体表面に対する接着力の低
下の程度が小さすぎて好ましくない。また、この
使用量が多すぎるとそれに見合う効果が得られな
いばかりか、物体の表面にこの光重合開始剤が残
留するため好ましくない。なお、必要に応じてこ
の光重合開始剤とともにトリエチルアミン、テト
ラエチルペンタアミン、ジメチルアミノエタノー
ルなどのアミン化合物を光重合促進剤として併用
してもよい。 上記の各成分が混合されてなる感圧性接着剤組
成物を用いて感圧性接着剤層を形成するには、光
透過性の支持体上にこの組成物を塗布し、必要に
応じて加熱すればよい。このようにして形成され
る感圧性接着剤層の厚みとしては通常1〜100μ
mであるのがよい。 また、この感圧性接着剤層は、通常100%モジ
ユラス(20℃)が10Kg/cm2以下であるのがよく、
また、通常はトルエンに24時間浸漬して求めたゲ
ル分率が55重量%未満でゲルの膨潤度が20倍以上
であるのがよい。 上記の光透過性の支持体と感圧性接着剤層とか
らなるマスキングテープを用いて部分メツキなど
の処理を行うには、まず金属またはプラスチツク
などの非金属からなる物体の表面の処理不要部分
にこのマスキングテープを貼り付け、次いで上記
物体表面の処理必要部分にメツキなどの処理を施
す。この処理としては、通常の電気メツキ、化学
メツキ、電鋳、溶融メツキ、真空メツキ、気相メ
ツキなどのメツキ処理のほか、化成処理、陽極酸
化処理、金属着色処理などを挙げることができ、
処理液を処理必要部分に噴射して行つてもよい
し、物体を処理液に浸漬して行つてもよい。 この発明の方法においては、上記の処理後マス
キングテープに高圧水銀ランプ、超高圧水銀ラン
プなどにより180〜460μmの波長の光を通常5〜
60秒間程度照射し、次いでこのテープを剥離す
る。 上記のマスキングテープの物体表面に対する
180゜剥離接着力(剥離速度300mm/分)は、光照
射前には通常200〜1500g/20mmであり、メツキ
などの処理時には物体表面に密着性良好に強固に
接着して処理液の液もれが生じることがなくすぐ
れたマスキング効果を発揮することができる。 一方、光照射されると上記のマスキングテープ
の感圧性接着剤層は、光重合性化合物どうしが重
合するとともにベースポリマーにもラジカルが発
生してこのポリマーと光重合性化合物とが反応す
ることにより、接着剤層は硬化し三次元網状化す
る。 なお、ここでいう三次元網状化とは、通常、接
着剤層をトルエンに24時間浸漬して求めたゲル分
率が光照射前の約1.4倍以上となり、かつこのゲ
ル分率が55重量%以上となることを意味する。ま
た、光照射後の上記接着剤層は、上記と同様にし
て求めたゲルの膨潤度が通常18倍以下となるのが
よい。 このように三次元網状化することにより、接着
剤層の凝集力は光照射前に比べて著しく上昇し、
通常100%モジユラス(20℃)が20Kg/cm2以上と
なる。これにともないこの接着剤層の粘着性はほ
とんど失われて、マスキングテープの物体表面に
対する接着力は大幅に低下し、このときの180゜
剥離接着力(剥離速度300mm/分)は通常150g/
20mm以下となる。このため、処理後のマスキング
テープの剥離は容易に行うことができる。 図はこの発明の方法により連続的に部分メツキ
などの処理を行うための装置の一例を示したもの
である。1は部分メツキなどの処理が施される物
体を送り出す供給ロールであり、2はマスキング
テープを送り出す供給ロールである。3は圧着ロ
ールであり、この圧着ロール3によつて供給ロー
ル1から送り出された物体4の処理不要部分に供
給ロール2から送り出されたマスキングテープ5
が圧着される。 このマスキングテープ5は光透過性のメツキと
この支持体上に設けられた光照射により硬化し三
次元網状化する性質を有する感圧性接着剤層とか
らなり、あらかじめ物体4の処理不要部分をマス
キングしうる形状(たとえば穿孔部や線状開口部
などが設けられてこれら部分が処理必要部分とさ
れ他の部分が処理不要部分となるような形状とさ
れてコイル状に巻かれたものである。また、この
マスキングテープ5の接着力は物体4に対して密
着性良好に強固に接着しうる大きさとされてい
る。 なお、供給ロール2から送り出されるマスキン
グテープ5を通常のテープ状としておき、圧着ロ
ール3の直前にこのマスキングテープ5を物体4
の処理不要部分をマスキングしうる形状とするた
めの手段を設けて、この手段により所定形状とさ
れたマスキングテープ5が圧着ロール3により物
体4の処理不要部分に圧着されるようにしてもよ
い。 圧着ロール3により圧着された物体4とマスキ
ングテープ5は一体となつてメツキ液などによる
処理部6へ送られ、ここで物体4の処理必要部分
にメツキなどの処理が施される。この場合、マス
キングテープ5は物体4の処理不要部分に密着性
良好に強固に接着しているため液もれが生じるこ
となく処理必要部分にのみメツキなどの処理が施
される。処理部6における処理方法としてはメツ
キ液などの処理液を噴射する方法でもよいし、処
理液に浸漬する方法でもよい。 上記の処理後、物体4とマスキングテープ5は
一体となつて後処理部7へ送られて洗浄、乾燥な
どの後処理を施され、次いで光照射部8へ送られ
る。ここでマスキングテープ5は光照射されてこ
のテープ5の感圧性接着剤層が光硬化し三次元網
状化することにより凝集力が上昇し、これにとも
ないこのテープ5は粘着性をほとんど失うため物
体4に対する接着力は大幅に低下する。このた
め、次の剥離ロール9によつてマスキングテープ
5は物体4から極めて容易に剥離されて巻取りロ
ール10に巻き取られる。一方、処理必要部分に
のみメツキ液などの処理が施された物体4は巻取
りロール11に巻き取られることにより部分処理
が完了する。 このように連続的に部分処理を行う場合にはと
くに処理後のマスキングテープの剥離が容易であ
ることが必要であるが、この発明に方法によれば
処理時のマスキング効果の信頼性を低下させるこ
となく処理後のマスキングテープの剥離を容易に
行うことができる。このため、この発明の方法
は、処理時のマスキング効果の信頼性および処理
後のマスキングテープの剥離が容易であることが
重要であるICリードフレーム、トランジスタリ
ードフレームなどの電子部品の製造における連続
的部分メツキなどの処理を行うのにとくに有効で
ある。 以下にこの発明の実施例を記載する。なお、以
下において部とあるのは重量部を意味する。 実施例 1 アクリル酸ブチル100部、アクリロニトリル5
部およびアクリル酸3部からなる重合原料をトル
エン中で共重合させて、数平均分子量300000のア
クリル系共重合物を得た。 この共重合物100部にポリイソシアネート化合
物(日本ポリウレタン社製商品名コロネートL)
5部、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペ
ンタアクリレート15部およびα−ヒドロキシシク
ロヘキシルフエニルケトン1部を添加し混合して
感圧性接着剤組成物を調製した。 この組成物を70μmの厚みのポリ塩化ビニルフ
イルムの片面に接着剤層の厚みが10μmとなるよ
うに塗工し、130℃で3分間加熱してマスキング
テープを得た。 このマスキングテープを用い、図に示す装置
(ただし圧着ロール3の直前に、上記マスキング
テープを部分メツキが施される物体のメツキ不要
部分をマスキングしうる形状とするための手段を
設けた)を使用して銅製の金属薄板に連続的に部
分メツキを施した。 すなわち、供給ロール1より送り出された金属
薄板4と供給ロール2より送り出されて圧着ロー
ル3の直前で上記金属薄板4のメツキ不要部分を
マスキングしうる形状とされたマスキングテープ
5とを圧着ロール3により圧着して一体とし、次
いで両者をメツキ液処理部6に送り、ここで金メ
ツキ(PH4〜5)の電気メツキ浴に浸漬した。そ
の後メツキ後処理部7を通して洗浄および乾燥し
たのち、光照射部8においてマスキングテープ5
に高圧水銀ランプ(40W/cm)により15mmの距離
から20秒間の紫外線照射を行い、次いで剥離ロー
ル9によつてマスキングテープ5を剥離して巻取
りロール10に巻き取らせた。一方、部分メツキ
の施された金属薄板4は巻取りロール11に巻き
取らせた。 上記のマスキングテープ5のメツキ後の剥離は
極めて容易でこの剥離時に金属薄板4に変形は生
じず、またこの金属薄板4の表面にのり残りはな
かつた。また、金属薄板4にはメツキ必要部分に
のみ精度よくメツキが施されており上記のマスキ
ングテープによるマスキング効果はすぐれてい
た。 なお、上記のマスキングテープ5の上記の金属
薄板4に対する180゜剥離接着力(剥離速度300
mm/分)は紫外線照射前には300g/20mmであ
り、紫外線照射後は20g/20mmであつた。 比較例 ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ
アクリレート15部およびα−ヒドロキシシクロヘ
キシルフエニルケトン1部を使用しなかつた以外
は、実施例1と同様にしてマスキングテープを得
た。 このマスキングテープを用いて実施例1と同様
にして銅製の金属薄板に連続的に部分メツキを行
つたが、メツキ後のマスキングテープの剥離時に
金属薄板が著しく変形するとともにこの金属薄板
上にのり残りが生じた。また、上記マスキングテ
ープを用いて光照射部8を通さない以外は上記と
同様に連続的に部分メツキを行つたところ、メツ
キ後のマスキングテープの剥離時に金属薄板4が
変形した。 なお、上記のマスキングテープの上記の金属薄
板に対する180゜剥離接着力(剥離速度300mm/
分)は紫外線照射前には300g/20mmであり、紫
外線照射後は1.200g/20mmであつた。 実施例 2 アクリル系共重合物(実施例1と同じもの)
100部にポリリイソシアネート化合物(実施例1
と同じもの)5部、ペンタエリスリトールアクリ
レート20部およびイソブチルベンゾインエーテル
0.5部を添加し混合して感圧性接着剤組成物を調
製した。この組成物を用いて実施例1と同様にし
てマスキングテープを得た。 このマスキングテープを用いて実施例1と同様
にして銅製の金属薄板に連続的に部分メツキを行
つた。この部分メツキにより金属薄板にはメツキ
必要部分にのみ精度よくメツキが施されており上
記のマスキングテープによるマスキング効果はす
ぐれていた。また、メツキ後のマスキングテープ
の剥離は極めて容易であり金属薄板に変形が生じ
ることなく、またのり残りもなかつた。 なお、上記のマスキングテープの上記の金属薄
板に対する180゜剥離接着力(剥離速度300mm/
分)は紫外線照射前には480g/20mmであり、紫
外線照射後には60g/20mmであつた。 実施例 3 アクリル系共重合物(実施例1と同じもの)
100部にポリイソシアネート化合物(実施例1と
同じもの)5部、ジペンタエリスリトールモノヒ
ドロキシペンタアクリレート10部、ジメチルチオ
キサントン1部およびトリエチルアミン1部を添
加し混合して感圧性接着剤組成物を調製した。こ
の組成物を用いて実施例1と同様にしてマスキン
グテープを得た。 このマスキングテープを用いて実施例1と同様
にして銅製の金属薄板に連続的に部分メツキを行
つた。この部分メツキにより銅製の金属薄板には
メツキ必要部分にのみ精度よくメツキが施されて
おり上記のマスキングテープによるマスキング効
果はすぐれていた。また、メツキ後のマスキング
テープの剥離は極めて容易であり銅製の金属薄板
に変形が生じることなく、またのり残りもなかつ
た。 なお、上記のマスキングテープの上記の銅製金
属薄板に対する180゜剥離接着力(剥離速度300
mm/分)は紫外線照射前には380g/20mmであ
り、紫外線照射後には25g/20mmであつた。 試験例 <100%モジユラス> 上記の実施例1〜3および比較例で用いた感圧
性接着剤組成物をそれぞれ剥離処理を施した50μ
mの厚さのポリエチレンテレフタレートフイルム
の表面に厚みが10μmとなるように塗工し、130
℃で3分間加熱したのち、50mm/50mmの大きさに
切断し、棒状にまとめることにより断面積が0.5
mm2の糸状の試験片を得た。この試験片について20
℃における100%モジユラスを測定した。また、
この試験片に高圧水銀ランプ(40W/cm)により
15cmの距離から20秒間紫外線照射したのち、同様
の100%モジユラスを測定した。 <ゲル分率、ゲルの膨潤度> 上記の感圧性接着剤組成物をそれぞれ100%モ
ジユラス用試験片の場合と同様にして塗工、加熱
を行つたのち、50mm×500mmの大きさに切断した
ものを試験片とした。この試験片をトルエンに24
時間浸漬してゲル分率とゲルの膨潤度を調べた。
また、この試験片に上記と同様の条件で光照射し
たのち、これをトルエンに24時間浸漬してゲル分
率とゲルルの膨潤度を調べた。 上記の試験結果を下記に表に示した。なお、下
記の表においてA欄は光照射前の測定値を示し、
B欄は光照射後の測定値を示す。
The present invention relates to a partial treatment method such as partial plating using masking tape. Traditionally, when applying a treatment such as partial plating to the surface of an object, masking tape is pasted on the parts of the surface that do not require treatment, then plating or other treatment is applied to the areas that need treatment, and after this treatment, the above masking tape is applied. A partial treatment method is being used to peel off the material. This method requires that the masking tape adheres well to the parts of the object's surface that do not require treatment, and if the masking tape does not adhere well, liquid may leak to the parts that do not require treatment. A sufficient masking effect cannot be obtained. However, if the adhesive force of the masking tape is too high, it will be difficult to peel off the tape after processing. For this reason, the adhesive strength of the masking tape must be adjusted to a level that does not cause the above-mentioned leakage and does not make it difficult to peel off after processing, but this adjustment is difficult. In some cases, the above-mentioned liquid leakage may occur, or the workability when peeling off the tape after treatment may be low, or furthermore, the object may be deformed when the tape is peeled off. Particularly during partial plating in the manufacture of electronic components such as IC lead frames and transistor lead frames, problems such as leakage of liquid to parts that do not need to be plated or deformation of the plated object when the masking tape is removed after plating may occur due to electrical characteristics or other problems. This will have a large impact on the characteristics of the parts, and since partial plating is usually performed continuously in the production of the electronic parts mentioned above, if the masking tape peeling efficiency after plating is low, production efficiency will deteriorate. The adhesive strength of the masking tape has a large influence. Therefore, in view of the above circumstances, the inventors conducted intensive studies to improve the reliability and workability of partial processing methods such as partial plating using masking tape, and as a result, they came up with this invention. . That is, when applying a treatment such as plating to a part of the surface of an object, the present invention applies a masking tape to the portion of the surface that does not require treatment, then applies treatment such as plating to the portion that requires treatment, and after this treatment, the above-mentioned In a partial treatment method for peeling off a masking tape, the masking tape has a light-transmitting support, a pressure-sensitive adhesive layer provided on the support, and having a property of being cured into a three-dimensional network by being irradiated with light. This partial treatment method is characterized in that the masking tape is irradiated with light after a treatment such as plating and before the masking tape is peeled off. According to the method of the present invention, the adhesive force of the masking tape can be made large enough to reliably obtain a masking effect without considering the peeling workability after plating, so this Masking tape has good adhesion and strong adhesion to parts of the surface of objects that do not require treatment, and does not cause leakage of processing liquids such as plating liquid. On the other hand, after treatments such as plating, the pressure-sensitive adhesive layer of the masking tape is cured and becomes a three-dimensional network by irradiating the masking tape with light, which increases the cohesive force of this adhesive layer and causes it to become sticky. As masking tape loses most of its properties, the adhesive force of the masking tape to the surface of the object is significantly reduced. Therefore, this tape can be removed extremely easily, has good peeling workability, and does not deform the object to be processed. . As described above, according to the method of the present invention, processes such as partial plating can be performed using masking tape with excellent reliability and workability. Particularly, the method of the present invention is effective when a process such as partial plating is continuously performed in the manufacture of electronic parts. Examples of the light-transmissive support constituting the masking tape used in the method of the present invention include plastic films such as polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, polyethylene, and polypropylene. The thickness of this film is usually about 10 to 200 μm. This pressure-sensitive adhesive layer, which is provided on a light-transmitting support and has the property of curing and forming a three-dimensional network when exposed to light, can be applied to a normal rubber-based or acrylic-based pressure-sensitive adhesive layer, for example. at least 2
It is formed using a pressure-sensitive adhesive composition containing a low molecular weight compound having photopolymerizable carbon-carbon double bonds (hereinafter referred to as a photopolymerizable compound) and a photopolymerization initiator. The above rubber-based or acrylic-based pressure-sensitive adhesives can be copolymerized with rubber-based polymers such as natural rubber and various synthetic rubbers, poly(meth)acrylic acid alkyl esters, and (meth)acrylic acid alkyl esters. The base polymer is an acrylic polymer such as a copolymer with other unsaturated monomers, and a crosslinking agent such as a polyisocyanate compound or an alkyl etherified melamine compound is blended therein as necessary. In addition, the above-mentioned base polymer may have a photopolymerizable carbon-carbon double bond in the molecule. The above photopolymerizable compounds usually have a molecular weight of
The molecular weight is preferably about 10,000 or less, and more preferably, the molecular weight is about 5,000 or less and photopolymerizable carbon-carbon in the molecule so that the pressure-sensitive adhesive layer can be efficiently formed into a three-dimensional network by light irradiation. Particularly preferred photopolymerizable compounds having 2 to 6 double bonds include, for example, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylolmethanetetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, and pentaerythritol. Examples include tetraacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and the like. In addition, other photopolymerizable compounds include 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate,
Examples include polyethylene glycol diacrylate and commercially available oligoester acrylate. As the photopolymerizable compound, one type of the above compounds may be used alone or two or more types may be used in combination, and the amount used is usually 1 part by weight per 100 parts by weight of the above base polymer. The range is preferably 100 parts by weight. If the amount used is too small, the three-dimensional reticulation of the pressure-sensitive adhesive layer by light irradiation will be insufficient, and the degree of decrease in adhesive force to the object surface will be too small, which is not preferable. Furthermore, if the amount used is too large, the pressure-sensitive adhesive layer will become significantly plasticized, making it impossible to obtain the adhesive force necessary for cutting semiconductor wafers, which is not preferable. Examples of the above-mentioned photopolymerization initiators include isopropyl benzoin ether, isobutyl benzoin ether, benzophenone, Michler's ketone,
Examples include chlorothioxanthone, dodecylthioxanthone, dimethylthioxanthone, diethylthioxanthone, acetophenone diethyl ketal, benzyl dimethyl ketal, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxymethyl phenyl propane, etc., and one of these may be used alone. It may be used alone or in a mixture of two or more. The amount of the photopolymerization initiator to be used is usually in the range of 0.1 to 5 parts by weight per 100 parts by weight of the base polymer. If the amount used is too small, the three-dimensional reticulation of the pressure-sensitive adhesive layer by light irradiation will be insufficient, and the degree of decrease in adhesive force to the object surface will be too small, which is not preferable. Moreover, if the amount used is too large, not only the corresponding effect will not be obtained, but also this photopolymerization initiator will remain on the surface of the object, which is not preferable. Note that, if necessary, an amine compound such as triethylamine, tetraethylpentamine, dimethylaminoethanol, etc. may be used together with this photopolymerization initiator as a photopolymerization accelerator. In order to form a pressure-sensitive adhesive layer using a pressure-sensitive adhesive composition formed by mixing the above-mentioned components, this composition is coated on a light-transmitting support and heated as necessary. Bye. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer formed in this way is usually 1 to 100 μm.
It is better to be m. In addition, this pressure-sensitive adhesive layer usually has a 100% modulus (at 20°C) of 10 kg/cm 2 or less,
Further, it is usually preferable that the gel fraction determined by immersion in toluene for 24 hours is less than 55% by weight and the swelling degree of the gel is 20 times or more. In order to carry out a treatment such as partial plating using the above-mentioned masking tape consisting of a light-transmitting support and a pressure-sensitive adhesive layer, first apply it to the untreated areas of the surface of an object made of metal or non-metal such as plastic. This masking tape is pasted, and then a treatment such as plating is applied to the portions of the surface of the object that require treatment. Examples of this treatment include ordinary plating treatments such as electroplating, chemical plating, electroforming, melt plating, vacuum plating, and vapor phase plating, as well as chemical conversion treatment, anodizing treatment, metal coloring treatment, etc.
The treatment may be carried out by spraying the treatment liquid onto the area that requires treatment, or by immersing the object in the treatment liquid. In the method of this invention, after the above treatment, the masking tape is exposed to light with a wavelength of 180 to 460 μm, usually for 5 to
The tape is irradiated for about 60 seconds and then peeled off. The above masking tape on the object surface
The 180° peel adhesive force (peel speed 300mm/min) is usually 200 to 1500g/20mm before irradiation with light, and during treatments such as plating, it adheres strongly to the surface of the object with good adhesion and removes the processing liquid. Excellent masking effects can be achieved without causing any leakage. On the other hand, when the pressure-sensitive adhesive layer of the above masking tape is irradiated with light, the photopolymerizable compounds polymerize with each other, radicals are generated in the base polymer, and this polymer and photopolymerizable compound react. , the adhesive layer is cured to form a three-dimensional network. Note that three-dimensional reticulation here generally means that the gel fraction determined by immersing the adhesive layer in toluene for 24 hours is approximately 1.4 times or more of that before light irradiation, and that this gel fraction is 55% by weight. This means the above. Further, it is preferable that the adhesive layer after light irradiation has a gel swelling degree of usually 18 times or less, which is determined in the same manner as above. By creating a three-dimensional network in this way, the cohesive force of the adhesive layer increases significantly compared to before light irradiation,
Normally, 100% modulus (20℃) is 20Kg/cm 2 or more. As a result, the adhesive layer loses most of its tackiness, and the adhesion of the masking tape to the surface of the object is significantly reduced. At this time, the 180° peel adhesive force (peel speed 300 mm/min) is usually 150 g/min.
It will be less than 20mm. Therefore, the masking tape can be easily peeled off after treatment. The figure shows an example of an apparatus for continuously performing processes such as partial plating according to the method of the present invention. Reference numeral 1 denotes a supply roll for delivering objects to be subjected to a process such as partial plating, and 2 represents a supply roll for delivering masking tape. 3 is a pressure roll, and the masking tape 5 sent out from the supply roll 2 is applied to the unnecessary part of the object 4 sent out from the supply roll 1 by the pressure roll 3.
is crimped. This masking tape 5 is made up of a light-transmissive plating and a pressure-sensitive adhesive layer provided on the support that has the property of curing and forming a three-dimensional network when irradiated with light, and masks the parts of the object 4 that do not need to be processed in advance. It is wound into a coil shape (for example, it has a shape in which perforations, linear openings, etc. are provided so that these parts are required to be processed, and other parts are not required to be processed), and wound into a coil. In addition, the adhesive force of this masking tape 5 is set to be large enough to firmly adhere to the object 4 with good adhesion.The masking tape 5 fed from the supply roll 2 is in the form of a normal tape, and is crimped. Just before roll 3, apply this masking tape 5 to object 4.
A means for shaping the object 4 into a shape capable of masking the unprocessed portion of the object 4 may be provided, and the masking tape 5 formed into a predetermined shape by this means may be pressed onto the unprocessed portion of the object 4 by the pressure roll 3. The object 4 and the masking tape 5 that have been crimped by the crimping roll 3 are sent together to a processing section 6 using a plating liquid or the like, where the portions of the object 4 that require processing are subjected to processing such as plating. In this case, since the masking tape 5 adheres firmly and with good adhesion to the parts of the object 4 that do not need to be processed, the process such as plating can be applied only to the parts that need to be processed without causing liquid leakage. The processing method in the processing section 6 may be a method of spraying a processing liquid such as a plating solution, or a method of immersing it in a processing liquid. After the above processing, the object 4 and the masking tape 5 are sent together to a post-processing section 7 where they are subjected to post-processing such as cleaning and drying, and then sent to a light irradiation section 8. Here, the masking tape 5 is irradiated with light, and the pressure-sensitive adhesive layer of this tape 5 is photocured and becomes a three-dimensional network, increasing its cohesive force. The adhesion strength to No. 4 is significantly reduced. Therefore, the masking tape 5 is very easily peeled off from the object 4 by the next peeling roll 9 and wound onto the take-up roll 10. On the other hand, the object 4, which has been treated with a plating liquid or the like only in the portions that require treatment, is wound up on the take-up roll 11, thereby completing the partial treatment. When carrying out partial processing in this way, it is especially necessary that the masking tape can be easily peeled off after processing, but the method of the present invention reduces the reliability of the masking effect during processing. The masking tape can be easily peeled off after treatment without any problems. Therefore, the method of the present invention is suitable for continuous manufacturing of electronic components such as IC lead frames and transistor lead frames, where reliability of the masking effect during processing and easy peeling of the masking tape after processing are important. It is particularly effective for processing such as partial plating. Examples of this invention will be described below. In addition, in the following, parts mean parts by weight. Example 1 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile
A polymerization raw material consisting of 1 part and 3 parts of acrylic acid was copolymerized in toluene to obtain an acrylic copolymer having a number average molecular weight of 300,000. To 100 parts of this copolymer, add a polyisocyanate compound (product name: Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd.)
5 parts of dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate and 1 part of α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone were added and mixed to prepare a pressure sensitive adhesive composition. This composition was coated on one side of a 70 μm thick polyvinyl chloride film so that the adhesive layer had a thickness of 10 μm, and heated at 130° C. for 3 minutes to obtain a masking tape. Using this masking tape, use the device shown in the figure (however, a means was provided just before the pressure roll 3 to shape the masking tape into a shape that would mask the unnecessary parts of the object to be partially plated). Then, continuous partial plating was applied to a thin copper metal plate. That is, the thin metal sheet 4 fed out from the supply roll 1 and the masking tape 5 fed out from the feed roll 2 and shaped so as to be able to mask the unnecessary portions of the thin metal sheet 4 immediately before the pressure bonding roll 3 are placed on the pressure bonding roll 3. They were crimped together to form a single body, and then both were sent to the plating solution processing section 6, where they were immersed in an electroplating bath of gold plating (PH4 to 5). After that, the masking tape 5 is washed and dried through the plating post-processing section 7, and then the masking tape 5 is placed in the light irradiation section 8.
Then, ultraviolet rays were irradiated for 20 seconds from a distance of 15 mm using a high-pressure mercury lamp (40 W/cm), and then the masking tape 5 was peeled off with a peeling roll 9 and wound onto a winding roll 10. On the other hand, the partially plated thin metal sheet 4 was taken up by a take-up roll 11. The masking tape 5 was peeled off after plating very easily, and the thin metal plate 4 was not deformed during this peeling, and there was no residual adhesive on the surface of the thin metal plate 4. In addition, the thin metal plate 4 was plated with high accuracy only in the areas that required plating, and the masking effect of the above-mentioned masking tape was excellent. Note that the masking tape 5 has a 180° peel adhesion force (peel speed 300
mm/min) was 300 g/20 mm before UV irradiation and 20 g/20 mm after UV irradiation. Comparative Example A masking tape was obtained in the same manner as in Example 1, except that 15 parts of dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate and 1 part of α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone were not used. Using this masking tape, a copper metal thin plate was continuously partially plated in the same manner as in Example 1, but when the masking tape was peeled off after plating, the metal thin plate was significantly deformed and no adhesive remained on the metal thin plate. occurred. Further, when partial plating was performed continuously in the same manner as above except that the masking tape was not passed through the light irradiation section 8, the thin metal plate 4 was deformed when the masking tape was peeled off after plating. In addition, the 180° peel adhesive strength of the above masking tape to the above metal thin plate (peel speed 300 mm/
minutes) was 300 g/20 mm before UV irradiation and 1.200 g/20 mm after UV irradiation. Example 2 Acrylic copolymer (same as Example 1)
100 parts of polylysocyanate compound (Example 1
) 5 parts, 20 parts of pentaerythritol acrylate and isobutyl benzoin ether
0.5 part was added and mixed to prepare a pressure sensitive adhesive composition. A masking tape was obtained using this composition in the same manner as in Example 1. Using this masking tape, a thin copper metal plate was continuously partially plated in the same manner as in Example 1. By this partial plating, the thin metal plate was plated with high precision only in the areas that required plating, and the masking effect of the above-mentioned masking tape was excellent. Furthermore, the masking tape was extremely easy to peel off after plating, and the thin metal plate was not deformed and no adhesive remained. In addition, the 180° peel adhesive strength of the above masking tape to the above metal thin plate (peel speed 300 mm/
minutes) was 480 g/20 mm before UV irradiation and 60 g/20 mm after UV irradiation. Example 3 Acrylic copolymer (same as Example 1)
To 100 parts, 5 parts of a polyisocyanate compound (same as in Example 1), 10 parts of dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, 1 part of dimethylthioxanthone, and 1 part of triethylamine were added and mixed to prepare a pressure-sensitive adhesive composition. . A masking tape was obtained using this composition in the same manner as in Example 1. Using this masking tape, a thin copper metal plate was continuously partially plated in the same manner as in Example 1. By this partial plating, the thin copper metal plate was plated with high precision only in the areas that required plating, and the masking effect of the above-mentioned masking tape was excellent. Furthermore, the masking tape was extremely easy to peel off after plating, and the thin copper metal plate was not deformed and there was no residual adhesive. In addition, the 180° peel adhesion of the above masking tape to the above copper metal thin plate (peel speed 300
mm/min) was 380 g/20 mm before UV irradiation and 25 g/20 mm after UV irradiation. Test Example <100% Modulus> 50μ of the pressure-sensitive adhesive compositions used in Examples 1 to 3 and Comparative Examples above were subjected to release treatment.
The surface of a polyethylene terephthalate film with a thickness of m is coated to a thickness of 10 μm, and 130
After heating at ℃ for 3 minutes, cut into pieces of 50mm/50mm and gather them into a bar shape so that the cross-sectional area is 0.5
A filamentous specimen of mm 2 was obtained. About this specimen20
The 100% modulus at °C was measured. Also,
A high-pressure mercury lamp (40W/cm) was applied to this test piece.
The same 100% modulus was measured after UV irradiation for 20 seconds from a distance of 15 cm. <Gel fraction, swelling degree of gel> Each of the above pressure-sensitive adhesive compositions was coated and heated in the same manner as for the 100% modulus test piece, and then cut into a size of 50 mm x 500 mm. This was used as a test piece. Add this test piece to toluene for 24 hours.
The gel fraction and swelling degree of the gel were examined by immersion for a time.
In addition, this test piece was irradiated with light under the same conditions as above, and then immersed in toluene for 24 hours to examine the gel fraction and swelling degree of gel. The above test results are shown in the table below. In addition, in the table below, column A shows the measured value before light irradiation,
Column B shows the measured values after light irradiation.

【表】 上記の実施例から明らかなように、この発明の
部分メツキ方法によると、メツキ時には物体の表
面のメツキ不要部分にマスキングテープが強固に
接着してすぐれたマスキング効果を発揮し、しか
もメツキ後にはマスキングテープに光照射するこ
とによりこのテープを容易に剥離することができ
る。 また、このようにマスキングテープの剥離を容
易に行えるのは、このテープの感圧性接着剤層が
光照射により三次元網状化して凝集力が著しく上
昇するのにともない物体に対する接着力が大幅に
低下するためであることがわかる。
[Table] As is clear from the above examples, according to the partial plating method of the present invention, when plating, the masking tape firmly adheres to the parts of the surface of the object that do not need plating, and exhibits an excellent masking effect. Afterwards, the masking tape can be easily peeled off by irradiating it with light. Also, the reason why masking tape can be easily peeled off is because the pressure-sensitive adhesive layer of this tape forms a three-dimensional network when irradiated with light, and its cohesive strength increases significantly, resulting in a significant decrease in its adhesion to objects. It is clear that this is for the purpose of

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図はこの発明の部分処理方法により連続的に部
分メツキなどの処理を行うための装置の一例を示
す概略構成図である。 4……物体、5……マスキングテープ。
The figure is a schematic configuration diagram showing an example of an apparatus for continuously performing treatments such as partial plating according to the partial treatment method of the present invention. 4...object, 5...masking tape.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 物体の表面に部分的にメツキなどの処理を施
すにあたり、この表面の処理不要部分にマスキン
グテープを貼り付けたのち処理不要部分にメツキ
などの処理を施し、この処理後上記のマスキング
テープを剥離する部分処理方法において、上記の
マスキングテープが光透過性の支持体とこの支持
体上に設けられた光照射により硬化し三次元網状
化する性質を有する感圧性接着剤層とからなり、
メツキなどの処理後このマスキングテープを剥離
する前にこのマスキングテープに光照射すること
を特徴とする部分メツキなどの部分処理方法。
1 When applying a treatment such as plating to a part of the surface of an object, apply masking tape to the part of the surface that does not require treatment, then apply treatment such as plating to the part that does not require treatment, and after this treatment, peel off the above masking tape. In the partial treatment method, the masking tape is composed of a light-transmitting support and a pressure-sensitive adhesive layer provided on the support and having a property of curing and forming a three-dimensional network by light irradiation,
A partial treatment method for partial plating, etc., characterized in that the masking tape is irradiated with light after the treatment such as plating and before the masking tape is peeled off.
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