JPS61502809A - Improved product processing equipment - Google Patents

Improved product processing equipment

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JPS61502809A
JPS61502809A JP50316385A JP50316385A JPS61502809A JP S61502809 A JPS61502809 A JP S61502809A JP 50316385 A JP50316385 A JP 50316385A JP 50316385 A JP50316385 A JP 50316385A JP S61502809 A JPS61502809 A JP S61502809A
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light beam
signal
link
light
detector
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Application number
JP50316385A
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Japanese (ja)
Inventor
ボイエ,ロバート アルバート
Original Assignee
アメリカン テレフオン アンド テレグラフ カムパニ−
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    • B25J18/002Arms comprising beam bending compensation means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
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    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02Sensing devices
    • B25J19/021Optical sensing devices
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 製品処理装置 り囚副 本発明は、製品処理、特にロボット式構造位置決め装置に関する。[Detailed description of the invention] Product processing equipment prisoner deputy FIELD OF THE INVENTION This invention relates to product processing, and more particularly to robotic structural positioning equipment.

製造および輸送動作時の自動製品処理には、処理される製品の正確な位置をモニ タする必栃がある。ロボット式装収における制御装置は、所望の製品位置に関す るその現在位置の軌跡を保持する位置センサとそのための回路をそなえている。Automated product handling during manufacturing and transportation operations requires monitoring the exact location of the product being processed. There is a must-have. In robotic loading, the controller controls the desired product position. It is equipped with a position sensor that maintains the trajectory of its current position and a circuit for that purpose.

ロボットのアームは、公知のように継手により相互接続され、操作される製品を 支承するマニュピユレータに到る1つ以上のリンクからなる。このアームの運動 は、制御装置、一般にはコンピュータで操作される制御装置により指示され、こ の制御装置は継手およびマニュピユレータに信号を与える。アーム位置を示す正 確な信号が、継手およびマニュピユレータで発生され、これにより制御装置はプ ログラム化した設計にしたがってロボットアーム運動の信号を自動的に調節する 。The arms of the robot are interconnected by means of joints, as is known, and the products to be manipulated are Consists of one or more links to supporting manipulators. This arm movement is directed by a control device, typically a computer operated control device. The controller provides signals to the fittings and manipulators. Positive indicating arm position Accurate signals are generated at the fittings and manipulators, allowing the control to Automatically adjust robot arm motion signals according to programmed design .

ロボットアームの位置と角度を測定する方法は公知である。Methods of measuring the position and angle of a robot arm are known.

位置のモニタは5通常は、ロボットの各構成要素が剛性であり、変形しないとい う仮定に基づいて行なわれるにの剛性の仮定は、ロボットの各要素が処理される 製品に対しで十分に大きい場合にのみ有効である。従って、ロボットの各要素は 、一般に頑丈で大きな材料で構成される。しかしながら、このような材料を用い ると、継手ならびにそれ等を動かすのに必要な装置の設計が困難で高価になる。Position monitoring5Normally, each component of the robot is rigid and does not deform. The stiffness assumption is made based on the assumption that each element of the robot is It is only effective if it is large enough for the product. Therefore, each element of the robot is , generally constructed of sturdy and bulky materials. However, using such materials This makes the design of the joints and the equipment necessary to move them difficult and expensive.

ロボット要素が、処理する製品の重量や慣性などのために変形すると、要素端部 位置に生じた変化は、運動制御には取り込まれず、要求した動作はうまく行なわ れない。従って、質量や大きさ、剛性が制限されたロボット構造が小形軽量な製 品以外のものを処理することを可能にする装置を案出することが望まれる。If the robot element deforms due to the weight or inertia of the product being processed, the end of the element Changes in position are not incorporated into motor control, and the requested movement is not performed successfully. Not possible. Therefore, the robot structure, which has limited mass, size, and rigidity, has become smaller and lighter. It would be desirable to devise a device that allows processing of items other than products.

ロボットアーム要素の変形を考慮したロボットハンドの位置をモニタするシステ ムが米国特許第4,119,212号に開示されている。これに記載された方法 によると、自由な遊動枢支継手により相互に接続された所定の長さの一対のリン ク部材が用いられている。このリンク部材は、ロボットアームの異なる要素に枢 支結合され、また検知装置が自由遊動枢支継手とアーム要素上の枢支結合点位置 に取り込まれる。この検知装置は、ロボットアームの製品保持端部の位置が、変 形とは独立に計算できるように2リンク要素とこのリンク要素の姿勢の間の角度 を測定する。しかしながら、この従来の方式では、特に角度運動が小さい部位で は、検知装置の機械的精度が悪いため、位置決定に誤差を伴う。更に、上記米国 特許第4、.119,212号に記載された自由遊動枢支結合リンク部材は、単 一平面動作に適したものである。しかしながら変形は、製品質量または慣性効果 或いはその他の効果の結果として任意の方向に発生し、また外部捩り力のために 、またはリンク部材に剛性がないために発生する。A system that monitors the position of a robot hand considering the deformation of robot arm elements. A system is disclosed in US Pat. No. 4,119,212. The method described in this According to A lock member is used. This link member pivots to different elements of the robot arm. A detecting device is connected to the free-floating pivot joint and the pivot joint point position on the arm element. be taken in. This detection device detects when the position of the product holding end of the robot arm changes. The angle between the two link elements and the pose of this link element so that it can be calculated independently of the shape. Measure. However, with this conventional method, especially in areas with small angular movements, In this case, the mechanical precision of the sensing device is poor, resulting in errors in position determination. Furthermore, the above U.S. Patent No. 4. The free floating pivot coupling link member described in No. 119,212 is It is suitable for one-plane operation. However, deformation may be due to product mass or inertia effects. or in any direction as a result of other effects, and due to external torsional forces. , or because the link member lacks rigidity.

従って本発明は、製品処理構造に生じた変形の大きさまたは種類とは無関係に方 向のモニタを正確に行なえる改良型の製品処理装置を提供することを目的とする 。Therefore, the present invention provides solutions regardless of the magnitude or type of deformation caused to the product processing structure. The objective is to provide improved product processing equipment that can accurately monitor .

明の簡単な要約 本発明によると、第1および第2端部を有したリンクアームを備え、これ等の端 部位置をモニタする製品処理構造が与えられる。上記第1リンク端部に光ビーム 源が装着され、この光ビーム源は上記リンクアームに沿う少なくとも1本の光ビ ームを上記第2端部の所定位置に向けるようにされる。上記第2端部に装着した 光ビーム検出器は、上記光ビームに応じて第1端部に対する第2端部の方向を表 わす信号を発生するようにされる。A brief summary of Ming According to the invention, a link arm is provided having first and second ends; A product processing structure is provided that monitors part position. A light beam is placed at the end of the first link above. a light beam source is mounted and the light beam source includes at least one light beam along the link arm. the second end of the second end. attached to the second end above. A light beam detector indicates a direction of the second end relative to the first end in response to the light beam. It is made to generate a warning signal.

本発明の1側面によれば、制御装置は方向表示信号に応じて上記リンクアームを 再位置付けし、上記リンクアームの負荷を補償する。According to one aspect of the invention, the controller controls the link arm in response to a direction indicating signal. Reposition and compensate for the load on the link arm.

本発明の他の側面によれば、上記光ビーム源は上記リンクに沿って交互に光ビー ムを与え、また光ビーム検出器は、方向表示信号がリンクアームの捩りおよび曲 げ変形を表示するように上記交互光ビームに応する1対の信号を与える。According to another aspect of the invention, said light beam source alternates light beams along said link. The optical beam detector also detects the direction-indicating signal from twisting and bending of the link arm. A pair of signals corresponding to the alternating light beams is provided to indicate the deformation.

M」征(7)g4Wケ遣ユ 第1図は本発明によるロボットアーム構造を示し、第2図は、第1図に示したロ ボットアーム構造の1つのリンクの、変形してない状態を詳細図示したものであ り。M” conquest (7) g4W key exchange Figure 1 shows the robot arm structure according to the present invention, and Figure 2 shows the robot arm structure shown in Figure 1. This is a detailed diagram of one link of the bot arm structure in its undeformed state. the law of nature.

第3図は、第2図に示したリンクの変形状態での詳細を示し、 第4図は、第1.2、および3図の構成に用いられる光ビーム源と検出回路を概 略図示したものであり、第5図は、第4図の構成に用いられる他の形の光検出器 構造を示し。FIG. 3 shows details of the link shown in FIG. 2 in a deformed state, Figure 4 outlines the light beam source and detection circuit used in the configurations of Figures 1, 2 and 3. FIG. 5 is a schematic representation of another type of photodetector that may be used in the configuration of FIG. Show the structure.

第6図は、リンクアーム構造の捩りおよび曲げ変形の決定に用いられる他の光ビ ーム源と検出回路を概略図示し、 第7図は、第6図の回路の動作を示す波形を表わすグラフであり、更に、 第8図は、第4および6図の位相感知検出回路を示す二11左災■ 第1図は、製品70を処理するロボットアーム装置10を示し、これはその垂直 方向から成る角度に片寄っている。このアーム1oは、固定部材15を端部22 で中空状ロボットリンク部材30に接続する間接継手20を有する。中空リンク 部材50の端部42は間接継手40を介してリンク30の端部32に接続さ九、 またマニュピユレータ部材65はマニュピユレータ継手60を通してリンク50 の端部58に装着される。製品70はマニュピユレータ部材65により一定位置 に保持される。Figure 6 shows other optical beams used to determine torsional and bending deformations of link arm structures. schematically illustrates the beam source and detection circuit; FIG. 7 is a graph showing waveforms showing the operation of the circuit shown in FIG. Figure 8 shows the phase sensing detection circuit of Figures 4 and 6. FIG. 1 shows a robot arm device 10 processing a product 70, which is vertically Offset to an angle consisting of a direction. This arm 1o has a fixing member 15 at an end 22. The robot has an indirect joint 20 that connects to a hollow robot link member 30. hollow link The end 42 of the member 50 is connected to the end 32 of the link 30 via an indirect joint 40; Further, the manipulator member 65 passes through the link 50 through the manipulator joint 60. is attached to the end 58 of. The product 70 is held at a fixed position by the manipulator member 65. is maintained.

ロボットアーム装置1oの各継手は制御装置90により個別に制御され、この制 御装置90は、技術的に公知のロボット制御用の多くのコンピュータの1つから なる。Each joint of the robot arm device 1o is individually controlled by a control device 90, and this control The controller 90 can be operated from one of many robot control computers known in the art. Become.

上記制御装置9oは、アームの運動が製品70に対して所望の作業を行なうよう に継手20.40、および6゜とマニュピユレータ部材65の動作と協動する。The control device 9o controls the movement of the arm to perform a desired operation on the product 70. joint 20.40, and 6° cooperates with the movement of the manipulator member 65.

リンク部材30と50は、第1図に示したように入れ子形をなすか、或いは技術 的に公知の直線リンク部材をなす。The link members 30 and 50 may be nested as shown in FIG. It forms a well-known straight link member.

ロボットアーム装置10のリンク部材とマニュピユレータの現在位置を表わす信 号が、製品7oを一定軌道を通して運搬するために制御装置90により要求され る。A signal indicating the current position of the link member of the robot arm device 10 and the manipulator. is requested by the controller 90 to convey the product 7o through a fixed trajectory. Ru.

リンク部材30と50が製品70の荷重に対して十分頑丈でない場合は、リンク 部材のいずれか一方、または両者が成る程度変形される。継手およびマニュピユ レータで発生された位置信号は、このような変形には応答しない。従って、ロボ ットアーム運動は上記軌道から偏位する。この変形はリンク部材30と50を非 入れ子犬で十分に大きくすることにより回避できるが、この方法は応用範囲を減 らし、ロボット装置を高価にし、制御を困難にする。If link members 30 and 50 are not sturdy enough to bear the load of product 70, Either or both of the members may be deformed to such an extent. Fittings and manipulators The position signal generated by the rotor is not responsive to such deformations. Therefore, robot The cut arm movement deviates from the above trajectory. This deformation causes link members 30 and 50 to become This can be avoided by making the container large enough, but this method reduces the scope of application. This makes robotic equipment expensive and difficult to control.

第2図は、本発明により、負荷による変形に起因する予測位置からのずれを検出 するように構成したリンク部材50を詳細に示したものである。第2図に示した ように、リング部材50は、端部42に設けた有向エネルギー光ビーム源45と 端部58に設けた位置検出器55とを有する。この有向エネルギー光ビーム源4 5は光ビーム源などの電磁エネルギー源であり、また検出器55は位置検出光検 出器である。光ビーム源45はレーザ装置或いは発光ダイオードと、これから出 た光を集光する適切なレンズ系とからなる。この光ビーム源は複数個の隔置した 個別制御発光ダイオードとレンズ系から構成してn1calNotesTN−1 02,January1.982)に記載されたノンディスクリート形シリコン 位置検出器からなる。発光ダイオード源が用いられる所では、光源からの光を検 出器55の1点に集光するレンズ系が光源と検出器の間に装着される。光ビーム 源は棒部材227により端部42の中央に剛性保持され、また位置検出器は端部 58に中心を置き、棒部材237により剛性保持される。第2図にはリンク部材 がその非変形状態で示され、光g45からの光ビームは検出器55の中央に向け られる。Figure 2 shows the detection of deviation from the predicted position due to deformation due to load using the present invention. This figure shows in detail the link member 50 configured to do so. Shown in Figure 2 As shown, the ring member 50 has a directed energy light beam source 45 provided at the end portion 42. It has a position detector 55 provided at an end portion 58. This directed energy light beam source 4 5 is an electromagnetic energy source such as a light beam source, and a detector 55 is a position detection optical detector. It is a source. The light beam source 45 includes a laser device or a light emitting diode, and and an appropriate lens system to collect the light. This light beam source consists of multiple spaced Consisting of individually controlled light emitting diodes and lens system, n1calNotesTN-1 02, January 1.982) Consists of a position detector. Where light emitting diode sources are used, the light from the light source is detected. A lens system that focuses light on one point on the output device 55 is mounted between the light source and the detector. light beam The source is held rigidly in the center of end 42 by rod member 227, and the position detector is located at the end. 58 and is rigidly maintained by a rod member 237. Figure 2 shows link members. is shown in its undeformed state, and the light beam from light g45 is directed towards the center of detector 55. It will be done.

第3図は、リンク要素が変形状態で示した点を除くと第2図と同等である。この ような変形は、部材50の入れ子犬構成、製品70の重量、運動中の慣性効果、 或いは他の物体により製品70に外部から印加された力により惹起される。この 変形は任意の方向から印加された力の結果として生じる。第1図から直ちにわか るように。FIG. 3 is similar to FIG. 2 except that the link elements are shown in a deformed state. this Such deformations may be due to the configuration of the member 50, the weight of the product 70, inertial effects during movement, Alternatively, it may be caused by a force externally applied to product 70 by another object. this Deformation occurs as a result of forces applied from any direction. It is immediately clear from Figure 1 that As if

製品70の重量の変形効果はリンク30と50の作る平面外からも与えられ、ま た変形は部材30または50内に、或いはその両者に生じ得る。第3図に示した リンク部材50の曲げは光源45からの光ビームに対して検出器55の中心点を 量ΔYおよび量ΔXだけ移動させる。The deformation effect of the weight of the product 70 is also given from outside the plane formed by the links 30 and 50, and Deformations may occur within members 30 or 50, or both. Shown in Figure 3 The bending of the link member 50 allows the center point of the detector 55 to be aligned with the light beam from the light source 45. Move by amount ΔY and amount ΔX.

端部58の上記の位置ずれは、通常は間接継手に組込まれた位置検出装置から制 御装置90に送られた信号には反映されない。The above-mentioned displacement of the end portion 58 is normally controlled by a position sensing device built into the indirect joint. It is not reflected in the signal sent to the control device 90.

第4図の回路は、光′g45からの光ビームの、検出器55の中心点からのずれ を表わす信号ΔXとΔYを発生する。第4図によると、光源45は、発光ダイオ ード425からなり、その光出力は、リンク部材50の内部の線に沿ってレンズ 470を通り、またレンズ475を通して光検出器55に入射する。The circuit of FIG. It generates signals ΔX and ΔY representing . According to FIG. 4, the light source 45 is a light emitting diode. 425, the light output of which is directed to the lens along an internal line of the link member 50. 470 and enters the photodetector 55 through the lens 475.

第4図に示した光ビーム位置センサ55は固体光検出器であり、この検出器は抵 抗性電極と直交する低抵抗接点ストリップ対とを備える。この位置情報は、光に より放出された電荷が抵抗層内で如何に分割されるかを測定することにより得ら れる。位置Xは、光に応じて接点437と4:A9から流れる信号電流(iXi とiX2)により次のように決定される。The light beam position sensor 55 shown in FIG. and a pair of orthogonal low resistance contact strips. This location information is transmitted to the light It is obtained by measuring how the charge released by the resistor is divided within the resistive layer. It will be done. Position X is where the signal current (iXi and iX2) as follows.

全光電流(iX2+iXI)および(iYZ+iy□)は大きさが等しく、また 光スポツト強度を表わす値である。The total photocurrent (iX2+iXI) and (iYZ+iy□) are equal in magnitude and This value represents the light spot intensity.

光源をサーボ機構で安定化して一定光電流工(const、)を与える何等かの 対策が構じられてもよい。このようにすれば変数による除算は不要になる。位置 を決定するために、次のような関係が用いられる。Some kind of method that stabilizes the light source with a servo mechanism to give a constant photocurrent (const) Countermeasures may be taken. This eliminates the need for division by variables. position The following relationship is used to determine .

発光ダイオード(LED)は、交流測定法により光ビームスポット位置を決定す るようにトランジスタ410と415で構成されるランプ電流ステアリング回路 により50%衝撃係数(dutycycle)だけ駆動される。Light emitting diodes (LEDs) determine the light beam spot position using alternating current measurement method. A lamp current steering circuit consisting of transistors 410 and 415 as shown in FIG. It is driven by a 50% duty cycle.

発振器401は、フリップフロップ405を駆動し。Oscillator 401 drives flip-flop 405.

このフリップフロップ405は、衝撃係数が50%の、所定の、例えば100K Hzの出力周波数を出す。フリップフロップ405の出力は、上記電流ステアリ ング回路と位相感知検出器(ρhase5ensitivedetector) を駆動するために用いられる。フリップフロップ405からのfo出力はnpn トランジスタ410のベース412に印加される。フリップフロップ405のf O小出力npnトランジスタ415のベース417に供給される。This flip-flop 405 has a predetermined impact coefficient of 50%, for example, 100K. Outputs an output frequency of Hz. The output of the flip-flop 405 is the current steering input. circuit and phase sensitive detector (ρhase5 sensitive detector) used to drive. The fo output from flip-flop 405 is npn Applied to the base 412 of transistor 410. f of flip-flop 405 0 is supplied to the base 417 of the low output npn transistor 415.

従って、エミッタ418と413で得られる電流は、信号fOがエミッタ418 に対して正である半サイクルの間LED425を流れる。リード485の交流電 流信号ix1は、回路435で増幅されて電圧信号x1を与える。同様に、リー ド487における電流iX2は、回路445で増幅され信号X2を与え、またl y工は、回路440で増幅され信号Y1をを与える。Therefore, the current available at emitters 418 and 413 is such that the signal fO flows through LED 425 for a half cycle that is positive for . Lead 485 AC power Current signal ix1 is amplified in circuit 435 to provide voltage signal x1. Similarly, Lee Current iX2 in node 487 is amplified in circuit 445 to provide signal X2, and l The signal Y is amplified by a circuit 440 to provide a signal Y1.

増幅器435と445の出力における信号X1とx2の和は検出器55の全光電 流に対応する。これ等の信号は、抵抗器421と423を介して増幅器420の 出力で結合される。増幅器420の出力は、位相感知検出器425と抵抗器42 7を通して増幅器430の負入力に印加される。増幅器430の出力は、抵抗器 433を介してランプステアリングトランジスタのエミッタ413と418を駆 動する。このようにして、負のフィードバツクループが、光ビーム強度が強度制 御電圧VLにより決定されるレベルに維持される。The sum of signals X1 and x2 at the outputs of amplifiers 435 and 445 is Respond to the flow. These signals are connected to amplifier 420 via resistors 421 and 423. Combined on output. The output of amplifier 420 is connected to phase sensitive detector 425 and resistor 42. 7 to the negative input of amplifier 430. The output of amplifier 430 is connected to the resistor 433 to drive the emitters 413 and 418 of the lamp steering transistor. move. In this way, a negative feedback loop ensures that the light beam intensity is It is maintained at a level determined by control voltage VL.

第8図は、位相感知検出器として用いられる技術的に公知の回路を示す。増幅器 825と880はNatj、onalLF347形が例えば用いられる。スイッ チング回路849は、tlarrisH1−307形が例えば用いられる。FIG. 8 shows a circuit known in the art for use as a phase sensitive detector. amplifier For example, Natj, onal LF347 types are used for 825 and 880. Swish As the switching circuit 849, for example, a Tlarris H1-307 type is used.

第8図に示したように、入力Bはフリップフロップ405から所定周波数のクロ ック信号foを受け、入力Bはクチ855と870は開き、スイッチ86oと8 65は第8図に示したように閉成される。後半の間は、スイッチ855と870 は閉成し、更にスイッチ860と865が閉成する。説明上5第4図の光検出器 55から得られた信号1例えば所定周波数の正弦波が入力Aに印加され、その正 の半サイクルは、信号foが「高」のときに生じると仮定する9正の入力信号は 単位利得増幅器825で反転され、抵抗器830とスイッチ865を通り、増幅 器880の負入力に印加される。増幅器880は、これに印加さ」tた信号を再 反転し、従ってCにおける出力信号は正になる。所定のクロック周波数の後半サ イクルでは、増幅器825は正弦波の負の半サイクルを反転し、その出力を開成 スイッチ855を介して接地する。しかしながら、正弦波の負の半サイクルは、 開成スイッチ870を介して増幅器880の負入力に加えられる。Cで得られた 出力は正弦波の正の半サイクルである。従って、第8図の回路は位相感知余波整 流器として動作し、その出力は濾波さ、れてAの信号のrms値に対応する直流 信号を与える。位相感知検出器は帯域幅が比較的狭いので、低周波妨害と高周波 ノイズは除去される。第4図の回路では1位相感知検出器の出力は光検出器55 に入射する光ビームの囚および芙位置に対応する直流信号である。As shown in FIG. 8, input B is a clock signal of a predetermined frequency from flip-flop 405. Input B receives switch 855 and 870 and opens switches 86o and 8. 65 is closed as shown in FIG. During the second half, switch 855 and 870 is closed, and switches 860 and 865 are also closed. Explanation 5 Photodetector in Figure 4 A signal 1 obtained from 55, for example, a sine wave of a predetermined frequency, is applied to input A, and its positive Assuming that the half-cycle of 9 occurs when the signal fo is "high", the positive input signal is It is inverted by a unity gain amplifier 825, passes through a resistor 830 and a switch 865, and is amplified. is applied to the negative input of device 880. Amplifier 880 regenerates the signal applied to it. is inverted, so the output signal at C is positive. Second half of a given clock frequency During the cycle, amplifier 825 inverts the negative half cycle of the sine wave and opens its output. Grounded via switch 855. However, the negative half cycle of the sine wave is It is applied to the negative input of amplifier 880 via open switch 870. obtained with C The output is the positive half cycle of a sine wave. Therefore, the circuit of Figure 8 is a phase sensitive aftereffect filter. The output is filtered to provide a direct current corresponding to the rms value of the signal at A. give a signal. Phase-sensitive detectors have a relatively narrow bandwidth, so they can easily detect both low-frequency interference and high-frequency interference. Noise is removed. In the circuit of FIG. These are DC signals corresponding to the positions of the center and the corner of the light beam incident on the light beam.

増幅器435からの信号X1は位相感知検出器450で直流信号に変換され、こ の直流信号は検出器55の回軸上の光ビームの位置を表わす。電圧源407から の電圧v1は技術的1こ公知のように調節されて増幅器455に心出しバイアス を与え、これにより増幅器の出力信号ΔXは、検出器55の中心点からその基軸 に沿う光ビームのずれに対応するように与えられる。同様にして、増幅器440 からの信号Y1は位相検出器460で直流信号に変換される6信号Y1は検出器 55の1軸上の光ビームの位置を表わす。電圧源407からの電圧v2は技術的 に公知の方法で調節されて増幅器465に心出しバイアスを与える。従って、増 幅器465の出力信号、即ち信号ΔYは光検出器の中心点からの、その1軸に沿 う光ビームのずれに対応する。リンク部材50の変形に関する正確な情報を与え る信号ΔXとΔYは制御装置90に印加される。このようにして、リンク部材3 0と50は比較的軽い材料からなり、関節継手に対する負荷は製品処理能力或い は精度に影響を与えずしこかなり低減される。Signal X1 from amplifier 435 is converted to a DC signal by phase sensitive detector 450, which The DC signal represents the position of the light beam on the rotational axis of the detector 55. From voltage source 407 The voltage v1 is adjusted as known in the art to provide a centering bias to amplifier 455. As a result, the output signal ΔX of the amplifier is shifted from the center point of the detector 55 to its fundamental axis. is given to correspond to the deviation of the light beam along. Similarly, amplifier 440 The signal Y1 is converted into a DC signal by the phase detector 460. 55 represents the position of the light beam on one axis. Voltage v2 from voltage source 407 is technically is adjusted in a known manner to provide a centering bias to amplifier 465. Therefore, the increase The output signal of the width transducer 465, that is, the signal ΔY is generated along one axis from the center point of the photodetector. This corresponds to the deviation of the light beam. Provide accurate information regarding the deformation of the link member 50 The signals ΔX and ΔY are applied to the control device 90. In this way, the link member 3 0 and 50 are made of relatively light materials, and the load on the joints depends on the product processing capacity or is significantly reduced without affecting accuracy.

第4図の検出器55は陽極抵抗層480と陰極抵抗層486から構成される。増 幅器455と465の出力に生じる光源425からのビームに応じて発生される 光電流は抵抗層の均一性に依存している。抵抗層が不均一の場合はビーム位置出 力信号ΔXとΔYの精度を制限する。Detector 55 in FIG. 4 is composed of an anode resistance layer 480 and a cathode resistance layer 486. increase generated in response to the beam from light source 425 occurring at the outputs of width transducers 455 and 465. The photocurrent depends on the uniformity of the resistive layer. If the resistive layer is uneven, the beam position Limits the accuracy of force signals ΔX and ΔY.

第5図に示した検出器構成からはより高い精度が得られるが、この場合は、39 組の高導電率平行ストリップ505−1〜505−7が光検出器535の陽極面 に配置され、また直交する組の高導電率平行ストリップ507−1〜507−1 が検出器の陰極面に配置される。外部抵抗器510−1〜510−6が陽極スト リップを相互接続するために用いられ、また抵抗器520−1〜520−6は陰 極ストリップを相互接続する。幅がσのガウス形ビ“−ムは、ピッチ1.4σの ものが位置出力信号の直線性を保証するのに十分である。Higher accuracy is obtained from the detector configuration shown in FIG. A set of high conductivity parallel strips 505-1 to 505-7 are arranged on the anode surface of the photodetector 535. and orthogonal sets of high conductivity parallel strips 507-1 to 507-1. is placed on the cathode side of the detector. External resistors 510-1 to 510-6 are anode strips. resistors 520-1 through 520-6 are used to interconnect the Interconnect the pole strips. A Gaussian beam with width σ has a pitch of 1.4σ. is sufficient to guarantee the linearity of the position output signal.

第6図は他のリンクアーム光ビーム構成を示し、ここでは、1対の光ビームが、 他方の端部に対して一方のリンク端部の方向が決定されるように用いられている 。これ等の光ビームは各々に対して25%衝撃係数で交互にオンにされ、また各 ビームが光検出器に入射する点が個別に検出されるので、検出器装置からの信号 は光源端部に対して空間的に検出器端部の方向を示す。1つ以上の光ビーム源が リングに沿う中間位置に配置され、高次モードのリンク運動を検出する。FIG. 6 shows another link arm light beam configuration, where a pair of light beams are used to determine the orientation of one link end relative to the other end . These light beams are turned on alternately with a 25% impact factor for each; The point where the beam is incident on the photodetector is detected individually, so that the signal from the detector device indicates the direction of the detector end spatially with respect to the source end. one or more light beam sources It is placed at an intermediate position along the ring to detect higher-order modes of link motion.

第6図に示したように、タイミング信号発生器640は半導体スイッチ610の ドライバ612に信号f1を与え、また半導体スイッチ615のドライバ617 に信号f2を与える。第7図の波形703と705により信号f1とf2が示さ れる。信号f1に応じて、スイッチ要素613が閉成され、またスイッチ要素6 14が開放される。制御された大きさを持つ電流が強度制御増幅器622からL ED601に供給され、所定の強度の光ビームがレンズ642と644を通して LED601から光検出器650に与えられる。信号f2がオンの間に。As shown in FIG. 6, timing signal generator 640 is connected to semiconductor switch 610. The driver 612 is given the signal f1, and the driver 617 of the semiconductor switch 615 is A signal f2 is given to. Signals f1 and f2 are shown by waveforms 703 and 705 in FIG. It will be done. In response to signal f1, switch element 613 is closed and switch element 6 14 is opened. A current with a controlled magnitude flows from the intensity control amplifier 622 to L. A light beam of a predetermined intensity is supplied to the ED 601 and passes through lenses 642 and 644. The light is applied from the LED 601 to the photodetector 650. while signal f2 is on.

LED605が使用可能にされ、また電流が強度制御増幅器620によりスイッ チ要素618を介して供給され、これによりLED605からの制御された強度 の光ビームがレンズ642と644を通して光検出器650に与えられる。この 光ビーム強度は電圧源646からの電圧VDにより決定される。増幅器620を 有するフィードバック装置がLED605からの光ビーム強度を一定レベルに維 持する。同様に、増幅器622を有するフィードバック装置はLED601から の光ビーム強度を所定のレベルに維持する。LED 605 is enabled and current is switched by intensity control amplifier 620. 618, thereby controlling the controlled intensity from the LED 605. is provided to a photodetector 650 through lenses 642 and 644. this The light beam intensity is determined by voltage VD from voltage source 646. amplifier 620 A feedback device includes a feedback device that maintains the light beam intensity from the LED 605 at a constant level. hold Similarly, the feedback device with amplifier 622 is maintain the light beam intensity at a predetermined level.

バイアス電圧+VBが光検出器650の丁部エツジに印加され、一方、バイアス 電圧−VBが抵抗器658を介して光検出器650の左側エツジに印加される。Bias voltage +VB is applied to the edge of photodetector 650, while bias voltage +VB is applied to the edge of photodetector 650; A voltage -VB is applied to the left edge of photodetector 650 through resistor 658.

各光源の光レベルはサーボ機構で安定化されているので、光検出器650は、そ の水平或いは基軸に沿う入射光ビームの位置に比例する信号をその左側エツジに 与え、またその垂直方向の或いは−Y−軸に沿った入射光ビームの位置に比例し た、その゛上部エツジにおける信号が与えられる。Since the light level of each light source is stabilized by a servomechanism, the photodetector 650 A signal proportional to the position of the incident light beam along the horizontal or cardinal axis of the left edge of given and also proportional to the position of the incident light beam along its vertical or -Y-axis. Additionally, a signal at its upper edge is provided.

第7図のtlと1,2の間では、信号fl(波形703)は高位にある。LED 601はオンであり、またこのLEDからの光ビームは検出器650に入射する 。光ビーに現われる。Between tl and 1 and 2 in FIG. 7, the signal fl (waveform 703) is at a high level. LED 601 is on and the light beam from this LED is incident on the detector 650. . Appears on the beam of light.

リード654からの回軸位置信号が増幅器660を介して位相感知検出器662 に印加され、またクロックパルスfOに応じてそれを通過する4時間t1とt3 の間ではタイミング信号f3(波形707)は高いレベルにあり、したがって半 導体スイッチ665のスイッチ要素669が閉成され、スイッチ要素668が開 放になる。The pivot position signal from lead 654 is passed through amplifier 660 to phase sensitive detector 662. 4 times t1 and t3 applied to and passing through it according to the clock pulse fO The timing signal f3 (waveform 707) is at a high level between Switch element 669 of conductor switch 665 is closed and switch element 668 is opened. Become free.

LED601からのビームの人位置に起因する位相が検出された信号が、フィー ドバック要素671と673を持つ増幅器670により形成されたフィルタに供 給される。従ってLED601からの光ビームの又軸位置に対応する信号X1が 増幅器670の出力に現われる。A signal in which the phase of the beam from the LED 601 due to the person's position is detected is A filter formed by amplifier 670 with backing elements 671 and 673 is provided. be provided. Therefore, the signal X1 corresponding to the axial position of the light beam from the LED 601 is Appears at the output of amplifier 670.

時間t1〜t3の間に検出器650の右側エツジに接続されたり−ド652に生 じた信号は左側エツジには送られないLED601からの光ビームの一部を表わ す。Connected to the right edge of detector 650 or generated at node 652 between times t1 and t3. The similar signal represents the portion of the light beam from LED 601 that is not sent to the left edge. vinegar.

この信号は回路688により増幅され、増幅器660の出力を加えられ1位相感 知検出器690と半導体スイッチ692を通して増幅器694に与えられる。増 幅器694からの信号R1はLED601がらの光ビームの強度に対応する。増 幅器694の出力は強度制御増幅器622にフィードバックされて電圧VDによ りセットされたように光ビーム強度を維持する。この光ビーム強度は一定のまま なので、X1信号は入射光ビームのX軸位置を与え、またY1信号は601がら の入射光ビームのX軸位置を与える。This signal is amplified by circuit 688, and the output of amplifier 660 is added to provide a single phase sensitivity. The signal is applied to an amplifier 694 through a detection detector 690 and a semiconductor switch 692. increase Signal R1 from width scaler 694 corresponds to the intensity of the light beam from LED 601. increase The output of the width amplifier 694 is fed back to the intensity control amplifier 622 and is adjusted by the voltage VD. maintain the light beam intensity as set. This light beam intensity remains constant Therefore, the X1 signal gives the X-axis position of the incident light beam, and the Y1 signal gives the 601 gives the X-axis position of the incident light beam.

第7図の時間t1とt3の間では、信号f3は高い。Between times t1 and t3 in FIG. 7, signal f3 is high.

従って、位相感知検出器676の出力は、閉成スイッチ682を介してフィルタ 回路684の入力に接続され。Therefore, the output of phase sensitive detector 676 is filtered via closure switch 682. Connected to the input of circuit 684.

その出力Y1はLED601に起因する光ビームスポットのヱ位置を与える。Its output Y1 gives the position of the light beam spot due to LED 601.

時間t3とt4の間では、LED活性化信号f2(波形705)はオンであり、 信号fl(波形703)はオフとなる。LED605は半導体スイッチ615を 通して付勢され、それからの光ビームは光検出器650に向けられる。信号f3 (波形7o7)は低く、従ってり一部654の左側エツジ信号は位相感知検出器 662、半導体スイッチ要素668、および増幅器672を通過する。増幅器6 72の出力、即ち信号X2はLED605からの光ビームのX軸位置を表わす。Between times t3 and t4, the LED activation signal f2 (waveform 705) is on; Signal fl (waveform 703) is turned off. LED 605 connects semiconductor switch 615 and the light beam therefrom is directed to a photodetector 650. signal f3 (waveform 7o7) is low, so the left edge signal of part 654 is a phase sensitive detector. 662 , a semiconductor switch element 668 , and an amplifier 672 . amplifier 6 The output of 72, signal X2, represents the X-axis position of the light beam from LED 605.

時間t3とt5の間の光検出器690からの右側エツジ信号は位相感知検出器6 90、スイッチ要素691、増幅器696を通過する。増幅器696からの信号 R2はLED605からの光ビーム強度を保持するために用いられる。The right edge signal from photodetector 690 between times t3 and t5 is detected by phase sensitive detector 6. 90, a switch element 691, and an amplifier 696. Signal from amplifier 696 R2 is used to maintain the light beam intensity from LED 605.

時間t3とt5の間では、信号f3はオフであり、これにより、リード656に 生じた光検出器650からの上部エツジ信号は位相感知検出器676、スイッチ 要素681、および増幅器686を通過する。従って、増幅器686のY2出力 はLED60’5からの光ビームのX軸位置を表わす。第6図の回路動作は第7 図のタイミング制御信号に応じて反復され、従って、LED601と605から の交互の光ビームの位置に対応する信号X1゜Yl、、X2およびY2はロボッ ト構造の制御装置に供給される。これ等のビーム位置信号はリンクアーム端部の 相対的方向を示し1曲げおよび捩り変形によるリンクアームの変形を反映する。Between times t3 and t5, signal f3 is off, causing lead 656 to The resulting top edge signal from photodetector 650 is sent to phase sensitive detector 676, switch element 681, and amplifier 686. Therefore, the Y2 output of amplifier 686 represents the X-axis position of the light beam from LED 60'5. The circuit operation in Figure 6 is as follows. Iterated according to the timing control signals in the figure, thus from LEDs 601 and 605. The signals X1°Yl, , X2 and Y2 corresponding to the positions of the alternating light beams are is supplied to the control device of the gate structure. These beam position signals are at the end of the link arm. 1 indicates the relative direction and reflects the deformation of the link arm due to bending and torsional deformation.

本発明はその特定の実施例に基づいて図示、説明された。ここに開示した実施例 は本発明の単なる例示に過ぎず、本発明の精神と範囲を逸脱せずに当業者が各種 の変形、変更を加えてよいことが理解される。例えば、光ビーム源や光ビーム位 置検出器の位置は、光源がリンクの第2端部にあり、一方、検出器が第1リンク 端部にあるように逆にすることができる。光源は端部に位置づけられる必要はな く、リンクに層成る中間点に配置し、検出器は端部以外のリンクに沿う更に都合 のよい位置に配置してもよい。或いは、光源と検出器はリンクに沿う同一点に配 置してもよく、また反射鏡をリンクの一端部に配置して光ビームを反射させても よい。The invention has been illustrated and described in terms of specific embodiments thereof. Examples disclosed herein is merely an illustration of the present invention, and those skilled in the art can make various modifications without departing from the spirit and scope of the present invention. It is understood that modifications and changes may be made. For example, a light beam source or a light beam position. The position of the detector is such that the light source is at the second end of the link, while the detector is at the first link. It can be reversed as shown at the end. The light source does not need to be located at the edge. The detector is placed at a midpoint between the layers of the link, and the detector is placed at a more convenient point along the link other than at the end. It may be placed in a suitable position. Alternatively, the source and detector can be placed at the same point along the link. or a reflector may be placed at one end of the link to reflect the light beam. good.

手続ネ市正−書(方式) 昭和61年10月2日Procedural City Official Letter (Method) October 2, 1986

Claims (20)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.製品処理構造であって、第1および第2端部を有するリンクアームからなり 、 前記第1端部に対する前記第2端部の方向を決定する手段を備え、 該方向決定手段は リンクアームの第1端部に装着され、少なくとも1つの光ビームを前記第2端部 に向ける光ビーム源と、前記第2端部に装着され、前記光ビームに応じて前記光 ビーム源に対する第2端部の方向を表わす少なくとも1つの信号を発生する光ビ ーム検知器とを備えてなる製品処理構造。1. a product handling structure comprising a link arm having a first and a second end; , means for determining the orientation of the second end relative to the first end; The direction determining means is attached to a first end of a link arm and directs at least one light beam to said second end; a light beam source mounted on the second end and configured to direct the light beam at the second end; an optical beam generating at least one signal representative of the direction of the second end with respect to the beam source; A product processing structure comprising a system detector and a system detector. 2.方向表示信号に応じて前記第2端部の方向を変える制御手段を備えたことを 特徴とする請求の範囲第1項に記載の製品処理構造。2. further comprising a control means for changing the direction of the second end in response to a direction indicating signal. A product processing structure according to claim 1, characterized in that: 3.前記光ビーム源はリンクアームに沿う複数本の光ビームを第2端部に向ける 手段から成り、且つ、前記光ビーム検出手段は、各光ビームに応じて、該光ビー ムが第2端部に入射する位置を表わす信号を発生する手段からなることを特徴と する請求の範囲第1項に記載の製品処理構造。3. The light beam source directs a plurality of light beams along the link arm toward the second end. and the light beam detection means detects the light beam in response to each light beam. characterized by comprising means for generating a signal representing the position where the beam is incident on the second end. A product processing structure according to claim 1. 4.前記光ビーム源は更に、一時にリンクアームに沿う複数本の光ビームの1本 を第2端部に向ける手段から成り、 前記光ビーム検出手段は更に、各有向光ビームに応じて、該有向光ビームが第2 端部に入射する位置を表わす信号を発生する手段からなることを特徴とする請求 の範囲第3項に記載の製品処理構造。4. The light beam source further includes one of a plurality of light beams along the link arm at a time. and means for directing the The light beam detection means further includes, in response to each directed light beam, whether the directed light beam is a second A claim comprising means for generating a signal representing the position of incidence on the end. The product processing structure described in Scope No. 3. 5.複数本の光ビームを方向づける前記手段はリンクアームに沿う一対の光ビー ムと第2端部に向ける手段からなることを特徴とする請求の範囲第4項に記載の 製品処理構造。5. The means for directing a plurality of light beams includes a pair of light beams along a link arm. 4. The method according to claim 4, characterized in that Product processing structure. 6.第2リンク端部の前記光ビーム検出器は感光材料のシートと、 該感光性シートに入射する光ビームに応じて第1所定軸に沿う光ビームの入射位 置を表わす第1信号を発生する手段と、 前記感光性シートに入射した光源からの光ビームに応じて第2所定軸に沿う入射 位置を表わす第2信号を発生する手段とを特徴とする請求の範囲第1項に記載の 製品処理構造。6. the light beam detector at the end of the second link comprises a sheet of photosensitive material; an incident position of the light beam along the first predetermined axis according to the light beam incident on the photosensitive sheet; means for generating a first signal indicative of the position; incidence along a second predetermined axis according to a light beam from a light source incident on the photosensitive sheet; and means for generating a second signal representative of the position. Product processing structure. 7.前記第1および第2信号発生手段は、入射光ビームの中心軌跡(centr oid)位置を表わす信号を発生する手段からなることを特徴とする請求の範囲 第6項に記載の製品処理構造。7. The first and second signal generating means are configured to generate a center locus (center) of the incident light beam. oid) means for generating a signal representative of the position. Product processing structure as described in Section 6. 8.前記感光性シートは、第1軸線にほぼ平行する一組の隔置された感光性スト リップと第2軸線にほぼ平行する一組の隔置された感光性ストリップとからなる ことを特徴とする請求の範囲第7項に記載の製品処理構造。8. The photosensitive sheet includes a set of spaced apart photosensitive strips substantially parallel to a first axis. a lip and a set of spaced apart photosensitive strips substantially parallel to a second axis. The product processing structure according to claim 7, characterized in that: 9.前記リンクアームが中空リンク要素からなることを特徴とし 前記光ビーム源が中空リンク要素の内部に沿って光ビームを方向づけるようにさ れたことを特徴とし、更に、前記光ビーム検出器が中空リンク要素内で光ビーム の位置を検出するようにされたことを特徴とする請求の範囲第7項に記載の製品 処理構造。9. characterized in that the link arm consists of a hollow link element; the light beam source directing a light beam along the interior of the hollow link element; further characterized in that the light beam detector detects a light beam within the hollow link element. The product according to claim 7, characterized in that the product is adapted to detect the position of Processing structure. 10.前記リンクアームが入子式に複数個の要素からなることを特徴とする先行 する請求の範囲第1項から第9項のいずれかに記載の製品処理構造。10. Predecessor characterized in that the link arm consists of a plurality of elements in a telescoping manner A product processing structure according to any one of claims 1 to 9. 11.ロボット式構造であって、 第1および第2端部を有するリンクアームと、該第1および第2端部の相対位置 を決定する手段とからなり、 該相対位置決定手段は リンクアームの第1端部に装着されて、第2端部がその無負荷状態にあるとき該 第2端部の所定位置に少なくとも1本の光ビームを方向づける電磁ビーム源と、 第2端部に装着されて、前記電磁ビームに応じて第2端部のその無負荷状態から のずれを表わす信号を発生するようにされた電磁ビーム検出器と、更に前記ずれ を表わす信号に応じ、リンクアームを再位置づけしてリンクアーム負荷を補償す る制御手段とからなるロボット式構造。11. A robotic structure, a link arm having first and second ends and relative positions of the first and second ends; and a means for determining the The relative position determining means is attached to the first end of the link arm so that the second end is in its unloaded state; an electromagnetic beam source directing at least one light beam to a predetermined location at the second end; attached to the second end and responsive to the electromagnetic beam from its unloaded state of the second end; an electromagnetic beam detector adapted to generate a signal indicative of the deviation; The link arm is repositioned to compensate for the link arm load in response to a signal representing the A robotic structure consisting of control means. 12.前記電磁ビームは光ビームであり、且つ前記電磁ビーム源は光ビーム源で あることを特徴とする請求の範囲第11項に記載のロボット式構造。12. The electromagnetic beam is a light beam, and the electromagnetic beam source is a light beam source. 12. Robotic structure according to claim 11, characterized in that: 13.前記第2リンク端部の前記光ビーム検出器は、感光性材料のシートと、 該感光性シートに入射する光ビームに応じて第1所定軸に沿う光ビームの入射位 置を表わす第1信号を発生する手段と、更に 前記感光性シートに入射した光源からの光ビームに応答して第2所定軸に沿う入 射位置を表わす第2信号を発生する手段とからなることを特徴とする請求の範囲 第12項に記載のロボット式構造。13. the light beam detector at the second link end comprises a sheet of photosensitive material; an incident position of the light beam along the first predetermined axis according to the light beam incident on the photosensitive sheet; means for generating a first signal indicative of the position; incident along a second predetermined axis in response to a light beam from a light source incident on the photosensitive sheet; and means for generating a second signal representing the firing position. Robotic structure according to paragraph 12. 14.前記第1および第2信号発生手段は、入射光ビームの中心軌跡位置を表わ す信号を発生する手段からなることを特徴とする請求の範囲第13項に記載のロ ボット式構造。14. The first and second signal generating means represent the center trajectory position of the incident light beam. 14. The device according to claim 13, comprising means for generating a signal. Bot type structure. 15.前記感光性シートは前記第1軸線にほぼ平行する一組の隔置された感光性 ストリップと、前記第2軸線にほぼ平行する一組の隔置された感光性ストリップ とからなることを特徴とする請求の範囲第14項に記載のロボット式構造。15. The photosensitive sheet includes a set of spaced apart photosensitive sheets substantially parallel to the first axis. a set of spaced apart photosensitive strips substantially parallel to the second axis; 15. The robotic structure according to claim 14, comprising: 16.前記リンクアームは中空リンク要素から成り、前記光ビーム源は前記中空 リンク要素の内部に沿って光ビームを方向づけるようにされ、更に前記光ビーム 検出器は前記中空リンク要素の内部の光ビーム位置を検出するようにされたこと を特徴とする請求の範囲第12項に記載のロボット式構造。16. The link arm consists of a hollow link element, and the light beam source is connected to the hollow link element. adapted to direct a light beam along an interior of the link element; a detector is adapted to detect a light beam position within said hollow link element; 13. Robotic structure according to claim 12, characterized in that: 17.前記リンクアームは入子式に複数個の要素からなることを特徴とする請求 の範囲第11項から第16項のいずれかに記載のロボット式構造。17. Claim characterized in that the link arm consists of a plurality of elements in a telescoping manner. The robotic structure according to any one of items 11 to 16. 18.ロボット式構造であって、 第1および第2端部を有するリンク要素と、該第1端部に対し第2端部の方向を 決定する手段と、前記リンク要素に沿って装着され、前記有向エネルギービーム に応答して、前記有向エネルギービーム源に対して第2端部の方向を表わす信号 を発生する位置検出エネルギービーム検出器とから成るロボット式構造。18. A robotic structure, a link element having first and second ends; and an orientation of the second end relative to the first end. means for determining the directed energy beam mounted along the link element; a signal representative of the direction of the second end with respect to the directed energy beam source in response to A robotic structure consisting of a position-sensing energy beam detector and a position-sensing energy beam detector. 19.前記有向エネルギービームは電磁エネルギービームであり、且つ前記有向 エネルギービーム源は電磁エネルギービーム源であることを特徴とする請求の範 囲第1項に記載のロボット式構造。19. The directed energy beam is an electromagnetic energy beam, and the directed energy beam is an electromagnetic energy beam. Claims characterized in that the energy beam source is an electromagnetic energy beam source. Robotic structure according to paragraph 1. 20.前記電磁ビームは光ビームであり、且つ前記電磁ビーム源は光ビーム源で あることを特徴とする請求の範囲第19項に記載のロボット式構造。20. The electromagnetic beam is a light beam, and the electromagnetic beam source is a light beam source. 20. Robotic structure according to claim 19, characterized in that:
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