JPS6144558U - 誘導結合プラズマ発生装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ発生装置Info
- Publication number
- JPS6144558U JPS6144558U JP13034484U JP13034484U JPS6144558U JP S6144558 U JPS6144558 U JP S6144558U JP 13034484 U JP13034484 U JP 13034484U JP 13034484 U JP13034484 U JP 13034484U JP S6144558 U JPS6144558 U JP S6144558U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inductively coupled
- coupled plasma
- plasma generator
- tip
- work coil
- Prior art date
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- Granted
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を示す構成図である。
１・・・プラズマトーチ、２・・・トーチの先端、３・
・・ワークコイル、４・・・高周波電源、５・・・ガス
供給装置、１１・・・誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）。
・・ワークコイル、４・・・高周波電源、５・・・ガス
供給装置、１１・・・誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）。
Claims (1)
- 石英管の先端外周に巻回したワークコイルに高周波電源
から高周波電圧が印加されるプラズマトーチを具備する
誘導結合プラズマ発生装置において、前記石英管の先端
側に最も近く位置するワークコイルを接地側に接続する
と共に、前記先端から最も遠く位置するワークコイルを
高電位側に接続したことを特徴とする誘導結合プラズマ
発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13034484U JPS6144558U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 誘導結合プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13034484U JPS6144558U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 誘導結合プラズマ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144558U true JPS6144558U (ja) | 1986-03-24 |
| JPH0220678Y2 JPH0220678Y2 (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=30688956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13034484U Granted JPS6144558U (ja) | 1984-08-28 | 1984-08-28 | 誘導結合プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144558U (ja) |
-
1984
- 1984-08-28 JP JP13034484U patent/JPS6144558U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0220678Y2 (ja) | 1990-06-05 |
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