JPS613443U - 試料台装置 - Google Patents
試料台装置Info
- Publication number
- JPS613443U JPS613443U JP8871384U JP8871384U JPS613443U JP S613443 U JPS613443 U JP S613443U JP 8871384 U JP8871384 U JP 8871384U JP 8871384 U JP8871384 U JP 8871384U JP S613443 U JPS613443 U JP S613443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- stage device
- sample stage
- driving means
- vacuum system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図は第１図
の電極台１６の斜視図、第３図は本考案の他の実施例の
ブロック図である。 １・・・試料台装置、２・・・試料截置部、３・・・本
体、４，５・・・第１、第２サーボモータ。
の電極台１６の斜視図、第３図は本考案の他の実施例の
ブロック図である。 １・・・試料台装置、２・・・試料截置部、３・・・本
体、４，５・・・第１、第２サーボモータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ｛１｝真空系内で分析をする試料を載置して該試料を真
空系内で変位移動させるための試料台装置であって、前
記試料が載置される試料載置部と、駆動手段を内蔵した
本体とを備え、前記駆動手段は、真空系外から与えられ
る制御信号に応答して本体を移動させるとともに試料載
置部を変位ざせることを特徴とする試料台鰺置。 （２）前記駆動手段は、サーボモータである前記実用新
案登録請求の範囲第１項記載の試料台装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8871384U JPS613443U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 試料台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8871384U JPS613443U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 試料台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613443U true JPS613443U (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=30642113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8871384U Pending JPS613443U (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 試料台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613443U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267409A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-11-04 | ザルトリウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 流体内容物を分離するための集成フイルターおよびフイルターケーシング |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP8871384U patent/JPS613443U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63267409A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-11-04 | ザルトリウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 流体内容物を分離するための集成フイルターおよびフイルターケーシング |
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