JPS6132211A - Thin-film magnetic head assembly - Google Patents

Thin-film magnetic head assembly

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Publication number
JPS6132211A
JPS6132211A JP15139484A JP15139484A JPS6132211A JP S6132211 A JPS6132211 A JP S6132211A JP 15139484 A JP15139484 A JP 15139484A JP 15139484 A JP15139484 A JP 15139484A JP S6132211 A JPS6132211 A JP S6132211A
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JP
Japan
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magnetic head
wiring
thin film
film magnetic
layer pattern
Prior art date
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Application number
JP15139484A
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Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Nakamura
斉 中村
Kazuo Shiiki
椎木 一夫
Yoshihiro Shiroishi
芳博 城石
Yoshihiro Hamakawa
濱川 佳弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • GPHYSICS
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/313Disposition of layers

Abstract

PURPOSE:To improve the recording characteristics, durability, and reliability of a thin-film magnetic head by making the magnetic layer pattern formation source of a thin-film magnetic head chip into a faying surface for a floating slide. CONSTITUTION:A magnetic layer pattern 20 is formed on the surface of a substrate 2, an electrode for the connection of wiring 25 is formed by plating or vapor-deposited on the surface of a bonding pad 23 made of a nonmagnetic insulating material which is joined adjacently to the pattern, and external wiring 26 is connected to an outside surface except the surface where the wiring 25 is provided. A recessed part 28 larger than the space that the wiring 25 occupies is formed so as to protect the surface where the magnetic layer pattern 20 and wiring 25 surface of the slider which face said surface. An adhesive layer 24 is formed of, for example, thermosetting epoxy resin or low-melting-point glass between the surfaces to join them tightly and also protect and reinforce the wiring 25 surface where wire bonding is performed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッド組み立て体に
関し、更に詳しくは薄膜磁気ヘッドチップの磁性層パタ
ーン形成面と浮動用スライダの接合面とを絶縁材によっ
て接合した、特に垂直磁気記録再生において高性能を発
揮する薄膜磁気ヘッドの組み立て体の構造に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a thin film magnetic head assembly for magnetic recording and reproducing, and more particularly, it relates to a thin film magnetic head assembly for magnetic recording and reproducing. The present invention relates to the structure of a thin-film magnetic head assembly that is bonded using an insulating material and exhibits high performance, especially in perpendicular magnetic recording and reproduction.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

従来の、例えば特開昭55−87322で示されている
薄膜磁気ヘッド組み立て体の構造は、第5図に示すごと
く、基板1の表面に形成された磁性層パターン面10を
外側とし、基板1の背面11を浮動用スライダ(以下単
にスライダという)12と、樹脂または低融点ガラス等
で接着させる構造であり、基板1の磁性層パターン形成
面10を保護するために、シリカ(Sin2)またはア
ルミナ(八LOa)の保護膜13を形成したり、あるい
はガラス質の保護膜I3の接着などが行なわれていた。
The structure of a conventional thin film magnetic head assembly disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-87322, as shown in FIG. The back surface 11 of the substrate 1 is bonded to a floating slider (hereinafter simply referred to as slider) 12 using resin or low melting point glass. A protective film 13 of (8 LOa) was formed, or a glass protective film I3 was bonded.

このような保護膜13を形成しても、通常の面内磁気記
録再生用薄膜磁気ヘッドあるいは垂直磁気記録再生用薄
膜磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドとしての記録特性、
磁気ヘッドの耐久性ならびに信頼性の点からいって充分
であるとは言えず、しかも実用的には数十pの、厚さの
保護膜13とする必要があることから、その5jO2や
Af1203の保護膜の形成ならびに保護用ガラスの接
着に多くの時間と工数がかかるという問題点があった。
Even if such a protective film 13 is formed, the recording characteristics as a magnetic head,
From the viewpoint of durability and reliability of the magnetic head, it cannot be said that it is sufficient, and in practical terms it is necessary to make the protective film 13 several tens of micrometers thick. There is a problem in that it takes a lot of time and man-hours to form the protective film and bond the protective glass.

また、先に本発明者らが提案した垂直磁気記録再生用の
薄膜磁気ヘッド(特願昭57−179854)は、基板
上に厚さの薄い主磁極を形成し、その上部に非常に厚い
補助磁極を形成するという、従来型磁気ヘッドの主磁極
と補助磁極との相対的位置関係を逆転させたものであり
、このような構造にすることによって高性能な薄膜磁気
ヘッドが得られる。
In addition, the thin-film magnetic head for perpendicular magnetic recording and reproduction (Japanese Patent Application No. 57-179854) previously proposed by the present inventors has a thin main pole formed on a substrate, and a very thick auxiliary pole on top of the main pole. The relative positional relationship between the main magnetic pole and the auxiliary magnetic pole of the conventional magnetic head, which form the magnetic poles, is reversed, and by adopting such a structure, a high-performance thin-film magnetic head can be obtained.

しかし、厚さの薄い主磁極と非常に厚い補助磁極という
非対象な磁極を有する薄膜磁気ヘッドを用いて磁気記録
再生を行なう場合には、磁気ヘッドと磁気記録媒体との
走行方向によって磁気記録特性が異なり、磁気記録密度
を伸ばすためには、磁気ヘッドチップの磁性層パターン
形成面を、スライダ接合面と対向させる必要が生じた。
However, when performing magnetic recording and reproduction using a thin film magnetic head that has asymmetrical magnetic poles, such as a thin main pole and a very thick auxiliary pole, the magnetic recording characteristics depend on the running direction of the magnetic head and magnetic recording medium. However, in order to increase the magnetic recording density, it became necessary to make the magnetic layer pattern forming surface of the magnetic head chip face the slider bonding surface.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、従来の磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッ
ドの構造上の問題点を解消し、特に磁気記録特性ならび
に耐久性に優れ、信頼性が高く、かつ製作容易な垂直磁
気記録再生用の薄膜磁気ヘッド組み立て体を提供するに
ある。
The purpose of the present invention is to solve the structural problems of conventional thin film magnetic heads for magnetic recording and reproducing, and to provide a perpendicular magnetic recording and reproducing head that has excellent magnetic recording characteristics and durability, is highly reliable, and is easy to manufacture. To provide a thin film magnetic head assembly.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は、薄膜磁気ヘッドチップの磁性層パターン形成
面を浮動用スライダとの接合面とすることによって、薄
膜磁気ヘッドの記録特性および耐久性の改善ならびに信
頼性の向上をはかっ−たものであり、かつ薄膜磁気ヘッ
ド作製のプロセスを簡易化したものである。
The present invention aims to improve the recording characteristics, durability, and reliability of the thin-film magnetic head by using the magnetic layer pattern forming surface of the thin-film magnetic head chip as the bonding surface with the floating slider. , and simplifies the process of manufacturing a thin-film magnetic head.

本発明は、本発明の一例である薄膜磁気ヘッド組み立て
体の構造を第1図〜第4図に示すごとく、基板上に磁性
層パターンを形成し、該磁性層パターン形成面と外部配
線に接続する配線面とを有する、薄膜磁気□ヘッドチッ
プの磁性層パターン形成面の一部に、上記配線面を保護
するためのスペースである凹部を設けるか、または上記
の磁性層パターン形成面に対向して接合させる、浮動用
スライダ接合面の一部に、上記の凹部を設けて、磁性層
パターン形成面と浮動用スライダ接合面とを、樹脂また
は低融点ガラスなどで強固に接合しそ構成することを特
徴とする薄膜磁気ヘッド組み立て体であって、特に垂直
磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドとして好適である。
As shown in FIGS. 1 to 4, the structure of a thin film magnetic head assembly which is an example of the present invention is such that a magnetic layer pattern is formed on a substrate, and the surface on which the magnetic layer pattern is formed is connected to external wiring. A recess, which is a space for protecting the wiring surface, is provided in a part of the magnetic layer pattern formation surface of the thin film magnetic □ head chip, which has a wiring surface that is The above-mentioned recess is provided in a part of the joining surface of the floating slider to be joined, and the magnetic layer pattern forming surface and the joining surface of the floating slider are firmly joined with resin or low melting point glass. The thin film magnetic head assembly is characterized by being particularly suitable as a thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording and reproduction.

本発明による薄膜磁気ヘッドは、基板上に形成されてい
る磁性層パターン面が、浮動用スライダ接合面と樹脂や
低融点ガラスなどによって強固に接合され、また外部配
線に接続される配線面も、磁性層パターン形成面側また
はスライダ接合面側に、あらかじめ形成されている凹部
と接着剤である樹脂または低融点ガラスなどによって強
固に保護、補強されている。したがって、薄膜磁気ヘッ
ドとしての記録特性および耐久性の改善ならびに信頼性
の向上がはかられる。そして、あらかじめ配線面を保護
するための凹部を、磁性層パターン形成面側またはスラ
イダ接合面側に設けておき、あとは樹脂等で接着さえす
ればよいから、磁気ヘッドの製作は極めて簡単である。
In the thin film magnetic head according to the present invention, the magnetic layer pattern surface formed on the substrate is firmly bonded to the floating slider bonding surface with resin, low melting point glass, etc., and the wiring surface connected to external wiring is also The magnetic layer pattern forming surface side or the slider bonding surface side is strongly protected and reinforced by a pre-formed recess and an adhesive such as resin or low melting point glass. Therefore, it is possible to improve the recording characteristics and durability of the thin film magnetic head, as well as to improve its reliability. Manufacturing the magnetic head is extremely simple, as all that is required is to provide a recess to protect the wiring surface on the magnetic layer pattern forming surface or the slider bonding surface in advance, and then glue it with resin, etc. .

そして本発明の薄膜磁気ヘッド組み立て体において、配
線面を保護するために形成される凹部の形状は、溝状あ
るいは切り欠き状であってもよく、配線面を充分に保護
し補強する形状であればどんな形状であってもよい。ま
た、凹部の深さhは配線部のスペースおよび磁気ヘッド
の浮上特性から考えて0.1〜0.7mの範囲であるこ
とが好ましく、凹部によって形成される磁性層パターン
面とスライダ接合面との間隔tは、配線スペースとして
0.3〜0.7m程度でよく、要するに配線面を十分に
保護できるスペースであればよく、特にその値を限定す
るものではない。そして、凹部は1個あるいは複数個に
分割されていてもよく、凹部の磁性層パターン形成面ま
たはスライダ接合面に対し横方向の幅Wは配線面の関係
から0.3uin以上が好ましく、その上限は磁気ヘッ
ドの幅一杯まで許される。
In the thin film magnetic head assembly of the present invention, the shape of the recess formed to protect the wiring surface may be a groove shape or a notch shape, or any shape that sufficiently protects and reinforces the wiring surface. It may be of any shape. Further, the depth h of the recess is preferably in the range of 0.1 to 0.7 m considering the space of the wiring section and the flying characteristics of the magnetic head, and the depth h of the recess is preferably in the range of 0.1 to 0.7 m. The interval t may be about 0.3 to 0.7 m as a wiring space, and in short, it may be a space that can sufficiently protect the wiring surface, and its value is not particularly limited. The recess may be divided into one or more parts, and the width W of the recess in the lateral direction with respect to the magnetic layer pattern forming surface or the slider bonding surface is preferably 0.3 uin or more in view of the wiring surface, and the upper limit thereof is allowed up to the full width of the magnetic head.

さらに本発明の薄膜磁気ヘッド組み立て体において、基
板の歪による磁極の軟磁気特性の劣化を防止するために
、磁性層パターンを形成する基板と、配線面を形成する
基板とは同一材質のものか、あるいは熱膨張係数の差が
極めて小さい材質を選ぶ必要がある。
Furthermore, in the thin film magnetic head assembly of the present invention, in order to prevent deterioration of the soft magnetic properties of the magnetic pole due to distortion of the substrate, the substrate on which the magnetic layer pattern is formed and the substrate on which the wiring surface is formed are made of the same material. Alternatively, it is necessary to select a material with an extremely small difference in coefficient of thermal expansion.

また本発明の薄膜磁気ヘッド組み立て体において、外部
配線との接続部を、配線面を形成する基板の背面に設け
る構造にすることもできる。
Further, in the thin film magnetic head assembly of the present invention, the connection portion with external wiring may be provided on the back surface of the substrate forming the wiring surface.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下に本発明の実施例について図面に基づいて説明する
。第1図は、本発明の一実施例である垂直磁気記録再生
用の薄膜磁気ヘッドの概略構造を示す縦断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings. FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view showing a schematic structure of a thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording and reproduction, which is an embodiment of the present invention.

図から明らかなごとく、基板2の表面に磁性層パターン
20が形成されており、それに隣接して非磁性絶縁材で
あるポンディングパッド23が接合されている。ポンデ
ィングパッド23の表面には、配線25の接続用電極と
して、例えばAu、 Ag、 Pd、またはそれらの合
金が、数−の厚さでメッキあるいは蒸着されている。そ
して、基板2の表面に形成されている磁性層パターン2
0の表面とポンディングパッド23の表面との配線(A
 u線、Au線など)25は、超音波ワイヤボンディン
グ法やはんだ付は法などによって行なわれる。
As is clear from the figure, a magnetic layer pattern 20 is formed on the surface of the substrate 2, and a bonding pad 23 made of a non-magnetic insulating material is bonded adjacent to it. The surface of the bonding pad 23 is plated or vapor-deposited with, for example, Au, Ag, Pd, or an alloy thereof to a thickness of several centimeters as an electrode for connecting the wiring 25. Then, a magnetic layer pattern 2 formed on the surface of the substrate 2
0 and the surface of the bonding pad 23 (A
(U wire, Au wire, etc.) 25 is performed by ultrasonic wire bonding method, soldering method, etc.

そして、ポンディングパッド23に配線25を施した面
以外の外側に位置する面には外部配線26が接続される
。そして、上記の基板2に磁性層パターン20を形成し
た面およびこれに隣接するポンディングパッド23に配
線25を形成した面と、それに対向するスライダ22の
磁性層パターン対向面27および上記ポンディングパッ
ド23の配線25面を保護するために、配線25の占め
る空間よりも大きい凹部28を形成した面との間は、例
えば熱硬化型エポキシ系樹脂(日立化成社製エピコート
樹脂、ニチバン社製アラルダイトなど)または低融点ガ
ラスなどによって接着層24を形成し強固に接合される
と共に、ワイヤボンディングを行なった配線25面の保
護、補強をも行なう。ここで、ポンディングパッドの配
線25と外部配線26との配線接続構造として、ポンデ
ィングパッド23の基板内を配線して、スライダ22の
凹部28と対向しているワイヤボンディング面以外の外
側の面、例えばポンディングパッド23の背面29で外
部配線26との接続を行ない配線面の保護、補強をはか
ることもできる。ここで留意すべきことは、磁性層、パ
ターン20形成面およびポンディングパッド23に形成
されている配線25面と=10− スライダ22との接合組み立て時において、配線25が
断線等の障害を受けないようにスライダ22側に設けた
凹部28とポンディングパッド23に設けた配線25面
との間隔tが少なくとも0.3nnとなるようにし、か
つポンディングパッド23の配線25面と対応する位置
に、スライダ22の凹部28を形成する必要があること
である。また凹部28の深さhは配線25との関係から
少なくとも0.1+nm必要であるが、深さhをあまり
大きくし過ぎると空気の流れが乱されるために、磁気ヘ
ッドの浮上特性が不安定になるので、0.7nwn以下
であることが好ましい。また凹部28の磁性層パターン
形成面またはスライダ接合面に対し横方向の幅Wである
が、配線25との関係から少なくとも0.3■必要であ
り、その上限は磁気ヘッドの幅W一杯としてもよい。本
実施例では凹部28の形状が1個の溝状のものについて
説明したが、切り欠き状であってもよく、特にその形状
を限定するものではない。また凹部28を複数個設けて
もよく、要はワイヤポンディングパッド23の配線25
面が充分に保護、補強されるスペースを持つ形状であれ
ばどんな形であってもよい。
External wiring 26 is connected to a surface located outside the bonding pad 23 other than the surface on which the wiring 25 is provided. Then, the surface on which the magnetic layer pattern 20 is formed on the substrate 2, the surface on which the wiring 25 is formed on the bonding pad 23 adjacent thereto, the magnetic layer pattern facing surface 27 of the slider 22 facing thereon, and the bonding pad In order to protect the wiring 25 surface of 23, a thermosetting epoxy resin (Epicoat resin manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., Araldite manufactured by Nichiban Co., Ltd., etc. ) or low-melting point glass to form a bonding layer 24 for strong bonding, and also to protect and reinforce the wiring 25 surface to which wire bonding has been performed. Here, as a wiring connection structure between the wiring 25 of the bonding pad and the external wiring 26, the wire is wired inside the substrate of the bonding pad 23, and the outer surface other than the wire bonding surface facing the recess 28 of the slider 22 is formed. For example, the back surface 29 of the bonding pad 23 can be connected to the external wiring 26 to protect and reinforce the wiring surface. What should be noted here is that the wiring 25 may be damaged by breakage or other problems during the assembly of the magnetic layer, the pattern 20 forming surface, and the wiring 25 surface formed on the bonding pad 23 and the =10-slider 22. The distance t between the concave portion 28 provided on the slider 22 side and the wiring 25 surface provided on the bonding pad 23 is at least 0.3 nn to prevent , it is necessary to form the recess 28 of the slider 22. Further, the depth h of the recess 28 needs to be at least 0.1+nm from the relationship with the wiring 25, but if the depth h is made too large, the air flow will be disturbed and the flying characteristics of the magnetic head will become unstable. Therefore, it is preferably 0.7 nwn or less. Also, the width W of the concave portion 28 in the lateral direction with respect to the magnetic layer pattern forming surface or the slider bonding surface is required to be at least 0.3 cm due to the relationship with the wiring 25, and the upper limit is even if the width W of the magnetic head is full. good. In this embodiment, the shape of the recess 28 is described as one groove, but it may be in the shape of a notch, and the shape is not particularly limited. Further, a plurality of recesses 28 may be provided, and in short, the wiring 28 of the wire bonding pad 23
It can be of any shape as long as it has enough space to protect and reinforce the surface.

次に、本発明の他の一実施例について図面に基づいて説
明する。第3図は磁性層パターン30形成面に配線35
保護、補強用の凹部38を形成した構造の薄膜磁気ヘッ
ドの縦断面図である。図から明らかなごとく、あらかじ
め切り欠き(凹部38)を入れた基板3の表面に磁性層
パターン30を形成し、電流を流すための配線35を、
切り欠きによって生じた空間(間隔t)を利用して接続
し、スライダ32と接着層34を介して強固に接合する
構造の薄膜磁気ヘッドである。また、第4図はスライダ
42側にあらかじめ切り欠き(凹部48)を入れておき
、配線45が接続されている磁性層パターン40形成面
を、接着層44を介してスライダ42と接合した薄膜磁
気ヘッド組み立て体である。
Next, another embodiment of the present invention will be described based on the drawings. FIG. 3 shows wiring 35 on the surface where the magnetic layer pattern 30 is formed.
FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of a thin film magnetic head having a structure in which a recessed portion 38 for protection and reinforcement is formed. As is clear from the figure, a magnetic layer pattern 30 is formed on the surface of the substrate 3 in which notches (recesses 38) have been made in advance, and wiring 35 for flowing current is formed on the surface of the substrate 3.
This thin-film magnetic head has a structure in which the connection is made using the space (distance t) created by the notch, and is firmly bonded to the slider 32 via the adhesive layer 34. FIG. 4 shows a thin film magnetic film in which a cutout (recess 48) is made in advance on the slider 42 side, and the surface on which the magnetic layer pattern 40 to which the wiring 45 is connected is bonded to the slider 42 via the adhesive layer 44. This is a head assembly.

以上実施例で述べたように、本発明の薄膜磁気ヘッド組
み立て体においては、基板面上に形成された磁性層パタ
ーンは、すべて基板とスライダ間で樹脂またはガラスな
どの接着層で強固に保護、補強されているので磁気記録
特性ならびに耐久力のすぐれた信頼性の高い薄膜磁気ヘ
ッドが得られる。そして、さらに基板面上に形成された
磁性層パターン面とポンディングパッド間の配線(例、
ワイヤボンディング、はんだ付は等)も基板とスライダ
間で樹脂などの接着層によって保護、補強されているた
め、薄膜磁気ヘッド組み立て体、全体として極めて信頼
性の高いものである。
As described in the embodiments above, in the thin film magnetic head assembly of the present invention, all the magnetic layer patterns formed on the substrate surface are firmly protected by an adhesive layer such as resin or glass between the substrate and the slider. Since it is reinforced, a highly reliable thin film magnetic head with excellent magnetic recording characteristics and durability can be obtained. Then, the wiring between the magnetic layer pattern surface formed on the substrate surface and the bonding pad (for example,
Wire bonding, soldering, etc.) are also protected and reinforced by an adhesive layer such as resin between the substrate and slider, so the thin film magnetic head assembly as a whole is extremely reliable.

本発明の薄膜磁気ヘッド組み立て体である第1図に示す
ような磁気ヘッドを製作する場合に、外部配線26との
接続用基板であるポンディングパッド23と薄膜磁性層
パターン20を形成した基板2との接着にあたって留意
すべきことは、たとえば、樹脂接着を行なう場合に、ポ
ンディングパッド23と薄膜磁気ヘッド基板2との熱膨
張係数が異なると、薄膜磁気ヘッド基板2に歪が入り、
磁極の軟磁気特性が劣化することになる。したがって、
ポンディングパッド23と薄膜磁気ヘッド基板2とは同
じ材質のものであることが好ましく、同一材質にできな
いときは、両者の熱膨張係数の差が小さな材料を選ぶこ
とが必要で、その差は100 X 10−’/℃以下で
あることが望ましい。
When manufacturing a magnetic head as shown in FIG. 1, which is a thin-film magnetic head assembly of the present invention, a substrate 2 on which a bonding pad 23 and a thin-film magnetic layer pattern 20 are formed, which is a substrate for connection with external wiring 26. What should be kept in mind when adhering to the thin film magnetic head substrate 2 is that, for example, when bonding with resin, if the thermal expansion coefficients of the bonding pad 23 and the thin film magnetic head substrate 2 are different, the thin film magnetic head substrate 2 will be strained.
The soft magnetic properties of the magnetic poles will deteriorate. therefore,
It is preferable that the bonding pad 23 and the thin film magnetic head substrate 2 are made of the same material. If they cannot be made of the same material, it is necessary to select a material with a small difference in coefficient of thermal expansion between the two, and the difference is 100%. It is desirable that the temperature is not more than X 10-'/°C.

本発明の薄膜磁気ヘッド組み立て体は、特に本発明者ら
が先に提案した垂直磁気記録再生用薄膜磁気ヘッド(特
願昭57−179854)のように、磁気記録媒体との
相対的走行方向によって磁気記録特性が大きく変わる磁
気ヘッドチップに応用すると効果的であって、本発明の
薄膜磁気ヘッド組み立て構造にすることによって、磁気
記録密度特性を大幅に向上させることができる。
In particular, the thin film magnetic head assembly of the present invention, as in the thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording/reproduction proposed earlier by the present inventors (Japanese Patent Application No. 57-179854), It is effective when applied to magnetic head chips whose magnetic recording characteristics vary greatly, and by using the thin-film magnetic head assembly structure of the present invention, the magnetic recording density characteristics can be greatly improved.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳細に説明したごとく、本発明による薄膜磁気ヘッ
ド組み立て体は、基板面上に形成した磁性層パターンが
、基板と浮動用スライダ間で樹脂などにより強固に保護
、補強されているため、従来の磁性層パターン面が外側
にあって、Sin、、AQ、03の保護膜や保護用ガラ
ス膜を用いた薄膜磁気ヘッドに比べて、特に磁気記録特
性に優れ、かつ磁性層パターンまたは保護膜の剥離によ
る磁気記録特性の劣化および耐久性の低下などの問題点
による不良発生率は、従来の数十%から5%以下に低減
させることができる。
As explained in detail above, the thin film magnetic head assembly according to the present invention has a magnetic layer pattern formed on the substrate surface that is strongly protected and reinforced with resin or the like between the substrate and the floating slider. The magnetic layer pattern surface is on the outside, and it has particularly excellent magnetic recording characteristics compared to thin film magnetic heads that use a Sin, AQ, 03 protective film or a protective glass film, and it is easy to peel off the magnetic layer pattern or protective film. The defect rate due to problems such as deterioration of magnetic recording characteristics and decrease in durability can be reduced from several tens of percent in the past to 5% or less.

また、製作上のプロセスの面では、従来のSiO2およ
びへ〇、203保護膜等の形成や保護用ガラス膜の接着
等の多くの時間や工数のかかる操作がなくなり、従来に
比較して約5〜50時間の製作時間の短縮が可能である
In addition, in terms of manufacturing processes, many time-consuming and man-hour-intensive operations such as forming conventional SiO2 and H203 protective films and adhering protective glass films are eliminated, and the process is approximately 5. Manufacturing time can be reduced by ~50 hours.

さらに、外部配線引出し用のポンディングパッドの形状
を任意に変更し、また大きくすることもできるので、は
んだ付けなどの配線接続操作が容易となり実用的効果は
極めて大きい。
Furthermore, since the shape of the bonding pad for drawing out external wiring can be arbitrarily changed and the size can be increased, wiring connection operations such as soldering are facilitated, and the practical effect is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例である薄膜磁気ヘッドの概略
構造を示す縦断面図、第2図は第1図のB−B線矢視図
、第3図および第4図は本発明の他の一実施例である薄
膜磁気ヘッドの概略構造を示す縦断面図、第5図は従来
の薄膜磁気ヘッドの概略構造を示す縦断面図である。 符号の説明 1.2.3.4・・・基板 10・・・磁性層パターン
11・・・基板背面     12・・・浮動用スライ
ダ13・・・保護膜      14・・・接着層20
・・・磁性層パターン  21・・・基板背面22・・
・浮動用スライダ  23・・・ポンディングパッド2
4・・・接着層      25・・・配線26・・・
外部配線 27・・・磁性層パターン対向面 28・・凹部
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing a schematic structure of a thin film magnetic head that is an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view taken along the line B-B in FIG. 1, and FIGS. 3 and 4 are views of the present invention. FIG. 5 is a vertical cross-sectional view showing the schematic structure of a thin-film magnetic head according to another embodiment. FIG. 5 is a vertical cross-sectional view showing the schematic structure of a conventional thin-film magnetic head. Explanation of symbols 1.2.3.4... Substrate 10... Magnetic layer pattern 11... Substrate back side 12... Floating slider 13... Protective film 14... Adhesive layer 20
...Magnetic layer pattern 21...Substrate back side 22...
・Floating slider 23...ponding pad 2
4... Adhesive layer 25... Wiring 26...
External wiring 27...Magnetic layer pattern opposing surface 28...Recessed part

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板上に磁性層パターンを形成し、該磁性層パタ
ーン形成面と、外部配線に接続する配線面とを有する、
薄膜磁気ヘッドチップの磁性層パターン形成面の一部に
、上記配線面を保護するための配線スペースである凹部
を設けるか、または上記薄膜磁気ヘッドチップの磁性層
パターン形成面に対向して接合させる、浮動用スライダ
接合面の一部に、上記配線面を保護するための配線スペ
ースである凹部を設けて、上記磁性層パターン形成面と
浮動用スライダ接合面とを絶縁材によって接合して薄膜
磁気ヘッドを構成することを特徴とする薄膜磁気ヘッド
組み立て体。
(1) forming a magnetic layer pattern on a substrate, having a surface on which the magnetic layer pattern is formed and a wiring surface connected to external wiring;
A recessed portion serving as a wiring space for protecting the wiring surface is provided in a part of the magnetic layer pattern forming surface of the thin film magnetic head chip, or the method is bonded to face the magnetic layer pattern forming surface of the thin film magnetic head chip. A recess is provided in a part of the floating slider bonding surface as a wiring space to protect the wiring surface, and the magnetic layer pattern forming surface and the floating slider bonding surface are bonded with an insulating material to form a thin film magnetic material. A thin film magnetic head assembly comprising a head.
(2)凹部によって形成される磁性層パターン形成面と
浮動用スライダ接合面との間隔が0.3mm以上である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の薄膜磁気
ヘッド組み立て体。
(2) The thin film magnetic head assembly according to claim 1, wherein the distance between the magnetic layer pattern forming surface formed by the recess and the floating slider bonding surface is 0.3 mm or more.
(3)基板上あるいはスライダ上にもうける配線スペー
スのための凹部の深さが0.1〜0.7mmであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項記載の
薄膜磁気ヘッド組み立て体。
(3) A thin film magnetic head according to claim 1 or 2, characterized in that the depth of the recess for wiring space provided on the substrate or slider is 0.1 to 0.7 mm. assembled body.
(4)凹部は1個以上複数個あって、一つの凹部の磁性
層パターン形成面または浮動用スライダ接合面に対し横
方向の幅が0.3mm以上で、凹部の合計幅が薄膜磁気
ヘッドの幅以下であることを特徴とする特許請求の範囲
第1項ないし第3項いずれか1項記載の薄膜磁気ヘッド
組み立て体。
(4) There are one or more recesses, and each recess has a width of 0.3 mm or more in the lateral direction with respect to the magnetic layer pattern forming surface or the floating slider bonding surface, and the total width of the recesses is equal to that of the thin-film magnetic head. A thin film magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the width is less than or equal to the width of the thin film magnetic head assembly.
(5)凹部の形状が溝状か、または切り欠き状であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第4項いず
れか1項記載の薄膜磁気ヘッド組み立て体。
(5) The thin film magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 4, wherein the recess has a shape of a groove or a notch.
(6)互いに接合して構成される、磁性層パターン形成
面の基板と、配線面を形成する基板とが同一材質である
か、または熱膨張係数の差が100×10^−^7/℃
以下の材質を使用することを特徴とする特許請求の範囲
第1項ないし第5項いずれか1項記載の薄膜磁気ヘッド
組み立て体。
(6) The substrate on the magnetic layer pattern forming surface and the substrate forming the wiring surface, which are bonded to each other, are made of the same material or have a difference in thermal expansion coefficient of 100 x 10^-^7/°C.
A thin film magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the following materials are used.
(7)浮動用スライダ側の凹部が、基板上に形成された
配線面と相対する位置にあることを特徴とする特許請求
の範囲第1項ないし第6項いずれか1項記載の薄膜磁気
ヘッド組み立て体。
(7) The thin film magnetic head according to any one of claims 1 to 6, wherein the recess on the floating slider side is located at a position facing a wiring surface formed on the substrate. assembled body.
(8)磁性層パターン形成面と、外部配線に接続する配
線面とを有する薄膜磁気ヘッドチップにおいて、上記配
線面を形成する基板の背面に、外部配線接続部を設ける
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第7項い
ずれか1項記載の薄膜磁気ヘッド組み立て体。
(8) A patent claim characterized in that, in a thin film magnetic head chip having a magnetic layer pattern forming surface and a wiring surface connected to external wiring, an external wiring connection portion is provided on the back surface of the substrate forming the wiring surface. A thin film magnetic head assembly according to any one of items 1 to 7.
(9)垂直磁気記録再生用の薄膜磁気ヘッドであること
を特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第8項いずれ
か1項記載の薄膜磁気ヘッド組み立て体。
(9) The thin film magnetic head assembly according to any one of claims 1 to 8, which is a thin film magnetic head for perpendicular magnetic recording and reproduction.
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