JPS61273727A - Magnetic recoding medium - Google Patents

Magnetic recoding medium

Info

Publication number
JPS61273727A
JPS61273727A JP11423085A JP11423085A JPS61273727A JP S61273727 A JPS61273727 A JP S61273727A JP 11423085 A JP11423085 A JP 11423085A JP 11423085 A JP11423085 A JP 11423085A JP S61273727 A JPS61273727 A JP S61273727A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
magnetic recording
titanium nitride
recording layer
medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11423085A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumio Kishi
岸 文夫
Tokiro Matsumoto
松本 時郎
Kenji Suzuki
謙二 鈴木
Kumiko Kameyama
亀山 久美子
Hirotsugu Takagi
高木 博嗣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP11423085A priority Critical patent/JPS61273727A/en
Publication of JPS61273727A publication Critical patent/JPS61273727A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lubricants (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the traveling stability of the titled medium by providing a layer consisting of titanium nitride on a side opposite to the magnetic recording layer. CONSTITUTION:A layer consisting of titanium nitride is provided opposite to a magnetic recording layer. A magnetic recording medium is formed with the magnetic recording layer 1, a nonmagnetic substrate 2 and the rear lubricating layer 3. The magnetic recording layer 1 can be of a coating type obtained by dispersing magnetic particles, etc., in an org. binder and coating the material or of a thin film type formed by a thin film deposition method such as vapor deposition, sputtering and ion plating. Polyimide, polyamide, etc., can be used as the material of the nonmagnetic substrate 2. the rear lubricating layer 3 is a thin film consisting of titanium nitride and RiN can be exemplified as the titanium nitride. consequently, a magnetic recording medium having excellent traveling stability and which is hardly creased in winding in the production process can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気記録媒体、特に走行安定性と帯電防止に優
れた磁気記録媒体に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a magnetic recording medium, and particularly to a magnetic recording medium with excellent running stability and antistatic properties.

[従来の技術] 磁気ヘッドと磁気記録媒体を用いて記録・再生を行う際
には、ヘッドと媒体が一定の相対速度をもって摺動する
0通常ヘッドは固定されているか、又は回転ドラムに取
り付けられている。媒体は、この固定ヘッド又は回転ド
ラムに対して一定の速度で移動する。
[Prior Art] When recording and reproducing using a magnetic head and a magnetic recording medium, the head and the medium slide at a constant relative speed.Usually, the head is fixed or attached to a rotating drum. ing. The media moves at a constant speed relative to this fixed head or rotating drum.

このヘッド=媒体の相対速度を安定化することは重要で
ある。すなわち相対速度が不安定になると、周波数変動
やフェーズシフトの原因となり、S/N比を低下させる
。またヘッドと媒体の接触状態が不安定となり、安定し
た再生出力が得られなくなる。
It is important to stabilize this head-medium relative velocity. That is, when the relative speed becomes unstable, it causes frequency fluctuations and phase shifts, which lowers the S/N ratio. Furthermore, the contact state between the head and the medium becomes unstable, making it impossible to obtain stable reproduction output.

このようにヘッド=媒体の相対速度が不安定になる原因
の一つは、媒体に働く摩擦抵抗である。
One of the reasons why the relative velocity between the head and the medium becomes unstable is the frictional resistance acting on the medium.

すなわち、この摩擦により媒体の移動速度が変動したり
、また媒体がVTRテープのようなものの場合には、摩
擦によりテープにかかる張力が大きくなり、回転ドラム
にかかる負荷が増大することによって、ドラムの回転数
が変動したりすることにより相対速度が不安定となる。
In other words, this friction causes the moving speed of the medium to fluctuate, and when the medium is something like a VTR tape, the tension on the tape increases due to friction, which increases the load on the rotating drum. Relative speed becomes unstable due to variations in rotational speed.

この摩擦を低減する方法として、従来、塗布法により裏
面潤滑層を設けていた。
Conventionally, as a method for reducing this friction, a back lubricating layer has been provided by a coating method.

[発明が解決しようとする問題点] 従来の方法では、裏面潤滑層が有機バインダーを用いた
ものであるため、磁気記録層の形成方法に依っては、媒
体の作製手順が限定されるという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] In the conventional method, the back lubricating layer uses an organic binder, so there is a problem that the procedure for manufacturing the medium is limited depending on the method of forming the magnetic recording layer. was there.

すなわち、真空蒸着法、スパッタ法等により記録層を形
成する場合、真空槽内で有機バインダー中の揮発成分等
がガスとなって放出され、真空度が低下する。この状況
は基板を加熱しながら成膜する場合には一層悪化する。
That is, when a recording layer is formed by a vacuum evaporation method, a sputtering method, or the like, volatile components in the organic binder are released as gas in a vacuum chamber, and the degree of vacuum decreases. This situation becomes even worse when the film is formed while heating the substrate.

これにより、磁気記録層の磁気特性が劣化することが多
い、そのため、裏面潤滑層より先に磁気記録層を形成し
なければならないが、真空槽内で基板フィルムを搬送し
なから成膜を行う場合、フィルムが記録層の形成により
伸びにくくなったうえ、まさつが大きいことにより搬送
がうまくできず、巻取りの際にシワが発生しやすくなる
This often deteriorates the magnetic properties of the magnetic recording layer. Therefore, the magnetic recording layer must be formed before the back lubricating layer, but this is done without transporting the substrate film in a vacuum chamber. In this case, the film becomes difficult to stretch due to the formation of the recording layer, and the film is difficult to transport due to the large stretch, making it more likely to wrinkle during winding.

また、媒体が帯電すると、走行を悪化させるほかにノイ
ズの原因ともなるため、裏面潤滑層が導電性を有し、帯
電防止の役割を果すことが望ましい、このため従来は、
裏面潤滑層にカーボンブラック等を混入し導電性を付与
していたが、基板の帯電性が強い場合には効果が不十分
であった。
Furthermore, if the medium is charged, it not only deteriorates running but also causes noise, so it is desirable that the backside lubricant layer has conductivity and plays a role in preventing charging.
Carbon black or the like was mixed into the backside lubricating layer to impart conductivity, but the effect was insufficient when the substrate was highly charged.

さらに、走行安定性の別の要因として、媒体のスティフ
ネス(曲げ剛性)が挙げられる。これが小さすぎると走
行が不安定となるほか、ヘッド−媒体の接触状況が不安
定となる。このため従来は媒体の厚さが、最も薄いもの
で101L11程度であったが、VTRテープなどの長
時間化のために、さらに薄い媒体が求められている。
Furthermore, another factor of running stability is the stiffness (bending rigidity) of the medium. If this is too small, not only the running becomes unstable, but also the contact situation between the head and the medium becomes unstable. For this reason, the thickness of the medium has conventionally been approximately 101L11 at its thinnest, but as VTR tapes and the like become longer, even thinner media are required.

本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、これにより走行安定性と帯電防止性能に優れた磁気記
録媒体を得られると同時に、従来よりも媒体の厚さを減
少させることも可能になった。
The present invention was made to solve the above problems, and as a result, it is possible to obtain a magnetic recording medium with excellent running stability and antistatic performance, and at the same time, it is possible to reduce the thickness of the medium compared to the conventional one. It's now possible.

また、製造工程の途中での巻取リジワなどのトラブル発
生を解決しやすくなった。
It also makes it easier to resolve problems such as wrinkles during the manufacturing process.

[問題点を解決するための手段及び作用]本発明によれ
ば、非磁性基板の片側に磁気記録層を有する磁気記録媒
体であって、その磁気記録層とは反対の側に窒化チタン
より成る層を有することを特徴とする磁気記録媒体が提
供される。
[Means and effects for solving the problems] According to the present invention, there is provided a magnetic recording medium having a magnetic recording layer on one side of a non-magnetic substrate, the side opposite to the magnetic recording layer being made of titanium nitride. A magnetic recording medium having a layer is provided.

第1図は本発明の磁気記録媒体の断面図である。lは磁
気記録層、2は非磁性基板、3は裏面潤滑層である。
FIG. 1 is a sectional view of the magnetic recording medium of the present invention. 1 is a magnetic recording layer, 2 is a nonmagnetic substrate, and 3 is a back lubricating layer.

この例のほか、1と2.2と3の間に付着強度の増大、
カールの防止等を目的とする中間層、1の表面に保M潤
滑層を有することがある。また、lの下層に高透磁率層
を設ける場合もある。
In addition to this example, increase in bond strength between 1 and 2.2 and 3;
An intermediate layer for the purpose of preventing curling, etc., may have an M-retaining lubricating layer on the surface of the intermediate layer 1. Further, a high magnetic permeability layer may be provided under the l layer.

lの磁気記録層は、有機バインダー中に磁性粒子等を分
散して塗布した塗布型であっても、真空蒸着法、スパッ
タ法、イオンブレーティング法等の薄膜堆積法により形
成した薄膜型であってもよい、その厚さは塗布型の場合
、0.5〜10JJ、11 、薄膜型の場合0.05〜
1.0 JLmが好ましい。
The magnetic recording layer 1 may be a coated type in which magnetic particles etc. are dispersed in an organic binder and applied, or a thin film type formed by a thin film deposition method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, or an ion blasting method. The thickness may be 0.5 to 10 JJ for the coated type, and 0.05 to 11 for the thin film type.
1.0 JLm is preferred.

2の非磁性基板の材質としては、ポリイミド、ポリアミ
ド、ポリエチレンテレフタレート(PET )等のもの
が使用できる。非磁性基板の厚さは、3.0〜30終履
が好ましい。
As the material for the second non-magnetic substrate, polyimide, polyamide, polyethylene terephthalate (PET), etc. can be used. The thickness of the nonmagnetic substrate is preferably 3.0 to 30 mm.

3の裏面潤滑層は窒化チタンより成る薄膜である。窒化
チタンとしてはTiNが挙げられる。その形成方法とし
ては窒化チタンを直接蒸着又はスパッタしたり、チタン
をN2又はNH3雰囲気中で反応スパッタ又はイオンブ
レーティングしてもよい。その厚さについては、薄すぎ
ると摩擦減少の効果が小さくなるとともに、ベースフィ
ルムが薄い場合にはテープのスティフネスが低くなり、
エンベロープが悪くなる。又、特にフレキシブルな媒体
において、この層が厚すぎると媒体のフレキシビリティ
−を損ね、むしろ走行安定性を悪化させる。厚さはlO
数A〜5000Aが好ましい。
The backside lubricating layer No. 3 is a thin film made of titanium nitride. TiN is an example of titanium nitride. As a method for forming it, titanium nitride may be directly deposited or sputtered, or titanium may be reactively sputtered or ion-bladed in an N2 or NH3 atmosphere. Regarding the thickness, if it is too thin, the effect of reducing friction will be small, and if the base film is thin, the stiffness of the tape will be low.
Envelope becomes bad. Moreover, especially in flexible media, if this layer is too thick, it will impair the flexibility of the media and will actually worsen the running stability. Thickness is lO
A number of A to 5000 A is preferable.

また窒化チタンには電気伝導性があり、本発明のように
有機バインダーを用いずに形成した薄膜では導電性が高
く、帯電防止に大きな効果がある。
Further, titanium nitride has electrical conductivity, and a thin film formed without using an organic binder as in the present invention has high electrical conductivity and is highly effective in preventing static electricity.

本発明において、特に1の磁気記録層として、真空蒸着
法、スパッタ法、イオンブレーティング法、メッキ法等
の薄膜堆積法により形成したものを用いる場合、従来よ
り薄いベースフィルムを用い、媒体の全厚を従来の半分
程度にした場合にも、必要なスティフネスを維持し、良
好な再生出力を得ることができる。これを用いてVTR
テープや、オーディオテープを作成すると、同じカセッ
トハーフに従来の2倍の長さのテープを収納することが
でき、長時間記録用として有利な特徴となる。
In the present invention, especially when using a magnetic recording layer 1 formed by a thin film deposition method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, an ion blating method, or a plating method, a thinner base film than before is used, and the entire surface of the medium is Even when the thickness is reduced to about half of the conventional thickness, the necessary stiffness can be maintained and good reproduction output can be obtained. Use this to create a VTR
When tapes or audio tapes are created, tapes that are twice the length of conventional tapes can be stored in the same cassette half, which is an advantageous feature for long-term recording.

以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明する。Hereinafter, the present invention will be specifically explained based on Examples.

[実施例] 本発明の実施例として、第1表に示した構成を有する試
料を作製した。これらについて以下に述べる試験を行い
、その結果も第1表に併せて示した。なお、比較のため
に、構成の一部を変更した試料も作製し、その試験結果
もともに第1表に示した。以下の表においてA−Hの裏
面潤滑層の材質は窒化チタン、I、Jの裏面潤滑層の材
質はGaCO3塗布膜、Kでは裏面潤滑層は設けなかっ
た。
[Example] As an example of the present invention, samples having the configurations shown in Table 1 were prepared. The following tests were conducted on these, and the results are also shown in Table 1. For comparison, samples with partially changed configurations were also prepared, and the test results are also shown in Table 1. In the table below, the material of the back lubricant layer in A to H is titanium nitride, the material of the back lubricant layer in I and J is a GaCO3 coating film, and the back lubricant layer in K is not provided.

非磁性基板はすべてポリイミドフィルムを用いた。 G
o−Ni層及び窒化チタン層は電子ビーム蒸着法により
形成した。ただしGo−N i層は成膜中に02ガスを
導入し1表面を酸化処理しである。窒化チタン層は窒化
チタン(TiN)ペレットを蒸着源とした。
All nonmagnetic substrates used were polyimide films. G
The o-Ni layer and the titanium nitride layer were formed by electron beam evaporation. However, for the Go-Ni layer, 02 gas was introduced during film formation and one surface was oxidized. For the titanium nitride layer, titanium nitride (TiN) pellets were used as a deposition source.

第2図は本実施例において裏面潤滑層及び記録層を真空
蒸着法で形成するときに使用した装置である。4は真空
槽、5は排気装置で、真空槽4内は3 X 1O−5T
orr以下に減圧される。基板フィルムは、巻出しロー
ル6から、中間フリーローラー7、冷却キャン8.再び
中間フリーローラー7を経て巻取りロール9に到達する
。蒸着物質のベレット10はルツボ11内に入れられて
おり、電子銃12から放出される電子ビームにより加熱
される。
FIG. 2 shows the apparatus used to form the backside lubricating layer and recording layer by vacuum evaporation in this example. 4 is a vacuum chamber, 5 is an exhaust device, and the inside of vacuum chamber 4 is 3 x 1O-5T.
The pressure is reduced to below orr. The substrate film is transferred from an unwinding roll 6 to an intermediate free roller 7 to a cooling can 8. It passes through the intermediate free roller 7 again and reaches the winding roll 9. A pellet 10 of vapor deposition material is placed in a crucible 11 and heated by an electron beam emitted from an electron gun 12.

なお、Co−旧合金の記録層を成膜する場合は斜蒸着と
なるので、ルツボの位置は図より左側になる。
Note that when forming the recording layer of Co-old alloy, oblique evaporation is used, so the position of the crucible is on the left side of the figure.

成膜の順番は、先ず裏面潤滑層、続いて記録層を形成す
る。なお、裏面潤滑層を塗布法によって形成したサンプ
ルI、Jの場合には、記録層の蒸着を先に行い、続いて
裏面潤滑層を形成した。
The order of film formation is that the back lubricating layer is formed first, and then the recording layer is formed. In the case of samples I and J in which the back lubricant layer was formed by a coating method, the recording layer was deposited first, and then the back lubricant layer was formed.

上記のようにして作成したサンプルを%イン千幅のテー
プ状に裁断し、家庭用VTRデツキを用いて記録再生の
試験を行った。第3図は、回転ドラムとその付近のテー
プの走行路を示す、サンプルテープ14は、ガイドピン
15、回転ドラム1B、再びガイドピン15に沿って走
行する。 17は回転ドラム1Bに取り付けられている
磁気ヘッドである。この磁気ヘッド17の一方のみに3
.7MHzの正弦波信号を入力して記録し、再生出力の
エンベロープをオシロスコープで観察した。ヘッドとテ
ープが接している場所全体で接触状態が一定であれば、
第4図に示すような長方形のエンベロープが観察される
。この図で縦軸は再生電圧、横軸は時間を示す、ヘッド
とテープの接触状態が一定にならない場合、第5図に示
すような一部の出力が低下したようなエンベロープや、
第6図に示すように出力が不規則に変わるようなエンベ
ロープが観察される。この試験の結果は第1表に示す、
第4図のような正常なエンベロープが観察される場合を
0、そうでない場合を×で表わした。
The sample prepared as described above was cut into a 1000% wide tape, and a recording/playback test was conducted using a home VTR deck. FIG. 3 shows the rotating drum and the running path of the tape in its vicinity. The sample tape 14 runs along the guide pin 15, the rotating drum 1B, and the guide pin 15 again. 17 is a magnetic head attached to the rotating drum 1B. 3 on only one side of this magnetic head 17.
.. A 7 MHz sine wave signal was input and recorded, and the envelope of the reproduced output was observed using an oscilloscope. If the contact condition is constant throughout the area where the head and tape are in contact,
A rectangular envelope as shown in FIG. 4 is observed. In this figure, the vertical axis shows the playback voltage, and the horizontal axis shows time.If the contact between the head and the tape is not constant, an envelope such as a partial output drop as shown in Figure 5,
As shown in FIG. 6, an envelope in which the output changes irregularly is observed. The results of this test are shown in Table 1.
The case where a normal envelope as shown in FIG. 4 was observed was expressed as 0, and the case where it was not observed was expressed as x.

サンプルIは第5図のようなエンベロープが観察される
。この原因は、基板フィルムが薄すざ、テープのスティ
フネスが不足するためと推測される。−万、Kでは第6
図のようなエンベロープが観察される。これは、摩擦が
大きく、ドラム部でのテープの張力が安定しないことが
原因と推測される。
In sample I, an envelope as shown in FIG. 5 is observed. The reason for this is presumed to be that the substrate film is thin and the tape has insufficient stiffness. - 6th in 10,000, K
An envelope as shown in the figure is observed. The reason for this is presumed to be that the friction is large and the tension of the tape at the drum section is not stable.

次に摩擦の低減効果を確かめるため、第7図に示す装置
により摩擦係数を測定した。試料18を裏面を上にして
試料台18上にセットさせる。この上にステンレス製の
触針20を置き、これを試料に対して移動させ、触針に
働く摩擦力を歪みゲージにより検出する。触針20の先
端は半径3■の球状をしており、5gの荷動をかけてい
る。触針の移動速度は2 mts/秒である。結果は第
1表に示し、窒化チタン層の厚さとの関係を第8図に示
した。 21はポリイミドフィルム自体の摩擦係数を示
す0表面抵抗値の測定結果は第1表に示し、窒化チタン
層の厚さとの関係を第9図に示した。サンプルAの表面
抵抗は、測定するサンプルの部位により値が大きくバラ
つき、確かな値が得られなかった。
Next, in order to confirm the effect of reducing friction, the coefficient of friction was measured using the apparatus shown in FIG. The sample 18 is set on the sample stage 18 with its back side up. A stainless steel stylus 20 is placed on top of this and moved relative to the sample, and the frictional force acting on the stylus is detected by a strain gauge. The tip of the stylus 20 has a spherical shape with a radius of 3 cm, and applies a load of 5 g. The moving speed of the stylus is 2 mts/sec. The results are shown in Table 1, and the relationship with the thickness of the titanium nitride layer is shown in FIG. 21 indicates the coefficient of friction of the polyimide film itself. The measurement results of the zero surface resistance value are shown in Table 1, and the relationship with the thickness of the titanium nitride layer is shown in FIG. The surface resistance of sample A varied greatly depending on the part of the sample to be measured, and a reliable value could not be obtained.

これにより適当な厚さの窒化チタン層を裏面潤滑層とし
て用いることにより摩擦を低減し、ステイフネスの不足
を補い、正常なテープとヘッドの接触状況を得ることが
でき、さらに、窒化チタン層が十分な導電性を有するこ
とにより帯電防止にも優れていることがわかる。
By using a titanium nitride layer of an appropriate thickness as the back lubricating layer, it is possible to reduce friction, compensate for the lack of stiffness, and obtain a normal tape-head contact situation. It can be seen that due to its high conductivity, it is also excellent in preventing static electricity.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明の媒体は、摩擦の低減、帯
電防止、スティフネスの適正化により、走行安定性の優
れたものとなり、同時に、製造1程での巻取リジワが発
生しにくい性質を有している。
[Effects of the Invention] As explained above, the medium of the present invention has excellent running stability due to reduced friction, antistatic properties, and optimization of stiffness, and at the same time, it is possible to reduce the winding wrinkles during the first manufacturing step. It has the property of being difficult to occur.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の磁気記録媒体の一例の断面図、第2図
は実施例の記録層、裏面潤滑層を形成するのに用いた蒸
着装置、第3図は回転ドラムとその付近のテープ走行路
、第4図は正常な出力エンベロープ、第5図、第6図は
ヘッドとテープの接触状態が不安定な場合のエンベロー
プ、第7図は摩擦係数の測定部、第8図は摩擦係数と窒
化チタン層厚さの関係、第9図は表面抵抗値と窒化チタ
ン層厚さの関係である。 l:磁気記録層、2:非磁性基板、 3:裏面潤滑層、4:真空槽、5:排気装置、6:巻出
しロール、7:中間フリーローラー、8:冷却キャン、
9:巻取りロール、 lO:蒸着物質、llニルツボ、12:電子銃、13:
防着板、14:サンプルテープ。 !5ニガイドピン、16:回転ドラム、17:磁気ヘッ
ド、18:試料、13:試料台、20:触針、 21:ポリイミド樹脂フィルム自体の 摩擦係数のレベル。
Fig. 1 is a cross-sectional view of an example of the magnetic recording medium of the present invention, Fig. 2 is a vapor deposition apparatus used to form the recording layer and back lubricating layer of the embodiment, and Fig. 3 is a rotating drum and tape in its vicinity. Running path, Figure 4 shows the normal output envelope, Figures 5 and 6 show the envelope when the contact between the head and tape is unstable, Figure 7 shows the friction coefficient measuring section, and Figure 8 shows the friction coefficient. FIG. 9 shows the relationship between the surface resistance value and the titanium nitride layer thickness. 1: Magnetic recording layer, 2: Non-magnetic substrate, 3: Back lubricating layer, 4: Vacuum chamber, 5: Exhaust device, 6: Unwinding roll, 7: Intermediate free roller, 8: Cooling can,
9: Take-up roll, 1O: Vapor deposition substance, 11 nil pot, 12: Electron gun, 13:
Anti-adhesion plate, 14: Sample tape. ! 5 guide pin, 16: rotating drum, 17: magnetic head, 18: sample, 13: sample stage, 20: stylus, 21: level of friction coefficient of polyimide resin film itself.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非磁性基板の片側に、磁気記録層を有する磁気記
録媒体であって、その磁気記録層とは反対の側に窒化チ
タンより成る層を有することを特徴とする磁気記録媒体
(1) A magnetic recording medium having a magnetic recording layer on one side of a non-magnetic substrate, and having a layer made of titanium nitride on the opposite side of the magnetic recording layer.
(2)磁気記録層が、薄膜堆積法により形成されたもの
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の磁
気記録媒体。
(2) The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording layer is formed by a thin film deposition method.
JP11423085A 1985-05-29 1985-05-29 Magnetic recoding medium Pending JPS61273727A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11423085A JPS61273727A (en) 1985-05-29 1985-05-29 Magnetic recoding medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11423085A JPS61273727A (en) 1985-05-29 1985-05-29 Magnetic recoding medium

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61273727A true JPS61273727A (en) 1986-12-04

Family

ID=14632502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11423085A Pending JPS61273727A (en) 1985-05-29 1985-05-29 Magnetic recoding medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61273727A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2893269B2 (en) Magnetic recording media
JP4193268B2 (en) Thin film forming apparatus, thin film forming method, and guide guide roll
US4592948A (en) Magnetic recording medium
US5589263A (en) Magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film, a dry etched layer, a carbonaceous film, and a lubricant film
JPH1049853A (en) Magnetic recording medium and its manufacture
JPS61273727A (en) Magnetic recoding medium
JPS61273730A (en) Magnetic recording medium
JPS6362656A (en) Manufacture of magnetic recording medium
JPS61273728A (en) Magnetic recording medium
JPS61273731A (en) Magnetic recording medium
JPS61273725A (en) Magnetic recording medium
JPS61273724A (en) Magnetic recording medium
JPS61273729A (en) Magnetic recording medium
JPS61273726A (en) Magnetic recording medium
JP3232948B2 (en) Manufacturing method of magnetic recording medium
JPH08167146A (en) Production of magnetic recording medium
JP2689813B2 (en) Magnetic recording media
JPH08321029A (en) Magnetic recording medium and its production
JPH0316688B2 (en)
JPH02126418A (en) Magnetic recording medium
KR960000822B1 (en) A magnetic recording medium
JPH04134623A (en) Tape-shaped magnetic recording medium
JP2979829B2 (en) Manufacturing method of magnetic recording medium
JPH10241136A (en) Magnetic recording medium and its manufacture
JP2003187417A (en) Magnetic recording medium