JPS61254906A - Photosensitive and heat resistant colored paste for color filter - Google Patents

Photosensitive and heat resistant colored paste for color filter

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JPS61254906A
JPS61254906A JP60095943A JP9594385A JPS61254906A JP S61254906 A JPS61254906 A JP S61254906A JP 60095943 A JP60095943 A JP 60095943A JP 9594385 A JP9594385 A JP 9594385A JP S61254906 A JPS61254906 A JP S61254906A
Authority
JP
Japan
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photosensitive
group
paste
org
color filter
Prior art date
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Application number
JP60095943A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuo Miura
康男 三浦
Yoshi Hiramoto
平本 叔
Masuichi Eguchi
益市 江口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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Priority to JP60095943A priority Critical patent/JPS61254906A/en
Publication of JPS61254906A publication Critical patent/JPS61254906A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain a photosensitive and heat resistant colored paste for a color filter suitable for direct patterning and giving a distinct contrast between photosensitive and nonphotosensitive parts by mixing an org. pigment insoluble in solvents with a photosensitive polyimide precursor in a specified ratio. CONSTITUTION:A photosensitive and heat resistant colored paste for a color filter is obtd. by mixing 10-300g org. pigment insoluble in org. solvents with 100g photosensitive polyimide precursor. For example, pyromellitic acid dianhydride is added to a soln. of diaminodiphenyl ether and polymerized by heating to prepare polyamic acid, and an amino compound having an azido group is bonded to the polyamic acid as a photosensitivity providing group. After a sensitizer is added, he resulting liq. mixture is kneaded with an org. pigment. The obtd. paste can be heat treated at >=300 deg.C, can be directly patterned without using a photoresist mask, and can form a pattern having sharp edges.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーフィルタ用感光性耐熱着色ペーストに
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters.

〔従来技術〕[Prior art]

従来、カラーフィルタ用耐熱着色ペーストとしては、た
とえば特開昭58−46325に示されているように9
通常の非感光性ポリイミドフェスに顔料を添加したもの
が知られている。
Conventionally, as a heat-resistant coloring paste for color filters, for example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-46325, 9.
It is known that a pigment is added to a normal non-photosensitive polyimide face.

通常の非感光性ポリイミドフェスに顔料を添加したペー
ストを使用してカラーフィルタを作るには、上記顔料添
加着色ポリイミド層の上にポジ又はネガ型のフォトレジ
ストを使用してフォトレジストパターンを形成し、これ
をマスクとして、ポジレジストの場合はポジレジストの
現像液、ネガレジストの場合はヒドラジン、エチレンジ
アミンを各々エツチング剤として用い、ポリイミド層を
パターン状にエツチングし、フォトレジストヲ剥離する
必要がある。この方法はフォトレジスト膜の形成とその
剥離という二つの余分な工程をR(赤)、G(緑)、B
(青)おのおののフィルタを形成するのに必要とし、工
程が長く、繁雑になる。
To make a color filter using a pigmented paste on a normal non-photosensitive polyimide surface, a photoresist pattern is formed using a positive or negative type photoresist on the pigmented colored polyimide layer. Using this as a mask, the polyimide layer must be etched in a pattern using a positive resist developer in the case of a positive resist, and hydrazine or ethylenediamine as an etching agent in the case of a negative resist, and the photoresist must be peeled off. This method requires two extra steps: forming a photoresist film and peeling it off.
(Blue) Required to form each filter, making the process long and complicated.

またこの方法では2着色ポリイミド層は全体としてエツ
チング剤に対して同じ溶解性を有し、溶解部と残存部の
境界が不明確になりやすいという欠点を有していた。
In addition, this method has the disadvantage that the two-colored polyimide layer as a whole has the same solubility in the etching agent, and the boundary between the dissolved area and the remaining area tends to be unclear.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

本発明の目的は、上記欠点を解消せしめ、カラーフィル
タを作る工程が短く、簡潔で、溶解部と残存部の境界が
明確なカラー7、イルタ用感光性耐熱着色ペーストを提
供せんとするものである。
An object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks, and to provide a photosensitive heat-resistant coloring paste for Color 7 filters, which has a short and simple process for making a color filter, and has a clear boundary between the melted part and the remaining part. be.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、上記目的を達成するため1次の構成を有する
The present invention has a primary configuration to achieve the above object.

すなわち1本発明は溶剤と、該溶剤に不溶な有機顔料〔
I〕と感光性ポリイミド前駆体〔II〕とから成るカラ
ーフィルタ用感光性耐熱着色ペーストにおいて、有機顔
料〔I〕が感光性ポリイミド前駆体(II ) 10.
0 gに対し10〜600gの割合で混合されてなるこ
とを特徴とするカラーフィルタ用感光性耐熱着色ペース
トである。
That is, 1. the present invention comprises a solvent and an organic pigment insoluble in the solvent.
10. In the photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters comprising a photosensitive polyimide precursor (II) and a photosensitive polyimide precursor (II), the organic pigment [I] is a photosensitive polyimide precursor (II).
This is a photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters, characterized in that it is mixed at a ratio of 10 to 600 g to 0 g.

本発明における感光性ポリイミド前駆体(II)とは、
一般式 %式%) (ただし、R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有す
る3価または4価の有機基、R2は少なくとも2個以上
の炭素原子を有する2価の有機基、R3は水素、アルカ
リ金属イオン又はアンモニウム・イオンを表わす。nは
1又は2である。C0OR,はアミド基に対してオルト
又はベリの位置に結合している。)で示される構造単位
を主成分とするポリマに化学結合を介して感光性基を結
合したか。
The photosensitive polyimide precursor (II) in the present invention is:
(General formula % formula %) (However, R1 is a trivalent or tetravalent organic group having at least 2 or more carbon atoms, R2 is a divalent organic group having at least 2 or more carbon atoms, R3 is hydrogen, Represents an alkali metal ion or ammonium ion. n is 1 or 2. COOR, is bonded at the ortho or beri position with respect to the amide group. Was the photosensitive group attached via a chemical bond?

あるいは感光性化合物を混合したものを言う。Alternatively, it refers to a mixture of photosensitive compounds.

本発明における構造単位CM)を有するポリマ(以後、
ポリイミド系ポリマ前駆体と呼ぶ)とは。
Polymer having the structural unit CM in the present invention (hereinafter referred to as
What is a polyimide polymer precursor?

前記一般式で示される構造を有し、加熱あるいは適当な
触媒によりイミド環や、その他の環状構造を有するポリ
マ(以後、ポリイミド系ポリマと呼ぶ)となり得るもの
である。
It has a structure represented by the above general formula, and can be turned into a polymer (hereinafter referred to as a polyimide polymer) having an imide ring or other cyclic structure by heating or a suitable catalyst.

上記構造単位CIII)中、R1は少なくとも2個以上
の炭素原子を有する3価または4価の有機基である。ポ
リイミド系ポリマの耐熱性の面から。
In the above structural unit CIII), R1 is a trivalent or tetravalent organic group having at least two or more carbon atoms. In terms of heat resistance of polyimide polymers.

R4はポリマ主鎖のカルボニル基との結合が芳香族環あ
るいは芳香族複素環から直接行なわれる構造を有するも
のが好ましい。従って R1としては。
R4 preferably has a structure in which the bond to the carbonyl group of the polymer main chain is directly formed through an aromatic ring or an aromatic heterocycle. Therefore, as R1.

芳香族環又は芳香族複素環を含有し、かつ炭素数6〜3
0の3価または4価の基が好ましい。
Contains an aromatic ring or aromatic heterocycle, and has 6 to 3 carbon atoms
A trivalent or tetravalent group of 0 is preferred.

R1のより好ましい具体的な例としては。More preferable specific examples of R1 include:

H3CF5 (式中、結合手はポリマ主鎖のカルボニル基との結合を
表わし、カルボキシル基は結合手に対してオルト位に位
置するが、この結合手は上記構造式には記載していない
)。
H3CF5 (In the formula, the bond represents a bond with the carbonyl group of the polymer main chain, and the carboxyl group is located at the ortho position to the bond, but this bond is not shown in the above structural formula).

などが挙げられるが、これらに限定されない。Examples include, but are not limited to, the following.

またポリイミド系ポリマ前駆体は、R1がこれらのうち
ただ1種から構成されていてもよいし。
Further, in the polyimide polymer precursor, R1 may be composed of only one of these types.

2種以上から構成される共重合体であってもよい。A copolymer composed of two or more types may also be used.

R1として特に望ましいものは。What is particularly desirable as R1?

である(但し式中、結合手の定義については前述と同様
である)。
(However, the definition of the bond in the formula is the same as above).

上記構造単位〔■〕中、R2は少なくとも2個以上の炭
素原子を有する2価の有機基であるが、ポリイミド系ポ
リマとした時の耐熱性の面から、ポリマ主鎖のアミド基
との結合が芳香族環あるいは芳香族複素環から直接行な
われる構造を有するものが好ましい、従って R1とし
ては芳香族環又は芳香族複素環を含有し、かつ炭素数6
〜30の2価の基が好ましい。
In the above structural unit [■], R2 is a divalent organic group having at least two or more carbon atoms, but from the viewpoint of heat resistance when made into a polyimide polymer, the bond with the amide group of the polymer main chain is is preferably formed directly from an aromatic ring or an aromatic heterocycle. Therefore, R1 contains an aromatic ring or an aromatic heterocycle and has 6 carbon atoms.
-30 divalent groups are preferred.

R2の好ましい具体的な例としては。Preferred specific examples of R2 include:

CH。CH.

(式中、結合手は主鎖のアミド基との結合を表わす)な
どが挙げられる。また、これらがポリイミド系ポリマの
側熱性に悪影響を与えない範囲内でアミン基、アミド基
、カルボキシル基、スルホンアミド基などの核置換基を
有していても差支えない。これらの核置換基を有するも
のの内で特に好ましい例として CONH2,NH2 が挙げられる。
(In the formula, the bond represents a bond with an amide group in the main chain). Further, these may have a nuclear substituent such as an amine group, an amide group, a carboxyl group, or a sulfonamide group within a range that does not adversely affect the side heating properties of the polyimide polymer. Particularly preferred examples of those having these nuclear substituents include CONH2 and NH2.

構造単位CI[[]を有するポリマは、R2・がこれら
のうちただ1種から構成されていてもよいし、2種以上
から構成される共重合体であってもよい。
In the polymer having the structural unit CI[[], R2. may be composed of only one type among these, or may be a copolymer composed of two or more types.

さらに、ポリイミド系ポリマの接着性を向上させるため
に、耐熱性を低下させない範囲で R2として、シロキ
サン構造を有する脂肪族性の基を共重合することも可能
である。好ましい具体例として CH3CH。
Furthermore, in order to improve the adhesiveness of the polyimide polymer, it is also possible to copolymerize an aliphatic group having a siloxane structure as R2 within a range that does not reduce the heat resistance. A preferred example is CH3CH.

などが挙げられる。Examples include.

構造単位([3を主成分とするポリマの具体的な例とし
て。
Structural unit ([As a specific example of a polymer whose main component is 3.

ピロメリット酸二無水物と4,4′−ジアミノジフェニ
ルエーテル。
Pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether.

ピロメリット酸二無水物および3.3? 4.4/−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸と4.4′−ジアミノジ
フェニルエーテル。
Pyromellitic dianhydride and 3.3? 4.4/-benzophenone tetracarboxylic acid and 4.4'-diaminodiphenyl ether.

3、3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物と4.4′−ジアミノジフェニルエーテル。
3, 3? 4.4/-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 4.4'-diaminodiphenyl ether.

5、5j 4.4’ −ヒフェニルテトラカルボン酸二
無水物ト4.4/−ジアミノジフェニルエーテル。
5,5j 4.4'-hyphenyltetracarboxylic dianhydride 4.4/-diaminodiphenyl ether.

3、3j 4.4’ −ヒ7二二ルテトラヵルボン酸二
無水物および3.3j 4.4’−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物と4,4′−ジアミノジフェニル
エーテル。
3,3j 4.4'-h722tetracarboxylic dianhydride and 3.3j 4.4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether.

ピロメリット酸二無水物と3.タージアミノジフェニル
スルホン ピロメリット酸二無水物および’)、 5’、 4.4
’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と3.5
’ −(又ハ4.4’ −)ジアミノジフェニルスルホ
ン。
Pyromellitic dianhydride and 3. terdiaminodiphenylsulfone pyromellitic dianhydride and'), 5', 4.4
'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 3.5
'-(also c4.4'-)diaminodiphenylsulfone.

3、3? 4.4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物と3.ター(又は4.4/−)ジアミノジフェ
ニルスルホン。
3, 3? 4.4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 3. ter (or 4.4/-)diaminodiphenylsulfone.

3、 !l? 4.4/−ビフェニルテトラカルボン酸
二無水物と5.5/ −(又は4.4/−)ジアミノジ
フェニルスルホン。
3.! l? 4.4/-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 5.5/- (or 4.4/-) diaminodiphenylsulfone.

5、354.4/−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物オよび3.3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸無水物と3.37(又は4.4/ −)ジアミ
ノジフェニルスルホン。
5, 354.4/-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3.3? 4.4/-benzophenone tetracarboxylic anhydride and 3.37 (or 4.4/-) diaminodiphenylsulfone.

ピロメリット酸二無水物と4.4′−ジアミノジフェニ
ルエーテルおよびビス(3−アミノプロ嵯)テトラメチ
ルジシロキサン。
Pyromellitic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether and bis(3-aminopropylene)tetramethyldisiloxane.

ピロメリット酸二無水物および6,3ζ4,4/−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と4,4′−ジア
ミノジフェニルエーテルおよびビス(3−アミノプロピ
ル)テトラメチルジシロキサン。
Pyromellitic dianhydride and 6,3ζ4,4/-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3、3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物と4.4′−ジアミノジフェニルエーテルおよ
びビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサ
ン。
3, 3? 4.4/-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 4.4'-diaminodiphenyl ether and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3、3? 4. aI−ビフェニルテトラカルボン酸二
無水物と4,41−ジアミノジフェニルエーテルおよび
ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン
3, 3? 4. aI-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 4,41-diaminodiphenyl ether and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3、3? 4.4/−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物および3.3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸無水物と4,4′−ジアミノジフェニルエー
テルおよびビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジ
シロキサン。
3, 3? 4.4/-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3.3? 4.4/-benzophenonetetracarboxylic anhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

ピロメリット酸二無水物と3.3’ −(又は4,4/
−)ジアミノジフェニルスルホンおよびビス(3−アミ
ノプロピル)テトラメチルジシロキサン。
Pyromellitic dianhydride and 3,3'-(or 4,4/
-) diaminodiphenylsulfone and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

ピロメリット酸二無水物および3+ 3j 4.4t−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と3,3/−
(又は4,4/  )ジアミノジフェニルスルホンオヨ
ヒビスc′5−アミノプロピル)テトラメチルジシロキ
サン。
Pyromellitic dianhydride and 3+ 3j 4.4t-
Benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 3,3/-
(or 4,4/)diaminodiphenylsulfonoyohibisc'5-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3、3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物と6.ダー(又は4,4/−)ジアミノジフェ
ニルスルホンおよびビス(3−アミノプロピル)テトラ
メチルジシロキサン。
3, 3? 4.4/-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 6. (or 4,4/-)diaminodiphenylsulfone and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3.3に4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物と3,3/−(又は4,4/−)ジアミノジフェニル
スルホンおよびビス(3−アミノプロピル)テトラメチ
ルジシロキサン。
3.3, 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3/- (or 4,4/-) diaminodiphenylsulfone, and bis(3-aminopropyl)tetramethyldisiloxane.

3、3? 4.4/−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物および3.3? 4.4/−ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物と3,3/−(又は4,4/−)ジ
アミノジフェニルスルホンおよびビス(5−アミノプロ
ピル)テトラメチルジシロキサン などから合成されたポリアミド酸が好ましく用いられる
3, 3? 4.4/-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 3.3? 4. Polyamic acid synthesized from 4/-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3/- (or 4,4/-) diaminodiphenylsulfone, bis(5-aminopropyl)tetramethyldisiloxane, etc. is preferred. used.

構成単位CII) を主成分とするポリマとは、構造単
位(III)のみから成るものであってもよいし、他の
構造単位との共重合体であってもよい。共重合に用いら
れる構造単位の種類、量は最終加熱処理によって得られ
るポリイミド系ポリマの耐熱性を著しく損わない範囲で
選択するのが望ましい、ポリアミドアミド酸、ポリニス
デルアミド酸の構造単位が典型的な例として挙げられる
が、これらには限定されない。
The polymer having the structural unit CII) as a main component may consist only of the structural unit (III), or may be a copolymer with other structural units. The type and amount of structural units used in copolymerization are desirably selected within a range that does not significantly impair the heat resistance of the polyimide polymer obtained by the final heat treatment. These are typical examples, but are not limited to these.

化学結合を介してポリイミド系ポリマ前駆体に結合され
る感光性基としては、光により三量化又は重合可能な炭
素−炭素二重結合を有する基が最も代表的で、ビニル基
、アクリル基、メタクリル基、アリル基、メタリル基を
有する基が好例として挙げられる。これらの感光性基は
エステル結合。
The most typical photosensitive group bonded to the polyimide polymer precursor via a chemical bond is a group having a carbon-carbon double bond that can be trimerized or polymerized by light, such as vinyl group, acrylic group, methacrylic group, etc. Examples include groups having a group, an allyl group, and a methallyl group. These photosensitive groups are ester bonds.

アミド結合、イミド結合などを介してポリイミド系ポリ
マ前駆体と結合することが出来る。エステル結合を介し
て感光性基を導入する方法は9周知の方法たとえば米国
特許3,957,512  に示されている方法などが
適用できる。
It can be bonded to a polyimide polymer precursor via an amide bond, an imide bond, or the like. As a method for introducing a photosensitive group through an ester bond, well-known methods such as the method shown in US Pat. No. 3,957,512 can be applied.

混合することKよりポリイミド系ポリマ前駆体を感光化
しうる感光性化合物として9重クロム酸塩、ビスアジド
、ビニル基を有するアミン化合物。
An amine compound having 9 dichromate, bisazide, or vinyl group as a photosensitive compound that can photosensitize a polyimide polymer precursor by mixing.

アジド基を有するアミノ化合物などが例として挙げられ
る。
Examples include amino compounds having an azide group.

重クロム酸塩をポリイミド系ポリマ前駆体に混合して感
光化する方法は、 KevwinとCo1drick(
Polymer Fjng &、 Sci 11 、4
26.1971 )  によって見い出されている。
A method of photosensitizing a polyimide polymer precursor by mixing dichromate is described by Kevwin and Coldrick (
Polymer Fjng &, Sci 11, 4
26.1971).

ビスアジドの例としては。For example, bisazide.

H3 などの芳香族ビスアジド化合物が典型的な例として挙げ
られる。
Typical examples include aromatic bisazide compounds such as H3.

添加量としてはポリイミド系ポリマ前駆体100重量部
に対し0.1重量部以上100重量部以下。
The amount added is 0.1 parts by weight or more and 100 parts by weight or less per 100 parts by weight of the polyimide polymer precursor.

好ましくは0.5重量部以上50重量部以下となすのが
よい。この範囲を逸脱すると、現像性、フェノの保存安
定性に悪影響を及ぼす。
Preferably, the amount is 0.5 parts by weight or more and 50 parts by weight or less. Outside this range, the developability and storage stability of the phenol will be adversely affected.

ビニル基を有するアミノ化合物の例としては。An example of an amino compound having a vinyl group is:

一般式 (ここで R4は水素又はフェニル基、R5は水素又は
炭素数1〜6の低級アルキル基、  R4は置換又は無
置換の炭素数2〜12の炭化水素基、R2Hは置換又は
無置換の炭素数1〜6のアルキル基を各々表わす)と。
General formula (where R4 is hydrogen or a phenyl group, R5 is hydrogen or a lower alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R4 is a substituted or unsubstituted hydrocarbon group having 2 to 12 carbon atoms, R2H is a substituted or unsubstituted hydrocarbon group) each represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms).

のアルキル基を表わす)と。represents an alkyl group).

一般式〔C〕 R1゜ (CH謳C−CH+N−H。General formula [C] R1゜ (CH song C-CH+N-H.

2            n (ここで、R1゜は水素又はメチル基を表わし。2 n (Here, R1° represents hydrogen or a methyl group.

n+7wm !l 、  1l−1〜3である。)であ
られせるもの、あるいはこれらの4級化塩などが挙げら
れる。
n+7wm! 1, 1l-1 to 3. ) or their quaternized salts.

具体的な例としては。As a specific example.

(ここでR7,は無置換又は置換の炭素数1〜6(CH
,)。
(Here, R7 is an unsubstituted or substituted carbon number 1 to 6 (CH
,).

CH,口CH−OH,NH,。CH, mouth CH-OH, NH.

CH。CH.

CH−〇 −CHNH 2!2 (CH,m CH−CH,)、NH 等が挙げられる。CH-〇 -CHNH 2!2 (CH, m CH-CH,), NH etc.

添加量はポリイミド系ポリマ前駆体の全カルボキシル基
の当量の0.1倍以上2倍以下、好ましくは0.5倍以
上1.5倍以下となすのがよく、この範囲を逸脱すると
、現像性に制約があったり、最終生成物の耐熱性に悪影
響をもたらす。
The amount added should be 0.1 times or more and 2 times or less, preferably 0.5 times or more and 1.5 times or less, the equivalent weight of all carboxyl groups in the polyimide polymer precursor. or have a negative impact on the heat resistance of the final product.

アジド基を有するアミン化合物の例としては。Examples of amine compounds having an azide group include:

一般式 (ここでXは−N または−3ON、Yはアルキ3!3 レン基、 R4,Rli、 R6は水素又は炭素数5個
以下のアルキル基を表わす)。
General formula (where X is -N or -3ON, Y is an alkyl 3!3 lene group, and R4, Rli, R6 represent hydrogen or an alkyl group having 5 or less carbon atoms).

(ここで、xは−N 又は−502N3 e R4l 
R5,R4は水素又は炭素数5個以下のアルキル基を表
わす)(ここで、Xは−N、又は−3o、N3. R4
,R5,R6は水素又は炭素数5個以下のアルキル基、
R7はのうちから選ばれた一つの基を表わす)。
(Here, x is -N or -502N3 e R4l
R5 and R4 represent hydrogen or an alkyl group having 5 or less carbon atoms) (here, X is -N, or -3o, N3.R4
, R5, R6 are hydrogen or an alkyl group having 5 or less carbon atoms,
R7 represents one group selected from).

(ここで、Xは−N、 、−3o□N、、R4,R□ま
水素又は炭素数5個以下のアルキル基を表わす)で示さ
れるものが挙げられる。
(Here, X represents -N, , -3o□N, , R4, R□ represents hydrogen or an alkyl group having 5 or less carbon atoms).

具体的には。in particular.

H5 が好ましい。H5 is preferred.

添加量としては、ポリイミド系ポリマ前駆体の全カルボ
キシル基の当量の0,05倍以上、5倍以下、好ましく
は0.4倍以上、3倍以下が望ましい。
The amount added is desirably 0.05 times or more and 5 times or less, preferably 0.4 times or more and 3 times or less, of the equivalent weight of all carboxyl groups in the polyimide polymer precursor.

この範囲を逸脱すると感光性の低下をもたらしたり、現
像性の低下をもたらしたり、最終生成物の耐熱性を低下
させる。
If it deviates from this range, it will cause a decrease in photosensitivity, a decrease in developability, and a decrease in the heat resistance of the final product.

以上の中でポリイミド系ポリマ前駆体を感光化する方法
としては、ポリイミド系ポリマ前駆体とアミン基および
感光基を有する化合物を混合したものが特にすぐれ・で
いる。
Among the above methods, a method in which a polyimide polymer precursor is mixed with a compound having an amine group and a photosensitive group is particularly suitable as a method for photosensitizing a polyimide polymer precursor.

本発明における有機顔料〔工〕とは、光の三原基板上に
塗布、600℃で10分間熱処理した際。
The organic pigment [technique] in the present invention is applied to a light Mihara substrate and heat-treated at 600°C for 10 minutes.

分解9発泡、著しい変色を引き起こさないような耐熱性
にすぐれたものを言う。顔料の粒径としては1ミクロン
以下が好ましい。
A product with excellent heat resistance that does not cause decomposition, foaming, or significant discoloration. The particle size of the pigment is preferably 1 micron or less.

有機顔料(I)の例としては、たとえばR(赤)として
は、 Co1or Index Ha 73905 P
igment Red209 、46500 Pigm
ent Violet 19で示されルキナクリドン系
顔料、G(緑)としては、Co1orIn−dex N
u 74160 Pigment areen 36 
、74260 PigmsntGreen 7で示され
るフタロシアニングリーン系顔料、B(青)としては、
 Co1or Index m 74160Pigme
nt Blue  15−3 、Co1or  Ind
ex & 74160Pigment Blue 15
−−4で示されるフタロシアニンと顔料の均一分散が困
難となり、膜形成能が損われる、。
As an example of the organic pigment (I), for example, as R (red), Co1or Index Ha 73905 P
igment Red209, 46500 Pigm
ent Violet 19 and the luquinacridone pigment G (green) is Co1orIn-dex N
u 74160 Pigment area 36
, 74260 PigmsntGreen 7 Phthalocyanine green pigment B (blue) is as follows:
Co1or Index m 74160Pigme
nt Blue 15-3, Co1or Ind
ex & 74160Pigment Blue 15
--It becomes difficult to uniformly disperse the phthalocyanine and pigment shown in 4, and the film forming ability is impaired.

本発明における溶剤とは、有機顔料は溶解せず。In the present invention, the solvent does not dissolve the organic pigment.

感光性ポリイミド前駆体は溶解するものであればよいが
ポリマーの溶解性の面から、50%以上。
The photosensitive polyimide precursor may be one that dissolves, but from the viewpoint of polymer solubility, it should be 50% or more.

好ましくは70%以上が極性溶媒で構成されるものが望
ましい。極性溶媒とは溶解度パラメーター(δ)が95
以上のものを言う、極性溶媒の例としてはジメチルスル
ホキシド、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミ
ド、N−メチル2−ピロリドン、ヘキサメチルホスホロ
アミド、これらの混合したもの等が好ましく用いられる
Preferably, 70% or more is composed of a polar solvent. A polar solvent has a solubility parameter (δ) of 95
Preferred examples of the polar solvent mentioned above include dimethyl sulfoxide, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methyl 2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, and mixtures thereof.

以上CI )、 (II)から成る2つの構成要素以外
に、カラーフィルタとしての性能、#4熱性を著しく損
わない範囲で、必要に応じて界面活性剤。
In addition to the two constituent elements consisting of CI) and (II) above, a surfactant may be used as necessary to the extent that the performance as a color filter and #4 thermal properties are not significantly impaired.

接着改良剤等を少量添加してもよい、界面活性剤として
は、@フロラードv c−430= (3M社製)接着
改良剤としては“5H6020″(東しシリコーン■製
)“KBE−90:5”(信越シリコーン■製)等が典
型的例として挙げられる。
A small amount of an adhesion improver etc. may be added. As a surfactant, @Florard v c-430 = (manufactured by 3M) As an adhesion improver, "5H6020" (manufactured by Toshi Silicone) "KBE-90": 5'' (manufactured by Shin-Etsu Silicone ■) etc. are mentioned as a typical example.

次に本発明のカラーフィルタ用感光性耐熱着色ペースト
の製造方法としては、約50℃前後に加熱した溶媒中に
攪拌しながら1例えば4,4′−ジアミノジフェニルエ
ーテル等のポリマを構成するための一成分を添加溶解し
9次に、ピロメリット酸二無水物等のポリマを構成する
ための一成分を添加し、ポリアミド酸を重合する。重合
したポリアミド酸に感光性を付与する目的で例えば。
Next, as a method for producing the photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters of the present invention, a method for forming a polymer such as 4,4'-diaminodiphenyl ether, for example, 4,4'-diaminodiphenyl ether, is added to a solvent heated to about 50°C with stirring. The components are added and dissolved.Next, a component for forming a polymer such as pyromellitic dianhydride is added to polymerize polyamic acid. For example, for the purpose of imparting photosensitivity to polymerized polyamic acid.

持ったアミノ化合物を添加し、さらに感光性を増大させ
るためミヒラーケトンを増感剤として添加混合する。こ
れに安全光の下で有機顔料〔工〕を三本ロールを使用し
て混練し、所望のカラーフィルタ用感光性側熱着色ペー
ストを得る。
The amino compound is added, and Michler's ketone is added and mixed as a sensitizer to increase the photosensitivity. This is kneaded with an organic pigment using a triple roll under safe light to obtain the desired photosensitive side thermal coloring paste for color filters.

なお9本発明のカラーフィルタ用感光性着色ペーストに
おける耐熱性とは、600″C以上、好ましくは、50
0°Cで20分以上の熱処理が可能なことを言う。
Note that the heat resistance in the photosensitive coloring paste for color filters of the present invention is 600"C or more, preferably 50
This means that heat treatment can be performed at 0°C for 20 minutes or more.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明のカラーフィルタ用感光性側熱着色ペーストは、
上述したように、ポリマ溶液として感光性ポリイミド前
駆体を採用し、これに耐熱性にすぐれた有機顔料を添加
、混合したことにより1次のごとき優れた効果を得るこ
とができる。すなわち、ペースト自身が感光性を持って
いるので、フォトレジストをマスクとしてパターン化す
る必要がなく、直接パターン化できるので、パターン化
が非常に容易である。また感光部と非感光部のコントラ
ストが明確なのでシャープな端面のパターンを得ること
ができる。
The photosensitive side thermal coloring paste for color filters of the present invention is
As described above, by employing a photosensitive polyimide precursor as a polymer solution and adding and mixing an organic pigment with excellent heat resistance thereto, excellent effects such as those of the first order can be obtained. That is, since the paste itself has photosensitivity, there is no need to pattern it using a photoresist as a mask, and patterning can be performed directly, making patterning very easy. Furthermore, since the contrast between the exposed and non-exposed areas is clear, a sharp edge pattern can be obtained.

なお9本発明の効果は次の基準により評価したものであ
る。
Note that the effects of the present invention were evaluated based on the following criteria.

(1)パターン端面の形状 作成したカラーフィルタ用感光性着色ペーストを5 x
 5 cm 、厚さ1mのガラス板上に少量滴下しスピ
ナー(ミカサ製I H−D S 型) テロ 000 
rpmxI分で塗布、80℃×1時間プリベークし。
(1) Add 5 x photosensitive coloring paste for color filters prepared in the shape of the end face of the pattern.
Drop a small amount onto a 5 cm, 1 m thick glass plate using a spinner (I H-D S type manufactured by Mikasa) Terror 000
Coat at rpm x I minute and prebaked at 80°C for 1 hour.

露光、現像して、その後150℃、20D’c、300
°0各30分熱処理した。膜厚は1.1μであった。こ
のサンプルについて1表面粗さ計(小坂研究所製、5E
−3E型)で作成したパターン形状を調べた。
Exposure and development, then 150℃, 20D'c, 300℃
Heat treatment was performed at 0°C for 30 minutes each. The film thickness was 1.1μ. About this sample 1Surface roughness meter (manufactured by Kosaka Laboratory, 5E)
-3E type) was investigated.

次に実施例にもとづいて本発明の実施態様全説明する。Next, the embodiments of the present invention will be fully explained based on Examples.

実施例1 ジアミノジフェニルエーテル110gをN−メチルピロ
リドン278gに溶解し、アミン溶液を調合した。無水
ピロメリット酸120gをジメチルアセトアミド608
gに分散させ、ついでN −メチルピロリドン184g
を加えて溶解させ、酸溶液をえた。60℃のアミン溶液
に酸溶液を加えて6時間反応させることにより、30°
0で60ポアズの溶液(A)をえた。
Example 1 110 g of diaminodiphenyl ether was dissolved in 278 g of N-methylpyrrolidone to prepare an amine solution. 120g of pyromellitic anhydride to 608g of dimethylacetamide
g and then 184 g of N-methylpyrrolidone.
was added and dissolved to obtain an acid solution. By adding an acid solution to an amine solution at 60°C and reacting for 6 hours,
A solution (A) of 60 poise was obtained at 0.

溶液(A)50g、ミヒラ・ケトン1.15 gを30
gのジメチルアセトアミドに溶解し念溶液及びジエチル
アミノエチルメタクリレ−10,2gを10gのジメチ
ルアセトアミドに溶解した溶液を混合した。このポリマ
溶液の粘度は12ボイズ/25℃であった。
50 g of solution (A), 1.15 g of Mihira Ketone, 30
A solution of 10.2 g of diethylaminoethyl methacrylate dissolved in 10 g of dimethylacetamide was mixed together. The viscosity of this polymer solution was 12 voids/25°C.

得られたフェスを250ccポリ工チレン製広口瓶に取
り、これに7タロシアニンプルー粉末20εを添加し、
三本ロールでよく混練して、所望のカラーフィルタ用感
光性耐熱着色ペーストを得た。
The obtained Fes was placed in a 250 cc wide-mouthed polyethylene bottle, and 7 talocyanine blue powder 20ε was added thereto.
The mixture was thoroughly kneaded using three rolls to obtain a desired photosensitive heat-resistant colored paste for color filters.

このペーストをガラス板上にスピナーで塗布し。Apply this paste on a glass plate with a spinner.

80℃×1時間プリベークし、10CIPxI D。Prebaked at 80°C for 1 hour, and heated to 10CIPxID.

μのパターンが20g間隔で並んだマスクを密着させ、
23.、の距離からsoow高圧水銀灯で2分間露光し
た。露光後、ジメチルホルムアミド(5部)とメタノー
ル(2部)の混合溶媒で現像し、レリーフパターンを得
た。このパターンを150℃、200℃、300℃で各
50分キ気ニアし、得られたサンプルのパターン形状を
表面粗さ計で調べた結果、端面形状が非常にシャープな
り(青)フィルタであった。
A mask with μ patterns lined up at 20g intervals is placed in close contact with the mask.
23. The sample was exposed for 2 minutes using a high-pressure mercury lamp from a distance of . After exposure, development was performed with a mixed solvent of dimethylformamide (5 parts) and methanol (2 parts) to obtain a relief pattern. This pattern was heated at 150°C, 200°C, and 300°C for 50 minutes each, and the pattern shape of the resulting sample was examined using a surface roughness meter. As a result, the end face shape was very sharp (blue), indicating that it was a filter. Ta.

実施例2 実施例1のポリマ溶液50g、ミヒラ・ケトン1.15
gを30gのジメチルアセトアミドに溶解した溶液及び
バラアジド安息香酸2−(N、N−ジメチルアミノ)エ
チル2.34 gを10gのジメチルアセトアミドに溶
解した溶液を混合した。
Example 2 50 g of the polymer solution of Example 1, 1.15 Mihira Ketone
A solution of 2.34 g of 2-(N,N-dimethylamino)ethyl barazidobenzoate dissolved in 10 g of dimethylacetamide were mixed together.

このポリマ溶液の粘度は12ボイズ/25℃であった。The viscosity of this polymer solution was 12 voids/25°C.

得られたフェスを250ccポリ工チレン製広口敏に取
り、これに7タロシアニングリ一ン粉末20gを添加、
混合し、三本ロールでよく混練して、所望のカラーフィ
ルタ用感光性耐熱着色ペーストを得た。このペーストを
実施例1と同様に塗布、露光、現像、キュアし1作成し
たパターン形状を表面粗さ計で調べた結果、端面形状の
非常にシャープなG(緑)フィルタが得られた。
The obtained face was taken into a 250 cc polyethylene wide-mouth container, and 20 g of 7 talocyanine green powder was added thereto.
The mixture was mixed and thoroughly kneaded with a triple roll to obtain a desired photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters. This paste was coated, exposed, developed, and cured in the same manner as in Example 1, and the pattern shape was examined using a surface roughness meter. As a result, a G (green) filter with a very sharp end face shape was obtained.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)溶剤と、該溶剤に不溶な有機顔料〔 I 〕と感光
性ポリイミド前駆体〔II〕とから成るカラーフィルタ用
感光性耐熱着色ペーストにおいて、有機顔料〔 I 〕が
感光性ポリイミド前駆体〔II〕100gに対し10〜3
00gの割合で混合されてなることを特徴とするカラー
フィルタ用感光性耐熱着色ペースト。
(1) In a photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters comprising a solvent, an organic pigment [I] insoluble in the solvent, and a photosensitive polyimide precursor [II], the organic pigment [I] is a photosensitive polyimide precursor [II]. II] 10-3 per 100g
A photosensitive heat-resistant coloring paste for color filters, characterized in that the paste is mixed at a ratio of 0.00g.
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