JPS61245594A - Photoelectric hybrid integrated circuit board - Google Patents

Photoelectric hybrid integrated circuit board

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Publication number
JPS61245594A
JPS61245594A JP60086309A JP8630985A JPS61245594A JP S61245594 A JPS61245594 A JP S61245594A JP 60086309 A JP60086309 A JP 60086309A JP 8630985 A JP8630985 A JP 8630985A JP S61245594 A JPS61245594 A JP S61245594A
Authority
JP
Japan
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optical
electrical
module
integrated circuit
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP60086309A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
野呂 孝信
戸崎 博己
平吉 種井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP60086309A priority Critical patent/JPS61245594A/en
Publication of JPS61245594A publication Critical patent/JPS61245594A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Communication System (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は光−電気混成集積回路基板に係り、特に光−電
気変換部そジェールを高密度に実装するのに好適な光−
電気混成集積回路基板に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to an optical-electrical hybrid integrated circuit board, and particularly to an optical-electrical hybrid integrated circuit board suitable for mounting optical-electrical converters in high density.
The present invention relates to an electrical hybrid integrated circuit board.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

近年、光通信の発展はめざましく、将来のINS (総
合ネットワークサービス)通信用としてまた電力、ビル
管理、化学プラント用にまたOA(オフィスオートメー
ション)、FA(ファクトリーオートメーシ冒ン)など
コンピュータデータネットワーク用さらKは航空機、船
舶などの移動体内の通信用として多方面に応用されつつ
ある。しかし、光通信の実用化の日はまだ浅く必ずしも
それら機器類において十分な小型化や生産性(低コスト
化)などは進んだ状況では、1ない。
In recent years, the development of optical communication has been remarkable, and it has been used for future INS (Integrated Network Service) communication, electric power, building management, chemical plants, and computer data networks such as OA (Office Automation) and FA (Factory Automation). Furthermore, K is being applied in a wide variety of fields for communication within moving bodies such as aircraft and ships. However, the day when optical communications will be put into practical use is still young, and it is not necessarily the case that these devices have achieved sufficient miniaturization and productivity (low cost).

このため、光通信の本来のすぐれた特徴が十分に発揮、
活用されずにいる部分が多い。
For this reason, the original excellent characteristics of optical communication can be fully demonstrated.
There are many parts that are not utilized.

たとえば、信号線数の多い計算機架内、端末装置とのイ
ンターフェース、デジタル交換機周辺用の伝送モジュー
ルやまた近い将来INS用通信で予想される元通信用の
回線交換機などの実装に関することなどである。
For example, it is related to the implementation of a computer cabinet with a large number of signal lines, an interface with a terminal device, a transmission module for peripheral use of a digital exchange, and a line exchange for original communication that is expected to be used in INS communication in the near future.

これらの分野における光通信システムの実用化に当って
、特に改良の要求されることは、■十分に小型化、取扱
の簡単化された伝送用モジ。
In order to put optical communication systems into practical use in these fields, the following improvements are particularly required: ■ A transmission module that is sufficiently compact and easy to handle.

ニール、■これらを製造する工程の簡素化、工数の低減
、■近い英米に必ず必要となるINS光信号の回線用交
換機モジュールの実用的生産手段の確立である。
Neil: 1. Simplify the manufacturing process and reduce the number of man-hours; 2. Establish a practical means of producing INS optical signal line switching modules, which are absolutely necessary for the United Kingdom and the United States.

しかし、これら光信号の伝送モジュールは複雑で小型化
がむずかしく、光通信は光を信号伝送の媒体として扱う
ため、その七ジュールの統立、とくに光導波部及びこれ
と接する光−電気変換素子との接合部での工程の改良が
必要である。また前述の0項の光信号回線の交換機につ
いては、実用的に確かな交換機の構想さえ、未だ貧弱な
状態にある。
However, these optical signal transmission modules are complex and difficult to miniaturize, and since optical communication uses light as a signal transmission medium, it is especially important to integrate the 7 joules into the optical waveguide and the optical-to-electrical conversion elements in contact with it. It is necessary to improve the process at the joint. Furthermore, regarding the optical signal line switch mentioned in item 0, even the concept of a practically reliable switch is still in a weak state.

これらのことは、FAやOAなどの前述したデータ通信
及びINS通信の分野において光伝送技術の応用実用化
の普及発展を阻んでいる。ことに、航空機などの狭?場
所でのデータ光通信の応用において、光−電気信号変換
部モジュール(以下0/Eと略す)の小型化と同時に純
電気系モジーールを含めた国体全体の小型化は重要な意
味を有する。即ち、狭い場所での光通信機器に占めるス
ペースの低減、光通信システムの占める重量(重さ)の
低減である。
These problems are hindering the spread and development of practical application of optical transmission technology in the aforementioned data communication and INS communication fields such as FA and OA. Especially in narrow spaces such as airplanes? In the application of data optical communication in places, it is important to downsize the optical-to-electrical signal converter module (hereinafter abbreviated as 0/E) and at the same time to downsize the entire national system including the pure electric module. That is, the space occupied by optical communication equipment in a narrow space is reduced, and the weight occupied by the optical communication system is reduced.

このため、光伝送モジュールに必要と素子などを一つの
チップに一括して形成する、いわゆるモノリシック方式
と呼ばれる研究が以前より行なわれて来た。しかし、こ
の方法においては同一チップ内に単純な光導波路(光回
路)は形成することができても、現在必要とする素子を
同時に形成することができず、未だ実用化に至っていな
い。
For this reason, research into the so-called monolithic method, in which elements necessary for an optical transmission module are collectively formed on one chip, has been conducted for some time. However, although this method can form a simple optical waveguide (optical circuit) within the same chip, it is not possible to simultaneously form the currently required elements, and it has not yet been put to practical use.

このため、現在ではたとえば受光回路(0/E)モジュ
ールでは、フォトダイオード(光−電子変換用受光素子
、以下PDと略す)と電気信号を復調するための増幅回
路、タイミング摘出回路。
For this reason, currently, for example, a light receiving circuit (0/E) module includes a photodiode (light receiving element for photo-electronic conversion, hereinafter abbreviated as PD), an amplifier circuit for demodulating an electric signal, and a timing extraction circuit.

再生用回路の素子を個別に搭載し組立ている。The playback circuit elements are individually mounted and assembled.

また、最も進んだ例で&″f、電気素における増幅。Also, in the most advanced example, &″f, amplification in an electric element.

タイミング、再生回路だけを1チツプに集積化したIC
が試作、あるいは試用されている程度である。
An IC that integrates only the timing and regeneration circuits into one chip.
Only a few have been prototyped or used on a trial basis.

また、この分野の光通信のにしばしば用いられる多芯型
光ファイバによる並列伝送において、受光素子の複数素
子の整列化(アレイ化)が一部で進められている。しか
しその目的とする効果は未だ十分に得られていない。こ
の理由は、。
Further, in parallel transmission using multi-core optical fibers that are often used in optical communications in this field, some efforts are being made to align (array) a plurality of light-receiving elements. However, the desired effect has not yet been sufficiently achieved. The reason for this is.

受光素子のみプレイ化してもその光導波部の組。Even if only the light-receiving element is made into a play, its optical waveguide is a set.

立に手数を要するためである。This is because it takes a lot of effort to set up.

このようにり4モジエー□ルの小型化、工程の簡素化の
努力は進められているが、未だに十分に目的に合った効
果は得られていない。
Efforts have been made to miniaturize the four-module model and simplify the process, but the effects that meet the objectives have not yet been achieved.

この従来のモジュールが十分に小型化されなかった理由
は、光の導波路と、電気素子の電気回路を別々に考え、
これら両者に別々のスペースを与えていたことによ゛る
。即ち、元ファイバからの光の入力信号の導波部と電気
素子の電気回路を別々な場所に形成していたためである
The reason why this conventional module was not sufficiently miniaturized is that the optical waveguide and the electric circuit of the electric element were considered separately.
This is because they were given separate spaces. That is, this is because the waveguide for the optical input signal from the original fiber and the electric circuit for the electric element are formed in different locations.

したがってこれら両者の回路を形成するために2ケ所の
スペースを専有する結果となってい薗また、これを組立
る工程においても、これらの両者の工程はそれぞれ別々
に必要と考え、これらの組立の工程数を削減するは不可
能であると考えられていた。
Therefore, in order to form these two circuits, two spaces are occupied.In addition, in the process of assembling these, we believe that these two processes are required separately, and we It was thought that it would be impossible to reduce the number.

さらに、光通信の実用化が全面的に進んだ場合(たとえ
ばINS光通信全国ネットワーク)、。
Furthermore, if the practical application of optical communications progresses across the board (for example, the INS Optical Communications Nationwide Network).

各種データ、情報を加入者から加入者へ、また−加入者
がある特定の情報サービスプールから情。
Various data and information are transferred from subscriber to subscriber, and information is transferred from a particular information service pool to a subscriber.

報を入手する場合、光信号の回線をどのようKして切り
換えるかなど、光信号の交換機の方法製造方法など大き
な問題がある。この光交換機の問題については、とくに
大きな意味があり、11゜本特許の効果尤も関するので
、以下にその現状技術および近い将来取り入れられると
思われる実用的な方法について、やや詳しく説明する。
When obtaining information, there are major problems such as how to switch optical signal lines and how to manufacture optical signal switching equipment. The problem of this optical switching system is particularly significant, and it also relates to the effects of the present patent, so below we will explain in some detail the current state of the art and practical methods that are expected to be adopted in the near future.

周知のように、現在の電話などにおける交換とは、多数
ある加入者から別の加入者に電話す−る線を結ぶことで
ある。このためには、多数の電子系のスイッチ部を介し
て結ばれている。こめ多数めスイッチの切り換えは現在
、電子交換方法がとられているので容易である。゛とこ
ろで、これが光通信となった場合、同様に交換のための
スイッチを光で行なうことが理想的である。
As is well known, switching in modern telephone systems is the connection of telephone lines from one subscriber to another. For this purpose, they are connected via a large number of electronic switch sections. Changing the number switch is easy because electronic switching methods are currently used. By the way, if this becomes optical communication, it would be ideal to use light for switching as well.

しかし、現在およびかなり遠い将来においても光のみで
スイッチすることは不可能に近い状況にある。たとえば
、いま光スィッチでの光の減衰量が0.5(LB/Km
穆度の光スィッチが開発されたとしても、それらの無数
にある回線への光の結合問題、さらには、多くのスイッ
チを介するために起る光信号の減衰量の問題(10個の
元スイッチを介せば光の減衰量は10倍となる)、さら
に、現在の電子式交換機のように、精巧かつ多各當罠モ
ジエールを組む問題などである。
However, it is nearly impossible to switch using only light, both now and in the distant future. For example, the amount of attenuation of light in the optical switch is 0.5 (LB/Km
Even if optical switches with high flexibility are developed, there will be problems in coupling light to their countless lines, and furthermore, there will be problems in the amount of attenuation of optical signals that occur due to passing through many switches (10 original switches (The amount of attenuation of light would be 10 times greater if the light was transmitted through a switch.

即ち元ファイバで伝送された光信号を光のみのスイッチ
で交換することは実用上不可能に近い。
That is, it is practically impossible to exchange optical signals transmitted through the original fiber using an optical-only switch.

このため罠は元の信号を一旦電子に変換し、これによっ
て電子交換し、またこれを光に変換し、伝送すればよい
。この方法であれば、現在の電子交換技術が容易に利用
でき、多量の光通信の信号交換が可能となる。すなわち
、その情報の伝送媒体経路の基本は騨→す(交換)F、
10 →O/Eである。ここでEは電子、0は光での場
合を示し、α4は光から電子への変換を示8す。ただこ
こで問題であることは交換機周辺における多数に集積の
要するら4またはEloの変換素子の実装方法である。
For this reason, the trap only needs to first convert the original signal into electrons, exchange them with electrons, and then convert this into light and transmit it. With this method, current electronic exchange technology can be easily used, and a large amount of optical communication signals can be exchanged. In other words, the basic transmission medium route for the information is 鈥→S(exchange) F,
10 → O/E. Here, E indicates electrons, 0 indicates light, and α4 indicates conversion from light to electrons. However, the problem here is how to implement the 4 or Elo conversion elements, which must be integrated in large numbers around the exchange.

この部分におけるヴEまたはルツ(以下OAで代表する
)モジュールの実装方法は未だかなり単純なもので、一
本ないしは数本の元ファイバからをO/E変換している
にすぎない。また、これらを集積し、高密度に実装する
方法は未だ考案されていない。このため、#述した理由
から近い将来INS、あるいは現在、光データ通信など
の光通信の多方面において弊変換素子を多数かつ高密度
に実装できる基板すなわち、元−電気の回路が混成しO
A素子搭載用基板が必要である。しかし、このようなも
のは現在、提案されていない。  In〔発明の目的〕 本発明の目的は光通信における光伝送モジ凰−ルあるい
は光信号の交換において、多数かつ高密度に必要とする
光−電気変換素子を実装する光−電気混成集積回路基板
を提供することである。
The implementation method of the VE or Ruth (hereinafter referred to as OA) module in this part is still quite simple, and only involves O/E conversion of one or several original fibers. Further, a method for integrating these and packaging them at high density has not yet been devised. For this reason, for the reasons mentioned above, in the near future INS, or currently in many areas of optical communication such as optical data communication, a board that can mount a large number of our conversion elements at high density, that is, a hybrid of original and electrical circuits, will be used.
A board for mounting the A element is required. However, nothing like this has been proposed at present. [Object of the Invention] The object of the present invention is to provide an optical-electrical hybrid integrated circuit board on which a large number and high density of optical-electrical conversion elements are required for optical transmission modules or optical signal exchange in optical communications. The goal is to provide the following.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明の特徴は、前述したように光導波路(。 As mentioned above, the feature of the present invention is the optical waveguide (.

回路)と電気系の導体回路を空間的(立体的)に同一基
板内に必要とする回線弁を配し、これ。
circuits) and electrical system conductor circuits spatially (three-dimensionally) on the same board.

によって、受光素子や純電気素子をその基板に直接搭載
し、モジエール全体を小型化し、かつこのような基板を
使用することによって、七ジュールの組立工程を簡素化
することである。
Therefore, by directly mounting the light-receiving element and pure electric element on the substrate, downsizing the entire module, and using such a substrate, the assembly process of the 7 Joule can be simplified.

〔発明の実施例〕:1゜ 本発明の構成の理解を容易するため光−電気変換モジュ
ールの組立概念図を第1図で本発明による光−電気変換
そジエールを組立だ概念図を第2図で示す。ここで第2
図に示す本発明の特徴は第1図に示すモジュールが光導
波部と電子回路とが別々になっていたものを、これを一
体(立体的)に形成し、モジエール全体を小さくしたこ
とである。この立体的構成の断面を第5図に示す。この
ようにすること罠よって、従来モジュールの構成法と比
し、その大きさを約° 8 。
[Embodiments of the invention]: 1. In order to facilitate understanding of the configuration of the present invention, FIG. 1 is a conceptual diagram of the assembly of an optical-electrical conversion module, and FIG. 2 is a conceptual diagram of the assembly of an optical-electrical conversion module according to the present invention. Illustrated in the diagram. Here the second
The feature of the present invention shown in the figure is that the module shown in Figure 1 has an optical waveguide section and an electronic circuit that were separate, but they are integrated (three-dimensionally) into one, thereby reducing the overall size of the module. . A cross section of this three-dimensional configuration is shown in FIG. By doing this, the size of the trap is approximately 8° compared to the conventional module construction method.

1/2に小さくすることができる。これらの小型変換モ
ジュールは、多芯の光7アイパー1からのOA変換に便
利であり、OA、FAなど多くの光並列伝送モジニール
に利用できる。
It can be reduced to 1/2. These compact conversion modules are convenient for OA conversion from multi-core optical 7-iper 1 to OA conversion, and can be used for many optical parallel transmission modules such as OA and FA.

また、第4図乃至第6図はこれらの構成をさらに多数、
かつ高密度に構成した例であり、厚い(多層の)ガラス
セラミックス基板内に光の導波路及び、電気系の導体を
縦、横多数に配したものでこれは光交換機モジュールな
どの多量のOA変換部を要する光−電気インタフェース
1.。
In addition, FIGS. 4 to 6 show many more of these configurations.
This is an example of a high-density structure in which optical waveguides and electrical conductors are arranged vertically and horizontally in a thick (multilayer) glass-ceramic substrate. Optical-electrical interface requiring a converter 1. .

用に便利である。It is convenient for use.

以下、本発明の一実施例を第1図乃至第6図により説明
する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6.

実施例1、並列伝送用受光モジュール回路基板 本発明の並列伝送用モジエール回路基板を第1図乃至第
5図に示す。
Embodiment 1: Light-receiving module circuit board for parallel transmission A module circuit board for parallel transmission according to the present invention is shown in FIGS. 1 to 5.

マス、8芯(リボンタイプ)の光ファイバ1によって伝
送されて来た光(信号)を受光素子(pp)の載った受
光素子搭載部5に導(ため罠、他の石英系ファイバを約
4Qmmの長さに切断し、これをV溝のある石英ガラス
のガイド、プレート上に8本並べる。次にこれの上に少
量のガラスセラミックス粉末(SiO,−八On −z
& 01−My。
The light (signal) transmitted by the mass, 8-core (ribbon type) optical fiber 1 is guided to the light receiving element mounting part 5 on which the light receiving element (PP) is mounted (by trapping, another quartz fiber is connected to a length of about 4 Qmm). Cut them into lengths and arrange 8 of them on a quartz glass guide plate with a V-groove.Next, on top of this, a small amount of glass ceramic powder (SiO, -8On -z
& 01-My.

+石英ガラス)をのせ、その上から石英ガラス。+ quartz glass) and then quartz glass on top.

のプレート板を置き、これをバッチ炉中790℃の温度
で焼成し、8本のガイド用フィバ−とガイドブロードを
固め合せる。これによって約20mmL 、 1(1m
mW、 4mmt  の多芯(8芯用)導波路部(板)
4を作成する。           1.。
A plate was placed and fired in a batch furnace at a temperature of 790°C to solidify the eight guide fibers and guide broad. This results in approximately 20 mmL, 1 (1 m
mW, 4mmt multi-core (8-core) waveguide section (plate)
Create 4. 1. .

次にこれとは別に前述と同質のガラスセラミックスのグ
リーンシート(生シート)を用い、通常の厚膜印刷技術
を用いて導体(A!i−Pd系)を配線印刷する。この
とき必要によって、基板罠垂直に配線する個所には、グ
リーンシートに1スルホール穴を明け、これに導体を充
填印刷する。これらの印刷済の各種のシートを重ね合せ
る。この上層部には電気素子を搭載用ルーム(空間)を
作るため、枠状に打ち抜いた厚いシートをのせ、ホット
プレス(120℃20に17層m” )で仮圧着し、多
層に積層する。これを約850℃で焼成し、電気系回路
部を作製した。この電気系素子を搭載するための多層基
板の大きさは20mmL 、 25.mmW 、5mr
ntである。この様ニシテ、電気系導体8及び電気素子
を搭載するためのパッドを具備した基板を、モジエール
全体の設計配線図に従ったものを2枚用意する。次にこ
れを先に作成した光導波板を中心にサンドインチ状に重
ね、両者を低融点ガラス(580℃)で接合し、第2図
示す、多芯導波部4.電気系素子搭、1゜載部6および
受光素子搭載部5から成る光−電気混成回路基板を作成
する。この基板を用い、第2図に示す多芯光ファイバ1
とその元コネクタ2及び電気信号出力用コネクタ(出力
用コンセント)7を附属させ、光並列伝送用、8芯型弊
小型モジエールを製造する。なお、本基板の多芯導波部
4の端面ば、鏡面処理を行ない、多芯光コネクタ2及び
受光素子(PD)との接合効率を大きくするためにその
接合部にはマツチング液を用いることは、他の元関係の
接合法と同様の技術を用いる。
Separately, a conductor (A!i-Pd system) is printed on a green sheet (green sheet) of glass ceramics of the same quality as described above using a normal thick film printing technique. At this time, if necessary, one through hole is made in the green sheet at the point where the board traps are to be wired vertically, and a conductor is filled and printed in this hole. These various printed sheets are stacked one on top of the other. In order to create a room (space) for mounting electrical elements on this upper layer, a thick sheet punched out into a frame shape is placed on top of the upper layer, and is temporarily pressed using a hot press (17 layers at 120° C., 20 m'') to form multiple layers. This was fired at approximately 850°C to produce an electrical circuit section.The size of the multilayer board on which this electrical element was mounted was 20 mm L, 25 mm W, and 5 mr.
nt. In this manner, two boards each having pads for mounting electrical system conductors 8 and electrical elements are prepared in accordance with the design wiring diagram of the entire module. Next, these are stacked in a sandwich shape with the optical waveguide plate prepared earlier in the center, and both are bonded with low melting point glass (580°C) to form a multi-core waveguide 4 as shown in FIG. An optical-electrical hybrid circuit board consisting of an electrical element mount, a 1° mounting part 6, and a light receiving element mounting part 5 is prepared. Using this substrate, a multi-core optical fiber 1 shown in FIG.
, its original connector 2 and electrical signal output connector (output outlet) 7 are attached to manufacture our small 8-core module for optical parallel transmission. Note that the end face of the multi-core waveguide section 4 of this board should be mirror-finished, and a matching liquid should be used at the joint in order to increase the bonding efficiency with the multi-core optical connector 2 and the photodetector (PD). uses a technique similar to the joining method of other element relations.

この元並列伝送用受元モジュール基板には、8個の受光
素子と12個の電気系素子を搭載できる。また従来の光
導波路を一本づつ配列し、固定する工程を省略し、また
電気系回路部が2次−元凶に広がるスペースを削減でき
る。
Eight light receiving elements and 12 electrical system elements can be mounted on this original parallel transmission receiving module board. Furthermore, the conventional process of arranging and fixing the optical waveguides one by one can be omitted, and the space where the electrical circuit section spreads secondarily can be reduced.

尚図中、3は多芯の導波レンズ止め、9は七ジュールの
カバーである。
In the figure, 3 is a multicore waveguide lens stopper, and 9 is a 7 joule cover.

実施例2 高密度り変換用モジエール基板     1゜本実施例
の概要を第4図乃至第6図に示す。
Example 2 Mosier substrate for high-density conversion 1° The outline of this example is shown in FIGS. 4 to 6.

まず、前述と同様にガラスセラミックスのシー) 10
0 X 100 m角を用い、モジュール基板に必。
First, as mentioned above, the glass-ceramic sheet) 10
Uses 0 x 100 m square and is required for the module board.

要とする導体を配線印刷する。このとき垂直方向の配線
について、スルホールな用いることは1゜実施例1と同
様である。
Print the required conductors. At this time, the use of through holes for the vertical wiring is the same as in the first embodiment.

さらに多芯導波部4は基板に垂直にスルホールを貫通さ
せこれにほぼ同径の光ファイバを挿入できるようにする
。このようにして多層(20層)に重ね合せた導体印刷
済のシートをホットプレスで仮接着し、空のスルホール
に穴K、光。
Furthermore, the multi-core waveguide section 4 has a through hole perpendicularly penetrated through the substrate so that an optical fiber having approximately the same diameter can be inserted into the through hole. The conductor-printed sheets stacked in multiple layers (20 layers) in this way are temporarily adhered using a hot press, and holes K and light are inserted into the empty through holes.

の導波路となるファイバーを64本(1穴−1本)を挿
入i、780℃で焼成した。これによって第4図乃至第
6図に示す光−電気混成の回路基板を作成した。この基
板は、5rILWL角上に1個のOA変換用受光素子を
搭載し、その必要とする配線を導波路を中心に布線した
Sixty-four fibers (one hole per hole) were inserted and fired at 780°C. As a result, optical-electrical hybrid circuit boards shown in FIGS. 4 to 6 were produced. On this board, one OA conversion light-receiving element was mounted on the 5rILWL angle, and the necessary wiring was laid around the waveguide.

なお、上記基板を焼成した後は、導波部のファイバ一端
面に鏡面処理を施し、ついで、基板には元コネクタ用の
7ランジ、電気系信号のへ、。
After firing the above-mentioned board, one end of the fiber of the waveguide section was mirror-finished, and the board was then fitted with 7 langes for the original connector and for electrical signals.

出力(Ilo )ピンなどを附属させる。Attach output (Ilo) pin etc.

このようにして作製した基板は64個に及ぶ受光素子を
次々に連続作業で搭載し、その光及び電気信号の入出力
端子はすべて裏側にある。このため、コンパクトでかつ
多数の受光素子をもつq化変換モジエールを能率的に組
立てることができた。
The substrate thus produced has 64 light-receiving elements mounted one after another in a continuous process, and all of its optical and electrical signal input/output terminals are located on the back side. Therefore, it was possible to efficiently assemble a compact q conversion module having a large number of light receiving elements.

尚図中、11は電気系導体パッド、12は光導波部端面
、16は受光素子固定台、14は電気系出力用導体ピン
、15は光導波用コネクタ7ランジ、16.17は内部
導体配線、18は受光素子用キャップである。
In the figure, 11 is an electrical system conductor pad, 12 is an optical waveguide end face, 16 is a light receiving element fixing stand, 14 is an electrical system output conductor pin, 15 is an optical waveguide connector 7 flange, and 16.17 is an internal conductor wiring. , 18 is a cap for the light receiving element.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように本発明の実施例1の光並列伝送多芯型
モジュール基板において、25 X 25mm X 1
5mmの大きさの基板に、受光素子8個。
As described above, in the optical parallel transmission multi-core module board of Example 1 of the present invention, the size of the 25 x 25 mm x 1
8 light receiving elements on a 5mm size board.

電気素子12個を搭載した小型0/B変換モジユールを
形成できる。
A small O/B conversion module equipped with 12 electric elements can be formed.

更に実施例2の光−電気混成集積回路基板において、1
00 X 1QQ7JL1n角の基板上に64個のO/
E 、、。
Furthermore, in the optical-electrical hybrid integrated circuit board of Example 2, 1
00 x 1QQ7JL1n square board with 64 O/
E...

変換用受光素子を搭載できる。これは光通信の通信回線
の交換機9元データ通信の高密度にOA変換を要するO
/Eモジュールの0−Eインタフェース用としてきわめ
て有効である。
Can be equipped with a conversion photodetector. This is an exchange system for optical communication lines that requires OA conversion for high-density data communication.
It is extremely effective for the 0-E interface of the /E module.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は0/E変換モジユール、第2図は本発明による
O/E変換モジュール基板の上面図、第5図は第2図の
断面図、第4乃至第6図は本発明による弊変換モジエー
ル光−電気混成集積回路基板を示す平面図、部分配送図
および断面図である。 1・・・多芯型光ファイバー 2・・・多芯型光コネクタ 5・・・多芯の導波レンズ止め 4・・・多芯の導波路部 5・・・受光素子搭載部 6・・・電気系素子搭載部 7・・・電気系出力コネクタ(コンセント部)8・・・
電気系素子 9・・・モジュールのカバー 11・・・電気系の導体パッド 12・・・光導波部端面 15・・・受光素子固定台 14・・・電気系出力用導体ピン 15・・・光導波用コネクタフランジ 16.17・・・内部導体配線 18・・・受光菓子用キャップ 第3Tf!J 第4図 r               @ −丁・−r r 7  HD  G下″■ ” 1 “ ・   1      .21+−“−ト
升・  ” 6,5” ”’:l      l              
 l:ijl+   ”     ″ t、l−、−一ヨ 、、、、   j D   G: −」−一寸−−→−−4−−−1L−−−−J1  l
  1 1 1 一一←−−μm    −μ−− II、Il 1  I  I  I  I 一 1 z 111 し−Lh−IJ 寿34 8z圀
Figure 1 is an O/E conversion module, Figure 2 is a top view of the O/E conversion module board according to the present invention, Figure 5 is a sectional view of Figure 2, and Figures 4 to 6 are our conversion according to the present invention. FIG. 1 is a plan view, a partial distribution view, and a sectional view showing a Mosier optical-electrical hybrid integrated circuit board. 1... Multi-core optical fiber 2... Multi-core optical connector 5... Multi-core waveguide lens stopper 4... Multi-core waveguide section 5... Light receiving element mounting section 6... Electrical system element mounting part 7... Electrical system output connector (outlet part) 8...
Electrical system element 9... Module cover 11... Electrical system conductor pad 12... Optical waveguide end face 15... Light receiving element fixing base 14... Electrical system output conductor pin 15... Light guide Wave connector flange 16.17...Inner conductor wiring 18...Light receiving confectionery cap 3rd Tf! J Fig. 4 r @ -cho・-r r 7 HD G bottom "■" 1 "・ 1 .21+-"-to square・ "6,5""': l l
l: ijl+ ” ” t, l-, -ichiyo,,,, j D G: -"-ichisun--→--4---1L----J1 l
1 1 1 11←--μm -μ-- II, Il 1 I I I I 11 z 111 Shi-Lh-IJ Kotobuki 34 8z 圀

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)同一の基板内に光の導波路と電気の導体との回路
を混成して形成しこれによって光−電気変換素子を多数
にかつ高密度に実装するようにしたことを特徴とする光
−電気混成集積回路基板。
(1) An optical device characterized by forming a circuit of an optical waveguide and an electrical conductor in the same substrate, thereby mounting a large number of optical-to-electrical conversion elements at high density. -Electrical hybrid integrated circuit boards.
(2)特許請求の範囲第1項記載の基板材料がガラスセ
ラミックスが、また光導波路が石英ガラスファイバーで
あってかつ前記基板のガラスセラミックが多層に構成さ
れていることを特徴とする光−電気混成集積回路基板。
(2) The optical-electronic device according to claim 1, wherein the substrate material is glass ceramic, the optical waveguide is quartz glass fiber, and the glass ceramic of the substrate is composed of multiple layers. Hybrid integrated circuit board.
JP60086309A 1985-04-24 1985-04-24 Photoelectric hybrid integrated circuit board Pending JPS61245594A (en)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01312886A (en) * 1988-06-10 1989-12-18 Hitachi Ltd Ceramic laminated circuit substrate and manufacture thereof as well as application thereof
JPH02252331A (en) * 1989-03-27 1990-10-11 Mitsubishi Electric Corp Optical signal processor
US6120191A (en) * 1997-02-26 2000-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser diode module
US6504975B1 (en) 1998-09-17 2003-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Coupling lens and semiconductor laser module
JP2015023143A (en) * 2013-07-18 2015-02-02 富士通コンポーネント株式会社 Optical module

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01312886A (en) * 1988-06-10 1989-12-18 Hitachi Ltd Ceramic laminated circuit substrate and manufacture thereof as well as application thereof
JPH02252331A (en) * 1989-03-27 1990-10-11 Mitsubishi Electric Corp Optical signal processor
US6120191A (en) * 1997-02-26 2000-09-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Laser diode module
US6504975B1 (en) 1998-09-17 2003-01-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Coupling lens and semiconductor laser module
JP2015023143A (en) * 2013-07-18 2015-02-02 富士通コンポーネント株式会社 Optical module

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