JPS61236129A - Coating apparatus - Google Patents

Coating apparatus

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Publication number
JPS61236129A
JPS61236129A JP7653185A JP7653185A JPS61236129A JP S61236129 A JPS61236129 A JP S61236129A JP 7653185 A JP7653185 A JP 7653185A JP 7653185 A JP7653185 A JP 7653185A JP S61236129 A JPS61236129 A JP S61236129A
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JP
Japan
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coating
light
pellet
nozzle
coating liquid
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JP7653185A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshikazu Oshino
押野　利和
Kunihiro Tsubosaki
邦宏 坪崎
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To enable to make sure of any coating solution sticked to a coated element by a method wherein any light reflected in the coating solution stuck to the coated element is detected to check the coating solution stuck to the coated element. CONSTITUTION:A leadframe 2 mounted with pellets 3 is set on a coating stage at specified pitch and the leadframe 2 positioned directly below a coating nozzle 4 is irradiated with light rays from a light source 9 so that the intensity of light rays reflected in the surface of pellets 3 may be detected by a light receiver 10. Later the coating nozzle 4 is lowered above the pellet 3 at specified level to be supplied with specified air pressure through a pressurizing pipe 7 so that specified amount of viscous resin 8 may be discharged from the end of coating nozzle 4 to be stuck to the surface of pellet 3. Finally the coating nozzle 4 is lifted up to specified level to detect the intensity of light reflected in the surface of pellet 3 again by the light receiver 10 and any viscous resin 8 sticked to the pellets can be checked by comparing the intensity of reflected light with the intensity of reflected light before the coating operation.

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、塗布技術、特に、半導体装置の製造における
組立工程において、ペレットに溶液を塗布する作業に適
用して有効な技術に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a coating technique, and particularly to a technique that is effective when applied to the operation of coating a pellet with a solution in an assembly process in the manufacture of semiconductor devices.

［背景技術］ たとえば、樹脂封止型の半導体装置の製造においては、
ペレットのポンディングパッドとこのポンディングパッ
ドに接続されるボンディングワイヤ端部とで形成される
ボンディング部における隙間腐食や、封止時の樹脂によ
るペレ７）の電極構造などの損傷、さらには、樹脂に含
有される微量の放射性物質から発生されるα線に起因す
る半導体装置の誤動作などを防止するため、樹脂封止作
業に先立って、リードフレーム上に搭載されたベレット
表面に、粘性体樹脂などを塗布することが行われる場合
がある。[Background Art] For example, in the manufacture of resin-sealed semiconductor devices,
There may be crevice corrosion in the bonding area formed between the pellet's bonding pad and the end of the bonding wire connected to this bonding pad, or damage to the electrode structure of the pellet 7) caused by the resin during sealing. In order to prevent malfunctions of semiconductor devices caused by alpha rays emitted from trace amounts of radioactive substances contained in lead frames, viscous resin, etc. In some cases, it may be necessary to apply

この場合、ベレット表面に塗布される樹脂の量が過剰で
あると、ボンディングワイヤが、熱膨張係数の異なるパ
フケージング用樹脂とこの樹脂の中に埋設されることと
なり、半導体装置の使用時の熱サイクルなどによって疲
労破断されるなどの不具合がある。In this case, if an excessive amount of resin is applied to the surface of the pellet, the bonding wire will be buried in the puff caging resin, which has a different coefficient of thermal expansion. There are problems such as fatigue breakage due to cycles, etc.

このため、所定量の粘性体樹脂をベレットに確実に付着
させ、ベレット表面に対する粘性体樹脂のぬれ作用によ
って均一な塗布膜を形成することが重要となるが、塗布
される粘性体樹脂が微量であるため、たとえば、目視に
よる検査ではベレットに粘性体樹脂が確実に付着された
か否かを検査することは困難であ。For this reason, it is important to reliably adhere a predetermined amount of viscous resin to the pellet and to form a uniform coating film by the wetting action of the viscous resin on the surface of the pellet. Therefore, for example, it is difficult to visually inspect whether or not the viscous resin has been reliably attached to the pellet.

この結果、塗布漏れのベレットが発生されることは避け
られず、半導体装置の使用中におけるボンディング部の
腐食に起因する不時の断線故障や、ベレットに対する封
止樹脂からのα線の照射に起因する誤動作などを生じて
、半導体装置の信頼性や歩留りの低下の原因となってい
ることを本発明者は見いだした。As a result, it is unavoidable that pellets with incomplete application occur, which can lead to accidental disconnection failures due to corrosion of the bonding part during use of semiconductor devices, and irradiation of alpha rays from the sealing resin to the pellets. The inventors of the present invention have discovered that this causes malfunctions and the like, which causes a decrease in the reliability and yield of semiconductor devices.

なお、ベレットに対して溶液を付着させる塗布装置とし
ては、株式会社武蔵エンジニアリング製の「プレシジョ
ンデスベンサコントローラＪ　、Ｍ。The coating device for applying the solution to the pellet is "Precision Death Venser Controller J, M" manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd.

ｄｅｌ　ＭＢ２０５．　ＭＬ５０５他が知られている。del MB205. ML505 and others are known.

［発明の目的］ 本発明の目的は、信頼性の高い塗布を行うことが可能な
塗布技術を提供することにある。[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a coating technique that enables highly reliable coating.

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、つぎの通りである。[Summary of the Invention] A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、被塗布物上に塗布ノズルから吐出される塗布
液を付着させることによって塗布を行う塗布装置に、被
塗布物に光線を照射する光源と、被塗布物に付着された
塗布液からの反射光を検出することによって被塗布物上
における塗布液の有無を検知する受光部とからなる塗布
液検出機構を設けることにより、被塗布物に対する塗布
液の付着の有無を確実に判別することを可能にして、被
塗布物に対する塗布液の塗布漏れが発生することを回避
し、被塗布物に対する塗布液の塗布の信頼性を向上させ
たものである。In other words, a coating device that performs coating by depositing a coating liquid discharged from a coating nozzle onto an object to be coated has a light source that irradiates the object with a light beam, and a light source that emits light from the coating liquid that has adhered to the object. By providing a coating liquid detection mechanism consisting of a light receiving section that detects the presence or absence of coating liquid on the object to be coated by detecting light, it is possible to reliably determine whether or not the coating liquid is attached to the object to be coated. This prevents the coating liquid from leaking onto the object to be coated, and improves the reliability of applying the coating liquid to the object.

［実施例１］ 第１図は、本発明の一実施例である塗布装置の正面図で
ある。[Example 1] FIG. 1 is a front view of a coating device that is an example of the present invention.

水平に設けられた塗布ステージ１の上には、複数のベレ
ット２（被塗布物）が所定のピッチでマウントされたリ
ードフレーム３が、長手方向が図中の左右方向となるよ
うに位置されている。A lead frame 3 on which a plurality of pellets 2 (objects to be coated) are mounted at a predetermined pitch is positioned on a horizontally provided coating stage 1 so that its longitudinal direction is in the left-right direction in the figure. There is.

また、塗布ステージ１の上方には、塗布ノズル４が垂直
に設けられ、保持治具５を介して、紙面に垂直な方向に
軸を有する昇降アーム６に固定されている。Further, a coating nozzle 4 is provided vertically above the coating stage 1, and is fixed via a holding jig 5 to a lifting arm 6 having an axis perpendicular to the plane of the paper.

この昇降アーム６は上下方向に水平移動自在に構成され
、昇降アーム６に固定された塗布ノズル４が塗布ステー
ジ１に垂直な状態で上昇、下降および停止動作が行われ
るものである。This lifting arm 6 is configured to be horizontally movable in the vertical direction, and lifts, lowers, and stops while the coating nozzle 4 fixed to the lifting arm 6 is perpendicular to the coating stage 1.

また、塗布ノズル４の上部には加圧パイプ７が接続され
、塗布ノズル４の内部に所定の圧力の空気圧を作用させ
ることによって塗布ノズル４の内部に貯留された、たと
えば粘性体樹脂８（塗布液）が所定の量だけ塗布ノズル
４の先端部から吐出される構造とされている。Further, a pressure pipe 7 is connected to the upper part of the coating nozzle 4, and by applying air pressure at a predetermined pressure inside the coating nozzle 4, for example, a viscous resin 8 (coating) is stored inside the coating nozzle 4. The structure is such that a predetermined amount of liquid is ejected from the tip of the coating nozzle 4.

一方、塗布ステージｌの上に位置されるリードフレーム
２は、リードフレーム２の長手方向に所定のピッチで形
成された、たとえば送り穴（図示塗布ステージ１の上を
図中の右方向に所定のピッチで逐次移動されるように構
成され、リードフレーム２の上に所定のピッチでマウン
トされた複数のベレット３が順次塗布ステージ１の上方
に垂直に設けられた塗布ノズル４の直下に位置されるも
のである。On the other hand, the lead frame 2 positioned above the coating stage 1 has, for example, feed holes formed at a predetermined pitch in the longitudinal direction of the lead frame 2. A plurality of pellets 3, which are configured to be moved sequentially at a pitch and mounted on a lead frame 2 at a predetermined pitch, are successively positioned directly below a coating nozzle 4 provided vertically above the coating stage 1. It is something.

そして、塗布ノズル４は、直下に位置されるベレット３
の上方の所定の高さまで降下され、加圧パイプ７を通じ
て塗布ノズル４の内部に作用される空気圧によって塗布
ノズル４の先端部に吐出形成された所定量の粘性体樹脂
８の滴がベレット３に付着されて塗布操作が行われる。The coating nozzle 4 is connected to the pellet 3 located directly below the coating nozzle 4.
Droplets of a predetermined amount of viscous resin 8 are lowered to a predetermined height above, and are discharged and formed at the tip of the coating nozzle 4 by air pressure applied to the interior of the coating nozzle 4 through the pressure pipe 7 onto the pellet 3. It is attached and a coating operation is performed.

この場合、塗布ステージ１の上方において、塗布ノズル
４の近傍には、塗布ノズル４の直下に位置されるベレッ
ト３に光線を照射するランプ等の光源９（塗布液検出機
構）が設けられている。In this case, above the coating stage 1 and near the coating nozzle 4, there is provided a light source 9 (coating liquid detection mechanism) such as a lamp that irradiates a light beam onto the pellet 3 located directly below the coating nozzle 4. .

さらに、塗布ノズル４を介して光源９と対向する位置に
は、光源９から照射されベレット３の表面で反射される
光線が入射されるように光軸が設定された、受光部とし
ての受光器１０（塗布液検出機構）が設けられている。Further, at a position facing the light source 9 via the coating nozzle 4, a light receiver serving as a light receiving section is set, and an optical axis is set so that the light rays emitted from the light source 9 and reflected on the surface of the pellet 3 are incident. 10 (coating liquid detection mechanism) is provided.

この受光器１０は、たとえば、ベレット３の表面で反射
されて入射される反射光が、光軸に垂直な平面内に多数
配役形成された光−電気変換素子に所定のレンズ系を経
て集束されるように構成され、入射される反射光の強度
変化が電気的な量の変化として把握されるものである。This light receiver 10 is configured such that, for example, reflected light reflected from the surface of the pellet 3 and incident thereon is focused through a predetermined lens system onto a plurality of light-to-electrical conversion elements arranged in a plane perpendicular to the optical axis. The change in the intensity of the incident reflected light is understood as a change in electrical quantity.

そして、粘性体樹脂８が付着される前のベレット３の表
面における光線の反射率と、粘性体樹脂８が付着された
後のベレット３の表面の反射率の差に起因する反射光線
の強度変化が前記受光器ＩＯによって検出され、ベレッ
ト３の表面に対する粘性体樹脂８の付着の有無が確実に
検知されるものである。Then, the intensity of the reflected light ray changes due to the difference between the reflectance of the light ray on the surface of the pellet 3 before the viscous resin 8 is attached and the reflectance of the surface of the pellet 3 after the viscous resin 8 is attached. is detected by the light receiver IO, and the presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 to the surface of the pellet 3 is reliably detected.

このように、ベレット３の表面に対する粘性体樹脂８の
付着の有無を確実に検知する機構が設けられているため
、ベレット３に対する粘性体樹脂８の付着漏れが発生す
ることが防止され、ベレット３に対する粘性体樹脂８の
塗布における信頼性が向上される。In this way, since a mechanism is provided to reliably detect whether or not the viscous resin 8 is attached to the surface of the pellet 3, it is possible to prevent the viscous resin 8 from adhering or leaking to the pellet 3. The reliability in applying the viscous resin 8 to the viscous resin 8 is improved.

また、塗布ステージｌの左右の端部には、塗布ステージ
１にリードフレーム２を供給するローダ部（図示せず）
および塗布ステージ１からリードフレーム２を取り除く
アンローダ部（図示せず）がそれぞれ設けられている。Further, at the left and right ends of the coating stage 1, there is a loader section (not shown) that supplies the lead frame 2 to the coating stage 1.
and an unloader section (not shown) for removing the lead frame 2 from the coating stage 1.

以下、本実施例の作用について説明する。The operation of this embodiment will be explained below.

始めに、塗布ステージ１の上には、塗布ステージ１の左
端に設けられたローダ部から、所定のピッチでベレット
３がマウントされたリードフレーム２がセットされ、リ
ードフレーム２に形成された送り穴に塗布ステージ１の
位置決めビンが嵌合されて、所定のピッチで図中の右方
向に逐次移動される。First, a lead frame 2 on which pellets 3 are mounted at a predetermined pitch is set on top of the coating stage 1 from a loader section provided at the left end of the coating stage 1, and the feed holes formed in the lead frame 2 are set on top of the coating stage 1. A positioning bottle of the coating stage 1 is fitted into the positioning pin 1, and the positioning bottle is successively moved to the right in the figure at a predetermined pitch.

そして、リードフレーム２にマウントされたベレット３
が塗布ステージ１の上方に設けられた塗布ノズル４の直
下に位置された時、光源９から照射され、ベレット３の
表面で反射された光線の強度が受光器ｌＯで検出され、
保持される。Then, the bellet 3 mounted on the lead frame 2
is positioned directly below the coating nozzle 4 provided above the coating stage 1, the intensity of the light beam emitted from the light source 9 and reflected by the surface of the pellet 3 is detected by the light receiver lO,
Retained.

その後、塗布ノズル４がベレット３の上方に所定の高さ
まで降下され、塗布ノズル４に接続された加圧バイブ７
を通じて塗布ノズル４の内部に所定の空気圧が作用され
、塗布ノズル４の内部に貯留された粘性体樹脂８が塗布
ノズル４の先端部に所定量だけ吐出され、ベレット３の
表面に付着される。Thereafter, the coating nozzle 4 is lowered to a predetermined height above the pellet 3, and the pressure vibrator 7 connected to the coating nozzle 4 is
Through this, a predetermined air pressure is applied to the inside of the coating nozzle 4, and a predetermined amount of the viscous resin 8 stored inside the coating nozzle 4 is discharged to the tip of the coating nozzle 4 and adhered to the surface of the pellet 3.

次に、塗布ノズル４は所定の高さまで上昇され、粘性体
樹脂８が付着されたベレット３からの反射光線の強度が
受光器１０で再び検出され、前記の塗布ノズル４による
塗布操作前に検出された反射光の強度と比較することに
よって、ベレット３に対する粘性体樹脂８の付着の有無
が検知される。Next, the coating nozzle 4 is raised to a predetermined height, and the intensity of the reflected light beam from the pellet 3 to which the viscous resin 8 is attached is detected again by the light receiver 10, and is detected before the coating operation by the coating nozzle 4 described above. The presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 to the pellet 3 is detected by comparing the intensity of the reflected light.

そして、上記の塗布ノズル４による粘性体樹脂８の付着
操作および粘性体樹脂８のベレット３に対する付着の有
無の検知操作が、塗布ノズル４の直下に順次位置される
所定数のベレット３に対して繰り返され、この所定数の
ベレット３がマウントされたリードフレーム２は、塗布
ステージ１の右端に設けられたアンローダ部において塗
布ステージ１から取り除かれる。Then, the operation of adhering the viscous resin 8 by the application nozzle 4 and the operation of detecting the presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 to the pellets 3 are performed on a predetermined number of pellets 3 sequentially positioned directly below the application nozzle 4. This process is repeated, and the lead frame 2 on which a predetermined number of pellets 3 are mounted is removed from the coating stage 1 at the unloader section provided at the right end of the coating stage 1.

この時、前記の塗布操作の際における粘性体樹脂８のベ
レット３に対する付着の有無の情報に基づいて、粘性体
樹脂８が付着されなかったベレット３がマウントされた
リードフレーム２が、マウントされたすべてのベレット
３に粘性体樹脂８が付着されたリードフレーム２と分別
される。At this time, the lead frame 2 on which the pellet 3 to which the viscous resin 8 was not attached was mounted was mounted based on the information on whether the viscous resin 8 was attached to the pellet 3 during the coating operation. All the pellets 3 are separated from the lead frame 2 to which the viscous resin 8 is attached.

このように、塗布ノズル４によるベレット３に対する粘
性体樹脂８の付着の有無が、ベレット３に光線を照射す
る光源９およびこの光源９から照射され、ベレット３の
表面で反射された反射光の強度を検出する受光器１０に
より、ベレット３の表面における粘性体樹脂８の付着の
有無によって生じる反射率の差に起因する反射光の強度
変化を検知することによって確実に把握されるため、粘
性体樹脂８が塗布されないペレット３の検出漏れが発生
されることが防止され、ペレット３に対する粘性体樹脂
８の塗布の信頼性が向上される。In this way, the presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 to the pellet 3 by the application nozzle 4 is determined by the light source 9 that irradiates the pellet 3 with light and the intensity of the reflected light irradiated from this light source 9 and reflected on the surface of the pellet 3. The change in the intensity of the reflected light caused by the difference in reflectance caused by the presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 on the surface of the pellet 3 can be detected reliably by the light receiver 10, which detects the presence or absence of the viscous resin 8 on the surface of the pellet 3. Failure to detect pellets 3 to which viscous resin 8 is not applied is prevented from occurring, and the reliability of applying viscous resin 8 to pellets 3 is improved.

［実施例２］ 第２図は、本発明の他の実施例である塗布装置の正面図
である。[Example 2] FIG. 2 is a front view of a coating device that is another example of the present invention.

本実施例２においては、ペレット３に対する粘性体樹脂
８の付着の有無を検知する光源９および受光器ｌＯが、
ペレット３に粘性体樹脂８を付着させる塗布ノズル４が
設けられている位置よりも後段に設けられているところ
が前記実施例１と異なり他は同様である。In the second embodiment, a light source 9 and a light receiver 10 for detecting the presence or absence of adhesion of the viscous resin 8 to the pellet 3 are
The difference from the first embodiment is that the coating nozzle 4 for adhering the viscous resin 8 to the pellets 3 is provided at a later stage than the position where the coating nozzle 4 is provided.

［効果］ （ｌ）、被塗布物上に塗布ノズルから吐出される塗布液
を付着させることによって塗布を行う塗布装置に、被塗
布物に光線を照射する光源と、被塗布物に付着された塗
布液からの反射光を検出することによって被塗布物上に
おける塗布液の有無を検知する受光部とからなる塗布液
検出機構が設けられているため、被塗布物に対する塗布
液の付着の有無を確実に判別することが可能となり、被
塗布物に対する塗布液の塗布漏れが発生することが回避
でき、被塗布物に対する塗布液の塗布の信頼性が向上さ
れる。[Effect] (l) A coating device that performs coating by depositing a coating liquid discharged from a coating nozzle onto an object to be coated includes a light source that irradiates the object with a light beam, and a light source attached to the object to be coated. It is equipped with a coating liquid detection mechanism consisting of a light receiving section that detects the presence or absence of coating liquid on the object to be coated by detecting the reflected light from the coating liquid. This makes it possible to reliably discriminate, prevent leakage of the coating liquid onto the object, and improve the reliability of applying the coating liquid to the object.

（２）、前記（１１の結果、粘性体樹脂が塗布されない
ペレットを樹脂封止して構成される半導体装置が製造さ
れることが防止され、粘性体樹脂が塗布されない状態で
ペレットが樹脂封止されることに起因する、半導体装置
の使用中の断線故障やα線の影響による誤動作が発生す
ることが防止され、半導体装置の信頼性が向上される。(2) As a result of (11) above, it is possible to prevent the manufacture of a semiconductor device configured by resin-sealing a pellet to which no viscous resin is applied, and to seal the pellet with resin without any viscous resin being applied. This prevents disconnection failures during use of the semiconductor device and malfunctions due to the influence of alpha rays, which would be caused by the semiconductor device being used, thereby improving the reliability of the semiconductor device.

（３）、前記（２）の結果、半導体装置の製造における
歩留りが向上される。(3) As a result of (2) above, the yield in manufacturing semiconductor devices is improved.

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.

たとえば、ペレットに塗布される粘性体樹脂としては、
シリコン系樹脂、ポリイミド樹脂などが挙げられる。For example, as a viscous resin applied to pellets,
Examples include silicone resin and polyimide resin.

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその前景となった利用分野である半導体装置の製造に
おける塗布技術に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、微量の塗布液を確実に塗
布することが要求される工程などに広く適用できる。[Field of Application] In the above explanation, the invention made by the present inventor was mainly applied to the coating technology in the production of semiconductor devices, which is the foreground field of application, but the present invention is not limited thereto. It can be widely applied to processes that require reliable application of a small amount of coating liquid.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、本発明の一実施例である塗布装置の正面図、 第２図は、本発明の他の実施例である塗布装置の正面図
である。 １・・・塗布ステージ、２・・・リードフレーム、３・
・・ペレット（被塗布物）、４・・・塗布ノズル、５・
・・保持治具、６・・・昇降アーム、７・・・加圧パイ
プ、８・・・粘性体樹脂、９・・・光源（塗布液検出機
構）、ｌＯ・・・受光器（塗布液検出機構）。FIG. 1 is a front view of a coating device that is one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a front view of a coating device that is another embodiment of the present invention. 1... Coating stage, 2... Lead frame, 3...
... Pellet (object to be coated), 4... Application nozzle, 5.
...Holding jig, 6. Lifting arm, 7. Pressure pipe, 8. Viscous resin, 9. Light source (coating liquid detection mechanism), lO... Light receiver (coating liquid detection mechanism).

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、被塗布物上に塗布ノズルから吐出される塗布液を付
着させることによって塗布を行う塗布装置であって、被
塗布物に光線を照射する光源と、被塗布物に付着された
塗布液からの反射光を検出することによって被塗布物上
における塗布液の有無を検知する受光部とからなる塗布
液検出機構を有することを特徴とする塗布装置。 ２、前記塗布液検出機構によって被塗布物上における塗
布液の有無を検知する操作が、塗布ノズルの直下の位置
で行われることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の塗布装置。 ３、前記塗布液検出機構によって被塗布物上における塗
布液の有無を検知する操作が、塗布ノズルによって被塗
布物に塗布液を付着させる位置よりも後段で行われるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の塗布装置。 ４、被塗布物がペレットであることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の塗布装置。 ５、塗布液が粘性体樹脂であることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の塗布装置。[Scope of Claims] 1. A coating device that performs coating by depositing a coating liquid discharged from a coating nozzle onto an object, which comprises: a light source that irradiates the object with a light beam; A coating device comprising a coating liquid detection mechanism including a light receiving section that detects the presence or absence of a coating liquid on an object to be coated by detecting reflected light from the applied coating liquid. 2. The coating apparatus according to claim 1, wherein the operation of detecting the presence or absence of the coating liquid on the object to be coated by the coating liquid detection mechanism is performed at a position directly below the coating nozzle. 3. The operation of detecting the presence or absence of the coating liquid on the object to be coated by the coating liquid detection mechanism is performed at a stage subsequent to the position where the coating liquid is applied to the object to be coated by the coating nozzle. The coating device according to scope 1. 4. The coating device according to claim 1, wherein the object to be coated is a pellet. 5. The coating device according to claim 1, wherein the coating liquid is a viscous resin.
JP7653185A 1985-04-12 1985-04-12 Coating apparatus Pending JPS61236129A (en)

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