JPS61235648A - Helium refrigerator - Google Patents

Helium refrigerator

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JPS61235648A
JPS61235648A JP7582085A JP7582085A JPS61235648A JP S61235648 A JPS61235648 A JP S61235648A JP 7582085 A JP7582085 A JP 7582085A JP 7582085 A JP7582085 A JP 7582085A JP S61235648 A JPS61235648 A JP S61235648A
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stage compressor
compressor
low
circuit
pressure
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種谷 昭一
篠崎 信一郎
和夫 三浦
聡 野口
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Daikin Industries Ltd
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Daikin Industries Ltd
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  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、極低温を得るためのヘリウム冷凍装置に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a helium refrigeration device for obtaining cryogenic temperatures.

(従来の技術) 近年、極低温を得るためのヘリウム冷凍装置の開発が進
められており、例えば、特公昭58−21186号公報
記載の如き極低温冷凍装置が提案されている。即ち、ジ
ュールトムソン回路(以下J−T回路と称す)において
、1台の圧縮機から吐出された高圧ヘリウムガスを該圧
縮機へ戻る低圧ヘリウムガスおよび別設の予冷器で冷却
した後、ジュールトムソン弁(以下J−T弁と称す)で
減圧し、極低温のヘリウム気液混合状態)を得るように
し、この気液混合状態のヘリウムの蒸発潜熱を極低温冷
却用に利用するようにしている。
(Prior Art) In recent years, development of helium refrigeration equipment for obtaining extremely low temperatures has been progressing, and for example, a cryogenic refrigeration equipment as described in Japanese Patent Publication No. 58-21186 has been proposed. That is, in the Joule-Thomson circuit (hereinafter referred to as J-T circuit), high-pressure helium gas discharged from one compressor is cooled by low-pressure helium gas returning to the compressor and a separate precooler, and then the Joule-Thomson The pressure is reduced by a valve (hereinafter referred to as J-T valve) to obtain a cryogenic helium gas-liquid mixed state, and the latent heat of vaporization of helium in this gas-liquid mixed state is used for cryogenic cooling. .

(発明が解決しようとする問題点) 一般にヘリウム冷凍装置においては、圧縮機へのJ−T
回路のリターン圧力は約1気圧であるが、吐出圧力は約
20気圧が必要とされるため、上記公知例の如く、1台
のガス圧縮機でヘリウムガスの圧縮を行なう場合、圧縮
機の負荷が大きくなりすぎるという難点が存する。
(Problem to be solved by the invention) Generally, in helium refrigeration equipment, the J-T to the compressor is
The return pressure of the circuit is approximately 1 atm, but the discharge pressure is required to be approximately 20 atm. Therefore, when compressing helium gas with one gas compressor as in the above-mentioned known example, the load on the compressor is The problem is that it becomes too large.

そこで、容量の異なる2台のガス圧縮機を直列に連結し
てヘリウムガスの圧縮を行なうことによって、各圧縮機
の負荷を軽減する試みが行なわれている。
Therefore, attempts have been made to reduce the load on each compressor by connecting two gas compressors with different capacities in series to compress helium gas.

ところが、起動前のヘリウム冷凍機においては、各圧力
が均圧しており、しかも直列に連結された両圧縮機の容
量が大きく異なっている(例えば、低段圧縮機の容量が
高段圧縮機の容量に比へ、数倍大きい)ため、両圧縮機
を同時に起動すると、起動直後の低段圧縮機の吐出ガス
量が定常運転時より相当に多くなる。そのため、小容量
の高段圧縮機の吸入量が追いつかなくなり、ついには、
高段圧縮機の吸入圧力が吐出圧力より高くなるという異
常な状態になり、正常運転が不可能となる。
However, in a helium refrigerator before startup, each pressure is equal, and the capacities of both compressors connected in series are significantly different (for example, the capacity of the lower stage compressor is different from that of the higher stage compressor). Therefore, if both compressors are started at the same time, the amount of gas discharged from the low-stage compressor immediately after startup will be considerably larger than during steady operation. As a result, the suction volume of the small-capacity high-stage compressor could not keep up, and eventually,
An abnormal situation occurs in which the suction pressure of the high-stage compressor becomes higher than the discharge pressure, making normal operation impossible.

特に、圧縮機としてロークリ圧縮機を用いる場合には、
ブレードの背圧が低下して、正常な圧縮運転が不可能に
なり、異常な圧力条件の運転を続けることとなる。
In particular, when using a Rokuri compressor as the compressor,
The back pressure of the blade decreases, making normal compression operation impossible, resulting in continued operation under abnormal pressure conditions.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、ヘリウ
ム冷凍装置において、J−T回路側の2台の圧縮機の起
動を円滑に行ない得るようにすることを目的とするもの
である。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to enable smooth startup of two compressors on the J-T circuit side in a helium refrigeration system.

(問題点を解決するための手段) 本発明では、上記問題点を解決するための手段として、
第1図図示の如く、予冷用圧縮機3および膨張機6を有
する予冷冷凍回路1と、直列接続された大容量の低段圧
縮機8および小容量の高段圧縮機10を有するJ−T回
路2とを備え、J−T回路2を流れる高圧冷媒ガスを予
冷冷凍回路1により冷却するヘリウム冷凍装置において
、前記低段圧縮機8を前記高段圧縮機IOの起動後所定
時間遅延して起動させるべく運転制御する制御手段43
を付設している。
(Means for solving the problems) In the present invention, as means for solving the above problems,
As shown in FIG. 1, a J-T has a pre-cooling refrigeration circuit 1 having a pre-cooling compressor 3 and an expander 6, and a large-capacity low-stage compressor 8 and a small-capacity high-stage compressor 10 connected in series. circuit 2, in which the high-pressure refrigerant gas flowing through the J-T circuit 2 is cooled by the pre-cooling refrigeration circuit 1, the low-stage compressor 8 is delayed for a predetermined period after the activation of the high-stage compressor IO. Control means 43 for controlling operation to start
is attached.

(作 用) 本発明では、上記手段によって、起動時には小容量の高
段圧縮機10が先に運転され、低段圧縮機8の均圧レベ
ルが下がり(即ち、はぼ高段圧縮機10の吸入圧力にな
る)、起動直後の低段圧縮機8の吐出量が押えられる状
態となるのを待って、低段圧縮機8が起動されるという
作用が得られる。
(Function) In the present invention, by the above means, the small capacity high stage compressor 10 is operated first at startup, and the equal pressure level of the low stage compressor 8 is lowered (that is, the high stage compressor 10 is lowered). The effect is that the low stage compressor 8 is started after waiting for the discharge amount of the low stage compressor 8 to be suppressed immediately after the start-up.

(実施例) =3− 以下、添付の図面を参照して、本発明の好適な実施例を
説明する。
(Embodiment) =3- Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

このヘリウム冷凍装置は、予冷冷凍回路lとJ−T回路
2と制御手段43によって構成されている。
This helium refrigeration system includes a precooling refrigeration circuit 1, a J-T circuit 2, and a control means 43.

前記予冷冷凍回路1は、予冷用のヘリウムガスを圧縮す
る予冷用圧縮機3、油分離器4、吸着器5、後に詳述す
る膨張機6およびサージボルト7を順次冷媒ガス管路(
即ち、高圧冷媒ガス管路23および低圧冷媒ガス管路2
4)で接続して構成されている。ここで、予冷用圧縮機
3、油分離器4、吸着器5、サージボルト7は予冷用圧
縮機ユニットAを構成している。
The pre-cooling refrigeration circuit 1 includes a pre-cooling compressor 3 for compressing helium gas for pre-cooling, an oil separator 4, an adsorber 5, an expander 6 and a surge bolt 7, which will be described in detail later, through a refrigerant gas pipe (
That is, the high pressure refrigerant gas pipe 23 and the low pressure refrigerant gas pipe 2
4). Here, the precooling compressor 3, the oil separator 4, the adsorber 5, and the surge bolt 7 constitute a precooling compressor unit A.

一方前記J−T回路2は、大容量の低段圧縮機8、油分
離器9、小容量の高段圧縮機101油分離器11、吸着
器12、第1のジュールトムソン熱交換器(以下、J−
T熱交換器と称す)+3、吸着器14、第1予冷器I5
、第2J−T熱交換器16、吸着器17、第2予冷器1
8、第3J−T熱交換器19、吸着器20、J −T弁
21、冷却−4= 器22、前記第3、第2および第1J−T熱交換器19
.16および13を順次冷媒ガス管(即ち、高圧冷媒ガ
ス管25および低圧冷媒ガス管26)で接続して構成さ
れている。ここで、低段および高段圧縮機8.10、油
分離器9.11、吸着器12および後述するガスバラス
トタンク37はJ−T側圧縮機ユニットBを構成してい
る。
On the other hand, the J-T circuit 2 includes a large-capacity low-stage compressor 8, an oil separator 9, a small-capacity high-stage compressor 101, an oil separator 11, an adsorber 12, and a first Joule-Thomson heat exchanger (hereinafter referred to as , J-
(referred to as T heat exchanger)+3, adsorber 14, first precooler I5
, second J-T heat exchanger 16, adsorber 17, second precooler 1
8, third J-T heat exchanger 19, adsorber 20, J-T valve 21, cooling-4 = vessel 22, the third, second and first J-T heat exchangers 19
.. 16 and 13 are sequentially connected by refrigerant gas pipes (ie, high pressure refrigerant gas pipe 25 and low pressure refrigerant gas pipe 26). Here, the low-stage and high-stage compressors 8.10, the oil separator 9.11, the adsorber 12, and the gas ballast tank 37 described later constitute a J-T side compressor unit B.

前記予冷用圧縮機3、低段および低段圧縮機8およびI
Oには、それぞれ冷却水コイル27,28および29が
付設されており、これら冷却水コイル27,28.29
によって、それぞれの吐出ガスコイル30.31.32
およびインゼクション用油コイル33,34.35を冷
却し得るように構成されている。
The pre-cooling compressor 3, low stage and low stage compressors 8 and I
Cooling water coils 27, 28 and 29 are attached to O, respectively, and these cooling water coils 27, 28, 29
By the respective discharge gas coil 30.31.32
It is also configured to cool the injection oil coils 33, 34, and 35.

前記各油分離器4,9.IIで分離された油はそれぞれ
の圧縮機3,8.10の吸入側にインゼクションされる
ようになっている。
Each of the oil separators 4, 9. The oil separated in II is injected into the suction side of each compressor 3, 8.10.

前記各吸着器5.+ 2.14..17.20は、それ
ぞれの状態におけるヘリウムガス中の不純物を除去する
作用を有している。
Each of the adsorbers 5. +2.14. .. 17.20 has the effect of removing impurities in helium gas in each state.

前記サージボルト7は、予冷用圧縮機3へ返戻される低
圧ヘリウムガスの脈動を少なくする作用を有している。
The surge bolt 7 has the function of reducing pulsation of the low-pressure helium gas returned to the pre-cooling compressor 3.

又、前記J−T回路2において、吸着器12出口側の高
圧冷媒ガス管25と高段圧縮機10の吸入側との間には
、高圧制御弁36、ガスバラストタンク37および中間
圧制御弁38を付設したバイパス回路39が介設されて
いる。該ガスバラストタンク37は、高圧制御弁3Gあ
るいは中間圧制御弁38を開閉制御することによって、
J−T回路2を循環するヘリウムカス量を調整する作用
を有している。
Furthermore, in the J-T circuit 2, a high pressure control valve 36, a gas ballast tank 37, and an intermediate pressure control valve are installed between the high pressure refrigerant gas pipe 25 on the outlet side of the adsorber 12 and the suction side of the high stage compressor 10. A bypass circuit 39 with 38 is provided. The gas ballast tank 37 is controlled by opening and closing the high pressure control valve 3G or the intermediate pressure control valve 38.
It has the function of adjusting the amount of helium scum circulating in the J-T circuit 2.

前記膨張機6、J−T熱交換器13.16,19、予冷
器15,18、J−T弁21および冷却器22は、高真
空度に保持された真空容器40内に収容され、且つ第2
、第3J−T熱交換器16,19、第2予冷器18、J
−T弁21および冷却器22は輻射シールド41に囲繞
されクライオスタットCを構成している。符号42は冷
却器22の温度を検出する温度計である。前記膨張機6
は、高圧側入口61が予冷用圧縮機3の吐出側に低圧側
出口62が予冷用圧縮機3の吸入側に接続され、膨張機
6内部における高圧ヘリウムガスの膨張行程で冷却を行
なう如くなっており、第1および第2ヒートステーソヨ
ン70.71の外周に設けられた第1および第2予冷器
15.18においてJ−T回路2を流れるヘリウムガス
を予冷する如く成っている。
The expander 6, J-T heat exchangers 13, 16, 19, precoolers 15, 18, J-T valve 21, and cooler 22 are housed in a vacuum container 40 maintained at a high degree of vacuum, and Second
, third J-T heat exchanger 16, 19, second precooler 18, J
- The T valve 21 and the cooler 22 are surrounded by a radiation shield 41 and constitute a cryostat C. Reference numeral 42 is a thermometer that detects the temperature of the cooler 22. The expander 6
The high-pressure side inlet 61 is connected to the discharge side of the pre-cooling compressor 3, and the low-pressure side outlet 62 is connected to the suction side of the pre-cooling compressor 3, so that cooling is performed by the expansion stroke of high-pressure helium gas inside the expander 6. The helium gas flowing through the J-T circuit 2 is precooled in first and second precoolers 15.18 provided on the outer peripheries of the first and second heat station sections 70.71.

而して、本発明の特徴として、このヘリウム冷凍装置に
は、J−T回路2における低段圧縮機8を高段圧縮機I
Oの起動後所定時間(例えば、約10秒間)遅延して起
動させるべく運転制御する制御手段43(例えば、タイ
マー等)が付設されている。なお、該制御手段43は、
予冷冷凍回路1の圧縮機3の運転制御をも行ない、圧縮
機3は、J−T回路2の高段圧縮機10と同時に起動さ
れるようになっている。
As a feature of the present invention, in this helium refrigeration system, the low stage compressor 8 in the J-T circuit 2 is replaced with the high stage compressor I.
A control means 43 (for example, a timer, etc.) is provided for controlling the operation so that the start-up is delayed by a predetermined time (for example, about 10 seconds) after the start-up of the O. Note that the control means 43
The operation of the compressor 3 of the pre-cooling refrigeration circuit 1 is also controlled, and the compressor 3 is started at the same time as the high-stage compressor 10 of the J-T circuit 2.

次に図示の実施例のヘリウム冷凍装置の作用を説明する
Next, the operation of the helium refrigeration system of the illustrated embodiment will be explained.

運転開始時においては、制御手段43からの指令により
、まず予冷冷凍回路1の圧縮機3とJ−T回路2の高段
圧縮機IOとが同時に起動され、低段圧縮機8は停止状
態とされる。従って、予冷冷凍回路1における膨張機6
の各ヒートステーノヨン70.71は温度降下する。
At the start of operation, the compressor 3 of the pre-cooling refrigeration circuit 1 and the high-stage compressor IO of the J-T circuit 2 are started at the same time by a command from the control means 43, and the low-stage compressor 8 is stopped. be done. Therefore, the expander 6 in the precooling refrigeration circuit 1
Each heat stencil 70.71 decreases in temperature.

一方、J−T回路2においては、高段圧縮機IOのみが
運転されることにより、低段圧縮機8の均圧レベルが下
がり、高段圧縮機10の起動後約10秒たつと、はぼ高
段圧縮機IOの吸入圧力になる。そこで、前記制御手段
43からの指令により、低段圧縮機8を起動させると、
起動直後の低段圧縮機8の吐出量がおさえられることと
なり、高段圧縮機10の吸入量と大差なくなる。従って
、肉圧縮機8,10の同時起動時に生じていた圧力逆転
がおこらず、問題なく起動できるのである。
On the other hand, in the J-T circuit 2, only the high-stage compressor IO is operated, so that the equal pressure level of the low-stage compressor 8 decreases, and approximately 10 seconds after the high-stage compressor 10 is started, This is the suction pressure of the high stage compressor IO. Therefore, when the low stage compressor 8 is started according to a command from the control means 43,
The discharge amount of the low-stage compressor 8 immediately after startup is suppressed, and there is no significant difference from the suction amount of the high-stage compressor 10. Therefore, the pressure reversal that occurs when the meat compressors 8 and 10 are started simultaneously does not occur, and the meat compressors 8 and 10 can be started without any problem.

その上、肉圧縮機8,10を時差起動させることにより
、起動直後の低段圧縮機8の吐出量が押さえられ、肉圧
縮機8.10の起動が円滑に行なえるとともに、冷凍装
置としての起動電流も大幅に低減するものである。
Furthermore, by starting the meat compressors 8 and 10 at different times, the discharge amount of the low-stage compressor 8 immediately after starting is suppressed, and the meat compressors 8 and 10 can be started smoothly, and the The starting current is also significantly reduced.

次に、定常運転状態に達すると、クライオスタットCか
らJ−T回路リターンヘリウムガスを低段圧縮機8が吸
引、圧縮し、冷却水コイル28で冷却水により常温30
0Kまで冷却し、油分離器9で油分離した後、このヘリ
ウムガスを高段圧縮機10が吸引・圧縮する。その後、
冷却水コイル29で冷却水により常温300Kまで冷却
し、油分離器11で油分離した後、吸着器12で不純物
を吸着し、クリーンな高圧ヘリウムガスをクライオスタ
ットCに供給する。
Next, when the steady operating state is reached, the low-stage compressor 8 sucks and compresses the J-T circuit return helium gas from the cryostat C, and the cooling water coil 28 cools the helium gas to room temperature 30.
After cooling to 0K and separating oil in an oil separator 9, this helium gas is sucked and compressed by a high-stage compressor 10. after that,
After cooling to room temperature 300K with cooling water in a cooling water coil 29 and separating oil in an oil separator 11, impurities are adsorbed in an absorber 12, and clean high-pressure helium gas is supplied to a cryostat C.

クライオスタットC側に供給された高圧ヘリウムガスは
第1J−T熱交換器13の一次側に入り、J−T側圧縮
機ユニットBへ戻る二次側の低圧ヘリウムガスと熱交換
し、常温300Kから約70Kまで冷却され、膨張機6
の第1ヒートステーシヨン70(50〜60K)の外周
に設けられた第1予冷器15に入り、第1ヒートステー
シヨン70により約55Kまで冷却され、第2J−T熱
交換器16の一次側に入り、J−T側圧縮機ユニットB
へ戻る二次側の低圧ヘリウムガスと熱交換して約20K
まで冷却され、膨張機6の第2ヒートステーシヨン71
(15〜20K)の外周に設けられた第2予冷器18に
入り、第2ヒートステーンヨン71により約15Kまで
冷却され、更に、第3J−T熱交換器19の一次側に入
り、J−T側圧縮機ユニットBへ戻る二次側の低圧ヘリ
ウムガスと熱交換して約5Kまで冷却され、J−T弁2
1に至る。なお、」二記過程中において、各J−T熱交
換器13.16.19の出口側では、吸着器+4゜17
.20により窒素、酸素、水素等の不純ガスを低温吸着
し、よりクリーンなヘリウムガスにしてJ−T弁21や
各予冷器15.18のつまりを防止している。
The high-pressure helium gas supplied to the cryostat C side enters the primary side of the first J-T heat exchanger 13 and exchanges heat with the low-pressure helium gas on the secondary side that returns to the J-T side compressor unit B. It is cooled down to about 70K, and the expander 6
The heat enters the first precooler 15 provided on the outer periphery of the first heat station 70 (50 to 60K), is cooled to approximately 55K by the first heat station 70, and enters the primary side of the second J-T heat exchanger 16. , J-T side compressor unit B
Return to Heat exchange with low pressure helium gas on the secondary side to about 20K
The second heat station 71 of the expander 6
(15-20K) enters the second precooler 18 provided on the outer periphery of the J-T, is cooled down to about 15K by the second heat stain 71, further enters the primary side of the third J-T heat exchanger 19, and enters the primary side of the third J-T heat exchanger 19. It exchanges heat with the low-pressure helium gas on the secondary side that returns to the T-side compressor unit B, and is cooled to about 5K, and the J-T valve 2
It reaches 1. In addition, during the step 2, on the outlet side of each J-T heat exchanger 13, 16, 19, the absorber +4°17
.. 20, impurity gases such as nitrogen, oxygen, and hydrogen are adsorbed at a low temperature to produce cleaner helium gas to prevent clogging of the J-T valve 21 and each precooler 15, 18.

而して、高圧ヘリウムガスはJ−T弁21で絞られ、ジ
ュールトムソン膨張をして1気圧、4.2にの気液混合
状態のヘリウムとなって冷却器22へ供給される。冷却
器22では、このヘリウムの液部分の蒸発潜熱が他のヘ
リウムガスの液化や再凝縮あるいは被冷却体の冷却に利
用される。
The high-pressure helium gas is then throttled by the J-T valve 21, subjected to Joule-Thomson expansion, and supplied to the cooler 22 as helium in a gas-liquid mixed state of 1 atmosphere and 4.2 degrees. In the cooler 22, the latent heat of vaporization of the liquid portion of helium is used for liquefying or recondensing other helium gas or cooling an object to be cooled.

その結果、冷却器22から第3J−T熱交換器19の二
次側に戻る低圧ヘリウムガスは、約42にの飽和ガスと
なる。そして、この低圧ヘリウムガスは第2および第1
J−T熱交換器16.13において一次側の高圧ヘリウ
ムカスを冷却し、約300Kに温度上昇して、J−T側
圧縮機ユニットBへ戻って行く。以後、同様なザイクル
が繰返されて冷凍運転が行なわれる。
As a result, the low pressure helium gas returning from the cooler 22 to the secondary side of the third J-T heat exchanger 19 becomes a saturated gas of about 42%. This low-pressure helium gas is then applied to the second and first
The high-pressure helium scum on the primary side is cooled in the J-T heat exchanger 16.13, the temperature rises to about 300 K, and it returns to the J-T side compressor unit B. Thereafter, similar cycles are repeated to perform the refrigeration operation.

(発明の効果) 叙上の如く、本発明によれば、J−T回路2において、
低段圧縮機8を、高段圧縮機10の起動後、所定時間遅
延させて起動するようにしたので、起動直後の低段圧縮
機8の吐出量がおさえられて、高段圧縮機10の吸入量
に見合う量となり、2台の圧縮機を直列接続した場合に
生じる起動時のトラブルが解消されるという優れた効果
がある。
(Effect of the invention) As described above, according to the present invention, in the J-T circuit 2,
Since the low-stage compressor 8 is started after a predetermined time delay after the high-stage compressor 10 is started, the discharge amount of the low-stage compressor 8 immediately after startup is suppressed, and the output of the high-stage compressor 10 is reduced. The amount corresponds to the suction amount, and has the excellent effect of eliminating troubles at startup that occur when two compressors are connected in series.

又、2台の圧縮機8.IOを時差起動させることにより
、冷凍装置としての起動電流を大iJに低減することが
できるという効果もある。
Also, two compressors8. By starting the IO in a staggered manner, there is also the effect that the starting current for the refrigeration system can be reduced to a large iJ.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の実施例にかかるヘリウム冷凍装置の
系統図である。 l・・・・・予冷冷凍回路 2・・・・・ジュールトムソン回路 3・・・・・予冷用圧縮機 8・・・・・低段圧縮機 10・・・・高段圧縮機 43・・・・制御手段
FIG. 1 is a system diagram of a helium refrigeration system according to an embodiment of the present invention. l... Pre-cooling refrigeration circuit 2... Joule-Thomson circuit 3... Pre-cooling compressor 8... Low-stage compressor 10... High-stage compressor 43...・Control means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.予冷用圧縮機(3)および膨張機(6)を有する予
冷冷凍回路(1)と、直列接続された大容量の低段圧縮
機(8)および小容量の高段圧縮機(10)を有するジ
ュールトムソン回路(2)とを備え、ジュールトムソン
回路(2)を流れる高圧冷媒ガスを予冷冷凍回路(1)
により冷却するヘリウム冷凍装置において、前記低段圧
縮機(8)を前記高段圧縮機(10)の起動後所定時間
遅延して起動させるべく運転制御する制御手段(43)
が付設されていることを特徴とするヘリウム冷凍装置。
1. It has a precooling refrigeration circuit (1) having a precooling compressor (3) and an expander (6), and a large capacity low stage compressor (8) and a small capacity high stage compressor (10) connected in series. The high-pressure refrigerant gas flowing through the Joule-Thompson circuit (2) is pre-cooled into a refrigeration circuit (1).
In a helium refrigeration system for cooling, a control means (43) controls the operation of the low-stage compressor (8) so as to start the low-stage compressor (8) with a predetermined time delay after the startup of the high-stage compressor (10).
A helium refrigeration device characterized by being attached with.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP3390821A4 (en) * 2015-12-18 2020-02-26 Sumitomo (Shi) Cryogenics of America, Inc. Dual helium compressors

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9389005B2 (en) 2010-10-29 2016-07-12 Denso Corporation Two-stage compression refrigeration cycle device
EP3390821A4 (en) * 2015-12-18 2020-02-26 Sumitomo (Shi) Cryogenics of America, Inc. Dual helium compressors
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