JPS61214768A - Detector of movable unit in linear motor - Google Patents

Detector of movable unit in linear motor

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JPS61214768A
JPS61214768A JP5450685A JP5450685A JPS61214768A JP S61214768 A JPS61214768 A JP S61214768A JP 5450685 A JP5450685 A JP 5450685A JP 5450685 A JP5450685 A JP 5450685A JP S61214768 A JPS61214768 A JP S61214768A
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JP
Japan
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magnetic
movable element
magnetic plate
sensor
linear encoder
Prior art date
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Pending
Application number
JP5450685A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Kanazawa
金沢 宏至
Kazuo Onishi
和夫 大西
Seiji Yamashita
誠二 山下
Kunio Miyashita
邦夫 宮下
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To detect the position of a movable element in noncontacting state by detecting the lines of magnetic force of a plurality of magnets of the element, and selecting the signal of a magnetic force plate sensor by the signal logic state. CONSTITUTION:A movable element 1 of a linear motor is supported at the prescribed interval in parallel with tees, and magnets 2 are disposed longitudinally. A linear encoder magnetizing plate 6 is provided oppositely to the element 1, and linear encoder sensors SL1-SLn are disposed at the opposed position. Magnetic position detectors 5V1-5W1 are disposed at 2/3 pitch, and the drive coil 4 of the element 1 is controlled to be energized by an inverter 6. Thus, the outputs of the sensors LS are selected by a linear encoder converter 10 by the output of the detector 5 through a magnetic position distributor 9, and input to a calculator 11 which obtains the position and the traveling speed of the element 1.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、リニアモータにおける可動子の検出装置に係
り、特に可動子の位置制御をおこなうのに好適な検出装
置に改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a detection device for a movable element in a linear motor, and particularly relates to an improvement to a detection apparatus suitable for controlling the position of a movable element.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

従来のリニアモータの制御装置においては、可動子が長
い距離を移動する場合や高速に移動する場合について配
慮されていなかった6すなわち、特開昭57−1668
7号公報に記載されているように、可動子の位置や速度
を検出するために回転子に回転型のバラスジェネレータ
を取り付け、そのパウス信号を制御回路に取り込むため
に配線がなされているからである。このような回転型の
パルスジェネレータ等の接触型検出器や信号の配線がさ
れた場合には可動子が長い距離移動する場0合に制限が
あり、また高速移動するに際しても支障を来たすことと
なる。
In conventional linear motor control devices, consideration was not given to cases in which the mover moves over long distances or at high speeds6.
As stated in Publication No. 7, a rotary ballast generator is attached to the rotor to detect the position and speed of the movable element, and wiring is made to take in the paus signal to the control circuit. be. If a contact type detector such as a rotary pulse generator or signal wiring is used, there is a limit when the movable element can move over a long distance, and it may cause problems even when moving at high speed. Become.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は2機械的な接触なしに可動子の長距離移動や高
速走行における可動子の位置検出を可能とするリニアモ
ータにおける可動子の検出装置を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a detection device for a movable element in a linear motor, which makes it possible to detect the position of the movable element during long-distance movement or high-speed travel without mechanical contact.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

上記目的を達成するために、本発明は、可動子に取り付
けられた複数の磁石の磁力線を検出しその信号論理状態
により、可動子に連動する磁性板の磁力線を検出する磁
力板センサの信号を選択するようにして被接触状態で可
動子の位置を検出するようにしたものである。
In order to achieve the above object, the present invention detects the lines of magnetic force of a plurality of magnets attached to the mover, and uses the signal logic state to generate a signal from a magnetic plate sensor that detects the lines of magnetic force of a magnetic plate interlocked with the mover. The position of the movable element is detected in the contacted state by selecting the movable element.

すなわち、直線上に配列された複数の駆動コイルに対向
してその配列方向に平行に移動する可動子を備えたリニ
アモータにおいて、前記可動子と同一の長さを有して前
記可動子に連動する磁性板を設け、この磁性板の長さの
ピッチで当該磁性板の移動方向に沿って配列され、この
磁性板の移動に伴って所定の繰り返し周期のパルス列信
号を出力する磁性板センサを設け、前記可動子に互いに
極性の異なる磁極が交互に位置するよう複数の磁石を可
動子の長手方向に沿って配列し、少なくとも前記磁性板
センサの配列ピッチことに前記相隣る磁極にそれぞれ一
つずつおよびそれらの中間に一つの位置にそれぞれ対応
して電気磁石の極性に感応して論理信号を出力する磁気
センサを配置し。
That is, in a linear motor equipped with a movable element that faces a plurality of drive coils arranged in a straight line and moves parallel to the arrangement direction, the linear motor has the same length as the movable element and is interlocked with the movable element. A magnetic plate is provided, and a magnetic plate sensor is provided which is arranged along the moving direction of the magnetic plate at a pitch equal to the length of the magnetic plate and outputs a pulse train signal with a predetermined repetition period as the magnetic plate moves. , a plurality of magnets are arranged along the longitudinal direction of the movable element so that magnetic poles with different polarities are alternately located on the movable element, and at least one magnet is arranged at each of the adjacent magnetic poles in accordance with the arrangement pitch of the magnetic plate sensor. Magnetic sensors are placed at each position and at one position between them, each of which outputs a logic signal in response to the polarity of the electric magnet.

前記各磁気センサの論理信号の論理積がOであるときの
み当該0の出力をする磁気センサに対応する前記磁性板
センサの出力を選択する切換装置を設け、前記選択され
た磁性板センサの出力パルスにより可動子の位置または
移動速度を演算する演算装置を設けたことを特徴とする
リニアモータにおける可動子の検出装置。
A switching device is provided for selecting the output of the magnetic plate sensor corresponding to the magnetic sensor that outputs 0 only when the logical product of the logical signals of the respective magnetic sensors is O, and the output of the selected magnetic plate sensor is provided. 1. A detection device for a movable element in a linear motor, comprising a calculation device that calculates the position or moving speed of the movable element using pulses.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

次に、本発明の一実施例を第1図〜第3図により説明す
る。
Next, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

第1図に、本発明に係るリニアモータの要部および一検
出器の全体構成を示す、第1図において。
FIG. 1 shows the main parts of a linear motor and the overall configuration of one detector according to the present invention.

三相(U、V、W)を−組みとしたn (n≧1正数>
(7)ティーX (3U1,3V、、3W、、−。
Three phases (U, V, W) are set as n (n≧1 positive number>
(7) Tee X (3U1,3V,,3W,,-.

3・U、、3V、、3W、)、固定子テある駆動コイル
4 (4U1.4V、、4W、、4U、、4V、。
3.U,,3V,,3W,), drive coil 4 with stator (4U1.4V,,4W,,4U,,4V,).

4當、)、ホール素子等の磁極位置検出器5(5U、、
5V1,5W、、 ・、5U、、5V、。
4), magnetic pole position detector 5 (5U, , etc.) such as a Hall element
5V1,5W,, ,5U,,5V,.

5W、)、磁気抵抗効果素子等のリニアエンコーダセン
サLSよ、 LS2’、・・・、LS、により構成され
ている。
5W, ), linear encoder sensors LS such as magnetoresistive elements, LS2', . . . , LS.

可動子1はティース2と平行に一定の空隙が保たれるよ
うに図示しない支持機構により支持されており、駆動コ
イル4の配列方向に自由に移動できるようになっている
。また、可動子1にはその長手方向に互いに磁性の異な
る磁極が交互に位置するように複数の磁石2が配列され
ている。すなわち、S極、N極、S極、N極の順に配列
されている。
The movable element 1 is supported by a support mechanism (not shown) so that a constant gap is maintained parallel to the teeth 2, and can freely move in the direction in which the drive coils 4 are arranged. Further, a plurality of magnets 2 are arranged in the movable element 1 in such a manner that magnetic poles having different magnetic properties are alternately located in the longitudinal direction of the movable element 1. That is, they are arranged in the order of S pole, N pole, S pole, and N pole.

可動子1とは反対の方向にリニアエンコーダ着磁板(磁
性板)6が可動子1に連動して駆動コイル4の配列方向
に自由に移動できるように設けられている。可動子1と
は反対の方向にリニアエンコーダ着磁板6を設けた理由
は、磁石2のもれ磁束の影響を阻止するためである。こ
のリニアエンコーダ着磁板6に対面する位置であって、
可動子1の長さに相当するピッチでリニアエンコーダセ
ンサ(磁性板センサ)LS、〜LS、が配置されている
A linear encoder magnetized plate (magnetic plate) 6 is provided in a direction opposite to the movable element 1 so as to be freely movable in the arrangement direction of the drive coils 4 in conjunction with the movable element 1. The reason why the linear encoder magnetized plate 6 is provided in the opposite direction to the movable element 1 is to prevent the influence of leakage magnetic flux of the magnet 2. A position facing this linear encoder magnetized plate 6,
Linear encoder sensors (magnetic plate sensors) LS, ~LS are arranged at a pitch corresponding to the length of the movable element 1.

可動子1に対面する側には所定の間隔をおいてE−)−
組み+7)(5V、、5U1,5W1)からなる磁気位
置検出器5が前記リニアエンコーダセンサのピッチごと
に配列されている。すなわち、可動子1に設けた磁石2
はπのピッチでN極とS極が交互に並べられておリティ
゛−ス3と可動子1の上面方向に垂直に磁化されている
。これに対応して磁気位置検出器5V1,5U1,5W
、はそれぞれ2/3πピツチで第1図に示すように配置
されている。また、ティース3U1〜3W、はそれぞれ
πの幅が4/3πピツチで配置されている。
E-)- on the side facing the mover 1 at a predetermined interval.
Magnetic position detectors 5 consisting of combinations +7) (5V, 5U1, 5W1) are arranged for each pitch of the linear encoder sensor. That is, the magnet 2 provided on the mover 1
is magnetized perpendicularly to the upper surface direction of the magnet 3 and the movable element 1, with north and south poles arranged alternately at a pitch of π. Correspondingly, magnetic position detector 5V1, 5U1, 5W
, are arranged at a pitch of 2/3π, as shown in FIG. Further, the teeth 3U1 to 3W are arranged at a pitch of 4/3π, each having a width of π.

次に第2図にリニアモータの制御回路を示す。Next, FIG. 2 shows the control circuit of the linear motor.

第2図において、可動+1を駆動するためのコイル4U
、 、 4V、 、 4W、 、−、4U、 、 4V
、 。
In Figure 2, coil 4U for driving movable +1
, ,4V, ,4W, ,-,4U, ,4V
, .

4W、がインバータ7に接続され、インバータ7の駆動
電源には直流電源13が接続されている。
4W is connected to the inverter 7, and the drive power source of the inverter 7 is connected to the DC power source 13.

またインバータフには比較増幅器8が接続されてく おり、電流検出器14からの検出信号と演算部11の電
流指令信号との差を求め、インバータ7の通電電流のデ
ユーティを制御するようになっている。
Further, a comparison amplifier 8 is connected to the inverter, and the difference between the detection signal from the current detector 14 and the current command signal from the calculation section 11 is determined, and the duty of the current flowing through the inverter 7 is controlled. There is.

演算部11は磁極位置分配器9を介して磁極位置検出器
5V、、5U1および5W1によって検出された磁極2
により可動子1の検出信号を受けて駆動コイル4に通電
する各層に対する信号を電流指令として出力するもので
ある。
The calculation unit 11 calculates the magnetic pole 2 detected by the magnetic pole position detectors 5V, 5U1 and 5W1 via the magnetic pole position distributor 9.
In response to the detection signal of the movable element 1, a signal for each layer to be energized to the drive coil 4 is output as a current command.

磁極位置検出器5は磁石2による磁束がないときおよび
磁極がS極のときには論理信号Hとして出力し、N極の
ときあみ論理りの信号を出力する。
The magnetic pole position detector 5 outputs a logic signal H when there is no magnetic flux due to the magnet 2 and when the magnetic pole is an S pole, and outputs a signal with a cross logic when it is an N pole.

リニアエンコーダセンサしSlはリニアエンコーダ着磁
板6が可動子1とともに動≧ことにより所定周期の繰り
返しパルス信号を出力する。たとえば、第2図に示す場
合はリニアエンコーダセンサLS□の出力は論理Hもし
芝は論理りであり。
The linear encoder sensor Sl outputs a repetitive pulse signal with a predetermined period when the linear encoder magnetized plate 6 moves together with the movable element 1. For example, in the case shown in FIG. 2, the output of the linear encoder sensor LS□ is logic H.

パルス出力とはならない、しかし、可動子1が矢印の方
向すなわち図面上右側に移動した場合、リニアエンコー
ダセンサLS、  とLS、の両方にリニアエンコーダ
着磁板6が重なり、リニアエンコーダセンサLS1とL
S、よりパルス出力を受けるが、磁極位置検出器5V、
に磁石2のN極が対面するため磁極位置検出器5V、の
出力は論理りとなりリニアエンコーダセンサLS、の出
力が磁気位置分配器9の出力によりリニアエンコーダ切
換器10で選択されることとなりその選択された信号が
演算部11に入力されることとな!、なお指令器12は
コイル4に通電する電流を指令するもので通電する電流
にこの指令電流に可動子1の速度は比例する。
However, if the mover 1 moves in the direction of the arrow, that is, to the right in the drawing, the linear encoder magnetized plate 6 overlaps both the linear encoder sensors LS and LS, and the linear encoder sensors LS1 and L
S, receives pulse output from magnetic pole position detector 5V,
Since the N pole of the magnet 2 faces the N pole of the magnet 2, the output of the magnetic pole position detector 5V is logical, and the output of the linear encoder sensor LS is selected by the linear encoder switch 10 based on the output of the magnetic position distributor 9. The selected signal is input to the calculation unit 11! Note that the command device 12 commands the current to be applied to the coil 4, and the speed of the movable element 1 is proportional to the commanded current.

次に第3図に基づいて検出動作を詳細に説明する。第3
図は可動子1に設けた磁石2と磁気位置検出器5および
リニアエンコーダ着磁板6およびリニアエンコーダセン
サLSの相対位置関係を示すものである。また第4図は
各センサからの検出信号を磁系列的に示した信号波形図
である。
Next, the detection operation will be explained in detail based on FIG. Third
The figure shows the relative positional relationship between the magnet 2 provided on the movable element 1, the magnetic position detector 5, the linear encoder magnetized plate 6, and the linear encoder sensor LS. Further, FIG. 4 is a signal waveform diagram showing detection signals from each sensor in a magnetic series.

いま、第3図に示す位置に可動子1がある場合において
、磁極位置検出器5の出力信号論理はそれぞれ磁石2の
N極で論理り、S極で論理Hとなり、磁気位置検出器5
U1の出力論理がHからLに変化するどき5V、ではL
、5W1はHの状態となる。一方、磁石2の磁化の影響
を受けない磁力位置検出器5U、、5V、、5W、は論
理Hの状態となる。そして可動子1が図面上右側に移動
するにつれて磁極位置検出信号は図に示すように変化し
ていく。
Now, when the movable element 1 is located at the position shown in FIG.
When the output logic of U1 changes from H to L, it is 5V, then L
, 5W1 are in the H state. On the other hand, the magnetic force position detectors 5U, 5V, 5W, which are not affected by the magnetization of the magnet 2, are in a logic H state. As the movable element 1 moves to the right in the drawing, the magnetic pole position detection signal changes as shown in the drawing.

また、可動子1の移動に伴ってリニアエンコーダ着磁板
6も移動するが、この移動によりリニアエンコーダセン
サLS1.LS2もパルス信号を第4図に示すように出
力する。このリニアエンコーダセンサの出力信号の選択
は切換器10(第2図参照)によりおこなわれるが、切
換器10は磁極位置検出器5U1,5V、、5W、の検
出信号の論理積および磁気位置検出器5U2,5V、。
Furthermore, as the movable element 1 moves, the linear encoder magnetized plate 6 also moves, and this movement causes the linear encoder sensor LS1. LS2 also outputs a pulse signal as shown in FIG. The selection of the output signal of this linear encoder sensor is performed by a switch 10 (see Fig. 2), which selects the AND of the detection signals of the magnetic pole position detectors 5U1, 5V, 5W, and the magnetic position detector. 5U2, 5V.

5W、の検出信号論理の状態によってリニアエンコーダ
センサLSよ、あるいはLS、のいずれかを選択するよ
うに動作する。すなわち、第4rjRから判るように、
磁気位置検出器5U1,5V工。
It operates to select either the linear encoder sensor LS or LS depending on the logic state of the detection signal of 5W. That is, as can be seen from the 4th rjR,
Magnetic position detector 5U1,5V engineering.

5W工の検出信号論理の論理積がLである場合にはリニ
アエンコーダセンサLS、の出力信号を選択しくこのと
き磁気位置検出器5U、、5V、。
If the AND of the detection signal logic of the 5W sensor is L, the output signal of the linear encoder sensor LS is selected. At this time, the magnetic position sensor 5U, 5V, etc.

5W、の検出信号論理は全てHである)1次に可動子1
が移動して磁気位置検出器5U、、5V、。
5W, the detection signal logic is all H) Primary mover 1
The magnetic position detector 5U,,5V, moves.

5W、の位置にきたとき各信号の論理積はLとなるから
リニアエンコーダセンサLS、の出力信号を選択する。
When reaching the position 5W, the logical product of each signal becomes L, so the output signal of the linear encoder sensor LS is selected.

ところで、第4図において1点鎖線で示したスパンSP
区間ではリニアエンコーダセンサLS1゜LS、の出力
信号が重複することになるが、このスパンSPの区間で
は同時に選択されないように可動子1の移動方向前方に
あるリニアエンコーダセンサに優先順位を高く設定しく
この場合LS、)が優先的に選択されるようにする。
By the way, the span SP indicated by the dashed line in Fig. 4
In this section, the output signals of the linear encoder sensors LS1 and LS overlap, but in this span SP section, priority should be set to the linear encoder sensor located at the front in the moving direction of the mover 1 so that they are not selected at the same time. In this case, LS, ) is selected preferentially.

以上のように磁気位置検出器5の検出信号論理の論理積
がL″Q卆るときに対応するリニアエンコーダ駕ンサの
出力信号を切換器10によって選択すること番モより可
動子1の位置および走行速度を求めるモとができるので
ある。以下同様にして。
As described above, when the AND of the detection signal logic of the magnetic position detector 5 is L''Q, the corresponding output signal of the linear encoder sensor is selected by the switch 10. This allows you to calculate the running speed.The same goes for the rest.

第4図に示した波形と同様な信号が磁気位置検出器5U
、、5V、、5W、、およびリニアエンコーダセンサL
S、まで繰り返されることとなる。
A signal similar to the waveform shown in Fig. 4 is detected by the magnetic position detector 5U.
,,5V,,5W, and linear encoder sensor L
This will be repeated until S.

以上の説明では三層リニアモータの場合について説明F
たが、一般にm相すニアーータにおいて応用することが
で携ることはいうまでもない。
In the above explanation, we will explain the case of a three-layer linear motor.
However, it goes without saying that it is generally applicable to m-phase Niata.

また以上の実施例においては各センサは磁気を利用して
門出するものとしたが磁石2に変えて発光素子を配置し
一つごとに点灯する発光素子による光を受光素子により
検出するように構成して光学的←本発明を実施すること
が可能であり、この場合には磁気ノイズの影響を考慮す
る場合に有効である。
Further, in the above embodiment, each sensor is emitted using magnetism, but instead of the magnet 2, a light emitting element is arranged, and the light emitted from the light emitting element is turned on one by one, and the light from the light emitting element is detected by the light receiving element. It is possible to implement the present invention optically, and in this case, it is effective when considering the influence of magnetic noise.

〔発明の効果〕 以上述べたごとく1本発明によればリニアモータの可動
子を!ト接触状態にて検出することができ。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a mover of a linear motor can be obtained! Can be detected in contact state.

したがって可動子が長距離にわたって移動するものの場
合や高速走行する場合においても従来のごとく直接的な
接触あるいは信号配線がないので極めて有効である。
Therefore, even when the movable element moves over a long distance or travels at high speed, it is extremely effective since there is no direct contact or signal wiring as in the prior art.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は境倹明による実施例の全体構成図、第2図は制
御回路を示すブロック図、第3図は可動子およびエンコ
ーダ着磁板と各センサとの相対位置関係を示す説明図、
第4図は各センサの出力信号波形を示すタイムチャート
である。 1・・・可動子、2・・・磁石、3・・・ティース、4
・・・駆動コイル、5・・・磁極位置検出器、6・・・
リニアエンコーダ、7・・・インバータ、8・・・比較
増幅器、9・・・磁極位置分配器、10・・・リニアエ
ンコーダ切換器、11・・・演算部、12・・・指令部
、13・・・直流電源、14・・・電流検出器、LS・
・・リニアエンコーダセンサ。
FIG. 1 is an overall configuration diagram of the embodiment by Kenmei Sakai, FIG. 2 is a block diagram showing the control circuit, and FIG. 3 is an explanatory diagram showing the relative positional relationship between the movable element, the encoder magnetized plate, and each sensor.
FIG. 4 is a time chart showing the output signal waveforms of each sensor. 1...Mover, 2...Magnet, 3...Teeth, 4
... Drive coil, 5... Magnetic pole position detector, 6...
Linear encoder, 7... Inverter, 8... Comparison amplifier, 9... Magnetic pole position distributor, 10... Linear encoder switching device, 11... Arithmetic unit, 12... Command unit, 13.・・DC power supply, 14 ・・Current detector, LS・
...Linear encoder sensor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、直線状に配列された複数の駆動コイルに対向してそ
の配列方向に平行に移動する可動子を備えたリニアモー
タにおいて、 前記可動子と同一の長さを有して前記可動子に連動する
磁性板を設け、 この磁性板の長さのピッチで当該磁性板の移動方向に沿
って配列され、この磁性板の移動に伴って所定の繰り返
し周期のパルス列信号を出力する磁性板センサを設け、 前記可動子に互いに極性の異なる磁極が交互に位置する
ように複数の磁石を可動子の長手方向に沿って配列し、 少なくとも前記磁性板センサの配列ピッチごとに前記相
隣る磁極にそれぞれ一つずつおよびそれらの中間に一つ
の位置にそれぞれ対応して電気磁石の極性に感応して論
理信号を出力する磁気センサを配置し、 前記各磁気センサの論理信号の論理積が0であるときの
み当該0の出力をする磁気センサに対応する前記磁性板
センサの出力を選択する切換装置を設け、 前記選択された磁性板センサの出力パルスにより可動子
の位置または移動速度を演算する演算装置を設けたこと
を特徴とするリニアモータにおける可動子の検出装置。
[Scope of Claims] 1. A linear motor including a movable element that faces a plurality of linearly arranged drive coils and moves parallel to the arrangement direction thereof, the linear motor having the same length as the movable element. A magnetic plate is provided which interlocks with the movable element, and is arranged along the moving direction of the magnetic plate at a pitch equal to the length of the magnetic plate, and outputs a pulse train signal with a predetermined repetition period as the magnetic plate moves. A magnetic plate sensor is provided, and a plurality of magnets are arranged along the longitudinal direction of the movable element so that magnetic poles with different polarities are alternately located on the movable element, and the magnetic plate sensor is arranged at least at each arrangement pitch of the magnetic plate sensor. Magnetic sensors that output a logic signal in response to the polarity of the electric magnet are arranged, one at each of adjacent magnetic poles and one at a position between them, and the logical product of the logic signals of the respective magnetic sensors is arranged. is provided with a switching device that selects the output of the magnetic plate sensor corresponding to the magnetic sensor that outputs 0 only when A detection device for a movable element in a linear motor, characterized in that it is provided with a calculation device for calculation.
JP5450685A 1985-03-20 1985-03-20 Detector of movable unit in linear motor Pending JPS61214768A (en)

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JP5450685A Pending JPS61214768A (en) 1985-03-20 1985-03-20 Detector of movable unit in linear motor

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JP (1) JPS61214768A (en)

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