JPS61206878A - Pressure control valve using electric strain element - Google Patents

Pressure control valve using electric strain element

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JPS61206878A
JPS61206878A JP4622885A JP4622885A JPS61206878A JP S61206878 A JPS61206878 A JP S61206878A JP 4622885 A JP4622885 A JP 4622885A JP 4622885 A JP4622885 A JP 4622885A JP S61206878 A JPS61206878 A JP S61206878A
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JP
Japan
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pressure
nozzle
air space
diaphragm
electrostrictive element
Prior art date
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Application number
JP4622885A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Takagi
高木 泰
Keiichi Iizuka
飯塚 敬一
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KOGANEI SEISAKUSHO KK
Koganei Corp
Original Assignee
KOGANEI SEISAKUSHO KK
Koganei Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a small-sized and lightweight control valve at a low cost by controlling the air pressure applied onto a diaphragm by electric signals by using an electric strain element as nozzle flapper. CONSTITUTION:When an electric strain element 2 closes a nozzle 11a and opens a nozzle 11b, the pressure P2 becomes equal to the atmospheric pressure, and the force F1 acting onto a joint element 5 dissipates, and a valve seat 13a is closed, and the pressure P4 becomes equal to the atmospheric pressure. When the electric strain element 2 closes the nozzle 11b and opens the nozzle 11a, the pressure P2 becomes equal to the pressure P1, and the force F becomes max., and the pressure P4 becomes equal to P3. Therefore, when the voltage applied onto the electric strain element 2 is made variable, the strain of the electric strain element 2 varies in proportion to the voltage, and each opening degree of the nozzles 11b and 11a is controlled.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、電歪素子をノズルフランパとして用いた圧力
制御弁に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a pressure control valve using an electrostrictive element as a nozzle flamper.

(従来の技術) 空気圧機器は、圧力に左右されるところが太き(、圧力
が適正に保持されないと、種々の空気圧機器は、その性
能を十分に発揮することができない。このため、空気圧
回路には、圧力制御弁が使用されている。空気源から空
気圧回路に一定圧力を供給したいとき使用する弁を、特
に、減圧弁という。
(Prior art) Pneumatic equipment is largely dependent on pressure (if pressure is not maintained properly, various pneumatic equipment cannot demonstrate their full performance. For this reason, pneumatic circuits are A pressure control valve is used.The valve used when it is desired to supply a constant pressure from an air source to a pneumatic circuit is particularly called a pressure reducing valve.

この種の減圧弁は、基本的には、ハンドルの回動により
調節ねじを進退させて調圧スプリングの圧縮力を設定し
、この圧縮力をスプリングシートを介してダイヤフラム
に伝えることにより、前記ダイヤフラム中央に設けられ
たバルブシートに当接するパルプピンを変位させて前記
バルブピンに設けられたパルプを開き、−次側の空気を
二次側に接続するとともに、二次側の空気の一部を前記
ダイヤフラムで区切られるダイヤフラム室に送り、二次
側の空気圧が設定圧力より低くなったときには調圧スプ
リングの圧縮力により前記ダイヤフラムが押し下げられ
て前記バルブピンを変位させ前記バルブを開く方向に移
動させ、二次側の空気圧が設定圧力より高くなったとき
には前記ダイヤフラムを介した力が前記調圧スプリング
の圧縮力より大きくなるため前記ダイヤフラムが押し上
げられて前記バルブピンを変位させ前記バルブを閉じる
方向に移動させ、さらに二次側の空気圧が高くなったと
きには前記バルブを閉じ前記バルブピンが前記バルブシ
ートから離れることにより前記バルブシートに設けられ
たリリーフ孔を介して二次側の空気を大気に放出するこ
とにより二次側の空気圧を一定に保つように構成されて
いた。
This type of pressure reducing valve basically sets the compression force of the pressure regulating spring by moving an adjustment screw forward and backward by rotating the handle, and by transmitting this compression force to the diaphragm via the spring seat, the diaphragm Displace the pulp pin that contacts the valve seat provided in the center to open the pulp provided on the valve pin, connect the air on the negative side to the secondary side, and direct some of the air on the secondary side to the diaphragm. When the air pressure on the secondary side becomes lower than the set pressure, the diaphragm is pushed down by the compression force of the pressure regulating spring, displacing the valve pin and moving it in the direction of opening the valve. When the side air pressure becomes higher than the set pressure, the force through the diaphragm becomes greater than the compression force of the pressure regulating spring, so the diaphragm is pushed up, displacing the valve pin and moving the valve in the direction of closing. When the air pressure on the secondary side becomes high, the valve is closed and the valve pin moves away from the valve seat to release the air on the secondary side to the atmosphere through the relief hole provided in the valve seat. It was designed to keep the side air pressure constant.

(発明が解決しようとする問題点) 前述のような圧力制御弁では、機械的構造部分が大形で
あるうえ、二次側の圧力を調整するのに調整ねじを進退
させていたので、緻密な制御ができなかった。
(Problems to be Solved by the Invention) In the pressure control valve described above, the mechanical structure is large, and the adjustment screw must be moved back and forth to adjust the pressure on the secondary side, so I couldn't control it.

本発明の目的は、電歪素子をノズルフラッパとして用い
てダイヤフラムに印加される空気圧を電気信号で制御す
ることにより、小形でかつ、二次側圧力の緻密な制御が
できる電歪素子を用いた圧力制御弁を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to use an electrostrictive element as a nozzle flapper to control the air pressure applied to a diaphragm using an electric signal, thereby making it possible to use a compact electrostrictive element to precisely control the secondary side pressure. The purpose of this invention is to provide a control valve.

(問題点を解決するための手段) 前記目的を達成するために本発明による電歪素子を用い
た圧力制御弁は、第1のインポートに連通ずる第1のノ
ズルと前記第1のノズルに対向して設けられ第1のエキ
ゾーストポートに連通ずる第2のノズルが形成された第
1の空気空間、第2のエキゾーストポートに連通ずる第
2の空気空間。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, a pressure control valve using an electrostrictive element according to the present invention includes a first nozzle communicating with a first import and facing the first nozzle. a first air space in which a second nozzle is formed and communicates with the first exhaust port; and a second air space that communicates with the second exhaust port.

アウトポートに連通する第3の空気空間、第2のインポ
ートからアウトポートに連通する通路を開閉する弁座と
を有する弁本体と、前記第1および第2のノズルを開閉
するバイモルフ構造の電歪素子と、前記第1および第2
の空気空間を気密に仕切る第1のダイヤフラムと、前記
第2および第3の空気空間を気密に仕切る第2のダイヤ
フラムと、前記第1および第2のダイヤフラムに支持さ
れ前記第2の空気空間に連通ずるリリーフ弁座が前記第
3の空気空間側に形成された継合子と、前記弁本体の弁
座および前記継合子のリリーフ弁座を閉じる方向に付勢
されたプランジャとから構成されている。
A valve body having a third air space that communicates with the out port, a valve seat that opens and closes a passage that communicates from the second inlet to the out port, and an electrostrictive bimorph structure that opens and closes the first and second nozzles. an element, and the first and second
a first diaphragm that airtightly partitions the air space, a second diaphragm that airtightly partitions the second and third air spaces, and a diaphragm supported by the first and second diaphragms and connected to the second air space. A communicating sliding relief valve seat is composed of a joint formed on the third air space side, and a plunger biased in a direction to close the valve seat of the valve body and the relief valve seat of the joint. .

(実施例) 以下、図面等を参照して、実施例につき本発明の詳細な
説明する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings and the like.

第1図は、本発明による電歪素子を用いた圧力制御弁の
実施例を示した断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a pressure control valve using an electrostrictive element according to the present invention.

弁本体1は、ブロック11〜13.蓋体10゜14から
構成されている。ブロック11には、電歪素子2の動作
する空気空間100と空気空間100に連通ずる大口径
の空気空間101が形成されており、空気空間100に
は、ノズル11a。
The valve body 1 includes blocks 11 to 13. It consists of a lid body 10°14. The block 11 has an air space 100 in which the electrostrictive element 2 operates and an air space 101 with a large diameter that communicates with the air space 100. The air space 100 has a nozzle 11a.

11bが対向して形成されている。ノズルllaは、イ
ンポー1−4nに接続され、ノズルllbは、エキゾー
ストポートexhに接続されている。インポートinに
は圧力P1の空気圧が接続され、エキゾーストポートe
xhは大気に接続されている。
11b are formed to face each other. Nozzle lla is connected to import 1-4n, and nozzle llb is connected to exhaust port exh. The air pressure of pressure P1 is connected to the import in, and the exhaust port e
xh is connected to the atmosphere.

ブロック12には、空気空間102が形成されており、
空気空間102は、エキゾーストポートEXHを介して
大気に接続されている。ブロック12の空気空間102
とブロック11の空気空間101および後述するブロッ
ク13の空気空間103とは、それぞれダイヤフラム3
,4により気密を保って仕切られている。ダイヤフラム
3.4はブロック13の空気空間103で継合子5を支
持している。継合子5には、ブロック12の内部空間1
02とブロック13の空気空間103とを連通させる通
路51が形成されており、その通路51の空気空間10
3への開口には、リリーフ弁座52が設けられている。
An air space 102 is formed in the block 12,
Air space 102 is connected to the atmosphere via exhaust port EXH. Air space 102 of block 12
The air space 101 of the block 11 and the air space 103 of the block 13 (described later) are respectively defined by the diaphragm 3.
, 4 to maintain airtightness. The diaphragm 3.4 supports the joint 5 in the air space 103 of the block 13. The joint 5 has an internal space 1 of the block 12.
02 and the air space 103 of the block 13 are formed.
A relief valve seat 52 is provided at the opening to 3.

ブロック13には、インポー)IN、アウトポートOU
Tが形成されており、アウトポートOUTは空気空間1
03に連通している。インポートINには一次側の空気
圧P3が、アウトボー1−OUTには二次側の空気圧P
4が接続されている。
Block 13 includes import) IN, outport OU
T is formed, and the out port OUT is air space 1
It is connected to 03. The import IN has the primary side air pressure P3, and the outboard 1-OUT has the secondary side air pressure P3.
4 is connected.

ブロック13には、継合子5の軸と同じ方向に軸を有す
るプランジャ6が設けられている。ブロック13のイン
ポートINとアウトポートOUTとの間には弁座13a
が設けられており、その弁座13aはプランジャ6のつ
ば部62で開閉される。
The block 13 is provided with a plunger 6 having an axis in the same direction as the axis of the joint 5. A valve seat 13a is located between the import IN and the output port OUT of the block 13.
is provided, and its valve seat 13a is opened and closed by the flange portion 62 of the plunger 6.

プランジャ6の先端に形成されている円錐状部63は、
継合子5のリリーフ弁52を開閉する。プランジャ6は
ばね64により、弁座13aを閉じる方向に付勢されて
いる。このばね64は、蓋体14により受けられている
。プランジャ6の内部には通路61が形成されており、
プランジャ6と蓋体14で形成される空気空間104に
連通している。65〜67は、気密を保持する0リング
である。
The conical part 63 formed at the tip of the plunger 6 is
The relief valve 52 of the jointer 5 is opened and closed. The plunger 6 is urged by a spring 64 in a direction to close the valve seat 13a. This spring 64 is received by the lid 14. A passage 61 is formed inside the plunger 6,
It communicates with an air space 104 formed by the plunger 6 and the lid 14. 65 to 67 are O rings that maintain airtightness.

第2図は、本発明による電歪素子を用いた圧力制御弁に
用いられる電歪素子の実施例を示した斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of an electrostrictive element used in a pressure control valve using an electrostrictive element according to the present invention.

第2図に示すように、電歪素子2は2枚の圧電磁器21
.22と異種材料からなる金属板23とを貼り合わせた
バイモルフ構造を有する素子である。圧電磁器21.2
2の表面には、焼付により銀電極が形成されている。圧
電磁器2]、22は圧電係数の比較的大きなものが適し
ており、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系の磁
器が用いられる。金属板23は電極として用いられてお
り、例えば黄銅が通している。電歪素子2を2枚重ねて
合わせれば、電歪素子2の歪による力は2倍になる。2
枚以上重ね合わせても同様のことが言える。また、電歪
素子2の幅を広くすれば、それに比例した圧接力を得る
ことができる。
As shown in FIG. 2, the electrostrictive element 2 consists of two piezoelectric ceramics 21
.. The element has a bimorph structure in which a metal plate 22 and a metal plate 23 made of different materials are bonded together. Piezoelectric ceramic 21.2
A silver electrode is formed on the surface of 2 by baking. The piezoelectric ceramics 2] and 22 are suitably ones having a relatively large piezoelectric coefficient, and for example, lead zirconate titanate (PZT) ceramics are used. The metal plate 23 is used as an electrode, and is made of brass, for example. If two electrostrictive elements 2 are stacked together, the force due to distortion of the electrostrictive elements 2 will be doubled. 2
The same thing can be said even if more than one sheet is stacked. Further, by increasing the width of the electrostrictive element 2, a pressure contact force proportional to the width can be obtained.

電歪素子2はリード線71.72に接続されており、圧
電磁器21.22の表面側にはリード線71が、金属板
23側にはリード線72がそれぞれ半田付けされている
。電歪素子2とリード線7】、72との接続部は蓋体1
0の開口に高分子材料10aにより、一体重にモールド
されている。
The electrostrictive element 2 is connected to lead wires 71 and 72, and the lead wire 71 and the lead wire 72 are soldered to the surface side of the piezoelectric ceramic 21 and 22 and the metal plate 23, respectively. The connection between the electrostrictive element 2 and the lead wires 7] and 72 is connected to the lid 1.
0 is integrally molded with a polymeric material 10a.

電歪素子2の高速作動に対して接触不良や断線などの事
故を防止して圧力制御弁の信頼性を向上させるためであ
る。蓋体10は、ねじ10b、10bで、ブロック11
に接続されている。
This is to prevent accidents such as poor contact and disconnection due to high-speed operation of the electrostrictive element 2, thereby improving the reliability of the pressure control valve. The lid body 10 is secured to the block 11 with screws 10b, 10b.
It is connected to the.

なお、本発明において、電歪素子というときには、本来
の電歪効果を有する素子のみならず、逆圧電効果を有す
る圧電素子をも含む最も広義の意味で使用することにす
る。
In the present invention, the term "electrostrictive element" is used in the broadest sense, including not only an element having an original electrostrictive effect, but also a piezoelectric element having an inverse piezoelectric effect.

第3図は、本発明による電歪素子を用いた圧力制御弁の
電歪素子を駆動する駆動回路の実施例を示した回路図で
ある。
FIG. 3 is a circuit diagram showing an embodiment of a drive circuit for driving an electrostrictive element of a pressure control valve using an electrostrictive element according to the present invention.

電歪素子2は、交流電源(第3図(a))でも、直流電
源(第3図(b))でも駆動することができる。
The electrostrictive element 2 can be driven by either an AC power source (FIG. 3(a)) or a DC power source (FIG. 3(b)).

可変抵抗器VRを調節することにより、電歪素子2の歪
みを変化させることができる。また、複数倍電圧回路を
用いて(第3図(C1)、マイクロコンピュータ等から
の制御信号で直接駆動することもできる。さらに、ピエ
ゾ抵抗素子等によるセンサSを用いて圧力を検出するこ
とにより、電歪素子2をフィードバック制御することも
できる。ここで、抵抗R1力(挿入されている理由は、
電歪素子2を非導通にしたときに、その電歪素子2に蓄
積−された電荷を放出して、復帰しやすくするためであ
る。
By adjusting the variable resistor VR, the strain of the electrostrictive element 2 can be changed. Alternatively, it can be driven directly by a control signal from a microcomputer, etc. using a multiple voltage doubler circuit (see Fig. 3 (C1)).Furthermore, by detecting pressure using a sensor S made of a piezoresistive element, etc. , it is also possible to feedback control the electrostrictive element 2. Here, the force of the resistor R1 (the reason why it is inserted is
This is to release the charges accumulated in the electrostrictive element 2 when the electrostrictive element 2 is made non-conductive, thereby facilitating recovery.

つぎに、本発明による電歪素子を用いた圧力制御弁を減
圧弁として使用した場合を例にして、その動作を説明す
る。ここで、減圧弁とは、−次側の圧力の如何にかかわ
らず、二次側の圧力を一次側の圧力よりも低い設定圧力
に制御する圧力制御弁をいう。したがって、インポート
INには空気圧源からの圧力P3が接続され、アウトポ
ートOUTには、制御対象となる空気圧回路が接続され
その制御する圧力をF4とする。
Next, the operation of the pressure control valve using the electrostrictive element according to the present invention will be explained by taking as an example the case where it is used as a pressure reducing valve. Here, the pressure reducing valve refers to a pressure control valve that controls the pressure on the secondary side to a set pressure lower than the pressure on the primary side, regardless of the pressure on the downstream side. Therefore, the pressure P3 from the pneumatic source is connected to the import IN, and the pneumatic circuit to be controlled is connected to the out port OUT, and the pressure to be controlled is F4.

前述の第3図の駆動回路により、電歪素子2を駆動する
と、空気空間100の左右方向に変位することにより、
ノズルlla、llbの開口度を調節して、インポート
inの空気圧P1に対し空気空間101内の圧力P2を
制御する。この圧力P2は、ダイヤフラム3に作用し、
継合子5を変位させる力F1になる。
When the electrostrictive element 2 is driven by the drive circuit shown in FIG.
The opening degree of the nozzles lla and llb is adjusted to control the pressure P2 in the air space 101 with respect to the import in air pressure P1. This pressure P2 acts on the diaphragm 3,
This becomes a force F1 that displaces the joint 5.

一方、継合子5には、圧力P4がダイヤフラム4を介し
て、ばね64のカがプランジャ6を介して作用している
。したがって、この合力をF2とすれば、力F1が力F
2より大きい場合には、弁座13aが開きインボー)I
N側の空気圧P3がアウトポート0UT(11に供給さ
れ、圧力P4は上昇する。
On the other hand, the pressure P4 is applied to the joint 5 via the diaphragm 4, and the force of the spring 64 is applied via the plunger 6. Therefore, if this resultant force is F2, force F1 becomes force F
If it is larger than 2, the valve seat 13a opens and invokes) I
Air pressure P3 on the N side is supplied to out port 0UT (11), and pressure P4 increases.

圧力P4が上昇することにより、力F2が力F1よりも
大きくなると、弁座13aは閉じて、プランジャ6と、
継合子5が離れ、リリーフ弁座52が開くので、アウト
ポートOUTからの空気圧は、空気空間103.継合子
5の通路51を介して、空気空間102に流れ、エキゾ
ーストポートEXHから大気に排気される。したがって
、アウトボー)OUTの圧力P4は低下する。よって、
電歪素子2に印加する電圧を変化することにより、アウ
トポートOUTの圧力P4を一定の範囲に制御すること
ができる。
When the force F2 becomes larger than the force F1 due to an increase in the pressure P4, the valve seat 13a closes and the plunger 6 and
Since the joint 5 is separated and the relief valve seat 52 is opened, the air pressure from the out port OUT is transferred to the air space 103. It flows into the air space 102 through the passage 51 of the joint 5 and is exhausted to the atmosphere from the exhaust port EXH. Therefore, the pressure P4 at the outboard (outboard) OUT decreases. Therefore,
By changing the voltage applied to the electrostrictive element 2, the pressure P4 at the out port OUT can be controlled within a certain range.

つまり、電歪素子2がノズルllaを閉じノズルllb
が開いていると、圧力P2は大気圧になり、継合子5に
作用する力F1がなくなり、弁座13aが閉じて圧力P
4は大気圧になる。一方、電歪素子2がノズルllbを
閉じノズルllaが開いていると、圧力P2は圧力P1
と等しくなり、力Fが最大になり、圧力P4が圧力P3
と等しくなる。
In other words, the electrostrictive element 2 closes nozzle lla and nozzle llb
is open, the pressure P2 becomes atmospheric pressure, the force F1 acting on the joint 5 disappears, the valve seat 13a closes, and the pressure P2 becomes atmospheric pressure.
4 becomes atmospheric pressure. On the other hand, when the electrostrictive element 2 closes the nozzle llb and opens the nozzle lla, the pressure P2 changes to the pressure P1.
becomes equal, force F becomes maximum, and pressure P4 becomes pressure P3
is equal to

このように、電歪素子2に印加する電圧を可変すると、
その電圧に比例して電歪素子2の歪が変化するので、ノ
ズルllb、llaの開度が制御される。ノズル11b
、11aの開度によって圧力P2が調節されると、圧力
P4が調節されることになるので、電歪素子2の歪、す
なわち電歪素子2に印加する電圧によって圧力P4が任
意の圧力に調節されることになる。
In this way, when the voltage applied to the electrostrictive element 2 is varied,
Since the strain of the electrostrictive element 2 changes in proportion to the voltage, the opening degrees of the nozzles llb and lla are controlled. Nozzle 11b
, 11a, the pressure P4 is adjusted. Therefore, the pressure P4 can be adjusted to an arbitrary pressure by the strain of the electrostrictive element 2, that is, the voltage applied to the electrostrictive element 2. will be done.

(発明の効果) 以上詳しく説明したように、本発明によれば、電歪素子
をノズルフラッパとして用い、ダイヤフラムに印加され
る空気圧を電気信号で制御するようにしたので、制御弁
全体が小形、軽量かつ安価になるとともに、圧力開部が
電圧制御できるようになり、制御弁を遠隔から操作して
、二次側圧力を緻密に制御できるようになった。
(Effects of the Invention) As explained in detail above, according to the present invention, the electrostrictive element is used as a nozzle flapper and the air pressure applied to the diaphragm is controlled by an electric signal, so the entire control valve is small and lightweight. In addition to becoming cheaper, the pressure opening can now be controlled by voltage, and the control valve can be operated remotely to precisely control the secondary pressure.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明による電歪素子を用いた圧力制御弁の
実施例を示した断面図、第2図は、前記圧力制御弁に用
いられる電歪素子の実施例を示した斜視図、第3図は、
前記電歪素子を駆動する駆動回路の実施例を示した回路
図である。 1・・・弁本体     10.14・・・蓋体11.
12.13・・・ブロック 100.101,102,103.104・・・空気空
間 10a・・・高分子材料 10b、10b・・・ねじ 113.11b・・・ノズル 2・・・電歪素子 3.4・・・ダイヤフラム 5・・・継合子 51・・・通路     52・・・リリーフ弁座6・
・・プランジャ 61・・・通路     62・・・つば部63・・・
円錐部    64・・・ばね65.66.67・・・
0リング 才1図 才3 (C) (cl)
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a pressure control valve using an electrostrictive element according to the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the electrostrictive element used in the pressure control valve. Figure 3 shows
FIG. 3 is a circuit diagram showing an example of a drive circuit that drives the electrostrictive element. 1... Valve body 10.14... Lid body 11.
12.13...Blocks 100.101, 102, 103.104...Air space 10a...Polymer material 10b, 10b...Screw 113.11b...Nozzle 2...Electrostrictive element 3 .4...Diaphragm 5...Joiner 51...Passage 52...Relief valve seat 6.
...Plunger 61...Passage 62...Brim portion 63...
Conical part 64...Spring 65.66.67...
0 ring 1 figure 3 (C) (cl)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  第1のインポートに連通する第1のノズルと前記第1
のノズルに対向して設けられ第1のエキゾーストポート
に連通する第2のノズルが形成された第1の空気空間、
第2のエキゾーストポートに連通する第2の空気空間、
アウトポートに連通する第3の空気空間、第2のインポ
ートからアウトポートに連通する通路を開閉する弁座と
を有する弁本体と、前記第1および第2のノズルを開閉
するバイモルフ構造の電歪素子と、前記第1および第2
の空気空間を気密に仕切る第1のダイヤフラムと、前記
第2および第3の空気空間を気密に仕切る第2のダイヤ
フラムと、前記第1および第2のダイヤフラムに支持さ
れ前記第2の空気空間に連通するリリーフ弁座が前記第
3の空気空間側に形成された継合子と、前記弁本体の弁
座および前記継合子のリリーフ弁座を閉じる方向に付勢
されたプランジャとから構成した電歪素子を用いた圧力
制御弁。
a first nozzle communicating with the first import; and a first nozzle communicating with the first import;
a first air space in which a second nozzle is formed opposite to the nozzle and communicates with the first exhaust port;
a second air space communicating with the second exhaust port;
A valve body having a third air space that communicates with the out port, a valve seat that opens and closes a passage that communicates from the second inlet to the out port, and an electrostrictive bimorph structure that opens and closes the first and second nozzles. an element, and the first and second
a first diaphragm that airtightly partitions the air space, a second diaphragm that airtightly partitions the second and third air spaces, and a diaphragm supported by the first and second diaphragms and connected to the second air space. An electrostrictive device comprising: a joint in which a communicating relief valve seat is formed on the third air space side; and a plunger biased in a direction to close the valve seat of the valve body and the relief valve seat of the joint. Pressure control valve using elements.
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