JPS61202445A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS61202445A JPS61202445A JP4299285A JP4299285A JPS61202445A JP S61202445 A JPS61202445 A JP S61202445A JP 4299285 A JP4299285 A JP 4299285A JP 4299285 A JP4299285 A JP 4299285A JP S61202445 A JPS61202445 A JP S61202445A
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- Japan
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- thermometer
- furnace
- reaction tube
- tube
- plate
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、半導体を製造する装置に関するものである
。
。
C従来の技術]
半導体製造装置として、たとえば、縦形炉に材料を入れ
た反応管を吊り下げ、回転させつつ反応管内に半導体を
合成製造するものがある。
た反応管を吊り下げ、回転させつつ反応管内に半導体を
合成製造するものがある。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、反応管を炉内に挿入する際炉芯管にあた
ったり、取り付けの際、吊り下げワイヤからか芯管が落
下したりする事故が生じやすい問題点があった。
ったり、取り付けの際、吊り下げワイヤからか芯管が落
下したりする事故が生じやすい問題点があった。
また、反応管を炉内に挿入する前、あるいは適当な時期
に炉内の温度分布を把握し、反応管を最適な濃度の炉内
位胃に置く必要がある。
に炉内の温度分布を把握し、反応管を最適な濃度の炉内
位胃に置く必要がある。
この発明の目的は、以上の点に鑑み、反応管の取り付け
、および温度測定の容易化等を図った半導体製造装置を
提供することである。
、および温度測定の容易化等を図った半導体製造装置を
提供することである。
c問題点を解決するための手段1
この発明は、半導体を製造するための加熱炉と、この加
熱炉に挿入される反応管または炉内温度分布測定用の温
度計を接続する接続部を有する支持装置とを備えるよう
にした半導体製造装置である。
熱炉に挿入される反応管または炉内温度分布測定用の温
度計を接続する接続部を有する支持装置とを備えるよう
にした半導体製造装置である。
[実施例]
第1図は、この発明の一実施例を示す正面説明図、第2
図は、一部断面側面説明因である。
図は、一部断面側面説明因である。
図において、1は、加熱炉、2は、昇降装置である。加
熱炉1は、適当な箱体11内に、炉芯管12を上下方向
に設け、その周囲に加熱ヒータ13、底部に断熱材14
を設け、また、炉芯管12の上方の開口15から反応管
3が吊り下げ挿入され、炉芯管12内は、図示しない制
御手段により所定の温度とされる。昇降装置2は、反応
管3を吊り下げるワイヤ等よりなる吊り下げ具4を支持
装置21に支持させ、駆動軸210を自動または手動ハ
ンドル211で駆動して支持装置121を上下に昇降さ
せるとともに、適当な回転手段により吊り下げ具4を介
して反応管3を回転させる構成となっている。
熱炉1は、適当な箱体11内に、炉芯管12を上下方向
に設け、その周囲に加熱ヒータ13、底部に断熱材14
を設け、また、炉芯管12の上方の開口15から反応管
3が吊り下げ挿入され、炉芯管12内は、図示しない制
御手段により所定の温度とされる。昇降装置2は、反応
管3を吊り下げるワイヤ等よりなる吊り下げ具4を支持
装置21に支持させ、駆動軸210を自動または手動ハ
ンドル211で駆動して支持装置121を上下に昇降さ
せるとともに、適当な回転手段により吊り下げ具4を介
して反応管3を回転させる構成となっている。
また、昇降装置2には、上下方向に2本の支持軸51.
52、この支持軸51.52を上下にスライドするスラ
イド板53.54、下部に反応管3の落下防止板55等
よりなる保持装置が設けられている。
52、この支持軸51.52を上下にスライドするスラ
イド板53.54、下部に反応管3の落下防止板55等
よりなる保持装置が設けられている。
スライド板53.54は、第3図で示すように、反応管
3が上下に十分挿通できる開口530.540、吊り下
げ具4のワイヤ等が水平方向に挿通できるスリット53
1.532が形成されている。
3が上下に十分挿通できる開口530.540、吊り下
げ具4のワイヤ等が水平方向に挿通できるスリット53
1.532が形成されている。
なお、第4図で示すように、ガイド板53.54の代わ
りに、支持軸50を中心に水平方向に回転可能な保持ア
ーム56の把持部560に反応管3を挟持して炉芯管1
2の開口15上に位置させるようにしてもよい。この把
持部560は、固定アーム561、回動アーム562を
有し、回動アーム562は軸563を中心にクリック5
64により、開、閉、および図示のように保持管3の確
定位置に一時保持される。なお、底部には軸563を中
心に回転する底板565が設けられ落下防止を図ってい
る。また、2個の固定アーム561の中間に一個の回動
アーム562を設けるようにしてもよい。
りに、支持軸50を中心に水平方向に回転可能な保持ア
ーム56の把持部560に反応管3を挟持して炉芯管1
2の開口15上に位置させるようにしてもよい。この把
持部560は、固定アーム561、回動アーム562を
有し、回動アーム562は軸563を中心にクリック5
64により、開、閉、および図示のように保持管3の確
定位置に一時保持される。なお、底部には軸563を中
心に回転する底板565が設けられ落下防止を図ってい
る。また、2個の固定アーム561の中間に一個の回動
アーム562を設けるようにしてもよい。
また、落下防止板55は、たとえば、第5図で示すよう
に、反応管3が上下に挿通できる開口を有する下板55
1と、水平方向にスライドする上板552よりなるもの
である。なお、第6図で示すように、上板として左右に
開く開閉板553.554を用いてもよい。
に、反応管3が上下に挿通できる開口を有する下板55
1と、水平方向にスライドする上板552よりなるもの
である。なお、第6図で示すように、上板として左右に
開く開閉板553.554を用いてもよい。
第7図は、反応管3と吊り下げ具4との接続構成を示し
、反応!!!3のアーム30に、1本のワイヤ40を2
つ折りにした折り曲げ部をかけ、円盤上の第1のガイド
板41の中心孔410に挿通する。この第1のガイド板
41の中央円柱部411には、反応管3の内径部と接す
る比較的やわらかい材質の第2のガイド板42が挿通さ
れ、止具43により抜は止めされている。円柱部411
とガイド板42、止具43と接する部分はネジ山とする
とよい。このように、反応管3の心出しを行い反応管3
の回転振れを少くしている。
、反応!!!3のアーム30に、1本のワイヤ40を2
つ折りにした折り曲げ部をかけ、円盤上の第1のガイド
板41の中心孔410に挿通する。この第1のガイド板
41の中央円柱部411には、反応管3の内径部と接す
る比較的やわらかい材質の第2のガイド板42が挿通さ
れ、止具43により抜は止めされている。円柱部411
とガイド板42、止具43と接する部分はネジ山とする
とよい。このように、反応管3の心出しを行い反応管3
の回転振れを少くしている。
さらにワイヤ40は、案内管44に案内され、第8図で
示すように、その上部は、案内管44の上部のネジ部4
41の上下方向に2箇所形成された切溝に引き込まれ、
その外部に固定具45でネジ込んでワイヤ40は固定さ
れる。固定具45は、さらに、ストップポール46、バ
ネ47、リング48を含むチャックのような接続部49
により支持されるようになっている。
示すように、その上部は、案内管44の上部のネジ部4
41の上下方向に2箇所形成された切溝に引き込まれ、
その外部に固定具45でネジ込んでワイヤ40は固定さ
れる。固定具45は、さらに、ストップポール46、バ
ネ47、リング48を含むチャックのような接続部49
により支持されるようになっている。
つまり、反応管3を加熱炉1に挿入する前に、吊り下げ
具4により、第7図、第8図で示すような状態に吊り下
げ、落下防止板55上にその底部をのせ、第3図で示す
ガイド板53.54の開口530.540に通す。次い
で、反応管3を少しもち上げ、回転させ、振れ状態を確
認する。そして、落下防止板55の第5図、第6図の上
板552.553.554、をスライド、回転させて開
口を作り、反応管3を加熱炉1の炉芯管12の所定位置
に降下させる。この反応管3の加熱炉1内の設置位置と
して最適位置があり、この位置決めは、スケール(目盛
)22および支持装置21、スライド板53.54のイ
ンデックス23.24.25により確認することができ
る。
具4により、第7図、第8図で示すような状態に吊り下
げ、落下防止板55上にその底部をのせ、第3図で示す
ガイド板53.54の開口530.540に通す。次い
で、反応管3を少しもち上げ、回転させ、振れ状態を確
認する。そして、落下防止板55の第5図、第6図の上
板552.553.554、をスライド、回転させて開
口を作り、反応管3を加熱炉1の炉芯管12の所定位置
に降下させる。この反応管3の加熱炉1内の設置位置と
して最適位置があり、この位置決めは、スケール(目盛
)22および支持装置21、スライド板53.54のイ
ンデックス23.24.25により確認することができ
る。
そして、反応管3を回転させつつ加熱炉1内で徐々に下
降させ、半導体を合成製造し、製造終了後は、反応管3
を上昇させ、取り出すことができる。
降させ、半導体を合成製造し、製造終了後は、反応管3
を上昇させ、取り出すことができる。
そして、反応管3を加熱炉1内に挿入する前、あるいは
適当な時期に加熱炉1の温度分布、プロファイルを得る
には次のようにする。
適当な時期に加熱炉1の温度分布、プロファイルを得る
には次のようにする。
つまり、反応管3を吊り下げる第8図の固定具り5
#゛の代わりに第9図で示すように、熱電対等の温度計
7を保持する取付具6を接続部49に取り付ける。
7を保持する取付具6を接続部49に取り付ける。
つまり、この取付具6は、接続部49の位置決め部49
1にその先端の係合部611が係合し、II脱可能に接
続する挿入部61と、この挿入部61に固着されたL字
状のアーム62と、このアーム62に固着された取付板
63より構成される。
1にその先端の係合部611が係合し、II脱可能に接
続する挿入部61と、この挿入部61に固着されたL字
状のアーム62と、このアーム62に固着された取付板
63より構成される。
そして、この取付板63には、第10図の取付板63の
平面図を参照しても分るように、中心より外方に溝64
が形成され、この溝64に温度計7を挿通した保持具6
5が設けられている。この保持具65は、下部にツバ6
6を形成し、このツバ66と取付板63との間に板バネ
67を介在させ、上部は外周がネジとされたスリ割を有
するテーパー状のネジ部68とされ、ナツト69により
ネジ部68をしめることにより温度計7は固定される。
平面図を参照しても分るように、中心より外方に溝64
が形成され、この溝64に温度計7を挿通した保持具6
5が設けられている。この保持具65は、下部にツバ6
6を形成し、このツバ66と取付板63との間に板バネ
67を介在させ、上部は外周がネジとされたスリ割を有
するテーパー状のネジ部68とされ、ナツト69により
ネジ部68をしめることにより温度計7は固定される。
また、板バネ67に抗して保持具65を溝64に沿って
中心から外周のいずれの位置にも位置させることができ
、目盛81によりこの中心からの温度計7の基部の位置
を知ることができる。
中心から外周のいずれの位置にも位置させることができ
、目盛81によりこの中心からの温度計7の基部の位置
を知ることができる。
この温度計7は長いため、第1図、第2図の落下防止板
55にその先端は達し、第5図で示すようにこの落下防
止板55の上板552上に円周上にまたは放射状の目盛
82を設けることにより、温度計7の炉内位置を知るこ
とができる。また、上下の目盛81.82を利用して、
温度計7の基部と先端との曲がり具合、つまり垂直に保
たれているかどうか知ることができる。
55にその先端は達し、第5図で示すようにこの落下防
止板55の上板552上に円周上にまたは放射状の目盛
82を設けることにより、温度計7の炉内位置を知るこ
とができる。また、上下の目盛81.82を利用して、
温度計7の基部と先端との曲がり具合、つまり垂直に保
たれているかどうか知ることができる。
つまり、温度計7を取付板63の溝64に沿って水平方
向に移動させ、目盛81により、温度計7の炉内の中心
よりの位置を知ることができる。
向に移動させ、目盛81により、温度計7の炉内の中心
よりの位置を知ることができる。
次いで、支持装置21を駆動し、接続部49を回転させ
ると温度計7もその円周位置で回転し、第5図の円周上
の目盛82により温度計7の加熱炉1の炉内での円周位
置を知ることができる。次いで落下防止板55の上板5
52をスライドさせて温度計7が降下できる開口をつく
り、支持装置21を下降させ、上下の目盛22、インデ
ックス23により濃度計7特にその先端の深さ位置を知
ることができる。そして、所定の炉内位置での温度計7
により炉内温度分布を測定することができる。
ると温度計7もその円周位置で回転し、第5図の円周上
の目盛82により温度計7の加熱炉1の炉内での円周位
置を知ることができる。次いで落下防止板55の上板5
52をスライドさせて温度計7が降下できる開口をつく
り、支持装置21を下降させ、上下の目盛22、インデ
ックス23により濃度計7特にその先端の深さ位置を知
ることができる。そして、所定の炉内位置での温度計7
により炉内温度分布を測定することができる。
また、支持装置21の接続部49を水平、回転、上下移
動自在とし、計算機等で自動的に温度分布を得るように
してもよい。また、測定結果は自動的に記録計その他に
記録するとよい。
動自在とし、計算機等で自動的に温度分布を得るように
してもよい。また、測定結果は自動的に記録計その他に
記録するとよい。
[発明の効果]
以上述べたように、この発明は、反応管および温度計を
共通に接続部に取り付けるようにしているので、反応管
の取り付け、温度計の取り付けのいずれもが容易で、半
導体の製造上、操作の容易化、安全性の向上が図れる。
共通に接続部に取り付けるようにしているので、反応管
の取り付け、温度計の取り付けのいずれもが容易で、半
導体の製造上、操作の容易化、安全性の向上が図れる。
第1図、第2図、第3図、第4図、第5図、第6図、第
7図、第8図、第9図、第10図は、この発明の一大施
例を示す構成説明図である。 1・・・加熱炉、 2・・・昇降装置、 3・・・反応
管、4・・・吊り下げ具、 51〜55・・・保持装置
、6・・・取付具、 7・・・温度計、 49・・・接
続部特許出願人 株式会社 千野製作所 卒3の 第5■ 半4−口 57f 、rO Z 半60
7図、第8図、第9図、第10図は、この発明の一大施
例を示す構成説明図である。 1・・・加熱炉、 2・・・昇降装置、 3・・・反応
管、4・・・吊り下げ具、 51〜55・・・保持装置
、6・・・取付具、 7・・・温度計、 49・・・接
続部特許出願人 株式会社 千野製作所 卒3の 第5■ 半4−口 57f 、rO Z 半60
Claims (1)
- 1.半導体を製造するための加熱炉と、この加熱炉に挿
入される反応管または炉内温度測定用の温度計を取り付
ける接続部を有する支持装置とを備えたことを特徴とす
る半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4299285A JPS61202445A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4299285A JPS61202445A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61202445A true JPS61202445A (ja) | 1986-09-08 |
Family
ID=12651521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4299285A Pending JPS61202445A (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61202445A (ja) |
-
1985
- 1985-03-05 JP JP4299285A patent/JPS61202445A/ja active Pending
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