JPS61199573U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61199573U JPS61199573U JP8401685U JP8401685U JPS61199573U JP S61199573 U JPS61199573 U JP S61199573U JP 8401685 U JP8401685 U JP 8401685U JP 8401685 U JP8401685 U JP 8401685U JP S61199573 U JPS61199573 U JP S61199573U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- cylindrical
- electrolyte
- fountains
- cathodes
- Prior art date
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- Pending
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- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 3
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図ａは本考案による陽極酸化装置の断面略
図、ｂは陰極板を示す斜視図、第２図ａは従来の
陽極酸化装置の断面略図、ｂは陰極板を示す斜視
図である。 １１…噴水ヘツド、１２…円筒形電極、１３…
平板電極、１４…電解液、１５…半導体ウエハー
。
図、ｂは陰極板を示す斜視図、第２図ａは従来の
陽極酸化装置の断面略図、ｂは陰極板を示す斜視
図である。 １１…噴水ヘツド、１２…円筒形電極、１３…
平板電極、１４…電解液、１５…半導体ウエハー
。
Claims (1)
- 複数個の電解液吹き上げ用の円筒形噴水部と、
これらを個々に取り囲む円筒形電極と、これらの
電極の下部で接続された一枚の平板電極を有し、
これらの電極を陰極として使用するようにしたこ
とを特徴とする噴水式陽極酸化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8401685U JPS61199573U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8401685U JPS61199573U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199573U true JPS61199573U (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=30633165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8401685U Pending JPS61199573U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61199573U (ja) |
-
1985
- 1985-06-04 JP JP8401685U patent/JPS61199573U/ja active Pending