JPS61197805A - Fluid pressure servo valve - Google Patents
Fluid pressure servo valveInfo
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- JPS61197805A JPS61197805A JP3848785A JP3848785A JPS61197805A JP S61197805 A JPS61197805 A JP S61197805A JP 3848785 A JP3848785 A JP 3848785A JP 3848785 A JP3848785 A JP 3848785A JP S61197805 A JPS61197805 A JP S61197805A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は流体圧サーボ弁に係り、特にフォースモータで
駆動される2段形のサーボ弁に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a fluid pressure servo valve, and more particularly to a two-stage servo valve driven by a force motor.
従来のサーボ弁は、米国特許第4= 215g723号
公報に示されるように、ボディ内に収納されて移動自在
にされた主弁と、主弁を直接駆動するだめのフォースモ
ータと、フィードバック制御によ 。As shown in U.S. Patent No. 4=215g723, conventional servo valves have a main valve that is housed in a body and is movable, a force motor that directly drives the main valve, and a feedback control system. Yo .
り主弁の位置を所定位置に保持するために主弁の位置を
検出する変流針コアとを備えている。このサーボ弁は、
フォースモータ釦空心コイルを使用することから高応答
性の特長を有するため、特に大径の主弁を駆動する必要
のある分野で使用されている。In order to maintain the position of the main valve at a predetermined position, the main valve is equipped with a flow change needle core that detects the position of the main valve. This servo valve is
Because it uses a force motor button air-core coil, it has the feature of high responsiveness, so it is used particularly in fields where it is necessary to drive large-diameter main valves.
しかしながら、従来の大径の主弁を備えたサーゼ進φ!
、中 耐私七も十占ノネ1θ園請ξ壷1ンしユ。However, the Sarze Susumuφ equipped with the conventional large diameter main valve!
, In the middle of the test, I also have seven fortunes.
らフォースモータのマグネット部が大きくなシ、またフ
ォードバック制御用の変位計コアが設けられていること
からサーボ弁自体が大型になり、小型さを要求される分
野においては、使用することが困難である、という問題
があった。一方、フォースモータのマグネットを小型に
してサーボ弁自体を小型にしようとすると、アンプの・
9ワーを大きくする必要があるため、大・やワーになる
、という問題があった。In addition, the force motor's magnet part is large, and the servo valve itself is large because it is equipped with a displacement gauge core for feedback control, making it difficult to use in fields where compactness is required. There was a problem that. On the other hand, if you try to make the servo valve itself smaller by making the force motor magnet smaller, the amplifier
Since it is necessary to increase the size of 9W, there is a problem in that it becomes large or small.
本発明は上記問題点を解決すべく成されたもので、変位
計コアを用いる電気的フィードバック制御に代えて機械
的フィードバック制御を採用することによシ、小型かつ
小・母ワーにした流体圧サーボ弁を提供することを目的
とする。The present invention was made in order to solve the above problems, and by adopting mechanical feedback control instead of electrical feedback control using a displacement meter core, it is possible to reduce the size and power of fluid pressure. The purpose is to provide servo valves.
上記目的を達成するために本発明は、主弁の移動によっ
て流路な切換えるようにした流体圧サーボ弁において、
シオースモータによって移動される弁体と主弁の移動方
向に変形または移動可能な部材に形成された流路とによ
って流体抵抗を変化させて主弁に作用する流体圧を変位
させる流体抵抗変換体を構成すると共に、主弁の移動が
流体抵抗変換体の部材に伝達されるように主弁と部材と
の間に弾性体を介在したことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a fluid pressure servo valve in which flow paths are switched by movement of a main valve.
A fluid resistance converter that changes fluid resistance and displaces the fluid pressure acting on the main valve is configured by a valve body moved by the SIOUS motor and a flow path formed in a member that can be deformed or moved in the movement direction of the main valve. In addition, an elastic body is interposed between the main valve and the member so that the movement of the main valve is transmitted to the member of the fluid resistance converter.
本発明によれば、フォースモータによって弁体を移動さ
せると流体抵抗変換体の流体抵抗が変化し主弁に作用す
る流体圧が変化される。この流体圧の変化によって主弁
が低圧室方向へ移動する。According to the present invention, when the valve body is moved by the force motor, the fluid resistance of the fluid resistance converter changes, and the fluid pressure acting on the main valve changes. This change in fluid pressure causes the main valve to move toward the low pressure chamber.
主弁の移動は、弾性体を介して流体抵抗変換体の部材に
伝達され、この部材を変形または移動させる。部材の変
形または移動により流体抵抗変換体の流体抵抗が変化し
、流体抵抗かもとの大きさくなったところで主弁の移動
が停止される。すなわち、フォースモータによって移動
される弁体の位置に比例する位置に、流体圧によって主
弁が移動される。Movement of the main valve is transmitted to a member of the fluid resistance converter through the elastic body, deforming or moving this member. The fluid resistance of the fluid resistance converter changes due to the deformation or movement of the member, and the movement of the main valve is stopped when the fluid resistance reaches its original size. That is, the main valve is moved by fluid pressure to a position proportional to the position of the valve body moved by the force motor.
以上説明したように本発明によれば、フォ−スモータに
よって直接主弁を移動させることなく流体圧によって主
弁を移動させているため、小・譬ワーで主弁を確実に移
動することができ、また変位計コアを設けてないため小
型にすることができる、という効果が得られる。As explained above, according to the present invention, the main valve is moved by fluid pressure without being moved directly by the force motor, so the main valve can be moved reliably with a small or small machine. Also, since no displacement meter core is provided, the device can be made smaller.
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する0
第1図は本発明の第1実施例に係る流体圧サーボ弁の断
面図を示すものである。ボディ1゜の内部には、軸方向
に移動可能に主弁12が収納されている。ボディ10に
は、油圧ポンダに接続された圧力ポートPs、/−トA
t BおよびリターンポートRが穿設されている。主
弁12の一端には、ピストン14が固定され、このピス
トン14によシボディ10内部が第1の室16と第2の
室18とに分割されている6つピストン14の第1の室
16側の端面には、主弁12の径よシも小径のロッド2
0が固定されている。このロッド2oは、弁体10を貫
通して主弁12の軸方向に延在している。本実施例では
、ピストン14の第1の室16側の受圧面がピストン1
4の第2の室18側の受圧面の2倍になるように、ロッ
ド20の径が定められているう
ホティ10の端部には、フォースモータ収納用室32が
設けられ、この室32にフォースモータが収納されてい
る。このフォースモータは、ボディの端部に収納された
コア22と、コイル24が巻回されてコア2゛2に挿入
されたポビン26とで構成されている。このボビン26
は、周縁がボディ10の内壁に固定された板ばね28で
支持されている。板ばね28の中心部には、主体として
作用するフラツ/臂30が固定されている。フォースモ
ータ収納用室32には、中空の可撓性部材で構成された
棒状部材34が設けられ、この棒状部材340両端がフ
ォースモータ収納用室32の内壁に固定されている。ま
た、棒状部材34のフラノ・430に対向する位置には
ノズル36が穿設されている。上記フラッノ!3Qとノ
ズル36とは流体抵抗変換体を構成する。上記の棒状部
材34の中央部は、フィードバックばね38を介してピ
ストン14に固定されたロッド20の一端に連結されて
いる。フォースモータ収納用室32は、ボディ10に穿
設されたリターンデートRによりオイルタンクと連通さ
れている。なお、4oはコイル24を励磁するためのリ
ード線を支持するコネクタである。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a sectional view of a fluid pressure servo valve according to a first embodiment of the present invention. A main valve 12 is housed inside the body 1° so as to be movable in the axial direction. The body 10 has pressure ports Ps, /-A connected to a hydraulic pumper.
t B and return port R are drilled. A piston 14 is fixed to one end of the main valve 12, and the piston 14 divides the inside of the body 10 into a first chamber 16 and a second chamber 18. A rod 2 with a diameter smaller than that of the main valve 12 is mounted on the side end face.
0 is fixed. This rod 2o passes through the valve body 10 and extends in the axial direction of the main valve 12. In this embodiment, the pressure receiving surface of the piston 14 on the first chamber 16 side is
A force motor storage chamber 32 is provided at the end of the housing 10 in which the diameter of the rod 20 is set to be twice that of the pressure receiving surface on the second chamber 18 side of the fourth chamber. The force motor is housed in. This force motor is composed of a core 22 housed at the end of the body, and a pobbin 26 around which a coil 24 is wound and inserted into the core 22. This bobbin 26
is supported by a leaf spring 28 whose peripheral edge is fixed to the inner wall of the body 10. A flat/arm 30 is fixed to the center of the leaf spring 28, which acts as a main body. A rod-shaped member 34 made of a hollow flexible member is provided in the force motor storage chamber 32, and both ends of this rod-shaped member 340 are fixed to the inner wall of the force motor storage chamber 32. Further, a nozzle 36 is bored in the rod-shaped member 34 at a position facing the flannel 430. Furano above! 3Q and the nozzle 36 constitute a fluid resistance converter. A central portion of the rod-shaped member 34 is connected to one end of the rod 20 fixed to the piston 14 via a feedback spring 38. The force motor storage chamber 32 is communicated with the oil tank through a return date R bored in the body 10. Note that 4o is a connector that supports a lead wire for exciting the coil 24.
圧力/−トPgは、第1の油路42を介して棒状部材3
4内の空洞と連通されると共に1第2の油路44を介し
て第2の室18と連通されている。The pressure Pg is applied to the rod-shaped member 3 through the first oil passage 42.
4 and the second chamber 18 via the first and second oil passages 44.
また、第1の油路42には調節可能な絞り48が設けら
れ、第1の油路42は分岐油路46を介して第1の室と
連通されている。Further, the first oil passage 42 is provided with an adjustable throttle 48 , and the first oil passage 42 is communicated with the first chamber via a branch oil passage 46 .
次に本実施例の動作を説明する。油圧Iングで発生され
た圧油は、圧力$ −) Paから絞シ48、第1の油
路42および分岐油路46を介して第1の室16に導入
されると共に、第2の油路44を介して第2の室18に
導入されている。また、第1の油路42に導入された圧
油は、棒状部材34の空洞、ノズル、フォースモータ収
納用室32およびリターン/−トRを介してオイルタン
クに戻されている。この場合、ピストン14の第10室
16側受圧面に作用する単位面積当りの油圧は、絞り4
8や流体抵抗変換体の抵抗によって、ピストン14の第
2の室18側受圧面に作用する単位面積当りの油圧より
小さくなっているが、@1の室16側受圧而が第2の室
18側受圧面より大きいため、ピスト7140両受圧面
に作用する油圧が釣合い、主弁12は所定位置に保持さ
れている。Next, the operation of this embodiment will be explained. The pressure oil generated by the hydraulic pressure I is introduced into the first chamber 16 from a pressure of $-) Pa through the throttle shaft 48, the first oil passage 42, and the branch oil passage 46, and is also introduced into the second oil It is introduced into the second chamber 18 via a channel 44 . Further, the pressure oil introduced into the first oil passage 42 is returned to the oil tank via the cavity of the rod-shaped member 34, the nozzle, the force motor storage chamber 32, and the return/torque R. In this case, the hydraulic pressure per unit area acting on the pressure receiving surface on the 10th chamber 16 side of the piston 14 is
Due to the resistance of Since it is larger than the side pressure receiving surface, the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston 7140 is balanced, and the main valve 12 is held at a predetermined position.
この油圧の釣合いは絞り弁48により調整可能であるっ
上記の状態でフォースモータのコイル24に流れる電流
を制御してブラシ・130を板ばね28の弾発力に抗し
て吸引し、フランz43 Qとノズル36との間隙を大
きくすると、流体抵抗変換体の流体抵抗が小さくなって
ノズル36を通過する圧油が多くなり、ピストン14の
第1の室16側受圧面に作用する油圧が小さくなる。一
方、ピストン14の第2の室18側受圧面には圧力ポー
トP8からの油圧が作用しているため、ピストンの両受
圧面に作用する油圧に差が生じ、この油圧差によって主
弁12が低圧側すなわち第1の室16側に移動される。The balance of this oil pressure can be adjusted by the throttle valve 48. In the above state, the current flowing through the coil 24 of the force motor is controlled to attract the brush 130 against the elastic force of the leaf spring 28, and the flange z43 When the gap between Q and the nozzle 36 is increased, the fluid resistance of the fluid resistance converter becomes smaller, more pressure oil passes through the nozzle 36, and the hydraulic pressure acting on the pressure receiving surface of the first chamber 16 side of the piston 14 becomes smaller. Become. On the other hand, since the hydraulic pressure from the pressure port P8 is acting on the second chamber 18 side pressure receiving surface of the piston 14, a difference occurs in the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston, and this hydraulic pressure difference causes the main valve 12 to It is moved to the low pressure side, that is, the first chamber 16 side.
この主弁12の移動は、ロッド20およびフィードバッ
クばね38を介して棒状部材34に伝達され、棒状部材
34を変形させる。棒状部材34の変形によってフラン
・930とノズル36との間隙が小さくなシ、流体抵抗
が大きくなる。This movement of the main valve 12 is transmitted to the rod-shaped member 34 via the rod 20 and the feedback spring 38, causing the rod-shaped member 34 to deform. Due to the deformation of the rod-shaped member 34, the gap between the flange 930 and the nozzle 36 becomes smaller, and the fluid resistance increases.
そして、流体抵抗変換体の流体抵抗の大きさかもとの大
きさKなった時点でピストンの両受圧面に作用する油圧
が釣合い主弁12の移動が停止されろ。Then, when the magnitude of the fluid resistance of the fluid resistance converter reaches the original magnitude K, the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston is balanced, and the movement of the balance main valve 12 is stopped.
一方、フォースモータのコイルに流れる電流を制御して
フラン・”30とノズル36との間隙を小さくすると、
流体抵抗変換体の流体抵抗が大きくなってノズル36を
通過する圧油が少なくなり、ピストン14の第1の室1
6側受圧面に作用する油圧が大きくなる。一方、ピスト
ン14の第2の室18側受圧面には圧力ポートPeから
の油圧が作用しているため、ピストンの両受圧面に作用
する油圧に差が生じ、この油圧差によって主弁12が低
圧側すなわち第2の室18側に移動される。On the other hand, if the current flowing through the force motor coil is controlled to reduce the gap between the furan 30 and the nozzle 36,
The fluid resistance of the fluid resistance converter increases, and the amount of pressure oil passing through the nozzle 36 decreases, causing the first chamber 1 of the piston 14 to
The hydraulic pressure acting on the 6th side pressure receiving surface increases. On the other hand, since the hydraulic pressure from the pressure port Pe is acting on the second chamber 18 side pressure receiving surface of the piston 14, a difference occurs in the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston, and this hydraulic pressure difference causes the main valve 12 to It is moved to the low pressure side, that is, to the second chamber 18 side.
ドパツクばね38を介して棒状部材34に伝達され、棒
状部材34を変形させる。棒状部材34の変形によって
フラン−130とノズル36との間隙が大きくなり、流
体抵抗が小さくなる。そして、流体紙ii′c変懐体の
流体抵抗の大きさかもとの大きさになった時点でピスト
ンの両受圧面に作用する油圧が釣合い主弁の移動が停止
されろ。The force is transmitted to the rod-shaped member 34 via the dopak spring 38, causing the rod-shaped member 34 to deform. Due to the deformation of the rod-shaped member 34, the gap between the flange 130 and the nozzle 36 becomes larger, and the fluid resistance becomes smaller. Then, when the fluid resistance of the fluid paper ii'c variable body reaches its original magnitude, the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston is balanced and the movement of the main valve is stopped.
以上説明したように本実施例によれば、フォースモータ
による小さな変位によって速やかに圧力変化を与えて主
弁を移動させ1.駆動力の大きい主弁の移動によって主
弁の移動をフィードバック制御できるので、主弁を安定
して移動することができる。また、棒状部材およびフィ
ードバックばねの弾性係数を大きくすることにより、フ
ィードバック制御を極めて安定化させることができ、高
精度の位置決め制御を行うことができる。As explained above, according to this embodiment, the main valve is moved by quickly applying a pressure change using a small displacement by the force motor, and 1. Since the movement of the main valve can be feedback-controlled by moving the main valve with a large driving force, the main valve can be moved stably. Further, by increasing the elastic coefficients of the rod-shaped member and the feedback spring, feedback control can be extremely stabilized, and highly accurate positioning control can be performed.
次に本発明の第2実施例を第2図を用いて説明する。な
お、第2図において第1図と対応する部分には同一符号
を付して説明を省略する。フォーれている。この支持板
50とコア22との間には、圧縮ばね52が介在されて
おり、支持板50には主弁12の軸方向に突出するよう
にスプール54が固定されている。フォースモータ収納
用室32の第1の室16側には、スリーブ56が収納さ
れている。このスリーブ56は、コア22とスリーブ5
6との間に介在された圧縮ばね5デおよびピストン14
とスリーブ56との間に介在されたフィードバックばね
38により支持されている。スリーブ56には、第1の
油路42とリターンポートRとを連通ずる流路58と、
第1の油路42とフォースモータ収納用室32および第
1の室16とを連通ずる分岐油路60とが形成されてい
る。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Note that in FIG. 2, parts corresponding to those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and explanations thereof will be omitted. Fallen. A compression spring 52 is interposed between the support plate 50 and the core 22, and a spool 54 is fixed to the support plate 50 so as to protrude in the axial direction of the main valve 12. A sleeve 56 is housed in the force motor housing chamber 32 on the first chamber 16 side. This sleeve 56 is composed of the core 22 and the sleeve 5.
compression spring 5 and piston 14 interposed between
It is supported by a feedback spring 38 interposed between the sleeve 56 and the sleeve 56 . The sleeve 56 includes a flow path 58 that communicates the first oil path 42 and the return port R;
A branch oil passage 60 is formed that communicates the first oil passage 42 with the force motor storage chamber 32 and the first chamber 16.
上記のスプール54はスリーブ32内に挿入されて流路
58の流路抵抗を変化させる。ここで、スプール54と
スリーブ56に形成された流路58とは流体抵抗変換体
を構成する。The spool 54 described above is inserted into the sleeve 32 to change the flow path resistance of the flow path 58. Here, the spool 54 and the flow path 58 formed in the sleeve 56 constitute a fluid resistance converter.
以下本実施例の動作を説明する。油圧タンクで発生され
た圧油は、圧力ポートPsから絞り48、第1の油路4
2および分岐油路60を介して第1の室16およびフォ
ースモータ収納用室32に導入されると共に、第2の油
路44を介して第2の室18に導入されている)まだ、
第2の油路42に導入された圧油は、スリーブ56の流
路58およびリターンポートRを介してオイルタンクに
戻されている。この場合、スリーブ560両受圧面に作
用する油圧の大きさが等しく、またピスト7140両受
圧面に作用する油圧の大きさが等しいため、スリーブ5
6および主弁12は移動しない。The operation of this embodiment will be explained below. The pressure oil generated in the hydraulic tank is transferred from the pressure port Ps to the throttle 48 and the first oil path 4.
2 and the branch oil passage 60 into the first chamber 16 and the force motor storage chamber 32, and the second oil passage 44 into the second chamber 18).
The pressure oil introduced into the second oil passage 42 is returned to the oil tank via the flow passage 58 of the sleeve 56 and the return port R. In this case, the magnitude of the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the sleeve 560 is equal, and the magnitude of the hydraulic pressure acting on both pressure receiving surfaces of the piston 7140 is equal, so the sleeve 560
6 and main valve 12 do not move.
上記の状態において、フォースモータによってスプール
54を軸方向に移動させると、流体抵抗変換体の流体抵
抗が変化し、流路58を通過する圧油の量が変化される
。この圧油の流量変化により、ピストン14の両受圧面
に油圧差が生じ、この油圧差によって主弁12が低圧室
方向に移動される。なお、この場合、第1の室16とフ
ォースモータ収納用室32とは分岐油路60によって連
通されているため、スリーブ560両受圧面には油圧差
が生ぜず、スリーブ56は油圧によっては移動されない
。In the above state, when the spool 54 is moved in the axial direction by the force motor, the fluid resistance of the fluid resistance converter changes, and the amount of pressure oil passing through the flow path 58 changes. This change in the flow rate of the pressure oil causes a hydraulic pressure difference between both pressure receiving surfaces of the piston 14, and this hydraulic pressure difference moves the main valve 12 toward the low pressure chamber. In this case, since the first chamber 16 and the force motor storage chamber 32 are communicated with each other by the branch oil passage 60, there is no oil pressure difference between the pressure receiving surfaces of the sleeve 560, and the sleeve 56 cannot be moved depending on the oil pressure. Not done.
主弁12の移動は、フィードバックばね38を介してス
リーブ56を移動させる。スリーブ560′移動によっ
て流体抵抗変換体の流体抵抗が変化し、流体抵抗かもと
の大きさになった時点でピストンの両受圧面に作用する
油圧が釣合い、主弁12の移動が停止される。Movement of main valve 12 causes sleeve 56 to move via feedback spring 38. The movement of the sleeve 560' changes the fluid resistance of the fluid resistance converter, and when the fluid resistance reaches its original size, the hydraulic pressures acting on both pressure receiving surfaces of the piston are balanced and the movement of the main valve 12 is stopped.
以上説明したように本実施例によれば、第1の実施例と
同様にフォースモータによる小さな変位によって速やか
に圧力変化を与えて主弁を移動させ、駆動力の大きい主
弁の移動によって主弁の移動をフィードバック制御でき
るので、主弁を安定して移動することができる。また、
圧縮ばねおよびフィードバックばねめ弾性係数を大きく
することにより、フィードバック制御を極めて安定化さ
せることができ、高精度の位置決め制御を行うことがで
きる。As explained above, according to this embodiment, similarly to the first embodiment, the main valve is moved by quickly applying a pressure change by a small displacement by the force motor, and the main valve is moved by moving the main valve with a large driving force. Since the movement of the main valve can be feedback-controlled, the main valve can be moved stably. Also,
By increasing the elastic coefficients of the compression spring and the feedback spring, feedback control can be extremely stabilized, and highly accurate positioning control can be performed.
第1図は本発明の第1実施例に係るサーボ弁の断面図、
第2図は本発明の第2実施例に係るサーボ弁の断面図で
ある。
12・・・主弁、 3o・・・フラン・臂、3
6・・・ノズル、 54・・・スプール、56・
・・スリーブ。
代理人 鵜 沼 辰 之
第1図
第2図FIG. 1 is a sectional view of a servo valve according to a first embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a sectional view of a servo valve according to a second embodiment of the present invention. 12... Main valve, 3o... Fran arm, 3
6... Nozzle, 54... Spool, 56...
··sleeve. Agent Tatsuyuki Unuma Figure 1 Figure 2
Claims (3)
流体圧サーボ弁において、フオースモータによつて移動
される弁体と主弁の移動方向に変形または移動可能な部
材に形成された流路とによつて流体抵抗を変化させて主
弁に作用する流体圧を変化させる流体抵抗変換体を構成
すると共に、前記主弁の移動が前記流体抵抗変換体の部
材に伝達されるように前記主弁と前記部材との間に弾性
体を介在したことを特徴とする流体圧サーボ弁。(1) In a fluid pressure servo valve in which the flow path is switched by movement of the main valve, the flow path is formed in a member that can be deformed or moved in the direction of movement of the valve body and the main valve moved by a force motor. a fluid resistance converter that changes the fluid pressure acting on the main valve by changing the fluid resistance by the passageway, and a fluid resistance converter configured such that the movement of the main valve is transmitted to the members of the fluid resistance converter. A fluid pressure servo valve characterized in that an elastic body is interposed between the main valve and the member.
移動されるフラツパと主弁の移動方向に変形可能な可撓
性部材に形成されたノズルとで構成した特許請求の範囲
第(1)項記載の流体圧サーボ弁。(2) Claim (1), wherein the fluid resistance converter is constituted by a flapper moved by a force motor and a nozzle formed in a flexible member that can be deformed in the direction of movement of the main valve. Fluid pressure servo valve.
移動されるスプールと主弁の移動方向に移動可能にばね
支持されたスリープに形成した流路とで構成した特許請
求の範囲第(1)項記載の流体圧サーボ弁。(3) Claim (1) wherein the fluid resistance converter is constituted by a spool moved by a force motor and a flow path formed in a sleeve supported by a spring so as to be movable in the moving direction of the main valve. The fluid pressure servo valve described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3848785A JPS61197805A (en) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Fluid pressure servo valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3848785A JPS61197805A (en) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Fluid pressure servo valve |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61197805A true JPS61197805A (en) | 1986-09-02 |
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ID=12526614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3848785A Pending JPS61197805A (en) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | Fluid pressure servo valve |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61197805A (en) |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP3848785A patent/JPS61197805A/en active Pending
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