JPS61195390A - Superconducting shielding body - Google Patents

Superconducting shielding body

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JPS61195390A
JPS61195390A JP60037938A JP3793885A JPS61195390A JP S61195390 A JPS61195390 A JP S61195390A JP 60037938 A JP60037938 A JP 60037938A JP 3793885 A JP3793885 A JP 3793885A JP S61195390 A JPS61195390 A JP S61195390A
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JP
Japan
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layer
superconductor
superconductor layer
type
magnetic
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JP60037938A
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Japanese (ja)
Inventor
康晴 山田
高木 幹雄
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、5QtJID(超伝導量子干渉装置)磁力
計などに使用される超伝導シールド体に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a superconducting shield body used in a 5QtJID (superconducting quantum interference device) magnetometer and the like.

(先行技術とその問題点) SQUID磁力計によって微小磁束を測定する場合、た
とえばモノボール(磁気単極子)の検知を行なおうとす
る場合などにおいては、周辺機器からの誘導電磁波や地
磁気の影響を阻止して精密な測定を行なわねばならない
関係上、なんらかの手段による磁気シールドを必要とす
る。このような目的に使用される磁気シールド体として
は、パーマロイなどの高透磁率合金を使用したものや、
超伝導体を使用した超伝導シールド体などがある。
(Prior art and its problems) When measuring minute magnetic flux with a SQUID magnetometer, for example when trying to detect a monoball (magnetic monopole), it is necessary to avoid the influence of induced electromagnetic waves from peripheral equipment and the earth's magnetism. Since it is necessary to block the magnetic field and perform precise measurements, some kind of magnetic shielding is required. Magnetic shields used for this purpose include those using high magnetic permeability alloys such as permalloy,
There are superconducting shield bodies that use superconductors.

このうち、前者では、液体ヘリウムを充填した極低温容
器の周辺に、高透磁率合金によって形成された大型の磁
気シールド体を設けねばならない関係上、材料費や加工
費が相当に高価となる。また、そのようにして多額の費
用をかけても、磁気シールド効果はあまり大きくはない
という欠点がある。
Of these, the former requires a large magnetic shield made of a high magnetic permeability alloy to be provided around the cryogenic container filled with liquid helium, resulting in considerably high material and processing costs. Furthermore, even if a large amount of money is spent in this way, there is a drawback that the magnetic shielding effect is not very large.

一方、後者では、液体ヘリウム中に、鉛(Pb )やニ
オブ(Nb >などの超伝導体によって形成された超伝
導シールド体を浸し、それによってピックアップコイル
などを包囲している。ところが、pbなどは機械的に軟
弱であるために、その磁気的性質を一様に保ったままで
超伝導体層を薄くすることは困難であって、一般にかな
り厚い超伝導体層として形成されている。したがって、
大面積の磁気シールド体を必要とする場合などにおいて
は熱容量が相当に大きくなってしまい、液体ヘリウムに
よる冷却効率の低下を招いてしまう。また、大型にしよ
うとしても、上記の機械的軟弱性に起因して形状が一定
しない上に取扱いもむづかしく、これがノイズ発生の原
因となるために、磁気シールド効果が必ずしも十分では
ないという欠点もある。
On the other hand, in the latter method, a superconducting shield made of a superconductor such as lead (Pb) or niobium (Nb) is immersed in liquid helium, and the pickup coil is surrounded by it. Because it is mechanically weak, it is difficult to make the superconductor layer thin while maintaining its magnetic properties uniformly, and it is generally formed as a fairly thick superconductor layer.
In cases where a large-area magnetic shield is required, the heat capacity becomes considerably large, resulting in a decrease in the cooling efficiency of liquid helium. In addition, even if you try to make it larger, the shape is not uniform due to the above-mentioned mechanical weakness, and it is difficult to handle, which causes noise, so the magnetic shielding effect is not necessarily sufficient. There is also.

これに対して、Nbなどを用いた場合には、磁束の進入
の深さく P enetration  Depth)
λが比較的小さいために、超伝導シールド体を薄くする
ことができ、熱容量などの問題は少ない。しかしながら
、超伝導体層を薄くすると格子欠陥や不純物の影響が相
対的に大きくなって、超伝導シールド体内部への磁束の
侵入が発生し、外部磁場の変動などによってこの侵入磁
束が変動するために、ノイズが発生してしまうという問
題がある。
On the other hand, when Nb or the like is used, the depth of magnetic flux penetration (P eneration Depth)
Since λ is relatively small, the superconducting shield can be made thin, and there are fewer problems such as heat capacity. However, when the superconductor layer is made thinner, the effects of lattice defects and impurities become relatively large, causing magnetic flux to enter the inside of the superconducting shield, and this penetrating magnetic flux fluctuates due to changes in the external magnetic field, etc. However, there is a problem in that noise is generated.

(発明の目的) この発明は、上記のような問題を克服するためになされ
たものであって、熱容量を小さくすることが可能で、機
械的にも安定で堅牢とすることができるような、安価で
磁気シールド効果の高い超伝導シールド体を提供するこ
とを目的とする。
(Object of the Invention) The present invention was made in order to overcome the above-mentioned problems. The purpose is to provide a superconducting shield body that is inexpensive and has a high magnetic shielding effect.

(目的を達成するための手段) 上記の目的を達成するため、この発明にかかる超伝導シ
ールド体は、電気的良導体層と超伝導体層との積層構造
を有するものとして形成されている。
(Means for Achieving the Object) In order to achieve the above object, a superconducting shield according to the present invention is formed to have a laminated structure of an electrically good conductor layer and a superconductor layer.

(実施例) 第1図は、この発明の超伝導シールド体を利用すること
のできる装置の一例としての、SQU ID1i力計の
基本的構成を示す図である。同図において、被測定系(
図示せず)からの微小磁束は、NbややNb Ti線な
どによって形成されたピックアップコイル1と鎖交し、
この微小磁束は、上記ピックアップコイル1に接続され
たインプットコイル2の磁束へと変換される。ジョセフ
ソン接合3を有する5QUID素子4は、このインプッ
トコイル2からの磁束の大きさに応じて、そのインダク
タンスが周期的に変化する。
(Example) FIG. 1 is a diagram showing the basic configuration of a SQU ID1i force meter as an example of a device that can utilize the superconducting shield of the present invention. In the figure, the system under test (
(not shown) interlinks with the pickup coil 1 formed of Nb or Nb Ti wire, etc.
This minute magnetic flux is converted into magnetic flux of the input coil 2 connected to the pickup coil 1. The inductance of the 5QUID element 4 having the Josephson junction 3 changes periodically depending on the magnitude of the magnetic flux from the input coil 2.

一方、RF(ラジオ周波数)電FiLWA5からタンク
回路6に対して与えられたRF雷電流、この5QtJI
D素子4のインダクタンス変化によって変調を受け、そ
の変調波はRF増幅器7によって増幅された後、検出器
8において検出され、それによって、被測定系の磁束が
測定される。これらのうち、インプットコイル2.5Q
tJID素子4およびタンク回路6を含む磁気結合系9
と、ピックアップコイル1とは、液体ヘリウムLHe中
に浸されている。また、超伝導シールド体10は、ピッ
クアップコイル1を包囲するような容器状とされており
、以下に示すような超伝導シールド体として形成される
On the other hand, the RF lightning current applied from the RF (radio frequency) electric field FiLWA5 to the tank circuit 6, this 5QtJI
It is modulated by the inductance change of the D element 4, and the modulated wave is amplified by the RF amplifier 7 and then detected by the detector 8, thereby measuring the magnetic flux of the system under test. Among these, input coil 2.5Q
Magnetic coupling system 9 including tJID element 4 and tank circuit 6
The pickup coil 1 is immersed in liquid helium LHe. Further, the superconducting shield body 10 has a container shape that surrounds the pickup coil 1, and is formed as a superconducting shield body as shown below.

第2図(a)は、この発明の第1の実施例である超伝導
シールド体の構成を部分断面図として示す図である。こ
の図において、この超伝導シールド体20は、支持基材
層21によって支持された電気的良導体層22の表面に
超伝導体層23を設けた積層構造として形成されている
。このうち、支持基材層21は、たとえばガラス基布エ
ポキシ板などのFRP(繊維強化プラスチック)であり
、フェノール板やポリエステル板を使用してもよい。
FIG. 2(a) is a partial cross-sectional view showing the structure of a superconducting shield according to a first embodiment of the present invention. In this figure, this superconducting shield body 20 is formed as a laminated structure in which a superconductor layer 23 is provided on the surface of an electrically conductive layer 22 supported by a support base material layer 21. Among these, the support base material layer 21 is, for example, FRP (fiber reinforced plastic) such as a glass-based epoxy board, and may also be a phenol board or a polyester board.

また、電気的良導体層22は、Cu  (銅)層やAI
(アルミニウム)層などが用いられ、たとえば高純度の
Cuを接着あるいは無電界メッキによって設けたもので
ある。この支持基材層21と電気的良導体層22との結
合体は、プリント配線板(典型的には、支持基材llI
21の厚さ1.6m+)として常用されているものを利
用することもできる。
Further, the electrically conductive layer 22 may be a Cu (copper) layer or an AI layer.
(aluminum) layer or the like is used, and for example, high-purity Cu is provided by adhesion or electroless plating. The combination of the support base material layer 21 and the electrically conductive layer 22 is a printed wiring board (typically, a support base material llI
21 with a thickness of 1.6 m+) that is commonly used can also be used.

一方、この実施例における超伝導体層23は、Nbなど
の第2種超伝導体によって形成された第2種超伝導体層
24と、Pbなとの第1種超伝導体によって形成された
第1種超伝導体1!25とを含んでいる。これは、たと
えばpbをメッキしたNb板を、上記電気的良導体1!
22の表面に接着して形成することができる。
On the other hand, the superconductor layer 23 in this embodiment includes a second type superconductor layer 24 formed of a second type superconductor such as Nb, and a first type superconductor layer 24 formed of a first type superconductor such as Pb. It contains 1!25 of the first type superconductor. This is done by using, for example, a Nb plate plated with PB as the electrically good conductor 1!
It can be formed by adhering to the surface of 22.

次に、第2図(a)に示した構成による作用を説明する
。まず、電気的良導体層22の存在意義は、超伝導体層
23中の格子欠陥や不純物によって外部から微小磁束が
侵入し、外部磁場の変動によってそれらが変動しようと
したときに、その変動を防止することにある。つまり、
侵入磁束が変動しようとすると、電気的良導体層22内
に渦電流が発生し、その変動を阻止ないしは抑制するの
である。このため、侵入磁束によるノイズ発生が軽減さ
れ、高いシールド効果が得られる。また、このようにし
て侵入磁束の変動を防止できるために、超伝導体層23
を厚くする必要がなく、その厚さは、磁束の侵入の深ざ
λ(〜10’as+)のオーダーよりも大きな程度で十
分である。これは事実上、かなり簿いものでもよいこと
を意味するため、これによる熱容量はかなり小さくなり
、液体ヘリウムによる冷却効率の低下を防止することが
できる。
Next, the effect of the configuration shown in FIG. 2(a) will be explained. First, the reason for the existence of the electrically good conductor layer 22 is to prevent minute magnetic flux from entering from the outside due to lattice defects or impurities in the superconductor layer 23, and to prevent the flux from changing due to fluctuations in the external magnetic field. It's about doing. In other words,
When the penetrating magnetic flux attempts to fluctuate, eddy currents are generated within the electrically conductive layer 22 to prevent or suppress the fluctuation. Therefore, noise generation due to intruding magnetic flux is reduced, and a high shielding effect can be obtained. In addition, since fluctuations in the penetrating magnetic flux can be prevented in this way, the superconductor layer 23
There is no need to increase the thickness; it is sufficient that the thickness is larger than the order of the magnetic flux penetration depth λ (~10'as+). In practice, this means that it can be quite cheap, so the heat capacity is quite small, and it is possible to prevent the cooling efficiency from decreasing due to liquid helium.

一方、この実施例では、上記電気的良導体層22や超伝
導体層23を支持するために支持基材層21を設けてい
るが、これは、大型の装置などに使用する場合において
、機械的強度を担保することを目的としている。機械的
に堅牢とするために、取扱いのむつかしい超伝導体層2
3それ自体を厚くすることなく、このような支持基材層
21を用いることができるのは、上述のようにシールド
効果を維持したままで超伝導体層23を薄くできるから
である。
On the other hand, in this embodiment, a support base material layer 21 is provided to support the electrically conductive layer 22 and the superconductor layer 23, but this is not suitable for mechanical The purpose is to ensure strength. Superconductor layer 2 which is difficult to handle in order to be mechanically robust
3. The reason why such a support base layer 21 can be used without increasing the thickness of the superconductor layer 23 is that the superconductor layer 23 can be made thin while maintaining the shielding effect as described above.

ところで、この実施例では、超伝導体層23を、第2種
超伝導体層24と第1種超伝導体層25との二層構造と
しているが、その理由について以下に述べる。第3図は
周知の超伝導体の相図を示したものであり、このうち第
3図(a)は第1種超伝導体の相図であって、超伝導(
マイスナー)領域SPと常伝導領域NMとが、臨界曲線
CRを境界にして接している。また、同図(b)は第2
種超伝導体の相図であって、2つの臨界曲線CR1゜C
R2によって境界を接する超伝導領域SP、混合状態領
域MXおよび常伝導領域NMが存在する。
Incidentally, in this embodiment, the superconductor layer 23 has a two-layer structure consisting of the second type superconductor layer 24 and the first type superconductor layer 25, and the reason for this will be described below. Figure 3 shows the phase diagram of well-known superconductors, of which Figure 3(a) is the phase diagram of a type 1 superconductor, which is superconducting
(Meissner) region SP and the normal conduction region NM are in contact with each other with the critical curve CR as a boundary. In addition, the figure (b) shows the second
Phase diagram of a seed superconductor, with two critical curves CR1°C
There is a superconducting region SP, a mixed state region MX and a normal conducting region NM bounded by R2.

これらの図において、Hは磁場、Tは温度、T。In these figures, H is the magnetic field, T is the temperature, and T.

は臨界温度、Hは臨界磁場、HclおよびHC2は下部
および上部臨界磁場(カッコ内は温度変数であって、O
は絶対零度を、Toは液体ヘリウム温度をそれぞれ意味
する。)をそれぞれ示す。
is the critical temperature, H is the critical magnetic field, Hcl and HC2 are the lower and upper critical magnetic fields (temperature variables in parentheses, O
and To mean absolute zero and liquid helium temperature, respectively. ) are shown respectively.

このような相領域を有する第1種および第2種超伝導体
で第2図(a)の超伝導体層23を形成し、温度Tを液
体ヘリウム温度T。に保ったままで、外部磁場φが次第
に増加していった場合を考える。すると、外部磁場φが
小さいときには、第2図(a)の第2種超伝導体層24
とともに第1種超伝導体層25が完全反磁性(マイスナ
ー)状態であって1、外部からの磁束をほぼ完全にシー
ルドしている。次に外部磁場φが大きくなって第3図(
a)の臨界磁場H(To)(通常、10A/mα125
G程度)に達すると、第1種超伝導体層25は常伝導領
域NMへの一次相転移を生じてシールド効果はなくなっ
てしまう。しかじながら、一般に、Ho (To)くH
C2(To)の関係があるため、この磁場の大きさにお
いては、第2種超伝導体層24が混合状態領域MXにあ
り、ボーテックス(渦系)の侵入はあるものの、かなり
のシールド効果を呈する。そして、このボーテックスの
形態で侵入する磁束が外部磁場φの変動によって移動し
ようとしても、前述した不純物や格子欠陥による磁束の
侵入の場合と同様に、電気的良導体層22内に発生する
渦電流によってその移動が阻止ないしは抑制されて、ノ
イズの発生を防止するのである。もちろん、外部磁場φ
の大きさが温度T。における上部臨界磁場H62(T。
The superconductor layer 23 shown in FIG. 2(a) is formed using type 1 and type 2 superconductors having such phase regions, and the temperature T is set to the liquid helium temperature T. Let us consider the case where the external magnetic field φ gradually increases while keeping it at . Then, when the external magnetic field φ is small, the type 2 superconductor layer 24 in FIG. 2(a)
At the same time, the first type superconductor layer 25 is in a completely diamagnetic (Meissner) state 1, and almost completely shields magnetic flux from the outside. Next, the external magnetic field φ increases as shown in Figure 3 (
a) critical magnetic field H(To) (usually 10A/mα125
(approximately G), the first type superconductor layer 25 undergoes a first-order phase transition to the normal conduction region NM and loses its shielding effect. However, in general, Ho (To)
Because of the relationship C2(To), at this magnetic field magnitude, the second type superconductor layer 24 is in the mixed state region MX, and although there is an intrusion of vortices (vortex system), it has a considerable shielding effect. present. Even if the magnetic flux penetrating in the form of vortices attempts to move due to fluctuations in the external magnetic field φ, the eddy current generated in the electrically conductive layer 22 will cause This movement is prevented or suppressed, thereby preventing the generation of noise. Of course, the external magnetic field φ
The size of is the temperature T. The upper critical magnetic field H62 (T.

)に達すれば第2種超伝導体層24も二次相転移を生じ
て常伝導領域NMに移るが、周知のように上部臨界磁場
H62(To)はHC(To)の10〜100倍程度で
あってかなり大きく、実用上、問題はない。
), the second type superconductor layer 24 also undergoes a second-order phase transition and shifts to the normal conduction region NM, but as is well known, the upper critical magnetic field H62 (To) is about 10 to 100 times that of HC (To). However, it is quite large and poses no problem in practical terms.

第2図(b)は、外部磁場φが比較的小さい場合たとえ
ば地磁気程度の場合について適用することのできる、こ
の発明の第2の実施例である。この超伝導シールド体3
0では、同図(a)の場合に比較して、第2種超伝導体
層が省略され、第1種超伝導体層25のみが超伝導体層
として形成されている点で異なる。外部磁場φの大きさ
が臨界磁場H(To)以下であると予想される場合には
、第1種超伝導体層25のシールド効果が完全に破壊さ
れることはないため、このような構成で十分である。
FIG. 2(b) shows a second embodiment of the present invention which can be applied to a case where the external magnetic field φ is relatively small, for example, about the magnitude of earth's magnetic field. This superconducting shield body 3
0 differs from the case shown in FIG. 3A in that the type 2 superconductor layer is omitted and only the type 1 superconductor layer 25 is formed as a superconductor layer. If the magnitude of the external magnetic field φ is expected to be less than the critical magnetic field H (To), the shielding effect of the first type superconductor layer 25 will not be completely destroyed, so such a configuration is sufficient.

第2図(C)は、この発明の第3の実施例を示す。この
実施例の超伝導シールド体40では、支持基材21の両
面に電気的良導体層22a、22bを設け、さらに第1
種超伝導体層25a、25bをそれぞれ設けて、両方向
の磁場φ、φ′に対するシールド効果を高めた構成とな
っている。
FIG. 2(C) shows a third embodiment of the invention. In the superconducting shield body 40 of this embodiment, electrically conductive layers 22a and 22b are provided on both sides of the support base material 21, and the first
Seed superconductor layers 25a and 25b are provided, respectively, to enhance the shielding effect against magnetic fields φ and φ' in both directions.

第4図は、この発明の超伝導シールド体を用いて作成さ
れた筒状シールド体の例を示す。この筒状シールド体5
0は、第1図の磁気結合系9などを収納するために使用
することができる比較的小型のものであって、中空部5
1のまわりに、同心円筒状の電気的良導体層52を設け
、その内部に超伝導体層53が設けられている。この超
伝導体層53は、上述したように、第1種超伝導体層(
たとえばPbメッキ)のみの一層構造とすることもでき
、また、第1種超伝導体@54と第2種超伝導体層55
との二層構造としてもよい。なお、この筒状シールド体
50は、上述したように比較的小型のものであるため、
電気的良導体層52をある程度厚くしておけば機械的に
もかなり堅牢となり、支持基材層を別個に設ける必要は
ない。
FIG. 4 shows an example of a cylindrical shield made using the superconducting shield of the present invention. This cylindrical shield body 5
0 is a relatively small device that can be used to house the magnetic coupling system 9 shown in FIG.
1, a concentric cylindrical electrically conductive layer 52 is provided, and a superconductor layer 53 is provided inside the electrically conductive layer 52. As mentioned above, this superconductor layer 53 is a type 1 superconductor layer (
For example, it is possible to have a single-layer structure with only Pb plating), or the first type superconductor @54 and the second type superconductor layer 55.
It may also have a two-layer structure. In addition, since this cylindrical shield body 50 is relatively small as mentioned above,
If the electrically conductive layer 52 is made thick to a certain extent, it becomes mechanically quite robust, and there is no need to provide a separate supporting base material layer.

ところで、この発明の超伝導シールド体は、上記実施例
の構造に限定されるものではなく、たとえば次のような
変形も可能である。
By the way, the superconducting shield body of the present invention is not limited to the structure of the above-mentioned embodiment, and for example, the following modifications are possible.

(1)  電気的良導体層と超伝導体層との積層順序や
、超伝導体層を第1種超伝導体層と第2種超伝導体層と
の二層構造としたときの、これらの積層順序は特に限定
するものではない。
(1) The stacking order of the electrically good conductor layer and the superconductor layer, and when the superconductor layer has a two-layer structure of a type 1 superconductor layer and a type 2 superconductor layer, The stacking order is not particularly limited.

(2)  超伝導シールド体を形成する各層のそれぞれ
を複数層ずつ設けて交互に積層させれば、より高いシー
ルド効果が得られる。
(2) A higher shielding effect can be obtained by providing a plurality of each of the layers forming the superconducting shield and stacking them alternately.

(3)  超伝導体層は、pbやNbに限らず、W。(3) The superconductor layer is not limited to pb or Nb, but can also be made of W.

Nb3Sn、NbTiなど、用途に応じて選択された任
意のものでよい。支持基板を使用する場合も、上記実施
例で例示したもののほか、各種プラスチック材など、種
々のものが考えられる。
Any material selected depending on the application, such as Nb3Sn or NbTi, may be used. When using a support substrate, various materials such as various plastic materials can be considered in addition to those exemplified in the above embodiments.

(4)  この発明の超伝導シールド体は、5QL11
0磁力計に限らず、高度の磁気シールドを要する各種装
置などに使用できる。
(4) The superconducting shield body of this invention is 5QL11
It can be used not only for zero magnetometers but also for various devices that require a high degree of magnetic shielding.

(発明の効果) 以上説明したように、この発明によれば、薄い超伝導体
層でも十分な磁気シールド効果を得ることができるため
に、熱容量を小さくすることが可能で、機械的にも安定
で堅牢に構成することができ、安価で磁気シールド効果
の高い超伝導シールド体を得ることができる。
(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, it is possible to obtain a sufficient magnetic shielding effect even with a thin superconductor layer, so it is possible to reduce the heat capacity, and it is also mechanically stable. It is possible to obtain a superconducting shield body that can be constructed robustly, inexpensively, and has a high magnetic shielding effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の超伝導シールド体を利用することの
できる5QUID磁力系の基本的構成を示す図、第2図
はこの発明の実施例の部分断面図、第3図は超伝導体の
相図、第4図はこの発明の実施例である超伝導シールド
体を用いて形成された筒状シールド体を示す図である。 1・・・ピックアップコイル、4・・・5QUID素子
、21・・・支持基材層、 22.22a〜b、52・・・電気的良導体層、23.
53・・・超伝導体層、 24.55・・・第2種超伝導体層、 25.25a〜b、54・・・第1種超伝導体層。 特許出願人 株式会社島津製作所 +2ffi (α)        (4)         (す
第3図 (a−)(↓〕 才午図
Figure 1 is a diagram showing the basic configuration of a 5QUID magnetic system that can utilize the superconducting shield of the present invention, Figure 2 is a partial cross-sectional view of an embodiment of the present invention, and Figure 3 is a diagram showing the structure of a superconductor. The phase diagram, FIG. 4, is a diagram showing a cylindrical shield body formed using a superconducting shield body according to an embodiment of the present invention. 1...Pickup coil, 4...5QUID element, 21...Support base material layer, 22.22a-b, 52...Good electrical conductor layer, 23.
53... Superconductor layer, 24.55... Second type superconductor layer, 25.25a-b, 54... First type superconductor layer. Patent applicant Shimadzu Corporation +2ffi (α) (4) (Figure 3 (a-) (↓)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)電気的良導体層と超伝導体層との積層構造を有す
る超伝導シールド体。
(1) A superconducting shield body having a laminated structure of a good electrical conductor layer and a superconductor layer.
(2)前記超伝導体層は、第1種超伝導体を含む第1の
層と、第2種超伝導体を含む第2の層とを有する、特許
請求の範囲第1項記載の超伝導シールド体。
(2) The superconductor layer according to claim 1, wherein the superconductor layer has a first layer containing a first type superconductor and a second layer containing a second type superconductor. conductive shield body.
(3)前記電気的良導体層と超伝導体層とは、支持基材
層上に設けられて、前記支持基材層によって支持された
、特許請求の範囲第1項または第2項記載の超伝導シー
ルド体。
(3) The electrically good conductor layer and the superconductor layer are provided on a support base material layer and supported by the support base material layer, and the superconductor layer according to claim 1 or 2 is conductive shield body.
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