JPS61190136U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61190136U JPS61190136U JP7421785U JP7421785U JPS61190136U JP S61190136 U JPS61190136 U JP S61190136U JP 7421785 U JP7421785 U JP 7421785U JP 7421785 U JP7421785 U JP 7421785U JP S61190136 U JPS61190136 U JP S61190136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- support plate
- side support
- back side
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を示す側面図
及び正面図、第２図ａ，ｂは蒸着装置のプラネタ
リー全体図及び一部拡大図、第３図ａ，ｂは従来
のウエハー支持部の側面図及び正面図である。 ２…ウエハー、３…ウエハー裏面側支持板、６
…ウエハー表面側支持板。
及び正面図、第２図ａ，ｂは蒸着装置のプラネタ
リー全体図及び一部拡大図、第３図ａ，ｂは従来
のウエハー支持部の側面図及び正面図である。 ２…ウエハー、３…ウエハー裏面側支持板、６
…ウエハー表面側支持板。
Claims (1)
- 蒸着装置又はスパツタリング装置等のウエハー
支持部において、ウエハー裏面側支持板を覆うよ
うにこれと略同じ大きさ、形状のウエハー表面側
支持板を設け、両支持板間にウエハーを介挿支持
するように構成したことを特徴とするウエハー支
持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421785U JPS61190136U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7421785U JPS61190136U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190136U true JPS61190136U (ja) | 1986-11-27 |
Family
ID=30614307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7421785U Pending JPS61190136U (ja) | 1985-05-21 | 1985-05-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190136U (ja) |
-
1985
- 1985-05-21 JP JP7421785U patent/JPS61190136U/ja active Pending