JPS61182787A - Magnetic fluid sealing structure in robot - Google Patents

Magnetic fluid sealing structure in robot

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Publication number
JPS61182787A
JPS61182787A JP60021829A JP2182985A JPS61182787A JP S61182787 A JPS61182787 A JP S61182787A JP 60021829 A JP60021829 A JP 60021829A JP 2182985 A JP2182985 A JP 2182985A JP S61182787 A JPS61182787 A JP S61182787A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic fluid
holder
fluid seal
robot
rotating shaft
Prior art date
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Pending
Application number
JP60021829A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
中島 清一郎
豊田 賢一
岩崎 恭士
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
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Publication of JPS61182787A publication Critical patent/JPS61182787A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はロボットにおける磁性流体シール構造に関し、
更に詳しくは、クリーンルーム内で使用する産業用ロボ
ットに適した磁性流体シール構造に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic fluid seal structure in a robot.
More specifically, the present invention relates to a magnetic fluid seal structure suitable for industrial robots used in clean rooms.

C従来技術と問題点〕 産業用ロボットをクリーンルーム内で使用する場合、ロ
ボット内からクリーンルーム内に塵埃、金属粉、潤lh
剤粒子等のような微粒子が放出されないようにロボット
内部の密閉性を保つ必要がある。近来、磁性流体シール
が回転軸の密閉手段として工業製品に用いられつつある
。第3図に示すように、一般に磁性流体シールはリング
状の永久磁石1を備えており、永久磁石1の両端面には
永久磁石1よりも内径が小さい一対のリング状の極片2
が固着されている。極片2はベアリング等を介して回転
軸3を支持するためのハウジング部材に固定され、極片
2の内周と回転軸3の外周との間には微小な隙間が形成
され、この隙間から磁性流体4が永久磁石1の内側に供
給される。磁性流体4は磁気力によって両極片2間に保
持される。
C. Conventional technology and problems] When an industrial robot is used in a clean room, dust, metal powder, and moisture may leak from inside the robot into the clean room.
It is necessary to maintain airtightness inside the robot to prevent particulates such as agent particles from being released. Recently, magnetic fluid seals have been used in industrial products as means for sealing rotating shafts. As shown in FIG. 3, a magnetic fluid seal generally includes a ring-shaped permanent magnet 1, and a pair of ring-shaped pole pieces 2 having an inner diameter smaller than that of the permanent magnet 1 are provided on both end surfaces of the permanent magnet 1.
is fixed. The pole piece 2 is fixed to a housing member for supporting the rotating shaft 3 via a bearing or the like, and a minute gap is formed between the inner periphery of the pole piece 2 and the outer periphery of the rotating shaft 3. A magnetic fluid 4 is supplied inside the permanent magnet 1 . The magnetic fluid 4 is held between the pole pieces 2 by magnetic force.

極片2の内周と軸3の外周との間に微小な隙間を均一に
形成する必要があるため、回転軸3に対して磁性流体シ
ールの極片2を高い心出し精度で位置決めする必要があ
る。一般には、第3図に示すように、極片2と回転軸3
との間に複数1固のシム5が即入されて極片2の心出し
が行なわれ、この状態で極片2が接着剤等でハウジング
部材に固着され、その後、シム5が抜き取られる。
Since it is necessary to uniformly form a minute gap between the inner circumference of the pole piece 2 and the outer circumference of the shaft 3, it is necessary to position the pole piece 2 of the magnetic fluid seal with high centering accuracy with respect to the rotating shaft 3. There is. Generally, as shown in FIG.
A plurality of shims 5 are immediately inserted between the shims 5 to center the pole pieces 2, and in this state the pole pieces 2 are fixed to the housing member with an adhesive or the like, and then the shims 5 are removed.

回転軸3がシール部から軸端部に向かって同1子に延び
ている場合には、ハウジング部材に回転軸を支持させた
状態でこのようなシムによる磁性流体シールの心出し作
業を容易に行なうことができる。しかしながら、産業用
ロボットにこの磁性流体シールを適用する場合、回転軸
はシール部の外側に近接するフランジを一体に有してい
る場合が多い。このため、上述の方法で磁性流体シール
の正確な心出しを行なうことは極めて困難である。
When the rotary shaft 3 extends in the same direction from the seal portion toward the shaft end, centering of the magnetic fluid seal using such a shim is facilitated with the rotary shaft supported by the housing member. can be done. However, when this magnetic fluid seal is applied to an industrial robot, the rotating shaft often has an integral flange close to the outside of the seal portion. Therefore, it is extremely difficult to accurately center the magnetic fluid seal using the method described above.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記問題点に鑑み、本発明はフランジ付回転軸に対する
磁性流体シールの心出しを正確にしかも容易に行なうこ
とができるロボットにおける磁性流体シール構造を提供
する。
In view of the above problems, the present invention provides a magnetic fluid seal structure for a robot that allows accurate and easy centering of the magnetic fluid seal with respect to a flanged rotating shaft.

即ち、本発明は、ハウジングと、前記ハウジングに対し
着脱可能に形成されて内側に円筒状のベアリング保持部
を有するホルダと、前記ホルダの前記ベアリング保持部
に嵌合するベアリングを介して前記ホルダに対し回転可
能に支持されるフランジ付回転軸と、前記ベアリングと
前記回転軸のフランジとの間に配置されて前記ホルダの
内周とfliI記回転軸回転軸との間を密閉する磁性流
体シール体とを備え、前記回転軸の組付は前に、前記磁
性流体シール体は前記ホルダのベアリング保持部を基準
面として心出しされる治具により心出しされた状態で前
記ホルダに予め固着されていることを特徴とするロボッ
トの磁性流体シール構造を提供する。
That is, the present invention provides a housing, a holder that is formed to be removably attached to the housing and has a cylindrical bearing holding part inside, and a bearing that fits into the bearing holding part of the holder. a rotating shaft with a flange that is rotatably supported; and a magnetic fluid seal that is disposed between the bearing and the flange of the rotating shaft and seals between the inner periphery of the holder and the rotating shaft. and, before the rotating shaft is assembled, the magnetic fluid seal body is fixed to the holder in advance in a centered state using a jig that is centered with the bearing holding part of the holder as a reference plane. A magnetic fluid seal structure for a robot is provided.

〔作 用〕[For production]

本発明による上記手段によれば、磁性流体シール体がホ
ルダのベアリング保持部を基準面とじて心出しされる冶
具により心出しされてホルダに固着される。その後フラ
ンジ付回転軸はホルダのベアリング保持部に嵌合するベ
アリングを介してホルダに保持される。したがって、ホ
ルダのベアリング保持部を共通の基準面として磁性流体
シール体と回転軸とを正確に心合わせすることができる
According to the above means according to the present invention, the magnetic fluid seal body is centered and fixed to the holder by a jig that is centered using the bearing holding portion of the holder as a reference plane. Thereafter, the flanged rotating shaft is held by the holder via a bearing that fits into the bearing holding portion of the holder. Therefore, the magnetic fluid seal and the rotating shaft can be accurately aligned using the bearing holding portion of the holder as a common reference plane.

また、治具による磁性流体シール体の心合わせはフラン
ジ等の障害なく容易に行なうことができる。
Furthermore, alignment of the magnetic fluid seal body using a jig can be easily performed without any obstructions such as flanges.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明を産業用ロボットの手首に適用した場合
の一実施例を示すものである。この実施例においては、
ロボット手首は2つの回転出力軸11.12を有してお
り、出力軸11.12の先端にはメカニカルハンド、セ
ンサ等のようなアタッチメントを取り付けるためのフラ
ンジ13゜14がそれぞれ一体に設けられている。
FIG. 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to the wrist of an industrial robot. In this example,
The robot wrist has two rotary output shafts 11.12, and the ends of the output shafts 11.12 are each integrally provided with flanges 13° and 14 for attaching attachments such as a mechanical hand, a sensor, etc. There is.

ロボット手首はハウジング15を備えている。The robot wrist includes a housing 15.

ハウジング15に設けられた孔16.17にはホルダ1
8.19がそれぞれ着脱可能に嵌合しており、ホルダ1
8.19はねじ20.21によってそれぞれハウジング
15に固定されている。ハウジング15の孔16.17
の内面とホルダ18゜19との間にはシールリング22
.23がそれぞれ装着されている。
The holder 1 is inserted into the hole 16.17 provided in the housing 15.
8.19 are removably fitted to each other, and the holder 1
8.19 are each fixed to the housing 15 by screws 20.21. Hole 16.17 in housing 15
A seal ring 22 is placed between the inner surface of the holder 18°19
.. 23 are attached to each.

ホルダ18.19の内側には円筒状のベアリング保持部
24.25がそれぞれ設けられている。
A cylindrical bearing holder 24,25 is provided inside each of the holders 18,19.

一方の出力軸11はホルダ18のベアリング保持部24
に嵌合するベアリング26とハウジング15に嵌合する
ベアリング27とによってハウジング15に対し回転可
能に支持されている。他方の出力軸12はホルダ19の
ベアリング保持部25に嵌合する2つのベアリング28
によってハウジング15に対し回転可能に支持されてい
る。
One output shaft 11 is connected to the bearing holding portion 24 of the holder 18.
It is rotatably supported with respect to the housing 15 by a bearing 26 that fits into the housing 15 and a bearing 27 that fits into the housing 15. The other output shaft 12 has two bearings 28 that fit into the bearing holding part 25 of the holder 19.
It is rotatably supported with respect to the housing 15 by.

出力軸11は図示しない駆動源に連結されている。The output shaft 11 is connected to a drive source (not shown).

出力軸12は出力軸11に対して直交する方向に延びて
おり、出力軸12は一対のベベルギア29゜30を介し
て出力軸11に連結されている。
The output shaft 12 extends in a direction perpendicular to the output shaft 11, and the output shaft 12 is connected to the output shaft 11 via a pair of bevel gears 29 and 30.

ベアリングング26と出力軸11のフランジ13との間
にはボルダ18の内周と出力軸11の外周との間を密閉
するための磁性流体シール体31が設けられている。ホ
ルダI8には磁性流体シール体31を保持するための四
部が形成されている。ベアリング28と出力軸12のフ
ランジ14との間にはホルダ19の内周と出力軸12の
外周との間を密閉するための磁性流体シール体32が設
けられている。ホルダ19のベアリンク保持部25に嵌
合するキャップ33には磁性流体シール体32を保持す
るための凹部が形成されている。キャップ33はねじ2
1によりホルダ19に固定される。
A magnetic fluid seal 31 is provided between the bearing 26 and the flange 13 of the output shaft 11 for sealing between the inner periphery of the boulder 18 and the outer periphery of the output shaft 11. The holder I8 is formed with four parts for holding the magnetic fluid sealing body 31. A magnetic fluid seal 32 is provided between the bearing 28 and the flange 14 of the output shaft 12 to seal between the inner circumference of the holder 19 and the outer circumference of the output shaft 12. A concave portion for holding the magnetic fluid seal body 32 is formed in the cap 33 that fits into the bear link holding portion 25 of the holder 19 . Cap 33 is screw 2
1 is fixed to the holder 19.

磁性流体シール体31.32の各々は、リング状の永久
磁石34を備えている。永久磁石34の両端にには内径
が永久磁石34よりも小さい一対のリング状極片35が
をれぞれ固着されている。
Each of the magnetic fluid seals 31 , 32 includes a ring-shaped permanent magnet 34 . A pair of ring-shaped pole pieces 35 having an inner diameter smaller than that of the permanent magnet 34 are fixed to both ends of the permanent magnet 34, respectively.

永久磁石34の内側にはそれ自体周知の磁性流体36が
供給されており、磁性流体36は磁気力によって極片3
5間に保持される。極片35の内径は出力軸11.12
の外径よりも僅かに大きく設定されており、磁性流体シ
ール体31.32の極片35の内周と出力軸11.12
の外周との間には微小な隙間がそれぞれ形成される。磁
性流体シール体31.32の極片35と出力軸11.1
2との接触を避けるために、磁性流体シール体31゜3
2を出力軸11.12に対してそれぞれ正確に心合わせ
することが必要である。
A magnetic fluid 36, which is known per se, is supplied inside the permanent magnet 34, and the magnetic fluid 36 moves the pole piece 3 by magnetic force.
It is held between 5 and 5. The inner diameter of the pole piece 35 is the output shaft 11.12
The inner circumference of the pole piece 35 of the magnetic fluid seal body 31.32 and the output shaft 11.12
A minute gap is formed between the outer periphery of each. Pole piece 35 of magnetic fluid seal 31.32 and output shaft 11.1
In order to avoid contact with 2, the magnetic fluid sealing body 31°3
2 with respect to the output shaft 11, 12, respectively.

第2図を参照すると、磁性流体シール体31は治具37
によって心出しされてホルダ18に接着剤等で固着され
る。治具37の外周面はホルダ18のベアリング保持部
24に嵌合する円筒状の第1嵌合面38と、磁性流体シ
ール体31の内周に嵌合する円筒状の第2嵌合面39と
からなっており、第2嵌合面39は第1嵌合面38より
も小径となっている。治具37はホルダ18のベアリン
グ保持部24に対して心合わせされるので、磁性流体シ
ール体31を治具37の第2嵌合面39に嵌合させるこ
とにより、ベアリング保持部24を基準面として磁性流
体シール体31を位置決めすることができる。
Referring to FIG. 2, the magnetic fluid seal 31 is mounted on a jig 37.
It is centered and fixed to the holder 18 with adhesive or the like. The outer peripheral surface of the jig 37 includes a cylindrical first fitting surface 38 that fits into the bearing holding part 24 of the holder 18 and a cylindrical second fitting surface 39 that fits into the inner periphery of the magnetic fluid sealing body 31. The second fitting surface 39 has a smaller diameter than the first fitting surface 38. Since the jig 37 is centered with respect to the bearing holding part 24 of the holder 18, by fitting the magnetic fluid seal body 31 to the second fitting surface 39 of the jig 37, the bearing holding part 24 is aligned with the reference plane. The magnetic fluid seal body 31 can be positioned as follows.

このようにしてホルダ18に磁性流体シール体31を固
着した後、第1図に示すようにベアリング26を介して
出力軸11をホルダ18に支持させると出力軸11はベ
アリング保持部24を基準面として心合わせされること
となるので、磁性流体シール体31は出力軸11に対し
て正確に心出しされることとなる。
After fixing the magnetic fluid seal 31 to the holder 18 in this way, when the output shaft 11 is supported by the holder 18 via the bearing 26 as shown in FIG. Therefore, the magnetic fluid seal body 31 is accurately centered with respect to the output shaft 11.

図示はされていないが、他方の磁性流体シール体32も
上記磁性流体シール体3Iと同様の方法で治具により心
合わせされてホルダ19に固定される。  ゛ 上述のように、磁性流体シール31.32はフランジ付
回転出力軸11.12の組付は前にホルダ18.19に
対して心出しされるので、フランジ13.14の影響を
受けることなく容易に且つ正確に心出し作業を行なうこ
とができる。
Although not shown, the other magnetic fluid seal 32 is also centered and fixed to the holder 19 using a jig in the same manner as the magnetic fluid seal 3I. ``As mentioned above, the magnetic fluid seals 31.32 are centered with respect to the holder 18.19 before the assembly of the flanged rotary output shaft 11.12, so that they are not affected by the flanges 13.14. Centering work can be performed easily and accurately.

なお、この実施例においては、ベベルギア29゜30の
噛み合い精度を稠整するためのシム40がハウジング1
5の端面とボルダ19との間に適宜枚数挿入されている
。しかし、ハウジング15の孔17の内面とボルダ19
の外周面との間にシールリング23が設けられているの
で、ハウジング15とホルダI9との間の密閉性が損な
われることはない。
In this embodiment, a shim 40 for adjusting the meshing accuracy of the bevel gears 29 and 30 is attached to the housing 1.
An appropriate number of boulders are inserted between the end face of the boulder 19 and the boulder 19. However, the inner surface of the hole 17 of the housing 15 and the boulder 19
Since the seal ring 23 is provided between the outer peripheral surface of the housing 15 and the holder I9, the sealing performance between the housing 15 and the holder I9 is not impaired.

以上一実施例につき説明したが、本発明は上記実施例の
態様のみに限定されるものではなく、特許請求の範囲に
記載した発明の範囲内においてその構成要素に種々の変
更を加えることができる。
Although one embodiment has been described above, the present invention is not limited to the embodiment described above, and various changes can be made to its constituent elements within the scope of the invention described in the claims. .

例えば、本発明を適用するロボット手首は単一の回転出
力軸を有するものであってもよい、また、本発明はロボ
ットの他の回転軸の密閉部に適用してもよい。
For example, a robot wrist to which the present invention is applied may have a single rotary output shaft, or the present invention may be applied to a sealed portion of another rotary shaft of the robot.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ホル
ダのベアリング保持部を共通の基準面として磁性流体シ
ール体とフランジ付回転軸とを正確に心合わせを行なう
ことができ、しかも、回転軸のフランジの障害なく容易
に6併せを行なうことができるロボットの磁性流体シー
ル構造を提供することができる。
As is clear from the above description, according to the present invention, it is possible to accurately align the magnetic fluid seal and the flanged rotating shaft using the bearing holding portion of the holder as a common reference plane. It is possible to provide a magnetic fluid seal structure for a robot that can easily perform 6-joint operation without causing any obstruction to the flange of the shaft.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明を産業用ロボットの手首に適用した場合
の一実施例を示すロボットの磁性流体シール構造の断面
図、 第2図は第1図に示すホルダに対して磁性流体シール体
を治具によって心出ししている状態を示す断面図、 第3図は従来の磁性流体シール体の心出し方法を示す部
分破断正面図である。 11.12・・・回転出力軸、 13.14・・・フランジ、15・・・ハウジング、1
8.19・・・ホルダ、 22.23・・・シールリング、 24.25・・・ベアリング保持部、 26.28・・・ベアリング、 31.32・・・磁性流体シール体、 34・・・永久磁石、35・・・極片、36・・・磁性
流体、37・・・治具、38・・・第1嵌合面、39・
・・第2嵌合面。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic fluid seal structure of a robot showing an embodiment of the present invention applied to the wrist of an industrial robot. FIG. 2 is a sectional view of a magnetic fluid seal structure for a robot shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which centering is performed using a jig, and FIG. 3 is a partially cutaway front view showing a conventional method for centering a magnetic fluid seal. 11.12... Rotation output shaft, 13.14... Flange, 15... Housing, 1
8.19... Holder, 22.23... Seal ring, 24.25... Bearing holding part, 26.28... Bearing, 31.32... Magnetic fluid sealing body, 34... Permanent magnet, 35... Pole piece, 36... Magnetic fluid, 37... Jig, 38... First fitting surface, 39...
...Second mating surface.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、ハウジングと、 前記ハウジングに対し着脱可能に形成されて内側に円筒
状のベアリング保持部を有するホルダと、前記ホルダの
前記ベアリング保持部に嵌合するベアリングを介して前
記ホルダに対し回転可能に支持されるフランジ付回転軸
と、 前記ベアリングと前記回転軸のフランジとの間に配置さ
れて前記ホルダの内周と前記回転軸の外周との間を密閉
する磁性流体シール体とを備え、前記回転軸の組付け前
に、前記磁性流体シール体は前記ホルダのベアリング保
持部を基準面として心出しされる治具により心出しされ
た状態で前記ホルダに予め固着されていることを特徴と
するロボットの磁性流体シール構造。 2、前記治具の外周は前記ベアリング保持部の内周に嵌
合する円筒状の第1嵌合面と、前記磁性流体シール体の
内周に嵌合する、前記第1嵌合面よりも小径の円筒状の
第2嵌合面とからなっていることを特徴とする特許請求
の範囲第1項に記載のロボットの磁性流体シール構造。 3、前記磁性流体シール体はリング状の永久磁石と、前
記永久磁石の両端に固着されて前記永久磁石の内径より
も小さい内径を有する一対のリング状極片と、前記永久
磁石の内側に供給されて磁気力により前記極片間に保持
される磁性流体とを備えていることを特徴とする特許請
求の範囲第1項に記載のロボットの磁性流体シール構造
。 4、前記ハウジングはロボット手首のハウジングであり
、前記回転軸のフランジはロボット手首の出力端をなし
ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の
ロボットの磁性流体シール構造。
[Scope of Claims] 1. A housing, a holder that is formed to be removably attached to the housing and has a cylindrical bearing holding part inside, and a bearing that fits into the bearing holding part of the holder. a flanged rotating shaft rotatably supported on a holder; and a magnetic fluid seal disposed between the bearing and the flange of the rotating shaft to seal between the inner periphery of the holder and the outer periphery of the rotating shaft. and the magnetic fluid sealing body is fixed to the holder in advance in a centered state using a jig that is centered with the bearing holding part of the holder as a reference plane, before assembling the rotating shaft. A robot magnetic fluid seal structure characterized by: 2. The outer periphery of the jig is larger than the cylindrical first fitting surface that fits into the inner periphery of the bearing holding part and the first fitting surface that fits into the inner periphery of the magnetic fluid sealing body. 2. The magnetic fluid seal structure for a robot according to claim 1, further comprising a second fitting surface having a small diameter cylindrical shape. 3. The magnetic fluid sealing body includes a ring-shaped permanent magnet, a pair of ring-shaped pole pieces fixed to both ends of the permanent magnet and having an inner diameter smaller than the inner diameter of the permanent magnet, and supplied to the inner side of the permanent magnet. 2. The magnetic fluid seal structure for a robot according to claim 1, further comprising: a magnetic fluid that is held between the pole pieces by magnetic force. 4. The magnetic fluid seal structure for a robot according to claim 1, wherein the housing is a housing for a robot wrist, and the flange of the rotating shaft constitutes an output end of the robot wrist.
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Cited By (3)

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