JPS61176840A - X-ray spectroscope - Google Patents
X-ray spectroscopeInfo
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- JPS61176840A JPS61176840A JP60018438A JP1843885A JPS61176840A JP S61176840 A JPS61176840 A JP S61176840A JP 60018438 A JP60018438 A JP 60018438A JP 1843885 A JP1843885 A JP 1843885A JP S61176840 A JPS61176840 A JP S61176840A
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- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、分光結晶をＸ線発生点を通る直線上を移動さ
せるようにした、いわゆる直進集光型Ｘ線分光器の改良
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an improvement in a so-called straight condensing X-ray spectrometer in which a spectroscopic crystal is moved on a straight line passing through an X-ray generation point.
［従来の技Ｉｆｌ］
Ｘ線マイクロアナライザ等に使用されている、分光結晶
を直進させる直進集光型のＸ線分光器は、例えば、特公
昭４７−４７８３８号公報に記載されている。[Conventional Technique Ifl] A linear condensing type X-ray spectrometer, which is used in an X-ray microanalyzer or the like, in which a spectroscopic crystal moves in a straight line, is described in, for example, Japanese Patent Publication No. 47-47838.
この形の分光器では、ｘＩ！発生点からのＸ線の取出し
方向を常に一定にした状態でＸ線の分光を行うため、直
線に沿って湾曲分光結晶を移動させると共に、同時に結
晶自体も回動させて該結晶に入射するＸ線の入射角を変
化させている。With this type of spectrometer, xI! In order to perform X-ray spectroscopy while keeping the direction of X-ray extraction from the generation point constant, a curved spectroscopy crystal is moved along a straight line, and at the same time the crystal itself is rotated to detect the X-rays incident on the crystal. The angle of incidence of the line is changed.
［発明が解決しようとする問題点］
通常、この直進集光型Ｘ線分光器では、湾曲結晶部およ
びその近くにＸ線検出器の駆動機構等の機構要素が多数
配置されており、その結果、該分光結晶部が厚くなる。[Problems to be Solved by the Invention] Normally, in this linear focusing type X-ray spectrometer, a large number of mechanical elements such as the driving mechanism of the X-ray detector are arranged in and near the curved crystal part. , the spectroscopic crystal part becomes thicker.
該分光結晶部は、Ｘ線発生点の近くまで移動される関係
上、該結晶部分が厚くなるに従って、該Ｘ線発生点の周
囲に配置することができるＸ線分光器の数に制限が加え
られる。Since the spectroscopic crystal section is moved close to the X-ray generation point, the thicker the crystal section becomes, the more limited the number of X-ray spectrometers that can be placed around the X-ray generation point becomes. It will be done.
又、分光器を縦型にし、分光結晶部分が上部に配置され
ると、結晶部分が重くなり、ローランド円面に垂直であ
るべき結晶が倒れてしまい、ローランド円と結晶との所
定の関係が崩れてしまう。Also, if the spectrometer is made vertical and the spectroscopic crystal part is placed at the top, the crystal part becomes heavy and the crystal, which should be perpendicular to the Rowland circle, falls over, causing the predetermined relationship between the Rowland circle and the crystal to be distorted. It will collapse.
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、多数の
分光器をＸ線発生点の周囲に配置することを可能とする
Ｘ線分光器に関する。The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and relates to an X-ray spectrometer that allows a large number of spectrometers to be arranged around an X-ray generation point.
［発明の原理説明１
次に、第２図に基づいて、本発明の基本となる考え方を
説明する。図中、ＡはＸ線発生点、Ｂは分光結晶の中央
部、Ｃはｘｔａ検出器のスリット点であり、直進集光型
Ｘ１１分光器を構成するためには、Ａ点を通る直ＩＩＡ
−Ａ’上でＢ点を移動させた場合、点Ａ９点Ｂ１点Ｃが
常にローランド円Ｒ上に位置し、距離ＡＢと距離ＢＧと
が等しくなり、分光結晶の格子面接線Ｂ’−８＃はＢ点
でローランド円Ｒと接し、更に、検出器が点Ｃから点Ｂ
方向を向くようにすれば良い。[Explanation of Principle of the Invention 1 Next, the basic idea of the present invention will be explained based on FIG. 2. In the figure, A is the X-ray generation point, B is the center of the spectroscopic crystal, and C is the slit point of the XTA detector.
- When point B is moved on A', point A9 point B1 point C is always located on Rowland circle R, distance AB and distance BG are equal, and lattice tangent line B'-8# of the spectroscopic crystal touches the Rowland circle R at point B, and the detector also moves from point C to point B.
You just have to face the direction.
ここで、ｘｌＩ発生点Ａで直線Ａ−Ａ’ と交差する直
線Ａ−Ａ’とローランド円Ｒとの交点をＤとし、定値Ｂ
ＤをＢ点が直線Ａ−Ａ’ に沿って動き、Ｄ点が直線Ａ
−Ａ“に沿りて動くようにすれば、点Ａ１点Ｂ０点りは
必ずローランド円Ｒ上に乗って動くことは自明である。Here, the intersection point of the Roland circle R and the straight line A-A' which intersects the straight line A-A' at the xlI generation point A is set as D, and the constant value B
Point B moves along straight line A-A', and point D moves along straight line A.
-A", it is obvious that points A1 and B0 will always move on the Roland circle R.
こうした状況で、上記直進集光型Ｘ１分光器の条件が満
たされているとき、乙ＡＤＢ、 ｔＢＤｃ、 ＬＤＣＢ
を考えてみると、分光結晶への入射角（乙ＡＢＢ’ ）
をθとし、２つの直線Ａ−Ａ’およびＡ−Ａ“の交角す
なわち、４Ａ’ ＡＡ”をαとすると、
乙ＡＤＯ−θ・・・・・・（弧ＡＢの張る円周角）ｌＢ
Ｄ Ｃ−θ・・・・・・（弧ＢＧの張る円周角）ｌＤ
ＣＢ ＝π−α （α〉θの時）となる。従って、上
記点りを中心に回転可能な軸ＤＤ’を設け、直線Ａ−Ａ
＝に対して定値ＢＤがなす角度乙ＡＤＢに対して、軸Ｄ
Ｄ’が直線Ａ−Ａ“となす角度１ＡＤＤ’が２倍になる
ように軸ＤＤ’を定値ＢＤにリンクすれば、集光点Ｃは
、ローランド円Ｒと軸ＤＤ’ の交点となり、そして、
分光結晶によって回折されたｘｍｘは軸ＤＤ’ に対し
、一定角度π−αで０点に入射することになる。Under these circumstances, when the above conditions for the straight focusing type X1 spectrometer are met, Otsu ADB, tBDc, LDCB
Considering this, the angle of incidence on the spectroscopic crystal (ABB')
If θ is the intersection angle of the two straight lines A-A' and A-A", that is, 4A'AA" is α, then ADO-θ... (circumferential angle spanned by arc AB) lB
D C-θ・・・(circumferential angle spanned by arc BG) lD
CB = π-α (when α>θ). Therefore, an axis DD' which can be rotated around the above point is provided, and a straight line A-A
The angle B made by the constant value BD with respect to ADB, the axis D
If the axis DD' is linked to the constant value BD so that the angle 1ADD' that D' makes with the straight line A-A'' is doubled, the focal point C becomes the intersection of the Roland circle R and the axis DD', and,
The xmx diffracted by the spectroscopic crystal will be incident on the 0 point at a constant angle π-α with respect to the axis DD'.
［問題点を解決するための手段］
従って、本発明に基づくＸ線分光器は、Ｘ線発生点を通
る第１の直線＜Ａ−Ａ’ ）に沿って配置された第１の
移動軸と、該Ｘ線発生点を通る第２の直ＩＩ （Ａ−Ａ
’ ）に沿って配置された第２の移動輪と、該第１の移
動軸上を移動する台上に、その格子面接線がローランド
円に接するように配置された分光結晶と、該第２の直線
（Ａ−Ａ” ）と交差する第３の直線（Ｄ−Ｄ’ ）に
沿って配置され、該第２の軸を移動する台上に、該第２
の直線と第３の直線の交点（Ｄ）において回動可能に設
けられた第３の軸と、該第１の軸上を移動する分光結晶
の中央部（Ｂ）と該第２の直線と第３の直線の交点（Ｄ
）の間の良さを、該分光結晶の移動によっても常に一定
に維持するための、該第１の移動軸上の移動台と該第２
の移動軸上の移動台の移動をリンクする機構と、該第３
の軸と、該第２の直線とのなす角度が、該交点（Ｄ）の
移動によっても常に、分光結晶の中央部（Ｂ）と該交点
（Ｄ）とを結ぶ直線と該第２の直線（Ａ−Ａ′）とのな
す角度の２倍の関係を保つようにするための機構と、該
第３の軸上をスライドする台上に設けられ、そのスリッ
ト点が常にローランド円上にあるように束縛されている
Ｘ線検出器とを備えたことを特徴としている。[Means for Solving the Problems] Therefore, the X-ray spectrometer based on the present invention has a first movement axis disposed along the first straight line <A-A') passing through the X-ray generation point; , the second direct line II (A-A
); a spectroscopic crystal disposed on a stage that moves on the first moving axis so that its lattice planes are in contact with the Rowland circle; The second axis is disposed along a third straight line (D-D') that intersects the straight line (A-A''), and is moved along the second axis.
A third axis rotatably provided at the intersection (D) of the straight line and the third straight line, a central part (B) of the spectroscopic crystal that moves on the first axis, and the second straight line. Intersection point of the third straight line (D
) on the first movement axis and the second
a mechanism for linking the movement of the moving table on the moving axis of the third
The angle formed between the axis of (A-A') is provided on the table that slides on the third axis, and the slit point is always on the Rowland circle. It is characterized by comprising an X-ray detector which is bound in such a manner.
［実施例］ 以下本発明の一実施例を添附図面に基づいて詳述する。[Example] An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第１図において、１は被分析試料であり、該試料１には
、細く収束された電子線２が照射され、該試料１の電子
線照射点Ａからは該試料に応じた特性Ｘ線が発生する。In FIG. 1, 1 is a sample to be analyzed, the sample 1 is irradiated with a narrowly focused electron beam 2, and a characteristic X-ray corresponding to the sample is emitted from the electron beam irradiation point A of the sample 1. Occur.
該電子線照射点点を通る直線Ａ−Ａ’ に沿って、モー
タ３によって回転する駆動軸４が設けられており、該駆
動軸４には、結晶移動台５が取り付けられている。該移
動台５の直線Ａ−Ａ’上の点Ｂには回転軸が設けられ、
該回転軸にはローランド円と同心円の円弧レール６が回
転可能に取り付けられている。該円弧レール６の一端に
は、その格子面接線が該ローランド円Ｒに接するように
湾曲分光結晶７が固定されている。該電子線照射点Ａを
通る直線Ａ−Ａ“に沿って補助レール８が配置されてお
り、該補助レール８には台車９が摺動可能に取り付けら
れている。A drive shaft 4 rotated by a motor 3 is provided along a straight line AA' passing through the electron beam irradiation point, and a crystal moving stage 5 is attached to the drive shaft 4. A rotation axis is provided at a point B on the straight line A-A' of the moving table 5,
A circular arc rail 6 concentric with the Roland circle is rotatably attached to the rotating shaft. A curved spectroscopic crystal 7 is fixed to one end of the arcuate rail 6 so that its lattice surface is in contact with the Rowland circle R. An auxiliary rail 8 is arranged along a straight line A-A'' passing through the electron beam irradiation point A, and a cart 9 is slidably attached to the auxiliary rail 8.
該台車９上の点りには回転軸が設けられており、該回転
軸には該円弧レール６の他端と、軸１０とが回転可能に
取り付けられている。該円弧レールの他端には、点Ｂと
点りを結ぶ線に沿った軸１１が一体的に設けられており
、該軸１１には台車１２が摺動可能に取り付けられてい
る。該台車１２の線Ｂ−Ｄ上に固定されたピボット１３
には、同じ長さの２本の定長足１４．１５が回転可能に
設けられている。該定長足１４の他端は、該台車９の直
線Ａ−Ａ’上に設けられたピボット１６に回転可能に取
り付けられており、該定長足１５の他端は、該軸１０に
設けられたピボット１７に回転可能に取り付けられてい
る。なお、Ｄ点とピボット１６までの距離と点りからピ
ボット１７までの距離は等しくされている。該円弧レー
ル６には台車１８が摺動可能に設けられており、該台車
１８上には、点Ｃに設けられた回転軸の回りに回転可能
で軸１０に沿って摺動可能な台車１９が取り付けられて
いる。該台車１９には、検出器ユニット２０が配置され
ているが、該検出器ユニット中のスリット点は、該０点
と一致されている。A rotating shaft is provided at a point on the truck 9, and the other end of the arcuate rail 6 and a shaft 10 are rotatably attached to the rotating shaft. A shaft 11 along a line connecting point B is integrally provided at the other end of the arcuate rail, and a cart 12 is slidably attached to the shaft 11. A pivot 13 fixed on the line B-D of the truck 12
is rotatably provided with two fixed length legs 14,15 of the same length. The other end of the constant length foot 14 is rotatably attached to a pivot 16 provided on the straight line A-A' of the truck 9, and the other end of the constant length foot 15 is rotatably attached to a pivot 16 provided on the straight line AA' of the truck 9. It is rotatably attached to the pivot 17. Note that the distance from point D to the pivot 16 and the distance from the point to the pivot 17 are made equal. A truck 18 is slidably provided on the arcuate rail 6, and a truck 19 is mounted on the truck 18, which is rotatable around a rotation axis provided at a point C and slidable along an axis 10. is installed. A detector unit 20 is disposed on the truck 19, and the slit point in the detector unit is aligned with the zero point.
上述した如き構成において、試料１への電子線の照射に
より、電子線照射点Ａからは特性Ｘ線が発生する。該Ｘ
線は、分光結晶７によって波長に応じて回折され、特定
波長のＸ線がＸ線検出器ユニット２０によって検出され
る。ここで、モータ３を駆動して回転軸４を回転させれ
ば、該回転軸４に設けられた移動台５は直線Ａ−Ａ’
に沿って移動することになる。該移動台５の移動により
、円弧レール６を介してリンクされている台車９は補助
レール８上を移動することになる。例えば、該移動台５
が点Ａ′方向に移動すると、台車９は点点方向に移動す
ることになるが、この時、点Ｂと点りの間の距離に変更
はなく、又、点Ｂおよび点りは共に、ローランド円Ｒ上
に位置する。該台車９がへ方向に移動すると、定長足１
４．１５の作用によって台車１２がＤ点方向に移動し、
軸１０は乙ＡＤＤ’が大きくなる方向に回転する。この
結果、直線Ａ−Ａ’上のＤ点と直線ＢＤ上の軸１１と直
線Ｄ−Ｄ’ に沿った軸１０とは同じ長さの定長足１４
．１５によってリンクされているため、乙ＡＤＢとＺＢ
ＤＤ’ とは常に等しくなり、発明の原理説明で述べた
条件が満たされることになる。又、乙ＡＤＢ−４８ＤＤ
’の条件を保って、点りを中心に回転する軸１０上をス
ライドする台車１９とローランド円Ｒ上に束縛されてい
る回転軸Ｃとをリンクさせていることから、乙ＢＣＤは
常にπ−αに保たれる。更に、該台車１９は該回転軸Ｃ
に対して回転可能にしであるので、検出器ユニット２０
をいったん分光結晶７の方向を向くように談合１９に載
置すれば、該検出器ユニット２０は、常に、分光結晶７
の方向を向くことになる。なお、第１図の構成で、台車
１２や回転軸Ｃを、バネ等によってＤ点方向に常に引張
ったりして、機械的なガタをなくすように構成すること
は好ましい。In the configuration as described above, characteristic X-rays are generated from the electron beam irradiation point A by irradiating the sample 1 with the electron beam. The X
The rays are diffracted according to their wavelength by the spectroscopic crystal 7, and X-rays of specific wavelengths are detected by the X-ray detector unit 20. Here, if the motor 3 is driven to rotate the rotary shaft 4, the movable table 5 provided on the rotary shaft 4 will move along the straight line A-A'
will move along. Due to the movement of the moving platform 5, the cart 9 linked via the arcuate rail 6 moves on the auxiliary rail 8. For example, the moving table 5
When moves in the direction of point A', the trolley 9 moves in the direction of point A', but at this time, the distance between point B and the point does not change, and both point B and point Located on circle R. When the trolley 9 moves in the direction, the constant length leg 1
4. Due to the action of 15, the trolley 12 moves in the direction of point D,
The shaft 10 rotates in the direction in which ADD' increases. As a result, point D on the straight line A-A', the axis 11 on the straight line BD, and the axis 10 along the straight line D-D' have a constant length leg 14 of the same length.
．． 15, so Otsu ADB and ZB
DD' is always equal, and the conditions stated in the explanation of the principle of the invention are satisfied. Also, Otsu ADB-48DD
Since the carriage 19 that slides on the shaft 10 that rotates around the dot and the rotating shaft C that is constrained on the Roland circle R are linked while maintaining the condition of ', BCD is always π- It is kept at α. Further, the trolley 19 is rotated around the rotating shaft C.
Since the detector unit 20 is rotatable relative to
Once placed on the rigging 19 so as to face the direction of the spectroscopic crystal 7, the detector unit 20 always faces the spectroscopic crystal 7.
It will be facing the direction of. In the configuration shown in FIG. 1, it is preferable to always pull the cart 12 and the rotating shaft C in the direction of point D using a spring or the like to eliminate mechanical play.
以上、本発明の一実施例を詳述したが、本発明はこの実
施例に限定されず、幾多の変形が可能である。例えば、
検出器ユニットや０点をローランド円に束縛する手段と
しては、上述した円弧レールを用いる以外にも他の手段
を用いることができる。例えば、ローランド円中心を直
線ＢＤの垂直２等分線の上に求め、その求めたローラン
ド円中心にそこを回転中心とするローランド円半径と等
しい長さのアームを設け、その他端に軸Ｃ１すなわち、
検出器のスリット点を設けるように構成しても良い。Although one embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to this embodiment and can be modified in many ways. for example,
As a means for constraining the detector unit and the zero point to the Rowland circle, other means than the above-mentioned arc rail can be used. For example, the center of the Rowland circle is found on the perpendicular bisector of the straight line BD, and an arm with a length equal to the radius of the Rowland circle with the center of rotation set at the center of the Rowland circle is provided at the center of the Rowland circle, and the other end is attached to the axis C1 or ,
The detector may be configured to have a slit point.
［効ｌ！］。[Effect! ].
以上詳述した如く、本発明の構成により、検出器の位置
出し機構等の諸要素を分光結晶部分から離すことができ
、その結果、試料の回りに多数の分光器を配置すること
ができる。更に、分光結晶部分の重さを軽くできるので
、分光結晶部が倒れやすい等の弊害が解消される。As described above in detail, the configuration of the present invention allows various elements such as the detector positioning mechanism to be separated from the spectroscopic crystal part, and as a result, a large number of spectrometers can be arranged around the sample. Furthermore, since the weight of the spectroscopic crystal part can be reduced, problems such as the tendency for the spectroscopic crystal part to fall down are eliminated.
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本発明の
原理説明に用いた図である。
１・・・試料 ２・・・電子線３・・・モー
タ ４・・・駆動軸５・・・移動台
６・・・円弧レール７・・・分光結晶 ８・・・
補助レール９．１２．１８．１９・・・台車
１０．１１・・・軸
１３．１６．１７・・・ピボット
１４．１５・・・定長足
２０・・・検出器ユニットFIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram used to explain the principle of the present invention. 1... Sample 2... Electron beam 3... Motor 4... Drive shaft 5... Moving table
6... Arc rail 7... Spectroscopic crystal 8...
Auxiliary rail 9.12.18.19...Dolly 10.11...Axle 13.16.17...Pivot 14.15...Constant length leg 20...Detector unit
Claims (2)
て配置された第１の移動軸と、該Ｘ線発生点を通る第２
の直線（Ａ−Ａ″）に沿って配置された第２の移動軸と
、該第１の移動軸上を移動する台上に、その格子面接線
がローランド円に接するように配置された分光結晶と、
該第２の直線（Ａ−Ａ″）と交差する第３の直線（Ｄ−
Ｄ′）に沿って配置され、該第２の軸を移動する台上に
、該第２の直線と第３の直線の交点（Ｄ）において回動
可能に設けられた第３の軸と、該第１の軸上を移動する
分光結晶の中央部（Ｂ）と該第２の直線と第３の直線の
交点（Ｄ）の間の長さを、該分光結晶の移動によっても
常に一定に維持するための、該第１の移動軸上の移動台
と該第２の移動軸上の移動台の移動をリンクする機構と
、該第３の軸と、該第２の直線とのなす角度が、該交点
（Ｄ）の移動によっても常に、分光結晶の中央部（Ｂ）
と該交点（Ｄ）とを結ぶ直線と該第２の直線（Ａ−Ａ″
）とのなす角度の２倍の関係を保つようにするための機
構と、該第３の軸上をスライドする台上に設けられ、そ
のスリット点が常にローランド円上にあるように束縛さ
れているＸ線検出器とを備えたＸ線分光器。(1) A first movement axis disposed along the first straight line (A-A') passing through the X-ray generation point, and a second axis passing through the X-ray generation point.
A second moving axis arranged along the straight line (A-A''), and a spectroscopic device arranged on a table moving on the first moving axis so that its lattice surface lines are in contact with the Rowland circle. crystal and
A third straight line (D-
a third axis rotatably provided at the intersection (D) of the second straight line and the third straight line on a table disposed along the line D' and moving the second axis; The length between the central part (B) of the spectroscopic crystal moving on the first axis and the intersection (D) of the second straight line and the third straight line is always kept constant even as the spectroscopic crystal moves. a mechanism for linking the movements of the moving platform on the first moving axis and the moving platform on the second moving axis, and the angle formed by the third axis and the second straight line; However, even if the intersection point (D) moves, the central part (B) of the spectroscopic crystal always changes.
and the intersection (D) and the second straight line (A-A″
) is provided on a table that slides on the third axis, and is constrained so that the slit point is always on the Rowland circle. An X-ray spectrometer equipped with an X-ray detector.
に沿った円弧レールによってリンクさせ、該円弧レール
に束縛してＸ線検出器を移動させるように構成した特許
請求の範囲第１項記載のＸ線分光装置。(2) The central part B of the spectroscopic crystal and the intersection D are linked by an arcuate rail along a Rowland circle, and the X-ray detector is moved by being bound to the arcuate rail. The X-ray spectrometer described in Section 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60018438A JPS61176840A (en) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | X-ray spectroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60018438A JPS61176840A (en) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | X-ray spectroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61176840A true JPS61176840A (en) | 1986-08-08 |
| JPH0554638B2 JPH0554638B2 (en) | 1993-08-13 |
Family
ID=11971644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60018438A Granted JPS61176840A (en) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | X-ray spectroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61176840A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228799A (en) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Shimadzu Corp | X-ray spectroscope |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763252U (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-15 |
-
1985
- 1985-02-01 JP JP60018438A patent/JPS61176840A/en active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228799A (en) * | 2001-02-01 | 2002-08-14 | Shimadzu Corp | X-ray spectroscope |
| JP4632167B2 (en) * | 2001-02-01 | 2011-02-16 | 株式会社島津製作所 | X-ray spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0554638B2 (en) | 1993-08-13 |
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