JPS61173172A - クライストロン試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明は大電力のクライストロンのエージングを効率良
〈実施でき、且つ、省力化の可能なタライストロン試験
装置に関するものである。

［発明の技術的背景とその問題点］ タライストロンは数１００ＭＨｚから数ＧＨｚの周波数
帯の大電力増幅管として、放送用の送信装置やレーダ装
置等に幅広く使用されている速度変調型電子管であり、
近年は、高エネルギ加速器の高周波加速空胴の高周波源
として、あるいは核融合装置のロワー・ハイブリッド（
Ｌｏｗｅｒ）−１ｙｂｕｒｉｄ＞周波数帯の高周波によ
るプラズマ加熱装置用の高周波源としそ、出力電力が数
ＭＷからパルスで数十ＭＷの大電力管が開発されている
。

ところで、このような大電力クライストロンでは製作後
、定格の動作を得るのにエージングと云う処理が必要で
ある。

すなわち、これらのクライストロンは通常、数十ｋｖか
ら数百ｋｖと云う高いコレクタ電圧で動作するが、製作
後は先ず、低い電圧で動作させ、クライストロン内の真
空度を監視しながら徐々に、動作電圧を上昇させ、最終
的に定格の電圧で動作することを確認し、使用される。

このエージング処理を行うのがタライストロン試験装置
である。

従来のクライストロン試験装置を第６図に示す。

図において、１はクライストロン、２はポテンショメー
タ４ａにより設定された設定値を基準電圧Ｖｃｒｅｆと
してタライストロン１のコレクタ電圧を比較し、その差
が小さくなるように出力電圧を制御してコレクタに与え
るコレクタ電源、３はポテンショメータ４ｂにより設定
された設定値を基準電圧Ｖａｒｅｆとしてクライストロ
ン１のアノード電圧を比較し、その差が小さくなるよう
に出力電圧を制御してアノードに与えるアノード電源、
５はクライストロン１のフィラメント電源、６はクライ
ストロン１の収束マグネット７に電流を供給する収束マ
グネット電源、８はクライストロン１のイオン・ポンプ
９に電流を供給するイオン・ポンプ電源である。

このような構成の従来装置において、製作されたクライ
ストロン１は先ずコレクタ基準電圧ＶＣｒｅｆ、アノー
ド基準電圧Ｖａｒｅｆを低い値に設定して通電する。そ
して、運転員はイオン・ポンプ９の排気作用によって時
間とともに減少するイオン・ポンプ９でのイオン電流値
１ｉが設定値ｌ５ｅｔよりも低くなると、再びコレクタ
基準電圧ＶＣｒｅｆ、アノード基準電圧Ｖａｒｅｆを上
昇させる。そして、これを繰返して行うことにより、定
格電圧まで上げる。これにより、最終的に定格電圧での
使用が可能に成る。

このようにエージング処理では、定格電圧で使用可能に
なるまでに上記のような操作を数百ステップに分割して
徐々にコレクタ基準電圧ｖｃｒｅｆおよびアノード基準
電圧ｖａｒｅ’ｒを定格電圧まで上げてゆく必要があり
、また、エージング時間も２週間程度を必要とするばか
りでなく、上記の操作を全て運転員の手動操作で行うに
はコレクタ基準電圧Ｖｃｒｅｆ、アノード基準電圧Ｖａ
ｒｅｆの設定が難しく、誤操作により保護装置が作動す
ることが多くなって、これによるエージングの一時中断
が避けられないことから、近年ではこれを自動化した試
験装置の開発も試みられるようになった。

その−例を第７図に示す。図中、第６図と同一物には同
一符号を付してその説明は省略し、異なる構成要素につ
いてのみ説明する。図中１０．１１はそれぞれエージン
グの各ステップにおけるコレクタ電圧の基準電圧Ｖｃｒ
ｅｆ、アノード電圧の基準電圧ｖａｒｅｆを記憶するコ
レクタ電圧パターン・ファイル及びアノード電圧パター
ン・ファイル、１２はエージングの各ステップにおける
エージング時間を記憶するエージング時間パターン・フ
ァイルである。これら、コレクタ電圧パターン・ファイ
ル１０及びアノード電圧パターン・ファイル１１、エー
ジング時間パターン・ファイル１２の各ステップにおけ
る値はパターン設定装置１３により設定される。

１４は前記エージング時間パターン・ファイル１２の各
ステップにおけるエージング時間だけ経過した時点でイ
オン電流検出装置１５にて検出したイオン電流値１ｉが
設定値以下の場合はコレクタ電圧パターン・ファイル１
０、アノード電圧パターン・ファイル１１のつぎのステ
ップの電圧をコレクタ電圧の基準電圧Ｖｃｒｅｆ、アノ
ード電圧の基準電圧Ｖａｒｅｆとしてコレクタ電源２゜
アノード電源３に出力してエージング時間パターン・フ
ァイル１２の次のステップのエージング時間、だけ、エ
ージングを行い、イオン電流値（ｉが設定値を超える場
合はステップを更新せずに再び、旧エージング・ステッ
プにおけるエージング時間だけエージングを行うように
制御する機能を備えた制御装置である。

１６は前記制御装置１４が前記エージング時間パターン
・ファイル１２の各ステップにおけるエージング時間だ
け経過したことを検出するためのタイマである。

次に上記構成の装置の作用について説明する。

第７図構成の装置の動作の流れ図を第８図に示す。即ち
、先ずパターン設定装置１３で段階的に増加し、最終ス
テップ）（ｍａｘで定格電圧となるようなコレクタ基準
電圧ＶＣｒｅｆ、アノード基準電圧Ｖａｒｅｆの電圧パ
ターンをコレクタ電圧パターン・ファイル１０．アノー
ド電圧パターン・ファイル１１に設定する。また、各ス
テップにおけるエージング時間をエージング時間パター
ン・ファイル１２に設定する。

制御装置１４は第８図に示すように先ず、ＳＴ１で経過
したエージング・ステップ数をカウントする内部カウン
タＫを「１」にセットし、ＳＴ２でコレクタ電圧パター
ン・ファイル１０．７ノード電圧パターン・ファイル１
１より、上記に＝１でのエージング・ステップにおける
コレクタおよびアノード基準電圧のｌ！ＩＶｃｒｅｆ　
（１）、Ｖａｒｅｆ　（１）を得てこれをコレクタ電源
２．アノード電源３に出力する。これにより、コレクタ
およびアノード電源２．３はコレクタおよびアノード電
圧がＶｃｒｅｆ　（１）、Ｖａｒｅｆ　（１）となるよ
うに制御して出力する。次に、ＳＴ３で上記に−１にお
けるエージング時間値Ｔ（１）をエージング時間パター
ン・ファイル１２より得て、これをタイマ１６にセット
する。タイマ１６はセットされたエージング時間値Ｔ（
１）を経過すると、出力を出すので、ＳＴ４にてタイマ
１６の出力を監視してエージング時間値Ｔ（１）だけ経
過するのを待ち、該エージング時間値Ｔ（１）経過した
ならば、次にＳＴ５に入ってイオン電流値Ｉｉが設定値
１８６ｉｔ以内であることをチェックする。

このチェックの結果、イオン電流Ｉｉが設定値１ｓｅｔ
以内であればＳＴ６に進み、ここでカウンタにの値を１
つカウント・アップしてに＝２とし、エージング・ステ
ップを一つ進める。そして、ＳＴ６でカウンタにの値が
最終のエージング・ステップであるＫｍａＸ・を超えな
いか否かをチェックする。すなわち、カウンタにの値を
調べ、指定したステップだけエージングを行ったか否か
を調べ、これが満たされれば、目標値までの工〜ジング
は終了したと判断してエージングを終了する。

超えていないならば、コレクタ電圧パターン・フッイル
１０．アノード電圧パターン・ファイル１１よりに＝２
の時のコレクタ及びアノード基準電圧の値Ｖｃｒｅｆ　
（２＞、Ｖａｒｅｆ　（２）を得てこれをコレクタ電源
２．アノード電源３に出力する。

そして、エージングＲ間パターン・ファイル１２のＴ（
２）をタイマ１６にセットし、次いで、ＳＴ４にてエー
ジング時間下（２）だけ経過するのを待ち、次にＳＴ５
でイオン電流１ｉが設定値１ｓｅｔ以内であることをチ
ェックする。

このチェックの結果、イオン電流１ｉが設定値ｌ５ｅｔ
以内であれば、ＳＴ６に進み、ここでカウンタにの値を
１つカウント・アップしてに−３とし、ＳＴ７でＫがＫ
ｍａＸを超えていないか調べ、超えていなければコレク
タ電圧パターン・ファイル１０．７ノード電圧パターン
・ファイル１１よりに−３のときのコレクタ及びアノー
ド基準電圧の値Ｖｃｒｅｆ　（３）、Ｖａｒｅｆ　（３
）を得て、これをコレクタ電源２．アノード電源３に出
力する。

このような処理を）（＞）（ｍａＸになるまで順次、１
づつＫを更新しながら繰返す。そして、カウンタにの値
がＫｍａＸを超えたならば目標値までのエージングは終
了したと判断邊てエージングを終了する。

また、ＳＴ５でイオン電流値１ｉが設定値ｌ５ｅｔを超
える場合はエージング・ステップを更新せずにＶｃｒｅ
ｆ、Ｖａｒｅｆはそのままで再び、旧エージング・ステ
ップでのエージング時間だけエージングを行い、以下、
イオン電流■ｉが設定値以下となるまでこの処理を行っ
た後、Ｋの更新を行う。

第９図はコレクタ及びアノード基準電圧Ｖｃｒｅｆ及び
ｖａｒｅｆの時間的変化の例を示した図である。この例
の場合、先ず、エージングにおける第１エージング・ス
テップではｖｃｒｅｆ（１）、Ｖａｒｅｆ　（１）でＴ
（１）時間経過した時点で、イオン電流値■ｉが設定値
）ｓｅｔ以下であることをチェックして、第２エージン
グ・ステップに移る。

この図では第４エージング・ステップでＴ（４）時間だ
け経過した後も、イオン電流値１１が設定値［ｓｅｔを
超えているため、Ｖｃｒｅｆ、Ｖａｒｅｆはそのままで
、再びＴ（４）時間だけエージングを行っていることを
示している。

尚、図かられかるようにイオン電流値１ｉが設定値１ｓ
ｅｔ以下となった場合でも、そのエージング・ステップ
でのエージング時間Ｔ（Ｋ＞だけ経過するまでは次のエ
ージング・ステップに移ることはできない。

このように、従来方式のタライストロン試験装置ではイ
オン電流値１１が設定値１ｓｅｔ以下になっても、エー
ジング時間パターン・ファイル１２で与えられるエージ
ング時間Ｔ（Ｋ）あるいはその整数倍だけの時間が経過
しないと、次のエージング・ステップに進まないので定
格のコレクタ及びアノード基準電圧ｖｃｒｅ’ｔ’及び
ｙａｒｅｉ”までエージングを行うのに長時間を要して
いた。

また、従来方式のクライストロン試験装置では一般に、
あるエージング・ステップＪで、イオン電流値１ｉが限
界値１ｍａｘを超えた場合は、一旦、コレクタ及びアノ
ード基準電圧Ｖｃｒｅｆ。

Ｖａｒｅｆを零まで落し、再び、第１１−ジング・ステ
ップのコレクタ及びアノード基準電圧ＶＣｒｅｆ　（１
）、Ｖａｒｅｆ　（１）からエージングを行う方式がと
られている。しかし、この場合はコレクタ及びアノード
基準電圧ＶＣｒｅｆ（Ｊ−１）、Ｖａｒｅｆ　（Ｊ−１
＞＊ｒのエージ＞’ｊは既に終了しているため、イオン
電流値１ｉが設定値ｌ５ｅｔ以下となるまでの時間は短
い。

しかしながら、第７図に示す従来方式のタライストロン
試験装置では、この場合も同じエージング時間パターン
・ファイル１２を使用しているため、エージング時間は
新規の場合と同じ時間を要し、時間的に大きな無駄とな
っていた。

これを避けるために、イオン電流値■１が限界値１ｍａ
Ｘを超えて再びＶｃｒｅｆ　（１）、Ｖａｒｅｆ（１）
から始める場合には別のエージング時間パターン・ファ
イルを使用する方式が考えられているが、この方式では
制御アルゴリズムが複雑化するだけでなく、エージング
・パターンの作成も標準的なエージング処理の場合のコ
レクタ。

アノード基準電圧Ｖｃｒｅｆ、Ｖａｒｅｆのパターンの
他に、それぞれのケースに合わせた複数個のエージング
時間パターン・ファイルを用意しなければならず、その
入力の手間と操作が繁雑となることから実現を見ない。

［発明の目的］ 本発明は上記の事情に鑑みて成されたものであり、その
目的とするところは操作性に優れ、かつ、効率良くエー
ジングを行うことのできるようにしたクライストロン試
験装置を提供することにある。

［発明の概要］ すなわち、上記目的を達成するため本発明は、複数回の
エージング・ステップを設定するとともに各エージング
・ステップ毎に定格電圧まで順次上昇するように定めた
コレクタ及びアノード電圧の基準値を保持する基準値保
持手段と、エージング対象のクライストロンの真空度を
検出する手段と、該真空度検出値が所定値に達する毎に
エージング・ステップを進めるとともに該エージング・
ステップでのコレクタ及びアノード電圧の基準値を基準
値保持手段より得る制御手段と、該制御手段より与えら
れるコレクタ及びアノード電圧の基準値に対応するコレ
クタ及びアノード電圧を発生してこれを前記エージング
対象クライストロンに与えて作動させる手段とより構成
し、複数回のエージング・ステップを設定するとともに
タライストロンの真空度を見ながら順次エージング・ス
テップを進め、各エージング・ステップ毎に順次上昇す
るように定めたコレクタ及びアノード電圧にてクライス
トロンを作動させることにより定格電圧までエージング
を行うようにする。すなわち、エージング・ステップは
時間で管理するのでは無く、タライストロンの真空度を
見ながら順次エージング・ステップを進めるようにする
ものである。

〔発明の実施例〕

以下、第１図乃至第５図を参照して本発明を説明する。

第１図は本発明による装置の構成を示すプロッり図であ
り、図中１はクライストロン、２は与えられた基準電圧
Ｖｃｒｅｆを基準としてクライストロン１のコレクタ電
圧を比較し、その差が小さくなるように出力電圧を制御
してタライストロン１のコレクタに与えるコレクタ電源
、３は与えられた基準電圧Ｖａｒｅｆを基準としてクラ
イストロン１のアノード電圧を比較し、その差が小さく
なるように出力電圧を制御してクライストロン１のアノ
ードに与えるアノード電源、５はタライストロン１のフ
ィラメント電源、６はクライストロン１の収束マグネッ
ト７に電流を供給する収束マグネット電源、８はクライ
ストロン１のイオン・ポンプ９に電流を供給するイオン
・ポンプ電源である。

１０．１１はそれぞれエージングの各ステップにおける
コレクタ電圧の基準電圧Ｖｃｒｅｆ、アノード電圧の基
準電圧ｙａｒｅｆを記憶するコレクタ電圧パターン・フ
ァイル及びアノード電圧パターン・ファイルである。こ
れら、コレクタ電圧パターン・ファイル１０及びアノー
ド電圧パターン・ファイル１１の各ステップにおける値
はパターン設定装置１３により設定される。

１４′は制御装置であり、エージング・ステップ開始毎
に所定のエージング時間だけ経過した時点でイオン電流
検出装置１５にて検出したイオン電流値（ｉが設定値１
ｓｅｔ以下の場合はエージング・ステップを更新して、
コレクタ電圧パターン・ファイル１０１アノード電圧パ
ターン・ファイル１１より新エージング・ステップでの
コレクタ、アノード基準電圧を得、これをコレクタ電圧
の基準電圧ｙｃｒｅｔ’、アノード電圧の基準電圧Ｖａ
ｒｅｆとしてそれぞれ対応のコレクタ電源２゜アノード
電源３に出力してエージングを行い、イオン電流値１１
が設定値ｌ５ｅｔを超える場合はイオン電流値Ｉｉが設
定値１ｓｅｔに下がるまでエージング・ステップを更新
せずにそのままの条件でエージングを行うようにすると
共にイオン電流値１ｉが設定値１ｓｅｔまで下がるとエ
ージング・ステップを更新して新エージング・ステップ
での上記処理を行うように制御する機能を備えている。

１６−は前記制御装置１４が各エージング・ステップに
おけるエージング開始後、所定時間だけ経過したことを
検出するための夕゛イマであり、前記制御装置１４−に
より起動されて、所定時間経過時に出力を発生する。

次に上記構成の装置の作用について説明する。

コレクタ電源２、アノード電源３、フィラメント電１１
５、収束マグネット電源６、収束マグネット７、イオン
・ポンプ電源８、イオン・ポンプ９、コレクタ電圧パタ
ーン・ファイル１０、アノード電圧パターン・ファイル
１１、パターン設定装置１３、イオン電流検出装置１５
の機能は基本的に第７図で説明したものと同じであるの
で、これらの作用は先の説明を参照することとし、ここ
では本発明の要部である制御装置１４−を中心に説明す
る。

第１図装置の動作の流れ図を第２図に示す。この流れ図
に沿って説明すると、制御Ｉｌ装置１４′は先ず５Ｔ２
１でカウンタＫに「１」をセットし、次の５Ｔ２２でコ
レクタ電圧パターン・ファイル１０、アノード電圧パタ
ーン・ファイル１１よりのに−１のエージング・ステッ
プでのコレクタ。

７／−ド基準電圧の値Ｖｃｒｅｆ　（１）、Ｖａｒｅｆ
（１）を得て、これらを対応するコレクタ電源２．アノ
ード電源３に出力するともに５Ｔ２３で所定の時間をセ
ットされたタイマ１６′を起動する。

次に制御装置１４′は５Ｔ２４でタイマ１６′の出力を
見ながら前記所定時間経過するのを待ち、該所定時間経
過したならば、次に５Ｔ２５に入り、ここでイオン電流
値Ｉｉが設定値１ｓｅｔ以下になるのを待つ。クライス
トロン１はこの間、コレクタ、アノード電圧がＶｃｒｅ
ｆ、　Ｖａｒｅｆとなるようにしてエージングが成され
る。イオン電流値（ｉが設定１ｓｅｔまで下がると、制
御装置１４′は次に５Ｔ２６に入り、ここでカウンタに
のカウント値を「１」だけカウント◆アップしてエージ
ング・ステップを更新した後、再び５Ｔ２２に入り、上
記の動作を繰返す。

尚、５Ｔ２６において、カウントを更新した後は、５Ｔ
２２に入る前に５Ｔ２７において、エージング・ステッ
プを管理するためのカウンタにのカウント値が最終エー
ジング・ステップＫｍａＸを超えたか否かがチェックさ
れ、超えていない場合にのみ、すなわち、指定した回数
（ＫｍａＸ）までエージングを行っていない場合にのみ
、５Ｔ２２のルーチンに戻る。ＫｍａＸに達した場合に
はエージングは終了したと判断して、エージングを終了
する。

第３図はＶｃｒｅｆ、Ｖａｒｅｆの時間的変化を示した
ものである。

図かられかるように、本装置では各エージング・ステッ
プ共、タイマ１６′のセット時間は同じであり、タイマ
１６′のセット時間分が経過するまでは不感帯となって
いるが、セット時間経過後はイオン電流値１ｉが設定値
ｌ５ｅｔまで下がるとカウンタＫを更新して次のエージ
ング・ステップに入る。

従って、エージング時間パターン・ファイルは不要であ
り、しかも、タイマ１６′のセット時間を小さくしてお
くことで、事実上、イオン電流値１ｉを見ながら、その
大きさにより、エージング・ステップを更新して行くこ
とになり、最小の時間で効率的なエージングが行え、且
つ、エージング・ステップ毎のエージング時間設定が不
要となる。

尚、上記タイマ１６′のセット時間は各エージング・ス
テップでのイオン電流１ｉの立上がり時間程度とする。

すなわち、エージング・ステップ毎にイオン電流１ｉは
設定値ｌ５ｅｔと同程度の値を示す期間があるので、こ
こでの誤動作を防ぐため、タイマ１６′が用いられてお
り、このタイマ１６′で不感帯を与えて、誤動作を防止
している。

以上説明したように、本装置によれば、エージング時間
パターン・ファイルを設定する操作は不要であり、また
、各ステップにおけるエージング時間も無駄時間が無く
なるため、効率良くエージングを行うことが出来るよう
になる。

尚、本発明は上記し、且つ、図面に示す実施例に限定す
ることなくその要旨を変更しない範囲内で適宜変形して
実施し得るものであり、例えば、上記実施例ではタライ
ストロン管内の真空度をイオン電流値１ｉが設定値１ｓ
ｅｔ以下となるかこれを超えるかで管理するようにして
いるが、真空度が限界値よりもよりも劣化した時は、一
旦工−ジングを停止して真空排気した後、再び最初のス
テップからエージングを行う再エージング処理を実施す
るようにした方が良いこともある。

このような場合、途中段階までのエージングは終了して
いるので、この区間までのエージング処理は短時間で終
ることから、これを考慮した場合、従来のクライストロ
ン試験装置では上記の再エージング処理を含めて種々の
ケースでの制御を考えると、制御アルゴリズム複雑とな
り、各パターン別のエージング時間パターン・ファイル
も複数個設定する必要が生じて実現が困難であったが、
本発明によればイオン電流値を見ながら、イオン電流値
が設定値まで下がった時、エージング・ステップを更新
して行くようにしたため、エージング時間パターン・フ
ァイルが不要であることから、再エージング処理を含め
た上記の機能を非常に簡単に実現できる。

この場合の制御装置１４−の動作の流れ図を第４図に示
す。

図における５Ｔ２１．〜５Ｔ２７の各処理は第２図の場
合と同様であるが、第４図ではタイマ１６−を起動して
設定時間が経過するのを待つ間、及びイオン電ＦＥｌｉ
ｌｌｉが設定１１１ｓｅｔ以下になるまでの間、５Ｔ４
１．５Ｔ４２でイオン電流値Ｉｉが限界１１［１１１ｍ
１ｔ以下であることを監視しており、イオン電流値■ｉ
が限界値１１１ｍ１ｔを超えた場合、すなわち、真空度
が限界値を超えた場合は５Ｔ４３に入って、ここでエー
ジングを一旦中断し、５Ｔ４４によりイオン電流値１ｉ
が再エージング可能な電流値１ｓｔａｒｔ以下になるの
を持って再び５Ｔ２１．〜５Ｔ２７の処理を行う。

第５図はＶｃｒｅｆ、Ｖａｒｅｆの時間的経過を示した
もので、この図では第４ステツプでイオン電流値１１が
限界１ｉ１１１１ｉｍｉｔを超えたため、一旦、エージ
ングを中断し、イオン電流ｉｚが再エージング開始可能
な電流値１ｓｔａｒｔ以下になった時点で第１ステツプ
からエージングを開始していることを示してい、る。

［発明の効果］ 以上、詳述したように本発明によれば、制御アルゴリズ
ムが簡単になり、しかも、エージング時間パターン・フ
ァイル等の設定が不要となる為、設定操作が容易となり
、また、再エージング処理時や通常のエージング処理時
での無駄時間が無くなることから、結果として、操作性
に優れた効率的なエージング処理の可能なタライストロ
ン試験装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
その作用を説明するための流れ図、第３図は第１図装置
の動作を説明するためのタイミングチャート、第４図は
本発明の他の実施例を説明構成を示すブロック図、第８
図はその作用を説明するための流れ図、第９図は動作例
を説明するためのタイミングチャートである。 １・・・タライストロン、２・・・コレクタ電源、３・
・・アノード電源、４ａ、４ｂ・・・ポテンショメータ
、５・・・フィラメント電源、６・・・収束マグネット
電源、７・・・収束マグネット、８・・・イオン・ポン
プ電源、９・・・イオン・ポンプ、１０・・・コレクタ
電圧パターン・ファイル、１１・・・アノード電圧パタ
ーン・ファイル、１３・・・パターン設定装置、１４．
１４−・・・制御装置、１５・・・イオン電流検出装置
、１６゜１６′・・・タイマ。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 ら 第７図 第８図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数回のエージング・ステップを設定するとともに各エ
   ージング・ステップ毎に定格電圧まで順次上昇するよう
   に定めたコレクタ電圧及びアノード電圧の基準値を保持
   する基準値保持手段と、エージング対象のクライストロ
   ンの真空度を検出する手段と、該真空度検出値が所定値
   に達する毎にエージング・ステップを進めるとともに該
   エージング・ステップでのコレクタ電圧及びアノード電
   圧の基準値を前記基準値保持手段より得る制御手段と、
   該制御手段より与えられるコレクタ電圧及びアノード電
   圧の基準値に対応するコレクタ電圧及びアノード電圧を
   発生してこれを前記エージング対象クライストロンに与
   えてこれを作動させる手段とより構成したことを特徴と
   するクライストロン試験装置。