JPS61164022U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61164022U JPS61164022U JP4655985U JP4655985U JPS61164022U JP S61164022 U JPS61164022 U JP S61164022U JP 4655985 U JP4655985 U JP 4655985U JP 4655985 U JP4655985 U JP 4655985U JP S61164022 U JPS61164022 U JP S61164022U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- supply device
- gas supply
- pneumatically operated
- operated valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２
図は空気圧作動バルブの断面図、第３図は従来例
を示す構成図、第４図はボールバルブの断面図で
ある。 １……半導体ガス供給装置、２……空気圧作動
バルブ、３……電磁弁。
図は空気圧作動バルブの断面図、第３図は従来例
を示す構成図、第４図はボールバルブの断面図で
ある。 １……半導体ガス供給装置、２……空気圧作動
バルブ、３……電磁弁。
Claims (1)
- ガス供給装置本体の一次側配管に、空気圧を作
用させて流路を開閉する弁を備えた空気圧作動バ
ルブを接続し、かつ該空気圧作動バルブに、弁の
開閉用作動空気の供給制御を行う電磁弁を備えた
ことを特徴とする半導体ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4655985U JPS61164022U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4655985U JPS61164022U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164022U true JPS61164022U (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=30561069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4655985U Pending JPS61164022U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164022U (ja) |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP4655985U patent/JPS61164022U/ja active Pending