JPS61162632U - - Google Patents

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JPS61162632U
JPS61162632U JP4750185U JP4750185U JPS61162632U JP S61162632 U JPS61162632 U JP S61162632U JP 4750185 U JP4750185 U JP 4750185U JP 4750185 U JP4750185 U JP 4750185U JP S61162632 U JPS61162632 U JP S61162632U
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JP
Japan
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cylinder chamber
weight
pipe
connected via
flow rate
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JP4750185U
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JPH0241384Y2 (ja
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  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Fluid-Damping Devices (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図
は全体断面図、第2図は第1図の―矢視図、
第3図は使用例を示す概略側面図である。 1……支持本体、2……重錘、4……シリンダ
室、6……圧縮ばね(ばね体)、7……ピストン
、8……フレキシブル管、9……第1流量調整弁
、11……第2流量調整弁、12……第1配管、
13……油タンク(液体タンク)、14……第2
配管、15……逆止弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 振動物体に取付けられる支持本体に、実錘を所
    定方向で移動自在に設け、上記支持本体の重錘移
    動方向における一端側にシリンダ室を形成すると
    共に、重錘の一端部に上記シリンダ室内を摺動自
    在なピストンを設け、上記重錘の他端側に、重錘
    を一端側に付勢するばね体を設け、上記シリンダ
    室の先端部にフレキシブル管の一端部を第1流量
    調整弁を介して接続すると共に、該フレキシブル
    管の他端部と液体タンクとを、第2流量調整弁を
    有する第1配管を介して接続し、且つ上記シリン
    ダ室先端側と液体タンクとを、逆止弁を有する第
    2配管を介して接続したことを特徴とする振動減
    衰器。
JP4750185U 1985-03-29 1985-03-29 Expired JPH0241384Y2 (ja)

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JP4750185U JPH0241384Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4750185U JPH0241384Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61162632U true JPS61162632U (ja) 1986-10-08
JPH0241384Y2 JPH0241384Y2 (ja) 1990-11-05

Family

ID=30562889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4750185U Expired JPH0241384Y2 (ja) 1985-03-29 1985-03-29

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0241384Y2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01149046U (ja) * 1988-04-05 1989-10-16
JPH01173541U (ja) * 1988-05-28 1989-12-08
JPH03144U (ja) * 1989-05-22 1991-01-07
JP2014529043A (ja) * 2011-08-03 2014-10-30 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 減衰装置

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JP2014529043A (ja) * 2011-08-03 2014-10-30 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー 減衰装置
US9593733B2 (en) 2011-08-03 2017-03-14 Carl Zeiss Smt Gmbh Damping arrangement for dissipating oscillating energy of an element in a system, more particularly in a microlithographic projection exposure apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0241384Y2 (ja) 1990-11-05

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