JPS61152369A - 湿式ブラスト方法 - Google Patents

湿式ブラスト方法

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JPS61152369A
JPS61152369A JP27371584A JP27371584A JPS61152369A JP S61152369 A JPS61152369 A JP S61152369A JP 27371584 A JP27371584 A JP 27371584A JP 27371584 A JP27371584 A JP 27371584A JP S61152369 A JPS61152369 A JP S61152369A
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JP
Japan
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ionic surface
abrasive
hlb
specific
declining
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Pending
Application number
JP27371584A
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English (en)
Inventor
Kazunori Tsujinaga
和徳 辻永
Motoyuki Torikai
基之 鳥飼
Yasuo Okita
泰郎 大喜多
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Mitsui Toatsu Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Toatsu Chemicals Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C11/00Selection of abrasive materials or additives for abrasive blasts
    • B24C11/005Selection of abrasive materials or additives for abrasive blasts of additives, e.g. anti-corrosive or disinfecting agents in solid, liquid or gaseous form

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は合成樹脂成形品の成形時に発生した樹脂パリ等
を除去する方法に関する。
(従来技術とその問題点) 合成樹脂成形品の成形時に発生した樹脂パリ等を除去す
る方法として、研磨材を水スラリーの形で加圧噴射させ
る湿式プラスト加工法が従来より採用されている。研磨
材としてはアランダムやガラスピーズの様な硬質のもの
が従来より用いられていたが、これらの硬質研磨材は成
形品自体をも傷つげるため、より柔らかい合成樹脂研磨
材が最近では多く使用されるようになった。
かかる方法において従来採用されてきた合成樹脂研磨材
としては、゛例えば尿素樹脂、アルキッド樹脂、メラミ
ン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、フェ
ノール樹脂等の熱硬化性樹脂。
およびポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール
、ポリスチレン等の熱可塑性樹脂がある。
これらの合成樹脂研磨材の中で、IC又はLSIの製造
に使用されるエポキシ樹脂系モールド材のパリ取りに対
しては、モールド材の硬度と研磨力の関係から、不飽和
ポリエステル樹脂系の研磨材が使用されている。
最近、ICおよびLSIの高集積化が進み、ICおよび
LSIのビン間隔が短くなってきたため。
従来使用されてきた粒径の研磨材ではブラスト加工時に
ピンの間に研磨材が詰まり不良品を発生させるようにな
ってきている。これを避けるためには当然研磨材の粒径
を小さくすれば良いが1粒径として0.3u以下の研磨
材が必要となり、この程度の大きさでは合成樹脂研磨材
は水に浮上しブラスト加工する事ができない。
研磨材の浮上をさけるためには、界面活性剤を用いて研
磨材の粒子表面を疎水性から親水性に変えれば良いが1
通常の界面活性剤の使用ではブラスト加工時の発泡が非
常に多くなり短時間にブラストできなくなる。
これはプラスト加工の噴射液がタンク内に落下し非常に
泡立ちやすい機械構造になっているためである。又、発
生した泡は、研磨材を吸着し安定化されるので、泡層全
体が研磨材を含み半ケーキ状となり、ますます研磨材が
泡層に保持されて沈降し難くなり、研磨材スラリー濃度
が急激に減少する。
(問題点を解決するための手段) 本発明者らは上記した問題を解決するために鋭意研究し
た結果、特定の非イオン界面活性剤とHLB価が10〜
18である非イオン界面活性剤とを併用することにより
目的を達成し得ることを見出して本発明に到達した。
即ち本発明は、一般式 %式% で示されるアセチレングリコール系非イオン界面活性剤
の0.05〜1.0 重量チとHLB価が10〜18で
ある非イオン界面活性剤のo 、oi〜0.1重量チと
を含有する研磨材スラリー液によりプラスト加工するこ
とを特徴とする湿式ブラスト方法である。
上記した本発明の方法によりプラスト加工する場合は、
研磨材の浮き及び研磨材スラリーの発泡がなく、さらに
ICおよびLSIのリードフレーム上に水不溶解分が付
着する結果として生ずるメッキ工程におけるはじきの現
象や、微粉の成形品への付着による外観不良の間頂も解
決できる。
即ち、一般に使用される非イオン系の界面活性剤はオイ
ルを含むものが殆んどであり、含有するオイルにより消
泡効果を向上させているから、ICおよびLSIのモー
ルド樹脂のパリ取りに採用する場合は、オイルを含む消
泡剤はそのま〜リードフレーム表面に付着し、更に微粉
の研磨材がオイルに吸着され、これらは水洗によっても
除去されずに以後のメッキ工程で不良現象の原因となっ
たり、或はこれらを除去するために多大の労力を要して
いた。
これに対して本発明の湿式ブラスト方法においては、採
用する界面活性剤は何れも非イオン系であり且つオイル
およびシリコンを含まないために上記したような不良現
象は全くなく、更に本発明において採用するブラスト液
中にはNa、に、C1等のイオンが存在しないために、
これらのイオンがICおよびLSIのチップに浸透して
耐湿性を悪化させたり、腐食を引き起すことはない。
本発明の研磨材スラリーに用いられる研磨材としては、
尿素樹脂、アルキッド樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等の熱硬
化性樹脂研磨材が挙げられ。
なかでも不飽和ポリエステル樹脂が好ましいものとして
用いられる。
本発明で用いられる一般式CI)で示されるアセチレン
グリコール系非イオン界面活性剤は1分子中にアセチレ
ン結合を有しかつヒドロキシル基を作 複数個有する化合物であり1例えば日清化学工業■製の
サーフイノール104,465,485が挙げられる。
これらの非イオン界面活性剤は構造式[:I”] にお
いて(]m−1−nがOから10の間のもの。
好ましくは(m+n)が3〜5のものであり、−般に(
m+n)が小さいものは疎水性が大きいのでメッキ工程
でのはじきや微粉の付着の問題が比較的少量の添加でも
生じ易く、最適添加量の範囲が狭くなる。それ故、実用
時の濃度管理が困難になる傾向がある。また(m+n)
が大きいものは親水性が大きく、そのため研磨材を良く
濡らす事ができるが1発泡が多くなり、研磨材微粉を吸
着して安定化し、結果としてスラリー濃度が減少するの
で好ましくない。従って(m+n)が3〜5のものが濡
れ性1発泡性、消泡性のバランスが良く好ましいものと
して多用される。
本発明者らは種々のプラスト条件について最適の消泡剤
、界面活性剤の種類および量を求めた結果、アセチレン
グリコール系非イオン界面活性剤の量はプラスト加工に
用いられる研磨材スラリー液の水量に対して0.05−
1.0重量%好ましくは0.2〜0.4重量%添加すれ
ば良い事を認めた。而してこの場合の添加量が少ない場
合は濡れ及び消泡性の何れも不足し、添加量が多いとメ
ッキ処理に際しはじきや微粉の付着の問題を発生する。
本発明者らの知見によれば、アセチレングリコール系界
面活性剤だゆでは濡れ性が不足して微粉の付着の問題が
残り、それ故濡れ性の向上のためにHLB価が10〜1
8の非イオン系の界面活性剤が共用される。
即ち、非イオン性界面活性剤としては、HLB価が10
〜18のもの、好ましくは13〜16のものが多用され
る。而してHLBが小さすぎると疎水性が大きくなるの
で研磨材の濡れ性が低下し、メッキ工程におけるはじき
及び微粉の付着問題が起り好ましくない。一方HLBが
大きすぎると親水性が大きくなるので発泡性が増大し好
ましくない0 上記したHLB価が10〜18である非イオン界面活性
剤としては1例えばポリオキシエチレンラウリルエーテ
ルの様なポリオキシエチレンアルキルエーテル類、モノ
及びジスチレ/化フェノールエーテルの様なポリオキシ
エチレンアルキルエ−テエーテぞ類、ポリオキシエチレ
ンノルビタンモノラウレートの様なポリオキシエチンン
ソルビタン脂肪酸エステル類のごとくイオンペアーを持
たない界面活性剤が好適であり1例えば花王石鹸株式会
社製の商品名エマルゲン、レオドール。
エマゾール、エキセルおよびエマノール、並びにライオ
ン株式会社製のレオコール等の内HLBが10〜18の
ものが使用できる。而してこれらの非イオン界面活性剤
は単独または混合して使用することができる。
(作用) 上記のアセチレングリコール系非イオン界面活性剤及び
HLB価が10〜18である非イオン界面活性剤を適宜
選択使用することによりプラスト加工時の発泡現象によ
る研磨材スラリー濃度の低下等の何らの弊害も引き起こ
すことなくプラスト加工する事ができる。
(実施例) 次に実施例及び比較例により本発明をさらに説明する。
以下において部は重量部を意味する。
研磨材の製造: イソフタル酸1.5モル、マレイン酸無水物3.0モル
、プロピレングリコール4.95モル’を加え。
180〜210°Cに保ち、酸価が35になるまで反応
させた。この生成物100部に対し、スチレンを43部
、6チナフテン酸コバルト0.5部、メチルエチルケト
ンパーオキサイド1部を加え、混合後常温にて20時間
放置し、その後80℃にて3時間加熱した。得られた硬
化物を粉砕した後、分級により60メツシ工バス%10
0メツシエオンのものを分取し不飽和ポリエステル樹脂
研磨材を得た。
プラスト加工テスト: 得られた研磨材を用いて湿式でラスト加工テストを不二
精機■製の湿式プラスト機を用いて行なった。タンク容
量的401のテスト機に水251と研磨材8 kgを投
入し、研磨材のスラリー濃度(体積分率)を40チに調
整し、ICのモールド樹脂のパリ取りテストを行なった
比較例1 界面活性剤を使用することなく、上記のプラスト加工を
試みたが研磨材が水に浮きプラストできなかった。
比較例2 一般式CIIにおいてm+n=3.5であるアセチレン
グリコール系非イオン界面活性剤(以下活性剤■と略称
する)をタンク内の水に対し0.05重量%となるよう
に投入しプラスト加工を行なった。
この実験においては研磨材の水に対する濡れは良好であ
ったが沈降しないものも多くスラリー濃度が25%迄し
か上昇できずプラスト加工はできなかった。
比較例3 比較例2の状態にさらに活性剤Iを追加し、活性剤Iの
濃度をタンク内水量に対し0.1俤とした。
研磨材は沈み始めスラリー濃度は35チ迄上昇した。し
かし乍ら、プラスト中に半ケーキ状の発泡層が発生し約
15分でプラストできなくなった。
またリードフンームに微粉の付着が見られた。
実施例1 比較例2の状態にさらにHLB=15の非イオン性界面
活性剤(以下活性剤■と略称する)を0.02 %とな
る様に追加した。この場合のスラリー濃度は40%にな
り、微粉の付着もなく良好な状態でブラスト加工する事
ができた。
実施例2 活性剤■を0.3%、活性剤■を0.02%となる様に
添加し、プラスト加工を行なった。この場合も発泡はほ
とんどなく、微粉の付着もみられず良好な状態であった
実施例3 活性剤■を1チ、活性剤■を0.1%となる様に投入し
、プラスト加工を行なった。この場合は若干泡が出はじ
め、微粉も若干付着し始めた。また泡層がクリール状に
なり、10時間程度プラストしたところスラリー濃度が
若干減少していた。
比較例4 活性剤Iを1.5条、活性剤■を0.2%となる様に投
入し、プラスト加工を行なった。この場合はプラスト液
表面に活性剤■が分離し、発生した泡も半ケーキ状にな
りスラリー濃度の減少が著しかった。
また、はじき現象が発生し、微粉の付着量も増大してプ
ラスト加工は不良であった。
比較例5 アセチレングリコール系非イオン界面活性剤として構造
式CI)において(m+rr)=14のものを使用した
活性剤■を0.3%、活性剤■を0,03 %となる様
に添加しプラスト加工した。この場合は発泡が多(プラ
スト加工は良好でなかった。
比較例6 活性剤■を0.3%、HLB=8の非イオン系界面活性
剤を0.03 %となる様に添加し、プラスト加工した
。この場合はスラリー濃度は40チになるが、はじき現
象及び微粉の付着があり不良であった。
比較例7 活性剤■を0,3チ、HLB=19の非イオン界面活性
剤を0.03%となる様に添加し、プラスト加工した。
この場合は発泡が多くプラストできなかった。
比較例8     □6材、、。
活性剤■を0,2%7&−÷テ添加しプラスト加工した
が、発泡が多くプラストできなかった。
実施例4および5 一般式〔I〕においてm−4−n ==Qおよび8であ
るアセチレングリコール系非イオン界面活性剤を使用し
これにHLB=18および10である非イオン性界面活
性剤を夫々表に示す割合で組合せ使用した。この実験に
おいては発泡層の厚みかや〜増加したが良好な結果が得
られた。
評価結果: 以下に比較例2〜7、実施例1〜5の結果を第1表に示
した。
(発明の効果) 実施例及び比較例からもわかるように、本発明にかかる
方法で湿式プラスト加工を行なえば、発泡がほとんどな
くメッキ時のはじきや微粉の付着という問題も引き起こ
さない◇ 特許出願人 三井東圧化学株式会社 手   続   補   正   書 (自発)昭和6
0年2り?日 特許庁長官  志 賀  学 殿 1、事件の表示 昭和59年特許願第273715号 2、発明の名称 湿式プラスト方法 4、補正の対象 1) 明細書第10頁第12行「手工精機■」を「手工
精機製造所■」と訂正する。
2) 同第12頁第12行「クリール」を「クリーム」
と訂正する。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼〔 I 〕 (但しm+n=0〜10である。) で示されるアセチレングリコール系非イオン界面活性剤
    の0.05〜1.0重量%とHLB価が10〜18であ
    る非イオン界面活性剤の0.001〜0.1重量%とを
    含有する研磨材スラリー液によりブラスト加工すること
    を特徴とする湿式ブラスト方法。
JP27371584A 1984-12-27 1984-12-27 湿式ブラスト方法 Pending JPS61152369A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG98015A1 (en) * 2000-01-18 2003-08-20 Tokyo Magnetic Printing Lapping oil composition for finish-grinding

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG98015A1 (en) * 2000-01-18 2003-08-20 Tokyo Magnetic Printing Lapping oil composition for finish-grinding

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