JPS6114648Y2 - - Google Patents

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JPS6114648Y2
JPS6114648Y2 JP1980111291U JP11129180U JPS6114648Y2 JP S6114648 Y2 JPS6114648 Y2 JP S6114648Y2 JP 1980111291 U JP1980111291 U JP 1980111291U JP 11129180 U JP11129180 U JP 11129180U JP S6114648 Y2 JPS6114648 Y2 JP S6114648Y2
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spool valve
flexible membrane
force motor
force
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  • Multiple-Way Valves (AREA)
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、電磁式フオースモータでスプール弁
を駆動して作動液の切換を行なう液圧サーボバル
ブ装置に関し、特に直動型の液圧サーボバルブ装
置に関する。
[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a hydraulic servo valve device that switches hydraulic fluid by driving a spool valve with an electromagnetic force motor, and in particular to a direct-acting hydraulic servo valve. Regarding equipment.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来より、この種の直動型電気液圧式サーボバ
ルブ装置で、作動液の切換を行なつて、アクチユ
エータを作動させることが行なわれるのである
が、このサーボバルブ装置やアクチユエータを高
温雰囲気中で稼動させる場合には、作動液として
水−グリコール系の難燃性作動液を使用すること
が行なわれる。
Conventionally, this type of direct-acting electro-hydraulic servo valve device operates the actuator by switching the hydraulic fluid, but it is difficult to operate this servo valve device or actuator in a high-temperature atmosphere. In this case, a water-glycol-based flame-retardant hydraulic fluid is used as the hydraulic fluid.

〔考案が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention attempts to solve]

しかしながら、このような水−グリコール系の
難燃性作動液は、腐食性を有しているので、この
難燃性作動液が電気部品であるフオースモータに
おけるフオースコイル側へ漏洩してくると、その
腐食性のため、フオースコイルの電気絶縁性が悪
くなつて、故障の原因となる。
However, such a water-glycol-based flame-retardant hydraulic fluid is corrosive, so if this flame-retardant hydraulic fluid leaks into the force coil side of a force motor, which is an electrical component, it may cause corrosion. Due to this, the electrical insulation of the force coil deteriorates, causing failure.

そこで、スプール弁側スペースとフオースモー
タ側スペースとをベローズ等の弾性可撓部材を用
いて仕切ることも考えられるが、このような手段
では弾性可撓部材の取付方によつては、その受圧
面積が大きくなることがあり、この場合は上記ス
ペースに適当な大気圧連通路等を設ける必要があ
る。
Therefore, it is conceivable to partition the spool valve side space and the force motor side space using an elastic flexible member such as a bellows, but with such a method, depending on how the elastic flexible member is attached, the pressure receiving area may be limited. In this case, it is necessary to provide an appropriate atmospheric pressure communication path in the above space.

また、上記フオースコイルを上記作動液とは別
のシリコン油のごとき非腐食性の液体で冷却する
ことも考えられるが、この場合も上記難燃性作動
液と冷却用の非腐食性液体とが混り合わないよう
に液密に可撓性膜部材を用いて仕切ることが行な
われる。
It is also possible to cool the force coil with a non-corrosive liquid such as silicone oil, which is different from the working fluid, but in this case too, the flame-retardant working fluid and the non-corrosive cooling fluid are mixed. Liquid-tight partitioning is performed using a flexible membrane member to prevent them from coming into contact with each other.

このように可撓膜部材を用いて、フオースモー
タ側の収容スペースと、これに隣接するスプール
弁側の収容スペースとを仕切ることができるので
あるが、従来の直動型電気液圧式サーボバルブ装
置では、上記フオースモータ側の収容スペース
が、その上部に開口を形成された開放型収容スペ
ースとして構成されているので、上記開口が上に
位置するようにしかサーボバルブ装置を取付ける
ことができず、これによりサーボバルブ装置の取
付態様が限られてしまうという問題点がある。
In this way, the flexible membrane member can be used to partition the accommodation space on the force motor side and the accommodation space on the adjacent spool valve side, but conventional direct-acting electro-hydraulic servo valve devices Since the housing space on the force motor side is configured as an open housing space with an opening formed in the upper part, the servo valve device can only be installed with the opening positioned at the top. There is a problem in that the mounting manner of the servo valve device is limited.

また、上記フオースモータ側の収容スペースが
開放型収容スペースとして構成されているので、
外部から塵芥等の異物が侵入するという問題点が
あり、更に非腐食性液体が蒸発して液面が下がる
おそれがあるため、この非腐食性液体を補給する
必要もあるという問題点がある。
In addition, since the housing space on the force motor side is configured as an open housing space,
There is a problem that foreign matter such as dust enters from the outside, and there is also a problem that the non-corrosive liquid needs to be replenished because there is a risk that the liquid level will drop due to evaporation of the non-corrosive liquid.

本考案は、これらの問題点を解決しようとする
もので、可撓性を用いてフオースモータ側の収容
スペースとスプール弁側の収容スペースとを仕切
る際に極力受圧面積が小さくなるようにして構造
の簡素化をはかりながら、上記フオースモータ側
の収容スペースを密閉型にして、しかも同密閉収
容スペース内に気体室を形成することにより、装
置の取付に対する自由度を大きくするとともに、
外部からの塵芥侵入を防止ししかも液補充の必要
性のほとんどない液圧サーボバルブ装置を提供す
ることを目的とする。
The present invention attempts to solve these problems, and uses flexibility to partition the housing space on the force motor side and the housing space on the spool valve side, reducing the pressure receiving area as much as possible. While aiming for simplification, the housing space on the force motor side is made into a closed type, and a gas chamber is formed within the sealed housing space, thereby increasing the degree of freedom in mounting the device, and
It is an object of the present invention to provide a hydraulic servo valve device which prevents dust from entering from the outside and hardly requires liquid replenishment.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

このため、本考案の液圧サーボバルブ装置は、
作動油の切換を行なうべく、スプール弁を直接往
復駆動しうる電磁式フオースモータをそなえ、同
フオースモータ側の密閉収容スペースと同スペー
スに隣接する該スプール弁側の収容スペースとが
これらの収容スペースをつなぐ狭隘な隙間部で可
撓性膜部材を用いて液密に仕切られて、上記のフ
オースモータ側の密閉収容スペース内に、該フオ
ースモータの冷却用非腐食性液体が封入されると
ともに、同液体の温度変化による膨張収縮量を吸
収するための気体が封入されたことを特徴として
いる。
Therefore, the hydraulic servo valve device of the present invention
In order to change the hydraulic oil, an electromagnetic force motor that can directly reciprocate the spool valve is provided, and a sealed storage space on the force motor side and an adjacent storage space on the spool valve side connect these storage spaces. A non-corrosive liquid for cooling the force motor is sealed in the airtight storage space on the force motor side, which is liquid-tightly partitioned in a narrow gap using a flexible membrane member, and the temperature of the liquid is It is characterized by being filled with gas to absorb the amount of expansion and contraction caused by changes.

〔作 用〕[Effect]

上述の本考案の液圧サーボバルブ装置では、フ
オースモータ側の収容スペースとスプール弁側の
収容スペースとをつなぐ狭隘な隙間部で、これら
の収容スペースが可撓性膜部材で液密に仕切られ
ているので、可撓性膜部材の受圧面積を小さくす
ることができる。これにより収容スペースを大気
に連通させる機構等が不要になり、構造の簡素化
がはかれる。
In the above-mentioned hydraulic servo valve device of the present invention, there is a narrow gap connecting the accommodation space on the force motor side and the accommodation space on the spool valve side, and these accommodation spaces are liquid-tightly partitioned by a flexible membrane member. Therefore, the pressure receiving area of the flexible membrane member can be reduced. This eliminates the need for a mechanism for communicating the storage space with the atmosphere, and simplifies the structure.

また、フオースモータ側の密閉収容スペース内
には冷却用非腐食性液体が封入されており、これ
によりこの液体によつてフオースモータを冷却す
ることができる。そして、この冷却時に上記非腐
食性液体の温度が上昇して、この非腐食性液体の
占有容積が変化しても、この変化はフオースモー
タ側の密閉収容スペース内の封入気体部分によつ
て吸収される。
Furthermore, a non-corrosive cooling liquid is sealed in the closed storage space on the force motor side, and the force motor can be cooled by this liquid. Even if the temperature of the non-corrosive liquid rises during this cooling and the occupied volume of the non-corrosive liquid changes, this change is absorbed by the sealed gas portion in the hermetically sealed storage space on the force motor side. Ru.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面により本考案の一実施例をしての直
動型電気液圧式サーボバルブ装置について説明す
ると、第1図はその縦断面図、第2図はそのスプ
ール弁の一端部付近を拡大して示す部分縦断面
図、第3図はそのスプール弁の他端部付近を拡大
して示す部分縦断面図であつて、磁場発生機構1
が磁石2とヨーク3とポールピース4とで構成さ
れており、ヨーク3とポールピース4との間に
は、円環状の隙間5が形成されている。
A direct-acting electro-hydraulic servo valve device according to an embodiment of the present invention will be explained below with reference to the drawings. Fig. 1 is a longitudinal sectional view thereof, and Fig. 2 is an enlarged view of one end of the spool valve. 3 is an enlarged partial longitudinal sectional view showing the vicinity of the other end of the spool valve, in which the magnetic field generation mechanism 1
is composed of a magnet 2, a yoke 3, and a pole piece 4, and an annular gap 5 is formed between the yoke 3 and the pole piece 4.

したがつて、この隙間5には磁場空間が形成さ
れ、この隙間5に直流磁界が発生するようになつ
ている。
Therefore, a magnetic field space is formed in this gap 5, and a DC magnetic field is generated in this gap 5.

また、スプール弁駆動用フオースコイル6が、
隙間5に挿入されており、このフオースコイル6
はアーム部材7aを介して短円柱状のフオースコ
イルボス部7に支持されている。
In addition, the force coil 6 for driving the spool valve is
It is inserted into the gap 5, and this force coil 6
is supported by a short cylindrical force coil boss portion 7 via an arm member 7a.

さらに、このフオースコイルボス部7には、本
体を構成するバルブケーシング8内に挿入された
スプール弁9が取付けられており、したがつてフ
オースコイル6が、図示しない電源より交流電流
を供給されることによつて、隙間5内の磁界との
相互作用で電磁力を発生して自ら往復動すると、
フオースコイルボス部7を介してスプール弁9が
往復駆動されるようになつている。
Further, a spool valve 9 inserted into a valve casing 8 constituting the main body is attached to the force coil boss portion 7, and therefore the force coil 6 is supplied with alternating current from a power source (not shown). In particular, when it generates electromagnetic force by interaction with the magnetic field in the gap 5 and reciprocates by itself,
The spool valve 9 is configured to be driven back and forth via the force coil boss portion 7.

このようにして、磁場発生機構1およびフオー
スコイルボス部7に支持されたフオースコイル6
からなる電磁式フオースモータFMで、スプール
弁9が往復駆動されると、このスプール弁9によ
つて作動油の切換が行なわれ、第1図に実線矢印
および点線矢印でそれぞれ示すように作動油の供
給、排出が交互に行なわれる。
In this way, the force coil 6 supported by the magnetic field generation mechanism 1 and the force coil boss portion 7
When the spool valve 9 is reciprocated by the electromagnetic force motor FM consisting of Supply and discharge are performed alternately.

なお、ポートC1,C2は、図示しないアクチユ
エータの相互にピストンで仕切られた第1および
第2の油室(図示せず)に連通しているので、こ
れにより作動油はアクチユエータの各油室に交互
に出入して、アクチユエータを作動させるのであ
る。
Note that the ports C 1 and C 2 communicate with the first and second oil chambers (not shown) of the actuator (not shown), which are separated from each other by a piston, so that the hydraulic oil can flow through each oil chamber of the actuator. It alternately enters and exits the chamber to operate the actuator.

また、図示されていないが、オイルポンプのご
とき作動油供給源に連通する供給ポートと、オイ
ルリザーバのごとき作動油戻し部に連通する戻し
ポートとがバルブケーシング8に形成されてい
る。
Further, although not shown, a supply port communicating with a hydraulic oil supply source such as an oil pump and a return port communicating with a hydraulic oil return portion such as an oil reservoir are formed in the valve casing 8.

ところで、第1,2図に示すごとく、フオース
コイル6の挿入された隙間5や、磁石2やアーム
部材7aを包含してシリコン油のごときフオース
コイル6等の冷却用非腐食性液体Lを封入する密
閉型の第1の収容スペースS1とこの第1の収容ス
ペースS1に隣接して水−グリコール系のごとき難
燃性ではあるが非腐食性ではない作動油を収容す
るスプール弁9側の第2の収容スペースS2とをこ
れらの収容スペースS1,S2をつなぐ狭隘な環状隙
間部23において液密に仕切る可撓性膜部材とし
ての弾性可撓膜部材10が設けられている。
By the way, as shown in FIGS. 1 and 2, the gap 5 into which the force coil 6 is inserted, the magnet 2 and the arm member 7a are enclosed, and a non-corrosive liquid L for cooling such as the force coil 6 such as silicone oil is enclosed. A first receiving space S 1 of the mold and a second receiving space adjacent to this first receiving space S 1 on the side of the spool valve 9 containing a flame-retardant but not non-corrosive hydraulic oil such as a water-glycol system. An elastic flexible membrane member 10 is provided as a flexible membrane member that liquid-tightly partitions the two housing spaces S 2 into a narrow annular gap 23 connecting these housing spaces S 1 and S 2 .

この弾性可撓膜部材10は、第2図に示すごと
く、その一端縁部が大径周端縁部10aとして形
成されており、その他端縁部が小径周端縁部10
bとして形成されていて、その中間部が第1の収
容スペースS1と第2の収容スペースS2とをつなぐ
狭隘な環状隙間部23において内方へ折り返され
た折り返し部10cとして形成されている。
As shown in FIG. 2, this elastic flexible membrane member 10 has one end formed as a large-diameter peripheral edge 10a, and the other end formed as a small-diameter peripheral edge 10a.
b, and the middle part thereof is formed as a folded part 10c which is folded back inward at a narrow annular gap 23 connecting the first accommodation space S1 and the second accommodation space S2. .

また、環状凹溝11aを形成された第1の取付
板11と、この第1の取付板11と整合する第2
の取付板12とが、バルブケーシング8に対し、
ねじ8aで着脱自在に取付けられており、各取付
板11,12の中心孔11b,12aには、スプ
ール弁9の端部に嵌合するフオースコイルボス部
7が遊嵌されている。
Further, a first mounting plate 11 formed with an annular groove 11a and a second mounting plate 11 aligned with the first mounting plate 11 are provided.
The mounting plate 12 is attached to the valve casing 8,
It is detachably attached with screws 8a, and a force coil boss 7 that fits into the end of the spool valve 9 is loosely fitted into the center holes 11b and 12a of each of the mounting plates 11 and 12.

弾性可撓膜部材10の大径周端縁部10aは、
取付板11の凹溝11aに嵌合して、取付板1
1,12で挟持されるようにして、同取付板1
1,12に液密に且つ着脱自在に取付けられてお
り、また、弾性可撓膜部材10の小径周端縁部1
0bは、フオースコイルボス部7のスプール弁側
端面とこの端面に嵌合する押え部材13とで挟持
されるようにして、このフオースコイルボス部7
に液密に且つ着脱自在に取付けられている。
The large diameter peripheral edge 10a of the elastic flexible membrane member 10 is
Fitting into the groove 11a of the mounting plate 11, the mounting plate 1
1 and 12, and attach the same mounting plate 1.
1 and 12 in a fluid-tight and detachable manner, and the small diameter peripheral edge 1 of the elastic flexible membrane member 10
0b is sandwiched between the spool valve side end surface of the force coil boss section 7 and the presser member 13 that fits into this end surface.
It is fluid-tightly and removably attached to the

なお、弾性可撓膜部材10の中間折り返し部1
0cは、前述のごとく、第1の取付板11の中心
孔11bとフオースコイルボス部7との間の環状
隙間部23に位置しているので、弾性可撓膜部材
10の受圧面積を小さくすることができる。
Note that the intermediate folded portion 1 of the elastic flexible membrane member 10
As described above, 0c is located in the annular gap 23 between the center hole 11b of the first mounting plate 11 and the force coil boss 7, so that the pressure receiving area of the elastic flexible membrane member 10 is reduced. can do.

このようにして弾性可撓膜部材10が、取付板
11,12とフオースコイルボス部7との間に、
小さい受圧面積で液密に且つ着脱自在に介装され
るので、その取付および取外しが容易となつて、
しかもその取付後は、第2の収容スペースS2等に
大気連通路等を設けることなく、第1および第2
の収容スペースS1,S2を相互に液密に仕切ること
ができる。
In this way, the elastic flexible membrane member 10 is placed between the mounting plates 11 and 12 and the force coil boss portion 7.
Since it is installed in a liquid-tight and removable manner with a small pressure-receiving area, it is easy to install and remove.
Moreover, after installation, the first and second storage spaces can be installed without providing an atmospheric communication path etc.
The accommodation spaces S 1 and S 2 can be partitioned off from each other in a liquid-tight manner.

この密閉型の第1の収容スペースS1には、前述
のごとく、シリコン油等の非腐食性液体Lが、封
入されているが、この収容スペースS1の磁石2を
包含するスペース部分の上方には、この液体Lの
温度変化による膨張収縮量を吸収するための気体
(空気)が封入されている。すなわち液体Lの液
面に接して気体室Gが形成されている。
As mentioned above, a non-corrosive liquid L such as silicone oil is sealed in this sealed first accommodation space S 1 , and the upper part of the space containing the magnet 2 of this accommodation space S 1 is is filled with gas (air) for absorbing the amount of expansion and contraction of the liquid L due to temperature changes. That is, a gas chamber G is formed in contact with the liquid surface of the liquid L.

なお、この収容スペースS1内の液体Lの封入量
は、装置がどのような姿勢をとつたときでも、必
ずフオースコイル6が液体Lに浸漬される程度の
量である。
The amount of liquid L sealed in this accommodation space S1 is such that the force coil 6 is always immersed in the liquid L no matter what attitude the device takes.

ところで、スプール弁9の一端は、押え部材1
3およびフオースコイルボス部7を介して、ポー
ルピース4付きのばね受14で支持された第1の
コイルばね15により、第1図中、右方へ付勢さ
れており、更にスプール弁9の他端は、その中心
軸線と整合するように点線触するばね受16を介
して、バルブケーシング8に支持された第2のコ
イルばね17により、第1図中、左方へ付勢され
ていて、これによりスプール弁9は、その静止時
に、その中立位置を保持できるようになつてい
る。
By the way, one end of the spool valve 9 is attached to the presser member 1.
3 and the force coil boss portion 7, the first coil spring 15 supported by the spring receiver 14 with the pole piece 4 biases the spool valve 9 to the right in FIG. The other end is biased to the left in FIG. 1 by a second coil spring 17 supported by the valve casing 8 via a spring bearing 16 shown by a dotted line so as to be aligned with the center axis of the second end. This allows the spool valve 9 to maintain its neutral position when it is at rest.

なお、第2のコイルばね17のバルブケーシン
グ8への支持の仕方は次の通りである。即ち第
1,3図に示すごとく、バルブケーシング8に固
定されるアダプタ18にばね力調整用雄ねじ19
を螺合させ、この雄ねじ19の端面に、その中心
軸線と整合するように点接触するばね受20を介
して第2のコイルばね17を支持することが行な
われ、これにより第2のコイルばね17は、ばね
受20,雄ねじ19およびアダプタ18を介して
バルブケーシング8に支持されることになる。
The manner in which the second coil spring 17 is supported on the valve casing 8 is as follows. That is, as shown in FIGS. 1 and 3, an adapter 18 fixed to the valve casing 8 has a male screw 19 for adjusting the spring force.
is screwed together, and the second coil spring 17 is supported via a spring receiver 20 that makes point contact with the end face of this male screw 19 so as to be aligned with the central axis of the male screw 19, thereby supporting the second coil spring 17. 17 is supported by the valve casing 8 via the spring receiver 20, the male thread 19, and the adapter 18.

このとき、ばね受16がスプール弁9の他端面
に点接触しており、又ばね受20を雄ねじ19の
端面に点接触しているので、組付時における雄ね
じ19の回転力によつて、第2のコイルばね17
にねじり力が発生したり、軸方向にずれた力が発
生したりすることを十分に防止でき、スプール弁
9が円滑に作動できるようになつている。
At this time, since the spring receiver 16 is in point contact with the other end surface of the spool valve 9, and the spring receiver 20 is in point contact with the end surface of the male thread 19, the rotational force of the male thread 19 during assembly will cause Second coil spring 17
It is possible to sufficiently prevent the generation of twisting force or the generation of axially deviated force, and the spool valve 9 can operate smoothly.

また、スプール弁9の他端面に点接触するばね
受16は、点接触端を形成された軸16aと、第
2のコイルばね17の受面を形成されるとともに
第2のコイルばね17を囲繞する筒状部材16b
と、筒状部材16bの端面に嵌合する押え部材1
6cとで構成されており、この筒状部材16bと
押え部材16cとの間には、前述の弾性可撓膜部
材10とほぼ同じ形状の弾性可撓膜部材21の小
径周端縁部21aが挟持されている。
Further, the spring receiver 16 that makes point contact with the other end surface of the spool valve 9 has a shaft 16a formed with a point contact end, and a receiving surface of the second coil spring 17, and surrounds the second coil spring 17. cylindrical member 16b
and a presser member 1 that fits into the end surface of the cylindrical member 16b.
6c, and between the cylindrical member 16b and the presser member 16c, there is a small diameter peripheral edge 21a of an elastic flexible membrane member 21 having approximately the same shape as the aforementioned elastic flexible membrane member 10. It is being pinched.

さらに、弾性可撓膜部材21の大径周端縁部2
1bは、アダプタ18に形成された環状凹溝18
aに嵌合され、このアダプタ18と取付板22と
で挟持されており、これにより第2のコイルばね
17等を包囲する第3の収容スペースS3と、この
第3の収容スペースS3に隣接するスプール弁側の
作動液がみたされた第4の収容スペースS4とが弾
性可撓膜部材21で液密にしかも着脱自在に仕切
されていることになる。
Further, the large diameter peripheral edge 2 of the elastic flexible membrane member 21
1b is an annular groove 18 formed in the adapter 18;
a, and is held between the adapter 18 and the mounting plate 22, thereby forming a third housing space S3 surrounding the second coil spring 17, etc., and a third housing space S3. The fourth accommodation space S4 filled with the working fluid on the adjacent spool valve side is partitioned off by the elastic flexible membrane member 21 in a fluid-tight and removable manner.

この場合も、弾性可撓膜部材21の取付および
取外しが容易となつて、しかもその取付後は第3
および第4の収容スペースS3,S4を相互に液密に
仕切ることができる。
In this case as well, the attachment and detachment of the elastic flexible membrane member 21 becomes easy, and after attachment, the third
And the fourth accommodation spaces S 3 and S 4 can be partitioned off from each other in a liquid-tight manner.

上述の構成により、本装置を作動させるには、
まずフオースコイル6へ図示しない電源から交流
電流を供給すればよい。これによりスプール弁9
が往復駆動されるので、このスプール弁9によつ
て作動油の切換が行なわれ、第1図に実線矢印お
よび点線矢印でそれぞれ示すように作動油の供
給、排出が交互に行なわれ、その結果ポート
C1,C2につながれたアクチユエータを作動させ
ることができる。
With the above configuration, to operate this device,
First, alternating current may be supplied to the force coil 6 from a power source (not shown). This allows the spool valve 9
is reciprocated, so the hydraulic oil is switched by this spool valve 9, and the hydraulic oil is alternately supplied and discharged as shown by the solid line arrow and the dotted line arrow in Fig. 1, respectively. port
Actuators connected to C 1 and C 2 can be operated.

そして、このときフオースモータFM側の密閉
収容スペースS1とスプール弁9側の収容スペース
S2とが、これらの収容スペースS1,S2をつなぐ狭
隘な隙間部23で、弾性可撓膜部材10によつて
液密に仕切られているので、まず弾性可撓膜部材
10の受圧面積を小さくすることができる。これ
により収容スペースS2等を大気に連通させる必要
がなくなり、構造の簡素化がはかれる。
At this time, the closed storage space S 1 on the force motor FM side and the storage space on the spool valve 9 side
S 2 is a narrow gap 23 that connects these storage spaces S 1 and S 2 and is fluid-tightly partitioned by the elastic flexible membrane member 10. The area can be reduced. This eliminates the need to communicate the accommodation space S2 and the like with the atmosphere, simplifying the structure.

また、この弾性可撓膜部材10によつて、作動
液がフオースモータFM側へ漏出することがな
く、しかも密閉収容スペースS1内の冷却用非腐食
性液体Lによつて、フオースモータFMを十分冷
却することができる。そして、この冷却時にこの
非腐食性液体Lの温度が上昇して、この非腐食性
液体Lの密閉収容スペースS1内での占有容量が増
えても、同じく密閉収容スペースS1の気体室Gの
部分によつて、その変化分が吸収される。したが
つて、収容スペースS1を密閉タイプにしても、非
腐食性液体Lの温度変化による膨張収縮量を吸収
することができるのである。
In addition, this elastic flexible membrane member 10 prevents the working fluid from leaking to the force motor FM side, and the non-corrosive cooling liquid L in the sealed housing space S1 can sufficiently cool the force motor FM. can do. Even if the temperature of this non-corrosive liquid L rises during this cooling and the capacity occupied by this non-corrosive liquid L in the hermetically sealed accommodation space S1 increases, the gas chamber G of the hermetically sealed accommodation space S1 also increases. The change is absorbed by the part of Therefore, even if the accommodation space S1 is of a sealed type, the amount of expansion and contraction of the non-corrosive liquid L due to temperature changes can be absorbed.

さらに、収容スペースS1が密閉タイプであるの
で、装置をどのような姿勢で取付けても、液漏れ
を招くことがなく、これにより装置取付の自由度
を大きくすることができるほか、外部から塵芥が
侵入することもなく、液体Lの蒸発に伴う液補充
の必要性もなくなるのである。
Furthermore, since the storage space S 1 is a sealed type, no matter what position the device is installed in, there will be no leakage, which increases the degree of freedom in installing the device. This eliminates the need for liquid replenishment as the liquid L evaporates.

また、収容スペースS3,S4も弾性可撓膜部材2
1によつて液密に仕切られているので、作動油の
漏出を防止でき、これにより第2のコイルばね1
7等の腐食を十分に防止できる。
In addition, the accommodation spaces S 3 and S 4 are also occupied by the elastic flexible membrane member 2.
Since the second coil spring 1 is liquid-tightly partitioned, leakage of hydraulic oil can be prevented.
7 grade corrosion can be sufficiently prevented.

さらに、ばね受16がスプール弁9の他端面に
点接触しており、ばね受20が雄ねじ19の端面
に点接触しているので、組付時における雄ねじ1
9の回転力によつて、第2のコイルばね17にね
じり力が発生したり、軸方向にずれた力が発生し
たりすることを十分に防止でき、これにより弾性
可撓膜部材10,21のねじを防止し、更にスプ
ール弁9の円滑な作動を確保できるのである。
Furthermore, since the spring receiver 16 is in point contact with the other end surface of the spool valve 9, and the spring receiver 20 is in point contact with the end surface of the male thread 19, the male thread 1
It is possible to sufficiently prevent the second coil spring 17 from being subjected to torsion force or from being deviated in the axial direction due to the rotational force of the elastic membrane members 10 and 21. This prevents screws from forming and also ensures smooth operation of the spool valve 9.

なお、弾性可撓膜部材10,21は、その大径
周端縁部10a,21bが取付板11やアダプタ
18に形成された環状凹溝11a,18aに嵌合
され取付板11,12や取付板22とアダプタ1
8で挟持されるようにして取付けられるととも
に、その小径周端縁部10b,21aがフオース
コイルボス部7と押え部材13や筒状部材16b
と押え部材16cとで挟持されるようにして取付
けられているので、これにより弾性可撓膜部材1
0,21の取付、取外しが容易となつて、しかも
前述のごとく収容スペースS1,S2;S3,S4とを十
分液密に仕切ることができるのである。
The large-diameter peripheral edge portions 10a, 21b of the elastic flexible membrane members 10, 21 are fitted into annular grooves 11a, 18a formed in the mounting plates 11, 12 and the adapter 18, so that the elastic flexible membrane members 10, 21 are not easily attached to the mounting plates 11, 12 or the mounting plate 12. Plate 22 and adapter 1
The small diameter peripheral edge portions 10b and 21a are attached to the force coil boss portion 7, the presser member 13, and the cylindrical member 16b.
Since the elastic flexible membrane member 1 is mounted so as to be held between the
0, 21 can be easily attached and removed, and as mentioned above, the housing spaces S 1 , S 2 ; S 3 , S 4 can be partitioned off in a sufficiently liquid-tight manner.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

以上詳述したように、本考案の液圧サーボバル
ブ装置によれば、フオースモータFM側の収容ス
ペースS1とスプール弁9側の収容スペースS2
が、これらの収容スペースS1,S2をつなぐ狭隘な
隙間部23で、可撓性膜部材10によつて液密に
仕切られているので、可撓性膜部材10の受圧面
積を小さくすることができ、これにより収容スペ
ースS2等を大気に連通させる等の必要がなくな
り、構造の簡素化がはかれる。
As described in detail above, according to the hydraulic servo valve device of the present invention, the accommodation space S 1 on the force motor FM side and the accommodation space S 2 on the spool valve 9 side are connected to the accommodation spaces S 1 and S 2. Since the connecting narrow gap 23 is liquid-tightly partitioned by the flexible membrane member 10, the pressure-receiving area of the flexible membrane member 10 can be reduced, thereby reducing the storage space S2 , etc. There is no need for communication with the atmosphere, and the structure can be simplified.

また、本考案の液圧サーボバルブ装置では、電
磁式フオースモータFM側の収容スペースS1が密
閉式の収容スペースとして構成され、しかもこの
密閉収容スペースS1内に、上記フオースモータ
FMの冷却用非腐食性液体Lが封入されるととも
に、同液体Lの温度変化による膨張収縮量を吸収
するための気体が封入されるという簡素な構成
で、装置の取付自由度を大きくすることができ、
これにより装置をどのような姿勢で取付けても、
上記フオースモータFMを効率よく冷却できると
いう利点がある。さらに、この密閉収容スペース
S1内へ外部から塵芥が侵入することがなく、更に
液体Lが蒸発してその液面レベルが下がつて液補
充を頻繁に行なう必要もなくなる。
Furthermore, in the hydraulic servo valve device of the present invention, the accommodation space S1 on the side of the electromagnetic force motor FM is configured as a closed accommodation space, and in this sealed accommodation space S1 , the force motor FM is
A simple configuration in which a non-corrosive liquid L for cooling the FM is sealed and a gas is also sealed to absorb the amount of expansion and contraction of the liquid L due to temperature changes, increasing the degree of freedom in mounting the device. is possible,
This allows you to install the device in any position.
This has the advantage that the force motor FM can be efficiently cooled. In addition, this closed storage space
Dust does not enter into S 1 from the outside, and furthermore, the liquid L evaporates and its liquid level decreases, eliminating the need for frequent liquid replenishment.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は本考案の一実施例としての直動型電気液圧
式サーボバルブ装置を示すもので、第1図はその
縦断面図、第2図はそのスプール弁の一端部付近
を拡大して示す部分断面図、第3図はそのスプー
ル弁の他端部付近を拡大して示す部分縦断面図で
ある。 1……磁場発生機構、2……磁石、3……ヨー
ク、4……ポールピース、5……円環状隙間、6
……スプール弁駆動用フオースコイル、7……フ
オースコイルボス部、7a……アーム部材、8…
…バルブケーシング、8a……ねじ、9……スプ
ール弁、10……可撓性膜部材としての弾性可撓
可撓膜部材、10a……弾性可撓膜部材10の大
径周端縁部、10b……弾性可撓膜部材10の小
径周端縁部、10c……弾性可撓膜部材10の中
間折り返し部、11……第1の取付板、11a…
…環状凹溝、11b……中心孔、12……第2の
取付板、12a……中心孔、13……押え部材、
14……ばね受、15……第1のコイルばね、1
6……ばね受、16a……軸、16b……筒状部
材、16c……押え部材、17……第2のコイル
ばね、18……アダプタ、18a……環状凹溝、
19……ばね力調整用雄ねじ、20……ばね受、
21……弾性可撓膜部材、21a……弾性可撓膜
部材21の小径周端縁部、21b……弾性可撓膜
部材21の大径周端縁部、22……取付板、23
……隙間部、FM……電磁式フオースモータ、
C1,C2……ポート、L……非腐食性液体、S1
…液密収容スペースとしての第1の収容スペー
ス、S2……第2の収容スペース、S3……第3の収
容スペース、S4……第4の収容スペース、G……
気体室。
The figures show a direct-acting electro-hydraulic servo valve device as an embodiment of the present invention. Fig. 1 is a longitudinal sectional view thereof, and Fig. 2 is an enlarged view of one end of the spool valve. 3 is a partial longitudinal sectional view showing an enlarged view of the vicinity of the other end of the spool valve. 1... Magnetic field generation mechanism, 2... Magnet, 3... Yoke, 4... Pole piece, 5... Annular gap, 6
...Force coil for driving spool valve, 7...Force coil boss part, 7a...Arm member, 8...
...Valve casing, 8a...Screw, 9...Spool valve, 10...Elastic flexible membrane member as a flexible membrane member, 10a...Large diameter peripheral edge of elastic flexible membrane member 10, 10b...Small diameter peripheral edge of the elastic flexible membrane member 10, 10c...Intermediate folded portion of the elastic flexible membrane member 10, 11...First mounting plate, 11a...
... Annular groove, 11b ... Center hole, 12 ... Second mounting plate, 12a ... Center hole, 13 ... Pressing member,
14... Spring holder, 15... First coil spring, 1
6... Spring bearing, 16a... Shaft, 16b... Cylindrical member, 16c... Pressing member, 17... Second coil spring, 18... Adapter, 18a... Annular groove,
19...Male screw for adjusting spring force, 20...Spring holder,
21...Elastic flexible membrane member, 21a...Small diameter circumferential edge of the elastic flexible membrane member 21, 21b...Large diameter circumferential edge of the elastic flexible membrane member 21, 22...Mounting plate, 23
...Gap, FM...Electromagnetic force motor,
C 1 , C 2 ... Port, L ... Non-corrosive liquid, S 1 ...
...first storage space as a liquid-tight storage space, S 2 ... second storage space, S 3 ... third storage space, S 4 ... fourth storage space, G...
gas chamber.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 作動油の切換を行なうべく、スプール弁を直接
往復駆動しうる電磁式フオースモータをこなえ、
同フオースモータ側の密閉収容スペースと同スペ
ースに隣接する該スプール弁側の収容スペースと
がこれらの収容スペースをつなぐ狭隘な隙間部で
可撓性膜部材を用いて液密に仕切られて、上記の
フオースモータ側の密閉収容スペース内に、該フ
オースモータの冷却用非腐食性液体が封入される
とともに、同液体の温度変化による膨張収縮量を
吸収するための気体が封入されたことを特徴とす
る、液圧サーボバルブ装置。
In order to change the hydraulic oil, we use an electromagnetic force motor that can directly drive the spool valve back and forth.
The sealed storage space on the force motor side and the storage space on the spool valve side adjacent to the same space are liquid-tightly partitioned using a flexible membrane member in a narrow gap connecting these storage spaces. A non-corrosive liquid for cooling the force motor is sealed in a sealed storage space on the force motor side, and a gas is also filled in the liquid to absorb the amount of expansion and contraction of the liquid due to temperature changes. Pressure servo valve device.
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DE10331216B3 (en) * 2003-07-10 2004-09-09 Hydac System Gmbh Liquid cooling device for cooling liquid has second fluid pump pumping second form of fluid through second circuit

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