JPS6114521A - Device and method of measuring flow rate of gas - Google Patents

Device and method of measuring flow rate of gas

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JPS6114521A
JPS6114521A JP13499484A JP13499484A JPS6114521A JP S6114521 A JPS6114521 A JP S6114521A JP 13499484 A JP13499484 A JP 13499484A JP 13499484 A JP13499484 A JP 13499484A JP S6114521 A JPS6114521 A JP S6114521A
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gas
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nozzle
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の分野) 本発明はタービン翼車の吐出量を測定するトランスデユ
ーサに関し、より具体的には低価格でガス流量を測定す
る流量計に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a transducer for measuring the discharge rate of a turbine wheel, and more particularly to a flow meter for measuring gas flow rate at low cost.

(先行技術の説明) 従来のチューブ型ガス流量計はガラス管を垂直方向に取
り付け、鎖管に球面状のボールフロートを収容し、ガラ
ス管を流れるガスの流量に比例して管内の前記フロート
を上下させるものである。
(Description of Prior Art) A conventional tube-type gas flow meter has a glass tube installed vertically, a chain tube containing a spherical ball float, and the float in the tube is adjusted in proportion to the flow rate of gas flowing through the glass tube. It moves up and down.

この種のチューブ型流量計は、種々のガス分析計、ガス
測定装置、ガスクロマトグラフ装置等に古くから用いら
れている。ガラス管式の流量計に代わるものとして経済
的に適正な価格の流量センサーを用い、流量に比例した
電気的信号を発生させることが有利であることは考え゛
られるが、本発明者の知る限りに於てそのような装置は
現在のところ採用されておらず、これは電子流量センサ
ーの市場価格が高すぎるためによるものと思われる。
This type of tube-type flow meter has been used for a long time in various gas analyzers, gas measuring devices, gas chromatograph devices, and the like. It is conceivable that it would be advantageous to use an economically appropriate flow rate sensor as an alternative to the glass tube type flow meter and generate an electrical signal proportional to the flow rate, but to the best of the present inventor's knowledge, Such devices have not been adopted at present, probably because the market price of electronic flow sensors is too high.

ガス流量の測定用装置の大部分は、測定用として極く微
量のガス流量を必要とする。必要とするガス量は大抵は
100〜1.000ミリリツトルの範囲内であり、殆ん
ど全てが20〜10,000ミリリットル/分の流量の
範囲内にある。従って、ガス流量計として次の様な特性
を備えていることが望ましい。即ち、安価に製造できる
こと。デザインがシンプルで信頼性のあること。20〜
10,000−74分の範囲内の流量を測定できること
。トランスデー−サを通る際の圧力降下が非常に少ない
こと。
Most devices for measuring gas flow require a very small amount of gas flow for measurement. The amount of gas required is often in the range of 100 to 1.000 milliliters, and almost all in the range of flow rates of 20 to 10,000 milliliters per minute. Therefore, it is desirable that the gas flow meter has the following characteristics. In other words, it can be manufactured at low cost. The design must be simple and reliable. 20~
Ability to measure flow rates within the range of 10,000-74 minutes. Very low pressure drop across the transducer.

電気的出力は流量と直線的な比例関係にあること。Electrical output must be linearly proportional to flow rate.

サイズが小さいこと。be small in size.

現在、測定器産業で普及し限定された意味で用いられて
いる市販のガス流量トランスデユーサとして、熱センサ
ー及び軸流タービンセンサーの2種類が代表的である。
Currently, there are two representative types of commercially available gas flow transducers that are widespread and used in a limited sense in the metering industry: thermal sensors and axial turbine sensors.

数量が少ないとこれらセンサーのコストは高くなるため
、ガス計測器の製造者は大部分の用途に従来のチューブ
型流量計を継続して使用することになる。
Due to the high cost of these sensors in low quantities, gas meter manufacturers continue to use traditional tube flow meters for most applications.

熱センサーを用いる方法はかなり古く、ジャーナルオブ
ザフランクリン インスティチュートのシー、シー、ト
ーマス氏による1911年の米国特許第172.411
号に初めて記載゛されている。その後、サーミスタの組
合せによって熱的に流量を検出する方法の改良が、アー
ル、ニス、グツドイヤー氏によって1956年10月発
行の「エレクトリカルマニュファクチュアリング」の第
90頁に記載されている。このようにサーミスタを組み
合せて対構造にしたものは、現在でも熱検出式流量トラ
ンスデユーサの製造業者が用いているところである。
The method of using thermal sensors is quite old and was published in 1911 by U.S. Patent No. 172.411 by C. C. C. Thomas of the Journal of the Franklin Institute.
It is first mentioned in the issue. Subsequently, an improvement to the method of thermally detecting flow rate using a combination of thermistors was described by Earle, Niss, and Gutdeyer in "Electrical Manufacturing", October 1956, page 90. This pair of thermistors is still used by manufacturers of thermally sensitive flow transducers.

然し乍ら、正しい結果を得るためにはサーミスタを手で
組み合せねばならず費用が高くつく。
However, the thermistors must be assembled by hand to obtain the correct result, which is expensive.

軸流タービン型の流量トランスデユーサ(ツートン著、
1969年初版発行、ハンドブックオブトランスデュー
サーズフォアエレクトロニックメジャリングシステムズ
)は元来、気圏の流量測定用として開発されたものであ
るが、その後、その他多くの分野に於て普及している。
Axial flow turbine type flow transducer (written by Twoton,
The Handbook of Transducers for Electronic Measuring Systems (first published in 1969) was originally developed for measuring atmospheric flow, but has since become popular in many other fields.

代表的なタービンロータは管の内部にプロペラ羽根を吊
るし、ガスの流れが管を通過するとき流量に比例してタ
ービンロータが回転するものである。測定するガス流量
が1000rn1/分以下であるときはいつもベアリン
グ摩擦の面で重要な問題が生じる。
A typical turbine rotor has propeller blades suspended inside a tube, and when a gas flow passes through the tube, the turbine rotor rotates in proportion to the flow rate. Significant problems arise in terms of bearing friction whenever the measured gas flow rate is below 1000 rn1/min.

それ故、この種のタービン型ガス流量計の感度が良(な
るにつれて、ロータブレードは手作業で時間をかけてバ
ランスをとらねばならず、摩擦の問題を解消するための
製造費用もそれに伴って増加する。
Therefore, the sensitivity of this type of turbine-type gas flow meter is high (as the rotor blades must be time-consuming to balance by hand, and the manufacturing costs associated with eliminating friction problems also increase). To increase.

その他、従来の流量計は衝撃面の面積が大きいペルトン
水車タービンのかき車の形状をしている。
In addition, conventional flowmeters are shaped like a Pelton turbine wheel with a large impact surface area.

このような衝撃面積の大きなタービン翼車については米
国特許第403 Q 357号、第3866469号、
第3021170号、第4011757号、第3867
840号、第400331号、第4172381号、第
37921310号、第3949606号、第4023
410号及び第3701277号lこ開示されている。
Regarding turbine wheels with such a large impact area, U.S. Pat.
No. 3021170, No. 4011757, No. 3867
No. 840, No. 400331, No. 4172381, No. 37921310, No. 3949606, No. 4023
No. 410 and No. 3,701,277.

この先行技術によれば、液体の流量を測定対象とするタ
ービン翼車或は水かき車の構造について多くの注意が払
われていることが判る。これら水かき車の代表的な構造
は感度の点から、測定する液体の密度に略等しいプラス
チックを用いて形成゛している。これ°は板金タービン
翼車が可成り重くても流量計は測定中の液体に浮くから
、タービン翼車の重みはベアリングから取り除かれ摩擦
問題を殆んど減少させることができるという利点がある
。全ての液体は通常状態のガスに比較して可成り粘度が
高い為、ペルトン水車タービンは非常にたくさんの水か
き部を設けねばならず、或は又測定する液体の粘度が高
いために流量が多くなるとタービン翼車の抵抗は許容で
きない程度にまで増大し、センサーは非直線的な電気的
出力を生じさせることになる。
According to this prior art, it can be seen that much attention has been paid to the structure of the turbine wheel or paddle wheel whose liquid flow rate is to be measured. From the viewpoint of sensitivity, the typical construction of these water wheels is made of plastic whose density is approximately equal to the density of the liquid to be measured. This has the advantage that even though the sheet metal turbine wheel is quite heavy, the flowmeter floats on the liquid being measured, so the weight of the turbine wheel is removed from the bearings and friction problems can be largely reduced. Since all liquids have a fairly high viscosity compared to normal gases, Pelton water turbines either have to have a large number of webs, or have a high flow rate due to the high viscosity of the liquid being measured. The resistance of the turbine wheel then increases to an unacceptable degree and the sensor produces a non-linear electrical output.

従来のタービン翼車は測定する液体中で浮く傾向lこあ
ったため、タービン翼車の重みの少なくとも幾らかはベ
アリングから取り除かれ、前述した如く、摩擦問題を減
少させる傾向にあった。然し乍ら、特に低速度のガスの
場合、水かき車の摩擦抵抗番こよってガス流量の測定に
は不適当なものと帰してしまっていた。更番こ又、ガス
の比重は非常に小さいためガス流量計の場合、液体流量
計の場合に於けるような浮力効果は得ることができない
Because conventional turbine wheels tended to float in the liquid being measured, at least some of the weight of the turbine wheel was taken off the bearings, which tended to reduce friction problems, as discussed above. However, especially in the case of low-velocity gas, the frictional resistance of the water wheel makes it unsuitable for measuring gas flow rates. Furthermore, since the specific gravity of gas is very small, a gas flowmeter cannot provide the same buoyancy effect as a liquid flowmeter.

米国特許第3788285号及び第3217539号は
、流量センサーに於て水かき車ではなくプロペラ型のロ
ータを開示している。ロータの回転に基づいて流量を検
出するために光電回路が用いられ、反射光の遮断によっ
て検知するのである。然し乍ら形状的な理由から、使用
に供されるこれらロータの光反射面の面積は限られてお
り、更には流速が非常に小さいガスの測定用としては不
適なものであった。
US Pat. Nos. 3,788,285 and 3,217,539 disclose propeller-type rotors in flow sensors rather than paddle wheels. A photoelectric circuit is used to detect the flow rate based on the rotation of the rotor, which is detected by blocking the reflected light. However, due to their shape, the area of the light-reflecting surface of these rotors is limited, and furthermore, they are unsuitable for measuring gases with very low flow rates.

(発明の要約) 本発明は流速の小さなガスを測定す”る装置を包含する
ものである。非常に肉薄で小径の円板をハウジング内の
チャンバーに回転=T能(こ取り付け、その中に測定す
るべきガスを通すのである。ディスクの周囲には小さな
複数個のタービンブレード(reaction tur
bine blades )、即ち歯が形成され、略一
定の衝撃でチャンバーに入ってくるガスを受ける。ハウ
ジングに配備されたノズル入口手段によってチャンバー
に入るガスはディスクの歯に当たり、ディスクは回転さ
せられるのである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention encompasses an apparatus for measuring gases with low flow velocities. The gas to be measured is passed through.Small turbine blades are placed around the disk.
bine blades) or teeth are formed to receive the gas entering the chamber with a substantially constant impact. Gas entering the chamber by nozzle inlet means provided in the housing impinges on the teeth of the disc, causing the disc to rotate.

光電回路によって光がディスクの側部に当たり、ディス
クのタービンブレードに加えられるガスの衝撃に応答し
たディスクの相対的な動きを測定するのである。ディス
クの側部には光電回路から発せられた光を反射する反射
面が形成されているから、反射光は光電子的に検出され
てガス流量を電気的に測定することができる。
A photoelectric circuit shines light onto the sides of the disk and measures the relative movement of the disk in response to gas impulses applied to the disk's turbine blades. Since a reflective surface is formed on the side of the disk to reflect the light emitted from the photoelectric circuit, the reflected light can be detected photoelectronically and the gas flow rate can be measured electrically.

本発明は空気に対する流量が例えば20−7分、或はそ
れより以下のガス流量でも回転することができるタービ
ン翼車を明らかにするものである。
The present invention discloses a turbine wheel that can rotate with a gas flow rate of, for example, 20-7 minutes or less relative to air.

本発明に於て、ガスによってタービン翼単に加えられる
衝撃トルクは、測定するガスの流量レベルがこのように
低い場合、シャフトベアリング支持体に支えられている
タービン翼車の重みによって反対方向に生じる摩擦トル
クを超えねばならないことが判った。
In the present invention, the impact torque simply applied to the turbine blades by the gas is equal to the friction created in the opposite direction by the weight of the turbine wheel supported on the shaft bearing support when the measured gas flow level is this low. It turned out that we had to exceed the torque.

流量の少ないガスを流量センサーによって測定する際、
種々の要因の中で測定流量の最も少ないときにガスの流
れによってタービンブレードに加    “えられる最
大の衝撃力を決めることが重要であることを見出し、翼
車の大きな外側半径にタービンブレードを配置し、ガス
の流れによって発生する衝撃力の最大トルクをタービン
翼車に与え、それと同時にタービン翼車の重量を最小に
抑え、ベアリング摩擦による反対方向のトルクを最小に
するのである。更1こ、タービン翼車の精密なバランス
とりを必要最小限なものとするために翼車を垂直軸の周
りで水平に回転させるのが望ましいことが判った。
When measuring gas with a low flow rate using a flow sensor,
We found that it is important to determine the maximum impact force applied to the turbine blades by the gas flow when the measured flow rate is the lowest among various factors, and we placed the turbine blades at a large outer radius of the impeller. This provides the maximum torque of the impact force generated by the gas flow to the turbine wheel, while at the same time minimizing the weight of the turbine wheel and minimizing the opposite torque due to bearing friction.Furthermore, It has been found desirable to rotate the turbine wheel horizontally about a vertical axis to minimize precision balancing of the turbine wheel.

(望ましい実施例の記載) 序 図面に於て、本発明の装置は符号Aで表わしている。本
発明の装置Aは少ない流量、例えば20d/分オーダの
ガス流量の測定用として特に用いられるものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the introductory drawings, the device of the invention is designated by the reference numeral A. The apparatus A of the invention is particularly used for measuring small gas flow rates, for example on the order of 20 d/min.

装置Aは又、ガス流量が少なく、圧力降下が水柱10乃
至20インチ程度から1又は2インチ程度と小さいガス
の流量測定にも用いることができる。装置Aを用いてガ
ス流量をモニターすることのできる一例として、環境上
の目的から例えは汚染物質の測定或は排出物の制御に関
連したものが挙げられる。装置AはハウジングHを備え
ており該ハウジングのチャンバーCの中を測定用のガス
が通過している。ディスクDはチャンバーCに回転可能
に配備され、ディスクDの周囲には複数個のタービンブ
レードすなわち一歯汀が形成され、入口IのノズルNを
通じてガスがチャンバーC(こ入ってくる衝撃を受ける
。光電回路P1こよってディスクDの側部に光が当たる
から、ディスクDの反射面は光を反射してガス流量を表
わした電気信号を形成することができる。
Apparatus A can also be used to measure the flow rate of gases where the gas flow rate is low and the pressure drop is as small as 10-20 inches of water column to 1 or 2 inches. One example of how device A can be used to monitor gas flow rates is for environmental purposes, such as in connection with pollutant measurement or emission control. The apparatus A comprises a housing H, through which a measuring gas passes through a chamber C. A disk D is rotatably disposed in a chamber C, a plurality of turbine blades or teeth are formed around the disk D, and the gas enters the chamber C through a nozzle N at an inlet I and receives an impact. Since the photoelectric circuit P1 illuminates the side of the disk D, the reflective surface of the disk D can reflect the light and form an electrical signal representing the gas flow rate.

ディスク及びノズル 前述した如く、装置Aはガス流量が小さく更に流量トラ
ンスデユーサを通る圧力降下が小さいガス流量の測定に
用いるものである。ガス流量が少なく圧力降下が小さい
場合には、ディスクD及びディスクの歯Tの構造、ハウ
ジングHへのディスクDの取付け、ディスクDに対する
ノズルNの配置が重要であることを本発明者は見出した
。実験結果によって、ノズルから排出するガス噴出口の
形状はノズルを通るときのガス圧力の降下が臨界値より
上であるか下であるかによって異なることが明らかにな
った。
Disks and Nozzles As previously mentioned, apparatus A is used to measure gas flow rates where the gas flow rate is low and the pressure drop across the flow transducer is low. The inventor has found that when the gas flow rate is low and the pressure drop is small, the structure of the disk D and the teeth T of the disk, the attachment of the disk D to the housing H, and the arrangement of the nozzle N with respect to the disk D are important. . Experimental results revealed that the shape of the gas outlet exiting the nozzle differs depending on whether the drop in gas pressure across the nozzle is above or below a critical value.

本発明に係る流量トランスデユーサは必然的に圧力降下
が非常に小さい用途(例えば水柱10乃至20インチ)
に用いられるから、背圧が水柱で20インチより小さい
ときの噴出口の〜形状についてのみ記載する。この場合
、噴出口は通常、円筒状の平行な流れとなって流出し、
その表面は周囲のガスによって徐々に速度が減じられ、
混合ゾーンが形成されてそのゾーン内では噴出口の速度
は最終的に周囲ガスの速度まで低下する。然し乍ら本発
明の場合、そのようなことが起こらないよ、うにディス
クD及びノズルNを構成して配置している。小さくて丸
いノズルから出ていく噴出口出口の速度は、本発明の場
合、5〜20フイ一ト/秒の速度範囲内にあり、第1図
はノズルNがディスクDのタービンブレードのパケット
から離間する際に衝撃力はどのように衰えていくかを示
している。
Flow transducers according to the present invention are naturally suited for applications where the pressure drop is very low (e.g., 10 to 20 inches of water column).
Since it is used in the following, only the shape of the spout when the back pressure is less than 20 inches of water column will be described. In this case, the outlet usually flows out in a cylindrical parallel flow,
Its surface is gradually slowed down by the surrounding gas,
A mixing zone is formed within which the velocity of the jet eventually decreases to the velocity of the surrounding gas. However, in the case of the present invention, the disk D and the nozzle N are constructed and arranged in such a way that such a problem does not occur. The velocity of the jet outlet exiting from the small, round nozzle is in the speed range of 5 to 20 feet/second in the present case, and FIG. This shows how the impact force decreases as the two move apart.

第2図から明らかな如く、ガスのノズル噴出口からター
ビン翼車ブレードに加えられる衝撃力の利点が実質的に
失われない様にするために、本発明にあってはディスク
Dのタービン翼車ブレードTは0.10インチより小さ
い間隔にしなければならないことが判った。本発明にあ
っては、ブレードTはディスクDの周囲に10度乃至2
0度の角度を有するセグメントが互いに一定の間隔をあ
けて配備される。このように本発明の代表的なディスク
Dが直径は0.64インチ、タービンブレードTの数は
24個という比較的大きなディスクの場合、ディスクD
の望ましい間隔は0.084インチであり、このときノ
ズルNからの衝撃力に殆んど損失がなかった(約4cf
3)。然し乍ら前記の寸法は単なる例示に過ぎず、他の
寸法も同じ様に用いることかできることは理解されるべ
きである。第2図に示す如く、ディスクDの周囲に設け
た歯Tの間隔が離れすぎているとディスクDの軸ベアリ
ングの回転摩擦抵抗を小さくし回転状態を維持す   
ヰるためにはノズルNから出てくるガスのノズル速度を
必然的に大きくせねばならないことを本発明者は見出し
た。然し乍ら、ガスノズル速度の増加によってガス流量
は増大するから望ましいことではない。
As is clear from FIG. 2, in order to not substantially lose the advantage of the impact force applied to the turbine wheel blades from the gas nozzle outlet, the turbine wheel blades of the disk D are used in the present invention. It has been found that the blades T must be spaced less than 0.10 inches apart. In the present invention, the blade T extends around the disk D by 10 degrees to 2 degrees.
Segments with an angle of 0 degrees are spaced apart from each other. In this way, when the representative disk D of the present invention is a relatively large disk with a diameter of 0.64 inches and the number of turbine blades T is 24, the disk D
The desired spacing between the two is 0.084 inch, at which time there is almost no loss in impact force from the nozzle N (approximately 4 cf
3). It should be understood, however, that the dimensions described above are merely exemplary and that other dimensions may be used as well. As shown in Figure 2, if the spacing between the teeth T provided around the disk D is too far apart, the rotational frictional resistance of the shaft bearing of the disk D will be reduced and the rotational state will be maintained.
The inventor has discovered that in order to achieve this, the nozzle velocity of the gas coming out of the nozzle N must necessarily be increased. However, increasing the gas nozzle velocity increases the gas flow rate, which is not desirable.

ディスクDの外周に一定の間隔をあけて複数個の歯T(
第1図)を対称的に配備しており、各々の歯には衝撃面
0611頂面α□□□、及びたれ下がった背面20+が
形成されている。衝撃面(16jはディスクDの中心軸
@から伸びる半径線に沿って形成している。
A plurality of teeth T (
FIG. 1) are arranged symmetrically, and each tooth is formed with an impact surface 0611, a top surface α□□□, and a hanging back surface 20+. The impact surface (16j is formed along a radial line extending from the central axis @ of the disk D.

衝撃面Q6)の表面積は、最大径のノズルを用いた場合
の予想される最低圧力及び最少流量のガスがチャンバー
に入ったときに、次なる衝撃面が現われるようにディス
クDが移動できるような大きさとする。更に、衝撃面O
DはディスクDの半径の10%程度の比較的小さな部分
を突出させておくものとする。
The surface area of the impact surface Q6) is such that when the lowest expected pressure and flow rate of gas enters the chamber using the largest diameter nozzle, the disk D can move so that the next impact surface appears. Size. Furthermore, the impact surface O
D is assumed to have a relatively small portion of about 10% of the radius of the disk D protruding.

ノズルNからはその長袖に沿い、線(至)で示す如く、
衝撃面fl[Dに対して直交方向ではなく鋭角にてガス
が入ることは注目すべきことである。ノズルNと衝撃面
(161とを鋭角の関係にすることは互いに直交させる
よりも有利であることを本発明者は見出した。入口とパ
ドル部とが直交している従来のパドル翼車と本発明を比
較した場合、〕でドルの衝撃面に加えられるガスの流れ
の部分は衝撃面に沿って下向きに流れ、ベルヌーイ効果
が生じ、ツクドル翼車には吸引力が作用して所定の回転
方向とは逆方向にパドル翼車を引く傾向となる。然し乍
ら第1図に示す如く、本発明のノズルNは衝撃面flG
lに対して15度程度の鋭角にしているから、ポテンシ
ャルトルクの損失は殆んど認められない。
From nozzle N, along the long sleeve, as shown by the line (to),
It is noteworthy that the gas enters at an acute angle rather than perpendicularly to the impact plane fl[D. The present inventor has found that it is more advantageous to make the nozzle N and the impact surface (161) at an acute angle than to make them orthogonal to each other. When comparing the inventions, the part of the gas flow applied to the impact surface of the dole at ) flows downward along the impact surface, creating a Bernoulli effect, and an attractive force acts on the tsukdoru impeller to rotate it in a predetermined direction of rotation. However, as shown in Figure 1, the nozzle N of the present invention has a tendency to pull the paddle wheel in the opposite direction.
Since the angle is made at an acute angle of about 15 degrees with respect to l, almost no potential torque loss is observed.

ディスクDの歯Tのもう1つの特徴は、背面(至)が接
線から頂面(181にかけて傾斜していることである。
Another feature of the teeth T of the disk D is that the back surface (to) is sloped from the tangent to the top surface (181).

この傾斜角度は通常30度のオーダであるが、それより
小さくても可く例えば25度とすることもできる。背面
a印にこのように傾斜角度を形成しているから、ディス
クDが回転し表面0eの一部が曝さ、れたリード位置(
第1A図)から表面06)の全部が曝された位置(第1
B図)、表面αeの一部が曝された後退位置へと移動す
る際、衝撃面(16)はノズルNから送られるガスの力
を連続的に受けることができる。
This angle of inclination is usually on the order of 30 degrees, but may be smaller, for example 25 degrees. Since the inclination angle is formed in this way on the back side mark a, when the disk D rotates, a part of the surface 0e is exposed, and the read position (
1A) to the position where the entire surface 06) is exposed (the first
B), when moving to the retracted position where a part of the surface αe is exposed, the impact surface (16) can continuously receive the force of the gas sent from the nozzle N.

更に、第3図と第7図に示す如く、ディスクDの側面(
16)とノズルNを装填したヨークYとの間の隙間は極
く極く微小であるから、チャンバーCの中へ入ってくる
ガスは殆んど側方へ逃げることはなく入ってくるガスの
殆んど全部の力がディスクDの回転に作用し、入って(
るガスはディスクDに対して殆んど連続的にトルクを加
えることができる。これらの点を考慮して形成した本発
明のディスクDとノズルNの場合、ノズルNからのガス
圧力或は歯Tの衝撃面α6)1こ加えられる各々の連続
的な圧力は、連続2した歯TがノズルNの噴出口からの
ブラストを受ける位置にくるまで、略一定の状態に維持
される。
Furthermore, as shown in FIGS. 3 and 7, the side surface of the disk D (
16) and the yoke Y loaded with the nozzle N is extremely small, so that almost no gas entering the chamber C escapes to the side, and the incoming gas is Almost all the force acts on the rotation of disk D, entering (
The gas can apply a torque to the disk D almost continuously. In the case of the disk D and nozzle N of the present invention, which are formed taking these points into consideration, each successive pressure applied to the gas pressure from the nozzle N or the impact surface α6) of the tooth T is equal to The tooth T is maintained in a substantially constant state until the tooth T is in a position to receive the blast from the jet port of the nozzle N.

ディスクDは全体の重量を軽減するためにできる限り薄
くするべきであり、これはディスクDの回転中に於ける
摩擦トルク発生の主な原因となるからである。例えば、
ディスクDの厚さは003インチ(0,743+++m
)が例示されるが、他の寸法を採用することができるの
は勿論である。ディスクDはチャンバーCを流れるガス
の種類に対して劣化し難い合成樹脂等の軽量材料から形
成することが望ましい。かかる材料としてガラスが40
%充填されたポリフェニリンの硫化物が例示される。デ
ィスクDの少なくとも一方の側部には適当数の反射面或
は被覆因)を形成する。ディスクDの残りの面側につい
ては、ディスクDを非反射材料から形成するか又は非反
射式のペイント若しくは同様なコーティングを施すこと
によって反射しないようにするのが一般的である。ディ
スクDの回転中、光電回路Pから光ビームが発せられ、
反射面(支))か光ビームを通るたびに光ビームは反射
し、反射した光ビームのパルスを゛発生させることがで
きる。
The disk D should be made as thin as possible to reduce the overall weight, since this is the main cause of frictional torque generation during the rotation of the disk D. for example,
The thickness of disk D is 003 inches (0,743+++m)
) is exemplified, but it goes without saying that other dimensions can be adopted. It is desirable that the disk D is made of a lightweight material such as synthetic resin that does not easily deteriorate due to the type of gas flowing through the chamber C. Glass is such a material.
% filled polyphenyline sulfide is exemplified. A suitable number of reflective surfaces or coatings are formed on at least one side of the disk D. The remaining sides of the disk D are typically rendered non-reflective by either forming the disk D from a non-reflective material or by applying a non-reflective paint or similar coating. While the disk D is rotating, a light beam is emitted from the photoelectric circuit P,
Each time the light beam passes through a reflective surface (support), the light beam is reflected and a pulse of the reflected light beam can be generated.

この光ビームは光電回路Pの中で用いられ、装置Aを通
るガス流量を表わした電気信号を形成する。
This light beam is used in a photoelectric circuit P to form an electrical signal representative of the gas flow rate through device A.

ディスクDの中央部には軸(22)(部7図)か配備さ
れ、ステンレス鋼等の適当に硬化した金属から形成した
チップ(30)を回動可能に備えており、ガスがチャン
バーCを通過するとそれに応答してディスクDを回転運
動させながら支持する。ヨーク即ち支持サドルYはディ
スクDの各々の側部にはアーム(32)が形成され、チ
ャンバーC(第3図)の中でディスクDを適所にて保持
し、又、前述の如く入ってくるガスが側方へ流れること
を防17)でし)る。
A shaft (22) (Fig. 7) is provided in the center of the disk D, and is rotatably equipped with a tip (30) made of a suitably hardened metal such as stainless steel. In response to the passage, the disk D is supported while being rotated. A yoke or support saddle Y is formed with an arm (32) on each side of the disk D to hold the disk D in place within the chamber C (FIG. 3) and is inserted as previously described. Prevent gas from flowing to the sides 17).

アーム@には軸(2)のチ・ツブを受ける7字4大のサ
ファイア支持面(謹(第7図)を形成して17)る。サ
ファイアベアリング(33)とステンレス鋼力)ら成る
枢支チップ(30)の組合せ1こよってディスクD1こ
it回転運動が生じ、そのときの摩擦損失は非常(こ小
さG1゜ノズル装置 ノズル装置NはヨークYに着脱可能(こ配備され、測定
する流量に応じてノズルの直径を種々変えて用いること
ができる。ノズル装置N(こ(ま、入口Iに隣接しハウ
ジングHの本体部材(40) iと形成された凹所(3
8)の長さ方向の第1の部分に沿って取り付Gすられた
円筒形のスリーブ(34)が含まれてしする。ス1ノー
ブ(34)のこの部分の周囲にはQ  IJンク゛或(
まその他適当なシール(42)を配備し、該シール(ま
凹所t38+ tこ隣接し本体部材(40)に形成され
た環状の空間(4揚の中に嵌められ、チャン/<−Cと
入口Iを密封1−る。
The arm @ has a sapphire support surface (17) of 7 characters and 4 sizes (Fig. 7) that receives the tip of the shaft (2). The combination 1 of the pivot tip (30) consisting of the sapphire bearing (33) and the stainless steel tip causes rotational movement of the disk D1, and the friction loss at that time is extremely small (G1° nozzle device Nozzle device N is It is removably attached to the yoke Y, and the nozzle diameter can be varied depending on the flow rate to be measured. and the recess formed (3
8) includes a cylindrical sleeve (34) mounted along the first longitudinal portion; Around this part of the snob (34) is a Q IJ marker (
or other suitable seal (42), which is fitted into an annular space (40) formed in the main body member (40) adjacent to the recess t38+t, and which is fitted with a channel/<-C. Seal inlet I.

取付はスリーブ(圓の残り部分、即ち前部(ま凹所(3
8)1こ隣接しヨークYに形成された凹所(46)の中
(こ収容される。ノズル装置Nは又、入ってくるガスを
歯T(こ当てるノズル噴出管(機を備えて0る。スIJ
 −ブ(至)は中央部にガスを通す中空部分を形成して
0)る。上記した如く、サイズの異なる噴出管+411
)をスリーブ(34)に配備すれば、サイズ及び流量容
量の異なるノズル装置Nを提供すること力(できる。
Installation is done using the sleeve (remaining part of the circle, i.e. the front part (the recess (3)).
8) This is accommodated in a recess (46) formed in the yoke Y adjacent to the nozzle device N. Su IJ
- The tube forms a hollow part in the center that allows gas to pass through. As mentioned above, ejection pipes of different sizes +411
) in the sleeve (34), it is possible to provide nozzle devices N of different sizes and flow capacities.

ハウジング ハウジングHは任意の形状に形成すること力Sでき、一
般的には本体部材(40)とキヤ・ンプ即ちカッ<−t
26)を備えている。入口■及びノズルNを通りチャン
バーCに入ってくるガスは本体部材(40i iこ形成
された出口Oから出て行く。
Housing The housing H can be formed into any shape and is generally formed by connecting a body member (40) and a cap.
26). The gas entering the chamber C through the inlet (2) and the nozzle N exits through the outlet O formed in the main body member (40i).

本体部材(40)とカバー(5りは図示する如く、ポル
ト60又はその他適当な締付は手段(こよって連結され
空洞Cが形成される。シール(56)カダ本体部材(4
0)とカバー(52)の間に配備されチャン/<−Cを
密封する。
The body member (40) and the cover (5 as shown) are connected by a port 60 or other suitable fastening means (thereby forming a cavity C).A seal (56) is connected to the body member (4)
0) and the cover (52) to seal the chamber/<-C.

シール(56)は図示の如(、本体部材+40j iと
形成された溝(58)に配備されるが、溝は力/< −
t521+こ形成しても町く或は本体部材及びカッく−
の両方(こJf9成することもできる。
The seal (56) is disposed in a groove (58) formed with the body member +40j i as shown, but the groove is
Even if t521+ is formed, the main body member and cut-
Both (this Jf9 can also be done.

本体部材(4o)はヨークを受けるポケット穴を備え凹
所(至)に隣接し、面(FIB @ (64)が形成さ
れる。面((至)@(641は本体部材(40)の中で
ヨークYを受けるためにヨークの互いに対応する面と適
合させている。更に、本体部材のこの部分に於けるチャ
ンバーCの幅は矢印−で示す如(、ヨークYの幅と略等
しい。従ってヨークYとノズル装置NはチャンバーCの
適所にてしっかりと保持される。
The main body member (4o) has a pocket hole for receiving the yoke, and is adjacent to the recess (to), and a surface (FIB @ (64)) is formed. The width of the chamber C in this part of the main body member is approximately equal to the width of the yoke Y, as shown by the arrow -. The yoke Y and nozzle device N are held firmly in place in the chamber C.

望ましい実施例に於て、ディスクDが垂直軸の周りを回
転可能となるようにディスクDと装置Aは配置されてい
るが、ディスクDが水平軸の周りを回転できるように配
置することもできる。後者の場合、ディスクDの回転を
スタートさせるためのノズルのガス速度は大きくなるが
、これはディスクを水平軸の周りで回転可能に取り付け
たときのディスクのバランス精度が前者の場合よりもよ
くないためによるものと思われる。第8図はディスクの
回転をスタートさせるのに必要とされるノズルのガス速
度をプロットしたものであって、この現象はノズル内径
の函数として示される。
In the preferred embodiment, disk D and apparatus A are arranged so that disk D is rotatable about a vertical axis, but they can also be arranged so that disk D is rotatable about a horizontal axis. . In the latter case, the gas velocity of the nozzle to start the rotation of disk D is greater, but this means that the accuracy of the balance of the disk when it is mounted rotatably around a horizontal axis is not as good as in the former case. This seems to be due to a reason. FIG. 8 is a plot of the nozzle gas velocity required to start rotation of the disk, showing this phenomenon as a function of the nozzle inner diameter.

光電回路 光電回路Pは第4図及び第5図に示している。photoelectric circuit The photoelectric circuit P is shown in FIGS. 4 and 5.

光電回路Pは例えば赤外線型の発光ダイオード(LED
)と、例えば光−ダーリントン トランジスタ対(70
1の如き受光増幅回路とを含んでおり、反射光を受け、
感知した光を電気的な出力信号に変換するものである。
The photoelectric circuit P includes, for example, an infrared light emitting diode (LED).
) and, for example, an optical-Darlington transistor pair (70
1, which receives the reflected light,
It converts the sensed light into an electrical output signal.

発光ダイオード((8とトランジスタ対(7111)は
ディスクDの共通した側(第4図)に互゛いに接近配備
している。発光ダイオード關とトランジスタ(70)は
ディスクDの側面に於て非常に接近した位置に配備し、
光がチャンバーCの中を通過せねばならない距離を最小
なものにしている。このようにして、幾分濁った、即ち
半透明のガスの流量を測定することができる。これはチ
ャンバーの中を光を通過させねばならない従来の構造で
は考えられないことであった。発光ダイオード(財)と
光トランジスタ+70)は必要に応じてチャンバーC内
にてディスクD1の両側に配備しても可い。
The light emitting diode (8) and the transistor pair (7111) are arranged close to each other on the common side of the disk D (FIG. 4). Deployed in very close proximity,
The distance that light must travel through chamber C is minimized. In this way, the flow rate of a somewhat cloudy or translucent gas can be measured. This was unimaginable with conventional structures that require light to pass through the chamber. Light emitting diodes and phototransistors (+70) may be arranged on both sides of the disk D1 in the chamber C, if necessary.

トランジスタ対(7■に形成された電気的信号は幾つか
の方法にて測定したりモニターすることができる。例え
ば、パルスカウンター(2)に接続すれば感知した光に
応答し、トランジスタ対σ■が形成する電気的なパルス
数が計数される。カウンター(2)に形成された計数は
観察及びモニターするためのディスプレ、イff41へ
の入力として供給される。或は又、トランジスタ対(1
0)からの出力信号は第5図の仮想線で示される如く、
パルスメータに接続しトランジスタ対T1(ト)が形成
する電気パルスの数量を測定しディスプレイすることも
できる。更にトランジス対(′?O)からのデータパル
スは必要に応じてD −Aコンバータ(7(至)によっ
て直流レベルに変換することもできる。
The electrical signal formed by the transistor pair (7) can be measured or monitored in several ways. For example, by connecting it to a pulse counter (2), it responds to the sensed light and the transistor pair σ The number of electrical pulses formed by the counter (2) is provided as an input to a display, iff41, for observation and monitoring.
The output signal from 0) is as shown by the imaginary line in FIG.
It is also possible to connect to a pulse meter to measure and display the number of electrical pulses formed by the transistor pair T1. Furthermore, the data pulses from the transistor pair ('?O) can also be converted to DC level by a D-A converter (7) if required.

光電回路Pに形成された電気的パルスの数はディスクD
の回転数を示しており、チャンバーCを通るガス流量を
表わすものである。即ち、発光ダイオード霞から回転デ
ィスクDの側部に光が当てられる。反射面(イ)が発光
ダイオード(681を通過すると、光はトランジスタ対
qαに向けて反射する。反射面(イ)がトランジスタ対
17Qlに直面し光をトランジスタ対に反射する時間は
ディスクDの相対的な回転速度に対して比例しており、
従ってガス流量の測定をすることができる。第6図は本
発明に於て空気流量と反射面から送られる毎秒あたりの
光ビームパルス、すなわちトランジスタ対q0からの出
力信号との間に直線的関係が得られることを示している
The number of electrical pulses formed on the photoelectric circuit P is
, which represents the gas flow rate passing through the chamber C. That is, light is applied to the side of the rotating disk D from the light emitting diode haze. When the reflective surface (a) passes through the light emitting diode (681), the light is reflected towards the transistor pair qα.The time for the reflective surface (a) to face the transistor pair 17Ql and reflect the light to the transistor pair is determined by It is proportional to the rotational speed of
Therefore, the gas flow rate can be measured. FIG. 6 shows that the present invention provides a linear relationship between air flow rate and light beam pulses per second delivered from the reflective surface, ie, the output signal from transistor pair q0.

本発明を用いてガスの流量を測定する番こは、測定する
べきガスを入口Iから入れて歯Tに当ててディスクDを
回転させる。ディスクDが回転すると、ディスクDの側
部に形成された反射面■が発光ダイオード(681から
発せられる光の中を通過し、反射面(至)から反射され
た光はトランジスタ対(′?αに受けられ、装置Aを通
るガス流量を表わした電気的出力信号を形成する。
To measure the flow rate of gas using the present invention, the gas to be measured is introduced through the inlet I, applied to the teeth T, and the disk D is rotated. When the disk D rotates, the reflective surface (■) formed on the side of the disk D passes through the light emitted from the light emitting diode (681), and the light reflected from the reflective surface (681) passes through the transistor pair ('?α). is received by the device A to form an electrical output signal representative of the gas flow rate through the device A.

本発明の前述した開示及び記載は単に例示的lこ説明し
たものであって、回路要素接続及び例示した構造の詳細
と同じ様に大きさ・形状及び材料(こついて、本発明の
精神から逸脱することなく種々の変更をなすことはでき
る。
The foregoing disclosure and description of the present invention is merely exemplary and illustrative, including details of circuit element connections and illustrated construction, as well as sizes, shapes and materials (which may depart from the spirit of the invention). Various changes can be made without doing so.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図、第1A図、第1B図及び第1C図は本発明の装
置に用いられるディスクとノズル部分について、位置を
互いに僅か変えた状態を示す図である。 第2図は本発明に係る第1図の構造について衝撃力をノ
ズル間隔の函数として表わしたグラフである。 第3図は本発明に係る装置の一部を破断した上面図であ
る。 第4図は第1図に示す装置の側面図である。 第5図は本発明に係る装置の電気回路の略図である。 第6図は本発明に係る装置のノズルの直径を変え出力電
圧を流量の函数として表わしたグラフである。 第7図は本発明に係る第1図及び第4図の回転ディスク
の取付けを示す側面図である。 第8図は本発明に係る装置に於てノズル内のガス速度を
ノズル径の函数として示したグラフである。 A・・・ガス流量測定装置 C・・・チャンバー   D・・・ディスクH・・・ハ
ウジング   T・・・歯 N・・・ノズル     P・・・光電回路出願人  
ロバート デー、マクミラン、ジュニアFIG、 IC
FIGS. 1, 1A, 1B, and 1C are views showing the disk and nozzle used in the apparatus of the present invention in slightly different positions. FIG. 2 is a graph of impact force as a function of nozzle spacing for the structure of FIG. 1 in accordance with the present invention. FIG. 3 is a partially cutaway top view of the device according to the invention. FIG. 4 is a side view of the apparatus shown in FIG. 1. FIG. 5 is a schematic diagram of the electrical circuit of the device according to the invention. FIG. 6 is a graph showing the output voltage as a function of the flow rate for varying nozzle diameters of a device according to the invention. FIG. 7 is a side view showing the installation of the rotating disk of FIGS. 1 and 4 according to the present invention. FIG. 8 is a graph showing the gas velocity within the nozzle as a function of the nozzle diameter in an apparatus according to the present invention. A... Gas flow rate measuring device C... Chamber D... Disk H... Housing T... Teeth N... Nozzle P... Photoelectric circuit applicant
Robert Day, McMillan, Jr. FIG, IC

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)僅かなガス流量を測定する装置であって、ハウジ
ングに被測定ガスが通過するチャンバーを形成し、 ディスクを前記チャンバーの中央部に回転可能に配備し
、 前記ディスクの周囲にはチャンバーに入るガスの衝撃を
受ける衝撃面を備えたタービンブレードを形成し、 チャンバーに入ってくるガスをディスクの衝撃面に向け
るノズル手段をハウジング内に配備し、 ディスクの側部に光を当てると共に、ディスクの衝撃面
へのガス衝撃に応答したディスクの相対運動を測定する
光電回路を備え、 前記ディスクは光電回路手段から発せられた光を反射す
る反射面をディスクの側部に備えているガス流量測定装
置。
(1) A device for measuring a small gas flow rate, in which a chamber through which the gas to be measured passes is formed in the housing, a disk is rotatably arranged in the center of the chamber, and a chamber is provided around the disk. forming a turbine blade with an impact surface for impacting the incoming gas, and providing nozzle means in the housing to direct the gas entering the chamber onto the impact surface of the disk, providing light to the side of the disk and also gas flow measurement, comprising a photoelectric circuit for measuring the relative motion of a disk in response to a gas impact on an impact surface of the disk, said disk having a reflective surface on a side of the disk for reflecting light emitted from the photoelectric circuit means. Device.
(2)衝撃面がノズルから離れていく間、絶えずノズル
から送られるガスを受けることができるようにタービン
ブレードにはディスクの接線に対して鋭角の背面が形成
されている特許請求の範囲第1項に記載の装置。
(2) While the impact surface moves away from the nozzle, the turbine blade is formed with a back surface that is at an acute angle with respect to the tangent to the disk so that it can continuously receive the gas sent from the nozzle. Equipment described in Section.
(3)ノズル手段はガスが衝撃面に当たるように衝撃面
に対して鋭角で取り付けられている特許請求の範囲第1
項に記載の装置。
(3) The nozzle means is attached at an acute angle to the impact surface so that the gas impinges on the impact surface.
Equipment described in Section.
(4)衝撃面はディスクの中心から伸びる半径線に沿っ
て形成される特許請求の範囲第1項に記載の装置。
(4) The device according to claim 1, wherein the impact surface is formed along a radial line extending from the center of the disk.
(5)衝撃面はディスクの中心から伸びる半径線の一部
に沿って形成される特許請求の範囲第1項に記載の装置
(5) The device according to claim 1, wherein the impact surface is formed along a portion of a radial line extending from the center of the disk.
(6)ディスクは中央部に軸と、ディスクをチャンバー
内に取り付ける着脱可能な運搬手段とを備え、前記軸は
回転自由にディスクを支持する枢支チップが形成され、
前記運搬手段は前記軸を回転可能に嵌め込むためのベア
リング面を備えている特許請求の範囲第1項に記載の装
置。
(6) The disk is provided with a shaft in the center and a removable carrying means for attaching the disk in the chamber, and the shaft is formed with a pivot chip that supports the disk in a freely rotatable manner;
2. Apparatus according to claim 1, wherein said conveying means comprises a bearing surface for rotatably engaging said shaft.
(7)運搬手段にはガスをディスクの歯に当てるための
ノズル手段が配備されている特許請求の範囲第6項に記
載の装置。
(7) An apparatus according to claim 6, wherein the conveying means is provided with nozzle means for applying gas to the teeth of the disk.
(8)ディスクの回転中ノズルから送られるガスを受け
る歯が個々に連続して形成されている特許請求の範囲第
1項に記載の装置。
(8) The device according to claim 1, wherein the teeth that receive the gas sent from the nozzle during rotation of the disk are formed individually and in succession.
(9)被測定ガスが通過するチャンバーを備えたハウジ
ングと、ガスがハウジングを通過することによる回転体
の相対運動を測定する光電回路とを含んだ流量計に於て
、 ディスク部材がチャンバー内に回転可能に配備され、 前記ディスクの周囲にはチャンバーに入ってくるガスの
衝撃を受けるためのタービンブレードが複数個形成され
、 前記ディスクの一部には光電回路から発せられた光を反
射する反射面が形成されている僅かなガス流量を測定す
る回転体装置。
(9) In a flowmeter that includes a housing having a chamber through which the gas to be measured passes and a photoelectric circuit that measures the relative motion of a rotating body due to the gas passing through the housing, the disk member is placed inside the chamber. The disk is rotatably arranged, and a plurality of turbine blades are formed around the disk to receive the impact of the gas entering the chamber, and a portion of the disk has a reflector that reflects light emitted from the photoelectric circuit. A rotating body device that measures a small amount of gas flow on a surface.
(10)衝撃面はディスクの回転中ガスを絶えず受ける
ことができるようにタービンブレードにはディスクの接
線に対して鋭角の背面が形成されている特許請求の範囲
第9項に記載の装置。
(10) The apparatus according to claim 9, wherein the turbine blade is formed with a back surface at an acute angle with respect to the tangent to the disk so that the impact surface can continuously receive gas during rotation of the disk.
(11)衝撃面はディスクの中心から伸びる半径線に沿
って形成されている特許請求の範囲第10項に記載の装
置。
(11) The device according to claim 10, wherein the impact surface is formed along a radial line extending from the center of the disk.
(12)衝撃面はディスクの中心から伸びる半径線の一
部に沿って形成されている特許請求の範囲第10項に記
載の装置。
(12) The device according to claim 10, wherein the impact surface is formed along a portion of a radial line extending from the center of the disk.
(13)被測定ガスが通過するチャンバーを備えたハウ
ジングと、ガス流量に比例した出力を形成する光電回路
とを含んだ流量計に於て、 ディスク部材は該部材を回転自由に支持するための枢支
チップを備える軸を中央部に配備し、ディスクの周囲に
はチャンバーに入ってくるガスの衝撃を受けるタービン
ブレードが形成され、 ディスクの一部には光電回路から発せられた光を反射す
る反射面が形成され、 チャンバーにはディスクを取り付ける運搬手段を着脱可
能に配備し、 前記運搬手段は軸を回転可能に取り付けるベアリング面
を備えている僅かなガス流量を測定するための回転ディ
スク装置。
(13) In a flowmeter that includes a housing provided with a chamber through which a gas to be measured passes and a photoelectric circuit that forms an output proportional to the gas flow rate, a disk member is used to freely support the member in rotation. A shaft with a pivot tip is placed in the center, a turbine blade is formed around the disk that receives the impact of the gas entering the chamber, and a part of the disk reflects the light emitted from the photoelectric circuit. A rotating disk device for measuring a small gas flow rate, wherein a reflecting surface is formed, a conveying means for attaching a disk is removably provided in the chamber, and the conveying means has a bearing surface for rotatably attaching a shaft.
(14)運搬手段は制御された位置でタービンブレード
に対しガスの衝撃を与えるノズル装置を備えている特許
請求の範囲第13項に記載の装置。
14. The apparatus according to claim 13, wherein the conveying means comprises a nozzle device for bombarding the turbine blades with gas at controlled positions.
(15)ガスが通過するチャンバー内にて回転可能なデ
ィスクの周囲に形成した衝撃面に対して被測定ガスを当
て、 ディスクの側部に形成された反射面上に光電回路から光
を当て、 ディスク上の反射面から反射された光の量を検知し、 検知した光の量に応答してディスクの相対的な動きを測
定する 工程から構成されることを特徴とする僅かなガス流量を
測定する方法。
(15) The gas to be measured is applied to an impact surface formed around a rotatable disk in a chamber through which the gas passes, and light from a photoelectric circuit is applied to a reflective surface formed on the side of the disk. Measuring a small gas flow rate characterized by comprising the steps of detecting the amount of light reflected from a reflective surface on the disk and measuring the relative movement of the disk in response to the detected amount of light. how to.
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