JPS6114514A - Three diementional coordinate measuring instrument - Google Patents

Three diementional coordinate measuring instrument

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JPS6114514A
JPS6114514A JP13489584A JP13489584A JPS6114514A JP S6114514 A JPS6114514 A JP S6114514A JP 13489584 A JP13489584 A JP 13489584A JP 13489584 A JP13489584 A JP 13489584A JP S6114514 A JPS6114514 A JP S6114514A
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JP
Japan
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point
laser beam
distance
camera
linear sensor
Prior art date
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Application number
JP13489584A
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Japanese (ja)
Inventor
Takao Yamaguchi
山口 隆男
Hikari Kubota
光 窪田
Tadashi Sugano
正 菅野
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Original Assignee
Individual
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Publication date
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Publication of JPS6114514A publication Critical patent/JPS6114514A/en
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C15/00Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
    • G01C15/002Active optical surveying means

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

PURPOSE:To measure the three dimentional coordinates value of a target point with quick and most suitable measuring accuracy and with simple operation by irradiating a laser beam on the surface for object and by picking up the irradiating beam point thereof with an image camera. CONSTITUTION:A laser beam is irradiated by eye sight with moving a laser beam emitting tube 3 to the target point C of the above the surface for object with revolution (gamma) and angle of elevation (delta) and the beam point is picked up by an image pickup camera 4. The distance information (gamma) from the position of the image of the above of the linear sensor thereof upto the projecting point C is then obtd. and the three dimentionl coordinates of the projecting point C is found by feeding to a computer 13 together with the values of the revolution (gamma) and angle of elevation (delta) of the laser beam emitting tube 3.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の利用分野 本発明は、3次元(立体)座標値を測定する装置に関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Application of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring three-dimensional (stereoscopic) coordinate values.

従来技術の問題点 建物等の室内内部の立体構造寸法の測量や、口?ットア
ームのグリップ部先端の3次元運動経路の測定などは、
塗装ロゲット或いは3次元作業ロボット等の運動プログ
ラム・テープ作製に必要である。これらの線群データを
図面より引き出すことは煩瑣で手間がかかシ、またロゲ
ットのティーチングによって求めることも容易でない。
Problems with conventional technology Measurement of three-dimensional structure dimensions inside buildings etc. Measurement of the three-dimensional movement path of the grip part tip of the cut arm, etc.
This is necessary for creating motion program tapes for painted robots or three-dimensional working robots. It is cumbersome and time-consuming to extract these line group data from the drawing, and it is also not easy to obtain them through loggett teaching.

したがって、3次元測定により実物から直接立体座標値
を迅速・正確に知ることが求められている。しかし、ま
だ、この要求に答える3次元座標測定装置は出現してい
ない。
Therefore, there is a need to quickly and accurately determine three-dimensional coordinate values directly from the actual object through three-dimensional measurement. However, a three-dimensional coordinate measuring device that meets this demand has not yet appeared.

発明の目的 本発明は、上述の現状に鑑み、簡単な操作で目標点の3
次元座標値を迅速に最適の測定精度で測定しうる3次元
座標測定装置を提供しようとするものである。
Purpose of the Invention In view of the above-mentioned current situation, the present invention aims to achieve three target points with a simple operation.
The present invention aims to provide a three-dimensional coordinate measuring device that can quickly measure dimensional coordinate values with optimal measurement accuracy.

発明の概要 本発明は、レーザー光線を対象面に照射し、その照射光
点をイメー−)(撮像)カメラで捕え、そのリニア・セ
ンサ上の映像の位置によりレーザー光軸基点から照射光
点までの距離を求め、これと同時に計測されるレーザー
光軸の旋回角及び俯仰角とにより照射光点(目標点)の
空間位置を算定するようにした。このだめ、本発明は、
光軸を俯仰角と一致させたレーザー光線発射管とリニア
・センサ付き撮像カメラとを旋回角及び俯仰角トランス
デユーサをもつ旋回・俯仰体に並んで設け、カメラ主軸
とレーザー光軸とをその平行位置よ如可変の傾斜が可能
とする。そして、リニア・センサは、その長手方向撮像
面をカメラ主軸と直交位置に保持する。また、本発明は
、撮像カメラに両方向の掃引運動を与え、センシング・
セル(ビット)における映像発生点を測定し、映像を包
含するビット位置情報を粗目盛如とし、上記測定値を精
目盛りとする手段を有する。
Summary of the Invention The present invention irradiates a target surface with a laser beam, captures the irradiated light point with an image camera, and calculates the distance from the laser optical axis base point to the irradiated light point based on the position of the image on the linear sensor. The distance is determined, and the spatial position of the irradiation light point (target point) is calculated based on the turning angle and elevation angle of the laser optical axis, which are measured at the same time. In this case, the present invention is
A laser beam emitting tube whose optical axis is aligned with the elevation angle and an imaging camera with a linear sensor are installed side by side on a rotating/elevation body having a rotation angle and elevation angle transducer, and the main axis of the camera and the laser optical axis are aligned parallel to each other. The tilt can be varied depending on the position. The linear sensor holds its longitudinal imaging surface at a position orthogonal to the camera main axis. Further, the present invention provides a bidirectional sweeping motion to the imaging camera, and the sensing and
It has means for measuring the video generation point in a cell (bit), using the bit position information including the video as a coarse scale, and using the measured value as a fine scale.

以下、図示の実施例によυ本発明を具体的に説明する。Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to illustrated embodiments.

実施例 第1図は、本発明の基本的実施例を示す構成図である。Example FIG. 1 is a block diagram showing a basic embodiment of the present invention.

基盤(1)上で水平面内において旋回可能の水平盤(2
)は、トラニオン軸受けαQをもち、機材−を鉛直面内
において俯仰回転可能に支承する。機材−は、レーザー
光線発射管(3)をもち、更にその上部にリニア・セン
サ型撮像カメラ(4)をもつ。レーザー光線発射管(3
)の俯仰回転軸心とレーザー光軸OPとは、一致させで
ある。撮像カメラの主軸NRはレーザー光軸OPと同一
平面上にあるが、両者は互いに平行な位置より可変の傾
斜角θをもつように構成される。カメラの光学系の主点
Nは、レーザー光軸opの基点すなわちトラニオン支承
点0よ如レーザー光軸と直角方向に一定の間隔eをおい
て設ける。
A horizontal board (2) that can rotate in a horizontal plane on the base (1)
) has a trunnion bearing αQ, and supports the equipment in a vertical plane so as to be vertically rotatable. The equipment has a laser beam emitting tube (3) and a linear sensor type imaging camera (4) above it. Laser beam launch tube (3
) and the laser optical axis OP are made to coincide with each other. The main axis NR of the imaging camera is on the same plane as the laser optical axis OP, but both are configured to have a variable inclination angle θ from their mutually parallel positions. The principal point N of the optical system of the camera is set at a constant interval e in the direction perpendicular to the laser optical axis, such as the base point of the laser optical axis OP, that is, the trunnion support point 0.

“水平面内の旋回角τ及び鉛直面内の俯仰角δは、それ
ぞれ旋回角トランスデユーサ(8)及び俯仰角トランス
デユーサ(9)で計測する。トランスデユーサ(8) 
、 (9)は、回転角を電気信号に変換するものであれ
ば伺でも差支えないが、ここではポテンショメータ型の
ものとする。
“The turning angle τ in the horizontal plane and the elevation angle δ in the vertical plane are measured by the turning angle transducer (8) and the elevation angle transducer (9), respectively.Transducer (8)
, (9) may be of any type as long as it converts the rotation angle into an electrical signal, but here it is a potentiometer type.

本装置を使用するには、対象面上の目標点Cにレーザー
光線発射管(3)を旋回(τ)及び俯仰(δ)運動させ
て目視によ如レーザー光線を照射し、その光点を撮像カ
メラ(4)にて捕える。そのリニア・センサ上の映像の
位置よ如投射点Cまでの距離の情報rを知シ、τ、δの
値と共にコンぎユータへ→に供給して0点の3次元座標
値を求める(後述参照)。この場合、対象面は、本装置
の使用目的からいって屋内、車輛内、ロビットの作業面
等の近距離のものに限られておシ、木造物、金属塗装面
等を主体にしている。したがって、レーザー照射点は鏡
面のように定方向に反射せず乱反射するので、照射点を
再発光点として目視によ如確認するととができ、距離測
定が可能である。
To use this device, the laser beam emitting tube (3) is rotated (τ) and elevated (δ) to irradiate the target point C on the target surface with visual observation, and the light point is captured by the imaging camera. Caught in (4). The position of the image on the linear sensor and the distance information r to the projection point C are sent to the computer along with the values of τ and δ to calculate the three-dimensional coordinates of the 0 point (described later). reference). In this case, the target surfaces are limited to those close to each other, such as indoors, inside a vehicle, and the work surface of a robot, considering the purpose of use of the device, and are mainly surfaces such as tables, wooden objects, and painted metal surfaces. Therefore, since the laser irradiation point does not reflect in a fixed direction like a mirror surface, but reflects diffusely, the irradiation point can be visually confirmed as a re-emission point, and distance can be measured.

第2図は、レーザー光軸と撮像カメラの光学系との関係
を示す解析図である。図において、第1図と対応する部
分には同一符号を付しである。説明の都合上、カメラ主
軸■とレーザー光軸OPとの傾斜角θは誇張して図示し
である。旋回角τは垂直軸02の周シの回転角、俯仰角
δは水平線OHよ〕の回転角である。Bはリニア・セン
サで、その長手方向撮像面は力ンラ主軸■と直交位置に
保持されている。リニア・センサは、第3図に示すよう
な外形を持つものである。第3図Aにおいて、aは長手
方向撮像面すなわちセンシング・ユニットの長さ、bは
その幅を示す。センシング・ユニットは、第3図B(拡
大図)に示すように、ピッチがpでm個のセンシング・
セル(mビット)より成る。すなわち、a=mpの関係
がある。
FIG. 2 is an analytical diagram showing the relationship between the laser optical axis and the optical system of the imaging camera. In the figure, parts corresponding to those in FIG. 1 are given the same reference numerals. For convenience of explanation, the inclination angle θ between the camera main axis (2) and the laser optical axis OP is exaggerated in the illustration. The turning angle τ is the rotation angle around the vertical axis 02, and the elevation angle δ is the rotation angle around the horizontal line OH. B is a linear sensor whose longitudinal imaging surface is held at a position perpendicular to the main axis (2) of the force-punch roller. The linear sensor has an external shape as shown in FIG. In FIG. 3A, a indicates the length of the longitudinal imaging surface or sensing unit, and b indicates its width. The sensing unit has m sensing units with a pitch of p, as shown in Figure 3B (enlarged view).
Consists of cells (m bits). That is, there is a relationship of a=mp.

再び第2図において、・はレーザー光軸基点Oよりカタ
ラ光学系主点Nまでの直角方向の間隔で、θはカメラ主
軸■とレーザー光軸OPとがなす可変の角である。ここ
で、一般に、撮像カメラにおいて第4図に示すように次
の関係が成立する。
Again in FIG. 2, . is the distance in the perpendicular direction from the laser optical axis base point O to the principal point N of the Katara optical system, and θ is the variable angle formed by the camera principal axis 2 and the laser optical axis OP. Here, in general, the following relationship holds true in the imaging camera as shown in FIG.

W = w L / f    ・・・・・・・・・(
1)ただし、W祉被写体の高さ又は幅、 Wは撮像高さ又は幅、 Lは被写体とレンズの主点間距離、 fはレンズの焦点距離 である。
W = w L / f ・・・・・・・・・(
1) However, W is the height or width of the subject, W is the imaging height or width, L is the distance between the subject and the principal point of the lens, and f is the focal length of the lens.

また、レンズの画角を2αとすれば、 −α= w/2 L = v/2 f  ・−・−=−
(2)(1) 、 (2)よF)   w、、’ W 
= L / f  = (3)したがって、外界被写体
側の底辺W1高さLの3角形と撮像側の底辺W1高さf
の3角形とは、主点Nを境にし2αの画角な共通として
相似関係にある。そこで、第2図において、主点Nよ如
上下に半角αずつ限界線NS2.NS、を引けば、これ
が被写     1体側の限界線となジ、撮像側では、
主点Nより焦点距離fの位置に長さWの撮像面が含まれ
ることになる。
Also, if the angle of view of the lens is 2α, −α= w/2 L = v/2 f ・−・−=−
(2) (1) , (2) yoF) w,,' W
= L / f = (3) Therefore, the triangle with the height L of the base W1 on the outside object side and the height f of the base W1 on the imaging side
The triangles have a similar relationship as they have a common angle of view of 2α with the principal point N as a boundary. Therefore, in FIG. 2, limit lines NS2 . If you draw NS, this is the limit line on the subject side, and on the imaging side,
An imaging plane of length W is included at a position at a focal length f from the principal point N.

NS、及びNS2線のレーザー光軸opとの交点なt。t is the intersection of the NS and NS2 lines with the laser optical axis op.

及びt2とすれば、12点と11点とがレーザー光で照
射される外界被写体の上下(又は両側)の限界点となる
。これはまた、撮像センサの両側の限界ともなる。撮像
側では、予めWの高さく又は幅)一杯にセンサを設置し
ているためw=aとなシ、外界被写体位置がt、よ)t
2に移動するとき、撮像側の照射光点のセンサ上の位置
も、主軸風に対し光軸opの反対側の点q1より q2
まで移動する。すなわち、t、よりt2までの中間任意
点Cで目標点がレーザー光によって照射されているとし
、この点を通ってカメラ主軸■に直交する直線とOS1
゜0S2との交点を41.d2とし、d1d2の中点を
gとすれば、 d1d2すW  +  gN ” L となる。(3)式により、底辺w1高さLの2等辺3角
形の61点を始点とする底辺W上の0点の位置は、相似
的に底辺w1高さfの2等辺3角予の91点を始点とす
る底辺W上の1点を決定する。したがって、リニア・セ
ンサの値rは、tlより始まシt2に至る線分上の0点
、換言すると、光軸op上のOCすなわち求める直線距
離Lhを表わすことになる(後述参照)。また、Otl
及びOt2は、光軸OP上でカメラが計測できるLhの
下限値及び上限値を示すことに々る。
and t2, points 12 and 11 become the upper and lower (or both sides) limit points of the external object to be irradiated with the laser beam. This is also a limitation on both sides of the image sensor. On the imaging side, since the sensor is installed in advance to the full height or width of W, w = a, and the external subject position is t, y)t.
2, the position of the irradiation light point on the imaging side on the sensor also changes from point q1 on the opposite side of the optical axis OP to q2 with respect to the main axis wind.
Move up to. In other words, suppose that the target point is irradiated with a laser beam at an arbitrary point C between t and t2, and a straight line passing through this point and perpendicular to the camera main axis ■ is connected to OS1.
The intersection with ゜0S2 is 41. d2 and the midpoint of d1d2 is g, then d1d2W + gN ''L.By equation (3), on the base W starting from the 61st point of the isosceles triangle with the base w1 and the height L. The position of the 0 point is analogously determined as one point on the base W starting from the 91st point of the isosceles trigonometric triangle with the base w1 and the height f.Therefore, the value r of the linear sensor starts from tl. The 0 point on the line segment leading to point t2, in other words, represents the OC on the optical axis op, that is, the straight line distance Lh to be sought (see below).
and Ot2 often indicate the lower and upper limits of Lh that can be measured by the camera on the optical axis OP.

とのLhの上限及び下限は、下記の如く理論的に決定さ
れる。
The upper and lower limits of Lh are determined theoretically as follows.

tan(#+(X) <”h<−(6、)  ・”−−
(4)これは各位θ+e+α、w(=a)が一定の場合
であるが、θを可変とし他を一定にすることにより、距
離測定を遠距離モードと近距離モードに切替えることが
できる。第5図はその切替え説明図で、第5図Aは遠距
離モード(θ=01)、第5図Bは近距離モード(θ=
02)の場合を示す。このとき、θ1〉θ2である。こ
のように切替えて使用すれば、F”i’)ニア・センサ
の全ピッ)mをそれぞれの場合の測定範囲の上限及び下
限に挾まれている距離の全範囲に対応させうる利点があ
る。
tan(#+(X) <”h<-(6,) ・”--
(4) This is a case where θ+e+α, w (=a) are constant, but by making θ variable and keeping the others constant, distance measurement can be switched between long-distance mode and short-distance mode. Figure 5 is an explanatory diagram of the switching, where Figure 5A is the long distance mode (θ=01) and Figure 5B is the short distance mode (θ=01).
02) is shown. At this time, θ1>θ2. If used in such a switched manner, there is an advantage that all the distances F"i') near sensor F"i") can be made to correspond to the entire range of distances between the upper and lower limits of the measurement range in each case.

ランスデューサよジの丁、δ値とより、第7図に示すよ
うに0点の空間座標値x+y、zが決定される。
As shown in FIG. 7, the spatial coordinate values x+y, z of the 0 point are determined from the transducer direction and the δ value.

式(6)の計算もコンピュータ頭内で行なわれ、0点の
立体座標値X + )’ + Zが直ちに決定される。
The calculation of equation (6) is also performed in the computer's head, and the three-dimensional coordinate value X + )' + Z of the 0 point is immediately determined.

以上、撮像カメラとレーデ−発射管をもつ機材翰を旋回
角及び俯仰角トランスデユーサを有する旋回・俯仰体の
トラニオン部αOに支承したものを示したが、他の構成
を取ることもできる。第8図で、CI)はレーザー光線
の傾斜角を計測する傾斜トする光の明暗が相互に1/4
サイクルの位相差を生ずるように配置されている。この
2つの出力は、付属の波形整形回路wfを経て正負のパ
ルス列となシ、可逆計数回路を含む計数計算器C1にお
いて俯仰角δが計算される。
Although the above example has been shown in which an equipment holder having an imaging camera and a radar launch tube is supported on a trunnion portion αO of a swinging/elevating body having a swing angle and elevation angle transducer, other configurations may also be adopted. In Figure 8, CI) measures the inclination angle of the laser beam.
They are arranged to produce a phase difference of the cycles. These two outputs are converted into positive and negative pulse trains through an attached waveform shaping circuit wf, and an elevation angle δ is calculated in a counting calculator C1 including a reversible counting circuit.

地磁気トランスデユーサ■は、水平磁場測定器H1及び
Hlと付属方位角計算器C2とよ構成る。水平磁場測定
器H,、Hlには、ホール素子型磁束検出器を用いるこ
とができる。ホール素子型磁束検出器は、第10図Cの
ように、長方形(x−y軸)のホール素子小片HOX軸
方向に一定電流Iを流し、X+3’軸に直交する2軸方
向に磁束Fを与えると、y軸方向に設けた電圧端子より
磁束Fに比例した電圧出力Vが得られる。このようなホ
ール素子型磁束検出器を第10図Aの水平磁場測定器馬
、H2に用い、一方のHlは固定型、他方のHlは振子
型とする。固定型のHlは、レーザー光軸OP1カメラ
主軸■を含む鉛直面内に長方形ペレットのX−7面を貼
シ付けると、常にop線及び皿線を含む鉛直面に直交す
る水平磁束分力Fxが求められ、v1端子よ〕出力され
る。一方、振子型のHlは、長方形ベレットのX−7軸
の一方の軸をop線、■線を含む鉛直面に直交する方向
の軸心で支承し、ベレットの他方の軸側の一端に重錘m
2を付加して、ペレットの!−7面を俯仰角に無関係に
常に鉛直姿勢に保持すると、v2端子よりさきのFXに
直交する他方の水平磁束分力Fyが求められる。これら
Fx、Fy値は、第10図りに示すように、磁北N方向
の水平磁力FHの正余弦であるので、双方の出力を方位
角計算器C2に入力してτ=−(Fy/Fx)より方位
角τが求められる。
The geomagnetic transducer (2) consists of horizontal magnetic field measuring devices H1 and H1 and an attached azimuth angle calculator C2. A Hall element type magnetic flux detector can be used as the horizontal magnetic field measuring devices H, Hl. In the Hall element type magnetic flux detector, as shown in Fig. 10C, a constant current I is passed through a rectangular (x-y axis) Hall element small piece in the HOX axis direction, and a magnetic flux F is passed in two axes directions perpendicular to the X+3' axis. When given, a voltage output V proportional to the magnetic flux F is obtained from the voltage terminal provided in the y-axis direction. Such a Hall element type magnetic flux detector is used for the horizontal magnetic field measuring device H2 in FIG. 10A, one H1 being of a fixed type and the other H1 being of a pendulum type. For fixed Hl, when the X-7 side of the rectangular pellet is pasted in the vertical plane containing the laser optical axis OP1 and the camera main axis ■, the horizontal magnetic flux component Fx is always perpendicular to the vertical plane containing the OP line and the countersunk line. is calculated and outputted from the v1 terminal. On the other hand, the pendulum-type Hl supports one of the X-7 axes of a rectangular pellet at the axis perpendicular to the vertical plane including the op line and Weight m
Add 2 to make pellets! If the −7 plane is always held in a vertical position regardless of the elevation angle, the other horizontal magnetic flux component Fy which is orthogonal to FX beyond the v2 terminal can be found. As shown in Figure 10, these Fx and Fy values are the sine of the horizontal magnetic force FH in the magnetic north N direction, so input both outputs to the azimuth calculator C2 and calculate τ=-(Fy/Fx). The azimuth angle τ can be obtained from this.

さきに、第2及び第5図を参照し、カメラ光学系主軸■
とレーザー主軸opとの傾斜角θにより距離測定の上限
及び下限を設定することができ、また、その間に挾まれ
る距離の開側全範囲をリニア・センサの全(ハ)ピット
範囲に対応させることができる旨述べたが、この゛場合
、リニア・センサの均等間隙のセンシング・セル(ビッ
ト)列は、末広がシの不均斉な距離増分ディジット列に
対応するこ     、1とになる。このことは、距離
の計測が階段的になシ、リニア・センナの各ビットに対
応する距離増分ディジットは、それぞれの距離において
の測定分解能の限界を与えていることを意味する。した
がって、距離測定の精度を更に向上するには、このリニ
ア・センサの光点撮像ピットに対応する距離増分ディジ
ットを距離の粗目盛シ情報とし、対応距離増分ディジッ
トの中に実在する光点(映像)の位置を探索して、これ
を距離の精目盛シ情報とする要がある。
First, referring to Figures 2 and 5, set the main axis of the camera optical system.
The upper and lower limits of distance measurement can be set by the inclination angle θ between In this case, the evenly spaced sensing cells (bits) of the linear sensor correspond to the asymmetric distance-increment digits of the linear sensor, which correspond to 1's. This means that the distance measurement is stepwise and the distance increment digit corresponding to each bit of the linear sensor gives a limit to the measurement resolution at each distance. Therefore, in order to further improve the accuracy of distance measurement, the distance increment digits corresponding to the light point imaging pits of this linear sensor are used as coarse distance scale information, and the actual light points (image ) and use this as fine distance scale information.

第11図は、レーザー光軸とカメラ姿勢との関係を示す
説明図である。この図において、既に説明した部分には
同一の符号を付しである。第2図について述べたように
、ot2及びot、が光軸op上の計測可能距離の上限
及び下限を示し、otlよ、bot2に至る距離がリニ
ア・センサBの計測ピットに対応する。リニア・センサ
の構成がmピットの場合、その光軸OPと反対側の端の
b(1)ピッ) (LSB)を始点とし、mビット目の
b−ビット(MsB)を終点とする。また、この各ビッ
ト列は、対象距離の下限Ot、より上限のot2までの
mピットの距離増分ディジット列ΔR1(LSB)、・
・・、ΔRrn(MSB)に対応する。
FIG. 11 is an explanatory diagram showing the relationship between the laser optical axis and the camera posture. In this figure, the same reference numerals are given to the parts already described. As described with reference to FIG. 2, ot2 and ot indicate the upper and lower limits of the measurable distance on the optical axis OP, and the distance from otl to bot2 corresponds to the measurement pit of the linear sensor B. When the linear sensor has an m-pit configuration, the starting point is b(1) pit (LSB) at the end opposite to the optical axis OP, and the ending point is the m-th b-bit (MsB). In addition, each bit string is a distance increment digit string ΔR1 (LSB) of m pits from the lower limit Ot of the target distance to the upper limit ot2,
..., corresponds to ΔRrn (MSB).

したがって、リニア・センサのrビットに対応する距離
増分ディジットの増分和をR,とすれば、Rr=’fΔ
R・・・・曲・(7) また1、照射光点Cまでの距離Lhは、Lh=O11+
Rr曲曲直8) このリニア・センサのrビットに対応する距離Lhは、
リニア・センサの長さw1ビット総数m1焦点距jig
f、光学系主点Nとレーザー光軸太点0との間隔e1傾
斜角θを/?ラメータとして理論的に計算できるし、ま
たテーブルによっても求めることができる。いま、これ
を L)、 =f (r ; w* m + f * @ 
+θ)・曲間(9)で表わす。(7) 、 (8) 、
 (9)式より、リニア・センサの各ビットに対応する
距離増分ディジットΔRの増分値を求めることができる
Therefore, if the incremental sum of distance increment digits corresponding to r bits of the linear sensor is R, then Rr='fΔ
R...Song (7) Also, 1. The distance Lh to the irradiation light point C is Lh=O11+
Rr curve straight 8) The distance Lh corresponding to the r bit of this linear sensor is
Linear sensor length w1 total number of bits m1 focal length jig
f, distance e1 inclination angle θ between optical system principal point N and laser optical axis thick point 0/? It can be calculated theoretically as a parameter, or it can also be obtained from a table. Now, let this be L), =f (r; w* m + f* @
+θ)・Song interval (9). (7), (8),
From equation (9), the incremental value of the distance increment digit ΔR corresponding to each bit of the linear sensor can be determined.

一般に、θによる計測可能距離下限による尾切シ効果の
ため、リニア・センサの均等間隙ビット列に対応する距
離増分ディジットΔRは、末広がシの不均斉距離増分デ
ィジット・スケールを与えることになる。また、このΔ
Rは、計測距離Lhにおける計測分解能の限度を示すも
のである。仁のリニア・センナのビットrと対応距離増
分ディジットの増分値Δr1距離Lhとの関係の一例を
示すと、次表のようになる。ただし、f=40m+、 
w=6.646mm。
In general, due to the truncated effect due to the measurable distance lower limit due to θ, the distance increment digits ΔR corresponding to a linear sensor's evenly spaced bit string will give a diverging asymmetric distance increment digit scale. Also, this Δ
R indicates the limit of measurement resolution at measurement distance Lh. An example of the relationship between the bit r of the linear senna and the increment value Δr1 distance Lh of the corresponding distance increment digit is shown in the following table. However, f=40m+,
w=6.646mm.

m=384 、e=48mm、θ=1.8°とした。m=384, e=48 mm, and θ=1.8°.

表 r(ビット)    Lh(瓢)      ΔR(閣
)−512(測定下限)   − 1923,00262 2883673・93 384   4193(測定上限)123距離計測の一
般的用途の場合には、(7)式OR7値のままでも充分
使用できるが、更に精度を向上する必要がある場合は、
Rrを粗目盛シとし、ΔRrの中に実在する映像光点の
位置を探索してこれを精目盛りとする。このため、上記
のノやラメータのうち光学系主点とレーザー光軸基点の
相互間隔eを中心として、リニア°・センサの1ビツト
長に対応するeの増加又は減少分±Δeを標準幅として
、リニア・センサに(しだがってカメラに)1ビツト長
又は若干ビット長の上下の掃引運動を与える。
Table r (bit) Lh (gourd) ΔR (kaku) -512 (lower limit of measurement) - 1923,00262 2883673・93 384 4193 (upper limit of measurement) 123For general use of distance measurement, the OR7 value of formula (7) It can be used as is, but if you need to further improve accuracy,
Rr is set as a coarse scale, and the position of an actual image light spot within ΔRr is searched and this is set as a fine scale. For this reason, among the parameters mentioned above, with the mutual distance e between the optical system principal point and the laser optical axis reference point as the center, the standard width is the increase or decrease of e corresponding to 1 bit length of the linear degree sensor. , giving the linear sensor (and thus the camera) an up and down sweeping motion of one bit length or some bit length.

そして、映像光点を包含する単数のビット(センシング
・セル)又は複数のセンシング・セル列の前端及び後端
にそれぞれ隣接する未受光セルにおける出力の発生及び
消減点を掃引周期に対応して検出する。これによって映
像光点の実在する位置を求め、これを前記リニア・セン
サの距離増分対応ディジットを粗目盛りとした場合の精
目盛シ情報とする。
Then, output generation and extinction points in non-light receiving cells adjacent to the front end and rear end of a single bit (sensing cell) containing an image light spot or a plurality of sensing cell arrays are detected in accordance with the sweep cycle. do. This determines the actual position of the image light spot, and uses this as fine scale information when the digits corresponding to distance increments of the linear sensor are used as coarse scale.

第12 図it: 、)ニア・センサのセンシング・ユ
ニットのセル(ビット)列に投影された光点の位置関係
を示す説明図である。第12図Aは1個のユニット・ピ
ッ) t)(r)内に光点がある場合、第12図Bは隣
接する2個のユニット・ビットb(r)及びb(r−j
)に光点がまたがる場合、第12図Cは3個のユニット
・ピッ)b   、b  及びb(r−f)に光点がま
たがる(r+f)   (r) 場合をそれぞれ示す。第12図B又はCの場合は、隣接
する2個又は3個のビットより出力が発生する。対象面
の発光点は乱反射による再発光点であるため、対象面が
粗面であるような場合光点が拡大し、受光点(映像)が
第12図Cのように3個のビットにまたがったシ又はそ
れ以上のビットにまたがる・ことも珍しくない。このよ
うな場合は映像の中心点を求める必要がちシ、そのため
には、映像光点の出力が発生するリニア・センサの単数
ビット又は複数ビット列の前端及び後端ビットにおいて
、どの位置で出力が発生し消滅しているかを測定しなけ
ればならない。しかし、直接測定するのは困難であるの
で、掃引運動を与えて未受光セルを利用するのである。
FIG. 12 is an explanatory diagram showing the positional relationship of light spots projected on the cell (bit) row of the sensing unit of the near sensor. If there is a light spot in one unit bit b(r) and b(r-j
), Figure 12C shows the case where the light spot spans three unit pics) b, b and b(r-f), respectively (r+f) (r). In the case of FIG. 12B or C, output is generated from two or three adjacent bits. The light emitting point on the target surface is a re-emitting point due to diffuse reflection, so if the target surface is rough, the light point expands and the light receiving point (image) spreads over three bits as shown in Figure 12C. It is not uncommon for the data to span several or more bits. In such cases, it is necessary to find the center point of the image. To do this, it is necessary to find out at which position the output of the image light point occurs among the leading and trailing bits of the single bit or multiple bit string of the linear sensor where the output occurs. It is necessary to measure whether it has disappeared. However, since it is difficult to measure directly, a sweeping motion is applied to utilize cells that do not receive light.

第13図は、掃引方法の一例を示す説明図である。FIG. 13 is an explanatory diagram showing an example of a sweeping method.

この図において、映像光点がAの範囲に実在し、リニア
・センサのr−n番目のヒラ)b(1)〜b(n)(た
だし、r)n)よ)出力が発生しているとする。
In this figure, the image light spot exists in the range A, and the linear sensor's r-nth frame)b(1) to b(n) (r)n) output is generated. shall be.

光軸とカメラ主点間の設定間隔eの位置を零点として間
隔eに正負方向にΔθずつの等速掃引運動を与えること
により、出力発生及び消減点に対応してリニア・センサ
の1ビツト長だけスケールが移動するようにする。そう
すると、出力を発生しているb(r)〜b(n)ビット
に隣接する未受光の出力を生じていない上位ビットb(
r+1)及び下位ピッ)b(n−1)に、距離増加側往
復(O〜+Δe−0)及び距離減少側往復(0〜−Δe
〜0)に対応17て各往復サイクルにおいてη1%及び
η2チの出力発生域が生じる。例えば、第13図に示す
ように、(0〜+Δe〜0)の往復サイクルのそれぞれ
においてb(r+1 )ビットに75チの出力発生域が
生じ、(O〜−Δe−0)の往復サイクルのそれぞれに
おいてb(n−1)ビットに90チの出力発生域が生じ
た場合、r=11z n=9としたとき、精粗目盛多は
次のようになる。映像光点の存在する境界位置の上限は
11 +0.75=11.75となシ、下限は9+(1
−0,9片9Jとなる。一般に、対象(目標)映像は上
下限界の中間位置にあると考えられるので、映像のスケ
ール上の位置は、(9,1+11.75)/2−10.
425の精粗目盛シで表わすことができる。また、ビッ
トrとピッ)nが同一の場合、例えばr=n==8とす
れば、精粗目盛ルは8+(0,75−0,1)/2=8
.325となる。
By applying a constant velocity sweep motion of Δθ in the positive and negative directions to the interval e with the position of the set interval e between the optical axis and the camera principal point as the zero point, the 1-bit length of the linear sensor is adjusted in accordance with the output generation and extinction points. so that the scale moves only by Then, the upper bit b(
r+1) and lower pitch) b(n-1), distance increasing side round trip (O~+Δe-0) and distance decreasing side round trip (0~-Δe
.about.0), an output generation range of η1% and η2chi occurs in each reciprocating cycle. For example, as shown in FIG. 13, an output generation range of 75 chi occurs in the b(r+1) bit in each round trip cycle of (0~+Δe~0), and in a round trip cycle of (O~-Δe−0), In each case, when an output generation range of 90 bits occurs in b(n-1) bits, and r=11z and n=9, the number of fine and coarse scales is as follows. The upper limit of the boundary position where the image light spot exists is 11 + 0.75 = 11.75, and the lower limit is 9 + (1
-0.9 piece becomes 9J. Generally, the target (target) image is considered to be in the middle position between the upper and lower limits, so the position of the image on the scale is (9, 1 + 11.75)/2-10.
It can be expressed with 425 fine and coarse scales. Also, if bit r and pitch n are the same, for example, r=n==8, then the fine/coarse scale is 8+(0,75-0,1)/2=8
.. It becomes 325.

なお、上側においては映像光点位置(rビット)で1ビ
ツト長のスケール移動に対応してΔeだけ距離変化(掃
引)させたが、Δeが僅少の場合は、Δeを1単位とし
、これをN単位ずつ等速度で上下(又は両側)に掃引運
動をさせてもよい。第14図は、この場合の掃引方法を
示す説明図である。この場合は、図示のように、距離増
加側往復サイクルは(0〜Δ・〜2Δe〜・・・NΔe
〜(N−1)Δe〜・・・2Δe〜Δe −0)となシ
、距離減少側往復サイクルは(0−Δe〜−2Δe〜・
・・−NΔe〜−(N−1)Δe・・・−2Δe〜−Δ
・〜O)トナル(7’cだし、第14図ではN=3の場
合を示す。)。この場合ONは、r+Nピット及びn−
Nビットの各位置で1ピツ、ト長の移動を与えるΔeが
はt!同一の値をとbうるように、例えはN〈10など
の値に留める必要がある。上記のNleの正負の掃引移
動時の出力発生域を検索する対応ビットは、Δeを1単
位とした正負往復掃引時に検索したb(r+1)及びt
’(n−1)ビットが順次Nビットずつ上下にシフトし
たとして、それぞれのビットの出力発生域をΔe増加側
の往復サイクルの各ピッチ毎に求めてこれをη1とし、
また、これをΔe減少側の往復サイクルの各ピッチ毎に
求めてηjとし、それぞれの往復サイクルの総数2Nの
平均を求めてこれをη1.η2とする。すなわち、Ση
、72N=η1 1=0〜Δe、Δe 〜2Δe 、 、、、 、 (N
−1)Δe−NΔe。
In addition, in the upper part, the distance was changed (swept) by Δe corresponding to the scale movement of 1 bit length at the image light spot position (r bit), but if Δe is small, Δe is set to 1 unit and this is changed. Sweeping motion may be performed up and down (or on both sides) at a constant speed of N units. FIG. 14 is an explanatory diagram showing the sweeping method in this case. In this case, as shown in the figure, the distance increasing side reciprocating cycle is (0~Δ・~2Δe~...NΔe
~(N-1)Δe~...2Δe~Δe -0), and the distance decreasing side reciprocating cycle is (0-Δe~-2Δe~・
...-NΔe~-(N-1)Δe...-2Δe~-Δ
・~O) Tonal (7'c, Fig. 14 shows the case where N=3). In this case, ON is r+N pit and n-
Δe that gives a movement of 1 bit and t length at each position of N bits is t! For example, it is necessary to keep the value N<10 so that the same value can be obtained. The corresponding bits for searching the output generation range during the positive/negative sweep movement of Nle above are b(r+1) and t searched during the positive/negative reciprocating sweep with Δe as one unit.
'(n-1) bits are sequentially shifted up and down by N bits, the output generation range of each bit is determined for each pitch of the round trip cycle on the increasing side of Δe, and this is set as η1,
Further, this is determined for each pitch of the reciprocating cycle on the Δe decreasing side and set as ηj, and the average of the total number 2N of each reciprocating cycle is determined and this is set as η1. Let it be η2. That is, Ση
, 72N=η1 1=0 ~ Δe, Δe ~ 2Δe , , , , (N
-1)Δe−NΔe.

NΔe〜(Nl)Δel”’+2Δe〜Δe、Δe〜0
;Σηj/2N=η2 j=θ〜−Δe、−Δe〜−2,Δe、−,−(N−1
)Δe〜−N/je。
NΔe~(Nl)Δel"'+2Δe~Δe, Δe~0
;Σηj/2N=η2 j=θ〜−Δe, −Δe〜−2, Δe, −, −(N−1
)Δe~-N/je.

−NΔe〜−(N−1)Δer”・+−2Δe〜−Δe
、−Δe〜0;このη、η をさきのΔeで往復運動し
たときのb(r+1)。
−NΔe〜−(N−1)Δer”・+−2Δe〜−Δe
, -Δe~0; b(r+1) when these η, η are reciprocated with the previous Δe.

、12 b(n−1)ビットにおける出力発生域のη4.η2と
同様に扱うことによ如、精粗目盛シを得ることができ 
    。
, η4. of the output generation range in 12 b(n-1) bits. By treating it in the same way as η2, a fine and coarse scale can be obtained.
.

る。Ru.

発明の効果 本発明は、レーザー光を対象面上の目標点に照射するだ
けの簡単な操作により、目標点の空間(3次元)座標を
計測しうるので、立体ディジタイザ−として迅速な室内
内部などの立体構築部の寸法又はロデットアームのグリ
ップ部先端の3次元運動経路等の測量及び製図が可能と
なる。したがって、塗装口がットや3次元作業ロデット
などの運動プログラム・テープ作製が容易となる。
Effects of the Invention The present invention can measure the spatial (three-dimensional) coordinates of a target point with a simple operation of irradiating the target point on the target surface with a laser beam, so it can be used as a three-dimensional digitizer quickly for indoor purposes, etc. It is possible to measure and draw the dimensions of the three-dimensional construction part or the three-dimensional movement path of the grip part tip of the rodet arm. Therefore, it becomes easy to create a motion program tape for painting openings, three-dimensional working rodets, and the like.

また、目標点までの距離の遠近に応じて、カメラ主軸と
レーザー光軸との傾斜角を切替えることによし、測定距
離範囲を最適の測定精度に設定することができる。
Further, by switching the inclination angle between the camera main axis and the laser optical axis depending on the distance to the target point, the measurement distance range can be set to the optimum measurement accuracy.

更に、リニア・センサの映像光点ビットに対応する距離
増分ディジットを該距離の粗目盛多情報とし、対応距離
増分ディジットの中に実在する映像光点の位置を探索し
て、これを該距離の精目盛シ情報とすることにより、距
離測定の精度を一層向上させることができる。
Furthermore, the distance increment digit corresponding to the image light spot bit of the linear sensor is used as the coarse scale information of the distance, the position of the actual image light spot is searched for in the corresponding distance increment digit, and this is used as the position of the image light spot of the distance. By using fine scale information, the accuracy of distance measurement can be further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の基本的実施例を示す構成図、第2図は
レーザー光軸と撮像カメラの光学系との関係を示す解析
図、第3図はリニア・センサを示す図、第3図Aはその
平面図、第3図Bは要部拡大図、第4図は撮像カメラ光
学系の説明図、第5図は遠距離及び近距離モード切替え
説明図、第5図Aは遠距離モードの図、第5図Bは近距
離モードの図、第6図はリニア・センサの出力ビットと
測定距離との関係を示す曲線図、第7図は測定された距
離Lh、レーザー光軸の旋回角τ及び俯仰角δより目標
点CのXYZ座標値を求める説明図、第8図は本発明の
他の実施例を示す外観図、第9図は本発明の更に他の実
施例を示す外観図、第10図は傾斜トランスデユーサ及
び地磁気トランスデユーサを示す説明図、第11図はレ
ーザー光軸とカメラ姿勢との関係を示す説明図、第12
図はリニア・センナ上に現われる映像の位置関係を示す
説明図、第13図は精目盛シを得るための掃引方法の例
を示す説明図、第14図は掃引方法の他の例を示す説明
図である。 (8)・・・旋回角トランスデユーサ、(9)・・・俯
仰角トランスデューサ、(イ)・・・旋回・俯仰体、(
3)・・・レーザー光線発射管、OP・・・レーザー光
軸、(4)・・・リニア・センサ型撮像カメラ、■・・
・カメラ主軸、θ・・・可変傾斜角、B・・・リニア・
センサ、C・・・照射光点(目標点) 、r・・・リニ
ア・センサ上の映像の位置、Lh・・・レーザー光軸基
点から照射光点までの距離、τ・・・旋回角、δ・・・
俯仰角、η・・・測定値、b(r+1) l b(r)
 +b(r−1) 、b(n) 1b(n−D ”’セ
ンシング・セル(ビット)位置。
Figure 1 is a configuration diagram showing a basic embodiment of the present invention, Figure 2 is an analysis diagram showing the relationship between the laser optical axis and the optical system of the imaging camera, Figure 3 is a diagram showing the linear sensor, and Figure 3 is a diagram showing the relationship between the laser optical axis and the optical system of the imaging camera. Figure A is a plan view, Figure 3B is an enlarged view of the main parts, Figure 4 is an explanatory diagram of the imaging camera optical system, Figure 5 is an explanatory diagram of switching between long-distance and short-distance modes, and Figure 5A is a long-distance view. Figure 5B is a diagram of the short distance mode, Figure 6 is a curve diagram showing the relationship between the output bit of the linear sensor and the measured distance, and Figure 7 is the measured distance Lh and the laser optical axis. An explanatory diagram for determining the XYZ coordinate values of the target point C from the turning angle τ and the elevation angle δ, FIG. 8 is an external view showing another embodiment of the present invention, and FIG. 9 shows still another embodiment of the present invention. External view, Figure 10 is an explanatory diagram showing the tilt transducer and geomagnetic transducer, Figure 11 is an explanatory diagram showing the relationship between the laser optical axis and the camera posture, and Figure 12 is an explanatory diagram showing the relationship between the laser optical axis and the camera attitude.
The figure is an explanatory diagram showing the positional relationship of images appearing on the linear sensor, Fig. 13 is an explanatory diagram showing an example of a sweeping method to obtain fine scale marks, and Fig. 14 is an explanatory diagram showing another example of the sweeping method. It is a diagram. (8)... Turning angle transducer, (9)... Elevation angle transducer, (a)... Turning/elevation body, (
3)... Laser beam launch tube, OP... Laser optical axis, (4)... Linear sensor type imaging camera, ■...
・Camera main axis, θ...Variable tilt angle, B...Linear
Sensor, C... Irradiation light point (target point), r... Image position on the linear sensor, Lh... Distance from the laser optical axis base point to the irradiation light point, τ... Turning angle, δ...
Elevation angle, η...measured value, b(r+1) l b(r)
+b(r-1), b(n) 1b(n-D '''Sensing cell (bit) position.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、水平面内における旋回角及び鉛直面内における俯仰
角をそれぞれ計測するトランスデューサをもつ旋回・俯
仰体に、レーザー光軸を俯仰軸と一致させたレーザー光
線発射管とリニア・センサ型撮像カメラとを並べて設け
、上記レーザー光軸と上記カメラ主軸とをその平行位置
より可変の傾斜が可能とし、上記リニア・センサの長手
方向撮像面を上記カメラ主軸と直交位置に保持し、上記
レーザー光線発射管によりレーザー光線を対象面に照射
し、その照射光点を上記撮像カメラで捕え、そのリニア
・センサ上の映像の位置により上記レーザー光軸基点か
ら照射光点までの距離を求め、これと計測される上記レ
ーザー光軸の旋回角及び俯仰角とにより目標点の空間位
置を算定する3次元座標測定装置。 2、水平面内に旋回角及び鉛直面内における俯仰角をそ
れぞれ計測するトランスデューサをもつ旋回・俯仰体に
、レーザー光軸を俯仰軸と一致させたレーザー光線発射
管とリニア・センサ型撮像カメラとを並べて設け、上記
レーザー光軸と上記カメラの主軸とをその平行位置より
可変の傾斜が可能とし、上記リニア・センサの長手方向
撮像面を上記カメラ主軸と直交位置に保持し、上記レー
ザー光線発射管によりレーザー光線を対象面に照射し、
その照射光点を上記撮像カメラで捕え、そのリニア・セ
ンサ上の映像の位置により上記レーザー光軸基点から照
射光点までの距離を求め、これと計測される上記レーザ
ー光軸の旋回角及び俯仰角とにより目標点の空間位置を
算定する3次元座標測定装置において、上記レーザー光
軸基点とカメラ光学系主点との間隔の特定値を中心とし
て、上記レーザー光軸基点から照射光点までの距離に対
応する上記リニア・センサ上において1センシング・セ
ル長又は複数センシング・セル長に相当する変位を生じ
るように上記カメラに両方向の掃引運動を与え、上記照
射光点の映像を包含する単数のセンシング・セル又は複
数のセンシング・セル列の前端及び後端セルにそれぞれ
隣接する未受光セルにおける映像発生及び消滅点を上記
掃引周期に対応して測定し、この測定値を、上記映像を
包含する単数又は複数のセンシング・セル位置情報を上
記距離を表わす粗目盛りとした場合の精目盛りとする3
次元座標測定装置。
[Scope of Claims] 1. A laser beam emitting tube and a linear sensor whose laser beam axis is aligned with the elevation axis of a rotating/elevation body having transducers that measure the rotation angle in the horizontal plane and the elevation angle in the vertical plane, respectively. type imaging cameras are arranged side by side, the laser optical axis and the camera main axis can be tilted variablely from their parallel positions, the longitudinal imaging surface of the linear sensor is held at a position orthogonal to the camera main axis, and the A laser beam is irradiated onto the target surface by a laser beam emitting tube, the irradiated light point is captured by the above-mentioned imaging camera, and the distance from the above-mentioned laser beam axis base point to the irradiated light point is determined from the position of the image on the linear sensor. A three-dimensional coordinate measuring device that calculates the spatial position of a target point based on the measured turning angle and elevation angle of the laser optical axis. 2. A laser beam emitting tube whose laser beam axis is aligned with the elevation axis and a linear sensor type imaging camera are arranged in a rotating/elevating body having a transducer that measures the angle of rotation in the horizontal plane and the angle of elevation in the vertical plane. the laser beam axis and the main axis of the camera can be tilted variably from their parallel positions, the longitudinal imaging surface of the linear sensor is held at a position orthogonal to the camera main axis, and the laser beam is emitted by the laser beam emitting tube. Irradiate the target surface with
The irradiated light point is captured by the imaging camera, and the distance from the laser optical axis base point to the irradiated light point is determined based on the position of the image on the linear sensor, and this and the measured turning angle and elevation of the laser optical axis are determined. In a three-dimensional coordinate measuring device that calculates the spatial position of a target point based on the angle, the distance from the laser optical axis base point to the irradiation light point is calculated based on a specific value of the interval between the laser optical axis base point and the camera optical system principal point. applying a sweeping motion in both directions to said camera to produce a displacement on said linear sensor corresponding to a distance corresponding to one sensing cell length or multiple sensing cell lengths; Measure the image generation and extinction points in the non-light receiving cells adjacent to the front end and rear end cells of the sensing cell or the plurality of sensing cell rows, respectively, corresponding to the sweep cycle, and use this measurement value as a value that includes the image. Fine scale when single or multiple sensing cell position information is used as a coarse scale representing the distance 3
Dimensional coordinate measuring device.
JP13489584A 1984-06-29 1984-06-29 Three diementional coordinate measuring instrument Pending JPS6114514A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735522A (en) * 1993-07-23 1995-02-07 Nippon Doro Kodan Method of measuring profile of cross-section of paved road surface with the use of laser
JPH09184720A (en) * 1995-12-29 1997-07-15 Nec Corp Geodetic survey method and device therefor
JP2013092456A (en) * 2011-10-26 2013-05-16 Topcon Corp Image measuring device

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