JPS6114194Y2 - - Google Patents

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JPS6114194Y2
JPS6114194Y2 JP16269877U JP16269877U JPS6114194Y2 JP S6114194 Y2 JPS6114194 Y2 JP S6114194Y2 JP 16269877 U JP16269877 U JP 16269877U JP 16269877 U JP16269877 U JP 16269877U JP S6114194 Y2 JPS6114194 Y2 JP S6114194Y2
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electrode
surface acoustic
acoustic wave
interdigital
fingers
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、90゜位相器を用いる一方向性インタ
ーデイジタル電極を利用した弾性表面波装置に関
し、特に、圧電体基板をプラグイン型外囲器等に
内装する際に最適な電極パターンの構造に関す
る。
[Detailed description of the invention] The present invention relates to a surface acoustic wave device using unidirectional interdigital electrodes using a 90° phase shifter, and is particularly useful when a piezoelectric substrate is installed inside a plug-in type envelope, etc. Regarding the structure of the optimal electrode pattern.

弾性表面波装置は、通常のインターデイジタル
電極を用いた場合、両方向性のため送受波で最低
6dBの挿入損失が生ずる。この挿入損失を小さく
するために、第1図に示すような90゜位相器を用
いる一方向性インターデイジタル電極が提案され
ている。この電極の作動については実施例の説明
と合わせて詳述するが、この電極は、ホツト電極
引出し部2および3が圧電体1の同一側辺から導
出されることに注目すべきである。
When surface acoustic wave devices use normal interdigital electrodes, they are bidirectional, so there is a minimum
6dB insertion loss occurs. In order to reduce this insertion loss, a unidirectional interdigital electrode using a 90° phase shifter as shown in FIG. 1 has been proposed. The operation of this electrode will be described in detail in conjunction with the description of the embodiments, but it should be noted that the hot electrode lead-out portions 2 and 3 of this electrode are led out from the same side of the piezoelectric body 1.

一方、第2図は、第1図で示した電極を入力用
とした素子をプラグイン型外囲器に内装した状態
を示す。同図において、5は金属ケースの一部を
なす底板、6,7は入力用外部端子、8,9は出
力用外部端子、10はアース用外部端子である。
アース用端子10のみがケース5に電気的に接続
されている。これらの端子6,7,8,9および
10は円周状に配置されている。入力用電極の一
方のホツト電極引出し部2は端子6に、アース電
極引出し部4はケース5にそれぞれリード細線で
接続されている。他方のホツト電極引出し部3も
リード細線で端子7に接続されているが、ホツト
電極引出し部3と端子7とが電極を間にして両側
に位置しているため、そのリード細線は電極上を
横切ることになる。この結果、電極を跨ぐリード
細線により、電極の接続不可のフインガー同士が
短絡してしまうという危険性が生ずるとともに、
長いリード細線により浮遊容量およびインダクタ
ンスが大きくなるという欠点等も生ずる。なお、
外囲器としてはプラグイン型に限らず、入力用も
しくは出力用の一組の外部端子が内装すべき素子
を間にして両側に配置されている。外囲器を用い
る場合上述した欠点が常に生ずる。図において、
出力側電極は説明の便宜上省略している。
On the other hand, Fig. 2 shows a state in which an element using the electrodes shown in Fig. 1 for input is mounted inside a plug-in type enclosure. In the figure, 5 is a bottom plate forming a part of the metal case, 6 and 7 are external input terminals, 8 and 9 are external output terminals, and 10 is an external earth terminal.
Only the earth terminal 10 is electrically connected to the case 5. These terminals 6, 7, 8, 9 and 10 are arranged circumferentially. One of the hot electrode lead portions 2 of the input electrode is connected to the terminal 6, and the earth electrode lead portion 4 is connected to the case 5 by a thin lead wire. The other hot electrode lead portion 3 is also connected to the terminal 7 by a thin lead wire, but since the hot electrode lead portion 3 and the terminal 7 are located on either side of the electrode, the thin lead wire crosses the electrode. As a result, there is a risk that fingers of the electrodes that cannot be connected will be short-circuited by the thin lead wire that crosses the electrode,
Another drawback is that the long thin lead wires increase stray capacitance and inductance.
The package is not limited to the plug-in type, and a pair of external terminals for input or output are arranged on both sides of the device to be mounted. When a package is used, the above-mentioned disadvantages always occur.
For convenience of explanation, the output electrodes are omitted.

本考案は、上述した従来の状況にかんがみてな
されたもので、90゜位相器を用いる一方向性イン
ターデイジタル電極を利用した素子を、プラグイ
ン型の外囲器に障害なく内装できるようにするこ
とを目的とし、その要旨は、90゜位相器を用いる
一方向性インターデイジタル電極を、弾性表面波
伝播方向に設けた共通電極を介して分離した弾性
表面波装置である。
The present invention was developed in view of the conventional situation described above, and allows an element using a unidirectional interdigital electrode using a 90° phase shifter to be installed in a plug-in type envelope without any hindrance. The gist of this is a surface acoustic wave device in which unidirectional interdigital electrodes using a 90° phase shifter are separated via a common electrode provided in the direction of surface acoustic wave propagation.

以下、本考案の一実施例を図面を参照しつつ詳
述する。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第3図において、11は圧電体であり、通常
PZT等の圧電磁器、Zno等の圧電薄膜、LiNbO3
の単結晶等の材料で構成されている。この圧電体
11上には一方向性のインターデイジタル電極が
ホトエツチング等のパターン技術で形成されてい
る。このインターデイジタル電極は、一組の電極
E1,E2から励振される表面波の位相がλ
4だけ表面波伝播方向にずれるように電極E1,
E2を配置したもので、しかも各電極E1,E2
表面波伝播方向に設けたアース電位の共通電極1
4を介してフインガー方向に2分割されている。
ここで、λは中心周波数における弾性表面波の
波長である。
In Fig. 3, 11 is a piezoelectric material, which is usually
It is composed of materials such as piezoelectric ceramics such as PZT, piezoelectric thin films such as Zno, and single crystals such as LiNbO 3 . Unidirectional interdigital electrodes are formed on the piezoelectric body 11 by patterning techniques such as photoetching. In this interdigital electrode, the phase of the surface wave excited from a pair of electrodes E1 and E2 is λ 0 /
The electrode E1 is shifted by 4 in the direction of surface wave propagation.
E2 is arranged, and each electrode E1, E2
Common electrode 1 with earth potential provided in the direction of surface wave propagation
4 in the finger direction.
Here, λ 0 is the wavelength of the surface acoustic wave at the center frequency.

つまり、12は両電極E1,E2から励振され
る表面波の位相をλ/4だけずらせるためにλ
/2の幅をもたせたアース電極であり、このア
ース電極12の両側(図の左右方向)にλの中
心間距離をもつて複数のアース側フインガー13
が順次配置されている。各フインガー13の電極
幅は、λ/4としている。これらのフインガー
13は、各フインガー13の中央付近を表面波伝
播方向に横切るアース電位の共通電極14で互い
に接続されている。各隣接するフインガー13間
には、共通電極14とは隔絶されかつその上下両
側にホツト側フインガー15が挿入配置されてい
る。フインガー15のフインガー間の距離はλ
であり、電極幅は、/4としている。アース電極
12の左側に位置するフインガー15は、共通電
極14の上下側においてそれぞれ共通部16,1
7で接続されている。これらの共通部16,17
は最外側のフインガー15aで接続されている。
また右側に位置するフインガー15は、反対側の
フインガー15とは別個に、共通電極14の上下
側においてそれぞれ共通部18,19で接続され
ている。これらの共通部18,19は最外側のフ
インガー15bで接続されている。アース電極1
2の左側に位置するフインガー13,15によつ
て第1のインターデイジタル電極E1が構成さ
れ、右側に位置するフインガー13,15によつ
て第2のインターデイジタル電極E2が構成され
る。第1および第2の電極E1,E2は、λ
2の幅をもつアース電極12により、すなわちア
ース電極12の両側のフインガーの中心間距離を
(1+1/4)λに設定することにより、互いにλ
/4だけ離間させている。20は共通部16に
接続された第1のホツト電極引出し部であり、2
1は共通部19に接続された第2のホツト電極引
出し部である。引出し部20,21はそれぞれ共
通部17,18に接続してもよく、要は一組のホ
ツト電極引出し部20,21を電極を介して互い
に反対側に配置すればよい。22はアース電極1
2に接続されたアース電極引出し部である。本実
施例の外部回路との接続は、第1図のものと同様
に両ホツト電極引出し部20,21間に90゜位相
器を接続して行えばよい。
In other words, 12 is λ in order to shift the phase of the surface waves excited from both electrodes E1 and E2 by λ 0 /4.
It is a ground electrode with a width of 0/2 , and a plurality of ground side fingers 13 are arranged on both sides of this ground electrode 12 (in the left-right direction in the figure) with a center-to-center distance of λ 0 .
are arranged sequentially. The electrode width of each finger 13 is λ 0 /4. These fingers 13 are connected to each other by a common electrode 14 at a ground potential that extends near the center of each finger 13 in the surface wave propagation direction. Hot-side fingers 15 are inserted between the adjacent fingers 13, isolated from the common electrode 14, and on both upper and lower sides thereof. The distance between fingers 15 is λ 0
The electrode width is /4. The finger 15 located on the left side of the earth electrode 12 connects to common parts 16 and 1 on the upper and lower sides of the common electrode 14, respectively.
7 is connected. These common parts 16, 17
are connected at the outermost finger 15a.
Further, the finger 15 located on the right side is connected to the finger 15 on the opposite side through common portions 18 and 19 on the upper and lower sides of the common electrode 14, respectively. These common parts 18 and 19 are connected by the outermost finger 15b. Earth electrode 1
The fingers 13 and 15 located on the left side of 2 constitute a first interdigital electrode E1, and the fingers 13 and 15 located on the right side constitute a second interdigital electrode E2. The first and second electrodes E1 and E2 have a λ 0 /
By setting the distance between the centers of the fingers on both sides of the ground electrode 12 to (1+1/4)λ 0 , the ground electrode 12 has a width of λ
They are separated by 0/4 . 20 is a first hot electrode lead-out part connected to the common part 16;
Reference numeral 1 denotes a second hot electrode lead-out portion connected to the common portion 19. The lead-out parts 20 and 21 may be connected to the common parts 17 and 18, respectively, and in short, a pair of hot electrode lead-out parts 20 and 21 may be arranged on opposite sides of the electrode. 22 is earth electrode 1
This is the ground electrode lead-out part connected to 2. Connection with an external circuit in this embodiment can be made by connecting a 90° phase shifter between the two hot electrode lead-out portions 20 and 21, as in the case of FIG.

次に、本実施例を入力用として用いた場合の作
動について述べる。電極E1,E2で励振される
表面波は、いずれも左右両方向に伝播する。右方
向へ伝播する表面波について着目すると、電極E
2による表面波Aは電極E1による表面波Cに対
しλ/4(π/2)だけ位相が進む。一方、左
方向への表面波についてみると、電極E2による
表面波Bは電極E1による表面波Dに対しλ
4(π/2)だけ位相が遅れる。また、表面波を
励振させる信号は、電極E2に加える信号を電極
E1に加える信号に対しπ/2だけ遅らせてい
る。したがつて、表面波Aと表面波Cとは同相の
波となつて互いに強め合い、表面波Bと表面波D
とは逆相の波となつて相殺される。この結果、表
面波は右方向へのみ伝播し、一方向性となる。
Next, the operation when this embodiment is used for input will be described. The surface waves excited by the electrodes E1 and E2 propagate in both left and right directions. Focusing on the surface waves propagating to the right, electrode E
The surface wave A due to the electrode E1 has a phase lead of λ 0 /4 (π/2) with respect to the surface wave C due to the electrode E1. On the other hand, regarding the surface waves to the left, the surface waves B caused by the electrode E2 are λ 0 /
The phase is delayed by 4 (π/2). Further, regarding the signal that excites the surface wave, the signal applied to the electrode E2 is delayed by π/2 with respect to the signal applied to the electrode E1. Therefore, surface waves A and C become in-phase waves and strengthen each other, and surface waves B and D
The wave becomes a wave with the opposite phase and cancels out. As a result, the surface waves propagate only to the right, making them unidirectional.

以上のことは共通電極14の下側部分について
もいえるし、また第1図記載のものについてもい
える。すなわち本実施例は、第1図記載の従来例
と比較して、特性的にはほとんど同じであるが、
ホツト電極引出し部20,21をインターデイジ
タル電極を介して互いに反対側に配置させ得る点
で相違している。
The above also applies to the lower part of the common electrode 14, and also to the one shown in FIG. In other words, compared to the conventional example shown in FIG. 1, this example has almost the same characteristics, but
The difference is that the hot electrode lead-out portions 20 and 21 can be arranged on opposite sides of the interdigital electrode.

第4図は本実施例をプラグイン型外囲器に内装
した状態を示す平面図である。外囲器についての
説明は第2図の場合と同一であるから同一符号を
記して省略する。引出し部20は端子6に、引出
し部21は端子7に、引出し部22はケース5に
それぞれリード細線で接続されており、しかもリ
ード細線はいずれも電極上を跨ぐことはない。
FIG. 4 is a plan view showing this embodiment installed in a plug-in type envelope. Since the description of the envelope is the same as in the case of FIG. 2, the same reference numerals will be used and the description will be omitted. The lead-out part 20 is connected to the terminal 6, the lead-out part 21 is connected to the terminal 7, and the lead-out part 22 is connected to the case 5 by thin lead wires, and none of the thin lead wires straddles the electrode.

上記実施例において、得られる電極は入力用に
も出力用にも用いることができ、各フインガーの
電極幅はλ/4に限ることなくそれより狭くし
てもよく、またフインガーをスプリツト型で構成
してもよい。しかも、アース電極12はλ/2
より狭くしてもよく、場合によつては削除しても
よい。さらに、最外側フインガー15a,15b
は、電極の切断により電圧供給が不能になるのを
防止するため、他のフインガー幅よりも太く形成
しておくのがよい。さらにまた、電極パターンは
正規型に限らず種々の重み付けを施してもよい。
In the above embodiment, the electrodes obtained can be used for both input and output, and the electrode width of each finger is not limited to λ 0 /4, but may be narrower than λ 0 /4, and the fingers may be of a split type. may be configured. Moreover, the ground electrode 12 has a diameter of λ 0 /2
It may be made narrower or may be deleted in some cases. Furthermore, the outermost fingers 15a, 15b
It is preferable to form the fingers wider than the other fingers in order to prevent voltage supply from becoming impossible due to cutting of the electrodes. Furthermore, the electrode pattern is not limited to the regular type, and may be weighted in various ways.

特に、本考案による電極の相手側電極として、
任意の周波数特性と位相特性を得るために偶一奇
設計法等で構成した二段型電極を用いる場合、二
段型に構成することによる損失がなくなるので、
本考案はより一層効果的なものとなる。
In particular, as a counterpart electrode of the electrode according to the present invention,
When using a two-stage electrode configured using an even-odd design method to obtain arbitrary frequency characteristics and phase characteristics, there is no loss due to the two-stage configuration.
The present invention becomes even more effective.

以上説明したように、本考案によれば、インタ
ーデイジタル電極上を跨いでリード細線を取り付
ける必要がなくなり、使用時にリード細線による
電極フインガー同士の不要な接触がなくなり、ま
たリード細線の引きまわしによる浮遊容量および
細線自身によるインダクタンスが少なくなり、し
かもリード細線の接続(ボンデイング加工)が容
易となる。
As explained above, according to the present invention, there is no need to attach a thin lead wire across the interdigital electrode, unnecessary contact between electrode fingers due to the thin lead wire during use is eliminated, and floating due to the thin lead wire being drawn around is eliminated. Capacitance and inductance due to the thin wire itself are reduced, and the connection (bonding process) of the lead thin wire becomes easier.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の弾性表面波装置を示す図、第2
図は第1図の装置を外囲器に内装した状態を示す
図、第3図は本考案による弾性表面波装置の一実
施例を示す図、第4図は本実施例を外囲器に内装
した状態を示す図である。
Figure 1 shows a conventional surface acoustic wave device, Figure 2 shows a conventional surface acoustic wave device.
The figure shows the device of FIG. 1 installed in an envelope, FIG. 3 shows an embodiment of the surface acoustic wave device according to the present invention, and FIG. 4 shows the device of this embodiment installed in an envelope. It is a diagram showing a state where the interior is installed.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 圧電体と協働して弾性表面波を励振する入力側
インターデイジタル電極と、同じく弾性表面波を
受信する出力側インターデイジタル電極とを備
え、これらのうち少くとも一方のインターデイジ
タル電極を、励振もしくは受信表面波が互いにλ
/4の位相ずれをもつように弾性表面波伝播方
向に沿つてアース電極を間にして近接配置した一
組の電極部分で構成し、これらの電極部分に対し
π/2の位相のずれをもたせて電気的信号を供給
もしくは取り出すようにした弾性表面波装置にお
いて、 前記一組の電極部分で構成したインターデイジ
タル電極を、弾性表面波伝播方向に設けた、前記
アース電極に連続した共通電極を介して分離し、
分離された両側の電極部分のホツト側フインガー
を最外側のフインガーで相互に接続したことを特
徴とする弾性表面波装置。 λ:中心周波数における表面波の波長
[Claims for Utility Model Registration] An input-side interdigital electrode that excites surface acoustic waves in cooperation with a piezoelectric body, and an output-side interdigital electrode that also receives surface acoustic waves, and at least one of these is provided. The interdigital electrodes of the excitation or reception surface waves are mutually λ
It consists of a pair of electrode parts placed close to each other along the surface acoustic wave propagation direction with a ground electrode between them so that the phase shift is 0/4 , and a phase shift of π/2 is applied to these electrode parts. In a surface acoustic wave device for supplying or extracting an electrical signal, an interdigital electrode constituted by the pair of electrode portions is provided with a common electrode continuous to the ground electrode, which is provided in the surface acoustic wave propagation direction. separated through
A surface acoustic wave device characterized in that hot side fingers of separated electrode portions on both sides are interconnected by an outermost finger. λ 0 : Wavelength of surface wave at center frequency
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