JPS60929U - エキスパンダ装置 - Google Patents
エキスパンダ装置Info
- Publication number
- JPS60929U JPS60929U JP9297783U JP9297783U JPS60929U JP S60929 U JPS60929 U JP S60929U JP 9297783 U JP9297783 U JP 9297783U JP 9297783 U JP9297783 U JP 9297783U JP S60929 U JPS60929 U JP S60929U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- expander device
- frame
- sheet
- guising
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はエキスパンダ装置の斜視図、第２図は第１図装
置によるカット溝間隔を拡大する方法を示す斜視図、及
び第３図は本考案の実施例を示す −側断面図である。 凶年、１はグイシングカットのウェーハ、２はマスキン
グシート、３はシート２に接着のウェーハ、４は２を装
着する枠、５と７はリング、６は円板、９はファン、１
０は電熱ヒータ、１１はエキスパンダ装置本体である。
置によるカット溝間隔を拡大する方法を示す斜視図、及
び第３図は本考案の実施例を示す −側断面図である。 凶年、１はグイシングカットのウェーハ、２はマスキン
グシート、３はシート２に接着のウェーハ、４は２を装
着する枠、５と７はリング、６は円板、９はファン、１
０は電熱ヒータ、１１はエキスパンダ装置本体である。
Claims (2)
- （１）マスキングシートに接着されたグイシングカット
のウェーハを前記シート取りつけの枠体に張着し且つ枠
体下方から円板を押し上げ、前記グイシングカットのウ
ェーハの溝間隔を拡大するエキスパンダ装置に於いて、
前記円板内にヒータが装着されたことを特徴とするエキ
スパンダ装置。 - （２）前記シート張着の枠体上部にヒータとファンが装
着されたことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のエキスパンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9297783U JPS60929U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | エキスパンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9297783U JPS60929U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | エキスパンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60929U true JPS60929U (ja) | 1985-01-07 |
Family
ID=30223486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9297783U Pending JPS60929U (ja) | 1983-06-17 | 1983-06-17 | エキスパンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60929U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6423191U (ja) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 |
-
1983
- 1983-06-17 JP JP9297783U patent/JPS60929U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6423191U (ja) * | 1987-07-30 | 1989-02-07 |
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