JPS6088543U - ヒ−タブロツク - Google Patents
ヒ−タブロツクInfo
- Publication number
- JPS6088543U JPS6088543U JP18012883U JP18012883U JPS6088543U JP S6088543 U JPS6088543 U JP S6088543U JP 18012883 U JP18012883 U JP 18012883U JP 18012883 U JP18012883 U JP 18012883U JP S6088543 U JPS6088543 U JP S6088543U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- heater block
- block body
- pins
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例の断面正面図、第２図はその平
面図である。 １・・・ヒータブロック本体、２・・・ヒータ、３・・
・ヒータプレート、４・・・凹部、５，６・・・ピン、
７・・・位置決め穴、８・・・長大。
面図である。 １・・・ヒータブロック本体、２・・・ヒータ、３・・
・ヒータプレート、４・・・凹部、５，６・・・ピン、
７・・・位置決め穴、８・・・長大。
Claims (1)
- ヒータを内蔵したヒータブロック本体と、該ヒータブロ
ック本体上に着脱可能に載置されるヒータプレートとよ
り成るヒータブロックにおいて、前記ヒータブロック本
体上面に、長手方向に沿って２本のピンが植設され、前
記ヒータプレートには、前記２本のピンの一方のピンに
対して精密に嵌合する位置決め穴と、他方のピンに対し
て前記ヒータプレートの長手方向に関して隙間を以て嵌
合する長大とが設けられていることを特徴とするヒータ
ブロック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18012883U JPS6088543U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ヒ−タブロツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18012883U JPS6088543U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ヒ−タブロツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6088543U true JPS6088543U (ja) | 1985-06-18 |
| JPH0142352Y2 JPH0142352Y2 (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=30390649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18012883U Granted JPS6088543U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | ヒ−タブロツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6088543U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009071202A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プレートの固定機構 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4878467B2 (ja) * | 2005-10-19 | 2012-02-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | キュア装置および半導体装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5754278U (ja) * | 1980-09-18 | 1982-03-30 |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP18012883U patent/JPS6088543U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5754278U (ja) * | 1980-09-18 | 1982-03-30 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009071202A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プレートの固定機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0142352Y2 (ja) | 1989-12-12 |
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