JPS6069375U - ダイヤフラム式真空ポンプの消音装置 - Google Patents

ダイヤフラム式真空ポンプの消音装置

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Publication number
JPS6069375U
JPS6069375U JP16013183U JP16013183U JPS6069375U JP S6069375 U JPS6069375 U JP S6069375U JP 16013183 U JP16013183 U JP 16013183U JP 16013183 U JP16013183 U JP 16013183U JP S6069375 U JPS6069375 U JP S6069375U
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JP
Japan
Prior art keywords
port
diaphragm
pump
vacuum pump
exhaust port
Prior art date
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Pending
Application number
JP16013183U
Other languages
English (en)
Inventor
功 青山
光一 丸山
Original Assignee
真空機工株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 真空機工株式会社 filed Critical 真空機工株式会社
Priority to JP16013183U priority Critical patent/JPS6069375U/ja
Publication of JPS6069375U publication Critical patent/JPS6069375U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の斜視図、第２図はその■−■線断線断
面平手３図は本考案の実施例の裁断側面図、第４図はそ
のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 １・・・・・・ポンプケース本体、２・・・・・・電動
機、３・・・・・・ダイヤフラム、４・・・・・・吸気
ポート、５・・・・・・排気ポート、６・・・・・・ポ
ンプヘッド、７・・・・・・ポンプ室、訃・・・・・流
通室、９，１０・・・・・・連通孔、１１・・・・・・
区画壁、１２・・・・・・仕切壁、１３・・・・・・吸
気路、１４・・・・・・排気路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ポンプケース本体１に電動機２で駆動されるダイヤフラ
    ム３と吸気ポート４及び排気ポート５を備えたポンプヘ
    ッド６を取付ける式のものに於て、該ポンプヘッド６の
    内部を、前記ダイヤフラム３に面した前方のポンプ室７
    と、各ポート４゜５に連らなる後方の流通室８とに両室
    ７，８を結ぶ２個の連通孔９，１０を備えた区画壁１１
    を設けて区画し、該流通室８に蛇行した仕切壁１２を設
    けて吸気ポート４から一方の連通孔９に連らなる流路面
    積が大小に変化した吸気路１３と、他方の連通孔１０か
    ら排気ポート５に連らなる流路面積が大小に変化した排
    気路１４を形成して成るダイヤフラム式真空ポンプの消
    音装置。
JP16013183U 1983-10-18 1983-10-18 ダイヤフラム式真空ポンプの消音装置 Pending JPS6069375U (ja)

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JPS6069375U true JPS6069375U (ja) 1985-05-16

Family

ID=30352296

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009526162A (ja) * 2006-02-10 2009-07-16 コンチネンタル・テベス・アーゲー・ウント・コンパニー・オーハーゲー モータポンプ組体
JP2019510166A (ja) * 2016-03-30 2019-04-11 レイボルド ゲーエムベーハー 消音器を備えた真空ポンプ

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