JPS6063934U - 液相エピタキシヤル成長用ボ−ト - Google Patents
液相エピタキシヤル成長用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS6063934U JPS6063934U JP15590583U JP15590583U JPS6063934U JP S6063934 U JPS6063934 U JP S6063934U JP 15590583 U JP15590583 U JP 15590583U JP 15590583 U JP15590583 U JP 15590583U JP S6063934 U JPS6063934 U JP S6063934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- boat
- epitaxial growth
- phase epitaxial
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図ａはボート固定部に設けた基板用穴を上から見た
図、第１図すはその側断面図、第２図は実施例に用いた
成長用ボート全体の側断面図である。 １・・・・・・固定部、２・・・・・・基板保持用穴、
４・・・・・・調節ネジ、５・・・・・・スライド部。
図、第１図すはその側断面図、第２図は実施例に用いた
成長用ボート全体の側断面図である。 １・・・・・・固定部、２・・・・・・基板保持用穴、
４・・・・・・調節ネジ、５・・・・・・スライド部。
Claims (1)
- 被成長処理基板を保持する穴を有する固定部と、該固定
部上に載置されて液相成長用溶液を保持しスライドする
スライド部とから成り、該固定部は基板保持用穴を有し
、該穴内に深さ調整可能な機構を備えることを特徴とす
る液相エピタキシャル成長用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15590583U JPS6063934U (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 液相エピタキシヤル成長用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15590583U JPS6063934U (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 液相エピタキシヤル成長用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6063934U true JPS6063934U (ja) | 1985-05-07 |
Family
ID=30344183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15590583U Pending JPS6063934U (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | 液相エピタキシヤル成長用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6063934U (ja) |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP15590583U patent/JPS6063934U/ja active Pending
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