JPS6061655A - Nondestructive material inspection method and device - Google Patents

Nondestructive material inspection method and device

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JPS6061655A
JPS6061655A JP17253784A JP17253784A JPS6061655A JP S6061655 A JPS6061655 A JP S6061655A JP 17253784 A JP17253784 A JP 17253784A JP 17253784 A JP17253784 A JP 17253784A JP S6061655 A JPS6061655 A JP S6061655A
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JP
Japan
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measured
impedance
frequency
material inspection
product
Prior art date
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JP17253784A
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ヘルベルト バウムガルトナー
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Individual
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第1項の前提概念に係る方法及
び特許請求の範囲第4項の前提概念に係る装置に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method according to the preamble of claim 1 and a device according to the preamble of claim 4.

松科検査及び(A料診断のために渦電流の利用するごと
及び渦電流を使用して得られるインピーダンス値を利用
することは数年来公知である。その際基本的には2つの
処理を考慮する、ずなわしその1つは送信コイルと受信
コイルを包含する検査ヘッドを静止している製品の上に
載せること、他方は裂は目、溶接縁、包封物等のような
、長く伸びた製品に沿っての材料非連続部を検出するこ
とであり、その際検査ず・・・へ製品に対し測定装置は
相り・j的に動かされる。このことは測定装置が圧延シ
ステムに沿って走行されるか又は測定装置が静l二し作
り出されるワイヤ、管等が測定装置のそばを通って案内
されるかにより行われることができる。
The use of eddy currents and the use of impedance values obtained using eddy currents for pine examination and A diagnosis has been known for several years. Basically, two processes are considered. One is to place the inspection head containing the transmitter and receiver coils on top of a stationary product; the other is to place the inspection head containing the transmitter and receiver coils on a stationary product; The purpose of this process is to detect material discontinuities along the rolled product, during which the measuring device is moved in parallel with respect to the product to be inspected. This can be done by running the measuring device by itself or by guiding the wires, tubes, etc. produced while the measuring device is moving past the measuring device.

」二記の種類の渦電流検査機の使用が、一定の材料非連
続部に該当する測定値の相り・j変化を設定することが
ここでは十分であるので、技術的開発及び実際上の利用
の対象の重点であった。渦電流検査機を実際上実現する
場合の基本的問題は、理論的関連を把握するのが非常に
困y1(であることと、原則的に算出できるだ+Jであ
ることにある。このような理論的近イ舅値の正確さ番J
しかし基本的には予め与えられる境界条(シ1に依存し
、該条(’lは1;;た実際には理論的根拠となってい
るものにほとんど一致しない。
The use of an eddy current tester of the type mentioned above is sufficient here to set the change in the measured value corresponding to a certain material discontinuity, so that it is useful for technological development and practical purposes. It was the focus of the use. The basic problem in actually realizing an eddy current inspection machine is that it is very difficult to understand the theoretical relationship, and that it is possible to calculate it in principle. Accuracy number J of theoretical near future value
However, it basically depends on the boundary article ('l is 1) given in advance, and this article ('l is 1;; in fact, it hardly matches what is the theoretical basis).

その」二測定結果は多数の互いに依存するパラメータに
より定められるので、一定の測定を標準化することは困
難である。成る標準化を達成するため、測定を同時に違
った周波数で実施することが例えば西ドイツ特許公開2
913877号公報で公知であり、その際周波数は、周
波数依存性のために近似的に理論的評価が予め与えられ
ることができ、それに応して一定のパラメータの確定及
び除去のための均分方式(GIeicl+ungssy
sLem)が得られるような周波数範囲にとられる。
It is difficult to standardize a given measurement because the measurement result is determined by a large number of interdependent parameters. In order to achieve a standardization of
913,877, in which the frequency can be approximately given a theoretical evaluation in advance due to its frequency dependence, and an equalization method for the determination and removal of certain parameters is used accordingly. (GIeicl+ungssy
sLem) is obtained.

一力では渦電流検査におりる上記の問題性から、他方で
は基礎となっている利点、特に非破壊+A別検査から出
発して、本発明に係る思想は、個々の静1にしている製
品の検査の際理論的には実際に適した方法で再現される
のが非常に困難であるインピーダンス値の特性的周波数
依存性を直接意識的に(A利構成、紺ぎ目構造等を検知
するために使用することにある。
On the one hand, from the above-mentioned problems associated with eddy current inspection, on the other hand, starting from the basic advantages, especially non-destructive + A separate inspection, the idea of the present invention is to improve the quality of each individual product. When testing, it is possible to directly and consciously detect the characteristic frequency dependence of the impedance value, which is very difficult to reproduce in theory or in practice with a suitable method (detecting the A-shaped structure, the dark blue structure, etc.). It is to be used for.

雑;Ii3 「メタルクンデ(MeLallkunde
 ) J 45 。
Miscellaneous; Ii3 “Metalkunde (MeLallkunde)
) J45.

1954.166頁フェルスター(PursLer )
著より検査される試験片の複素数面、でのインピーダン
ス値は周波数に依存して非ス・[称円弧状の軌跡を示す
ことが基本的に知られている。本出願人の検査は全く違
った祠オ;」もしくは継「1においてこの経過を基本的
に確認した。しかしその」−この曲線の粗い経過にもか
かわらず正確な曲線経過は一種のぼ印のようにたとえば
一定の合金又は一定の鋼のオーステナイト成分のために
は非常に特有であることが見出された。
1954. 166 pages Förster (PursLer)
It is basically known that the impedance value on the complex plane of the test piece being tested shows a non-circular locus depending on the frequency. The applicant's examination was a completely different test.'' or ``In 1, we basically confirmed this course. It has been found that this is very specific for the austenitic content of certain alloys or certain steels, for example.

これについて建設的に本発明は実際の要イノ1に応じる
製品もしくは試験片の迅速な識別、信リイ1件のある識
別を評容する検査をできる方法及び装置を作り出すこと
を課題としている。
Constructively in this regard, the present invention aims to create a method and a device that allow rapid identification of products or test specimens according to the actual requirements, a test that evaluates certain identifications.

この課題はqも許請求の範囲第1頃の特徴部分の方法に
より1すr決した。この方法による占、忘・識的に理論
的近似を含むことを避D−1、むしろ自分て発見した比
較法をねらっている。この処置方法は全く圧倒的な数の
実際の使用例で検査ず・\き飼料は見込むへきずれと固
しほどのずれとして知られている。
This problem was solved by the method described in the first claim. This method of divination avoids forgetfulness and intellectual approximations, and is instead aimed at a comparative method that I discovered myself. This method of treatment has not been tested in the overwhelming number of practical applications; the feed is known to have a slight deviation from expected scratches and hardness.

したかって前記困難を名えにいれて聞むことが困難であ
る絶刻値を掴むということは断念1−ることができ、そ
の代わりに非常に迅速に予め与えられたずれとの比較も
しくは考慮する公知の材料との比較が行われる。比較特
性としてその際周波数に依存する虚数面のインピーダン
ス値の曲線が作用する。
Therefore, taking into account the above-mentioned difficulties, it is possible to give up on grasping the absolute value that is difficult to obtain, and instead to compare or consider the deviation given in advance very quickly. Comparisons are made with known materials. The frequency-dependent curve of the impedance value in the imaginary plane acts as a comparison characteristic.

特許請求の範囲第2項による本発明の方法が特に有利に
実施される。これに従ってアウトプット位置上でのすな
わち受像面又はプリンターの像での、公知の構成又は公
知の構造の製品の記1.αされた曲線経過の知られてい
ない製品との直接比較が可能である。その際例えば多く
の予め知られている製品の曲線経過の全体がアウトブノ
1−装置により説明されることができ、しかも直接検査
される製品の曲線経過と一緒に説明されることができる
ので迅速かつ筒車な方法で、どの予め知られている曲線
経過に検査される製品の曲線経過が一致し、したがって
検査される製品か構成もしくは継目で予め知られる製品
に関連づLJられることができるかの決定が可能である
The method according to the invention according to claim 2 is implemented particularly advantageously. Accordingly, description of products of known configuration or known construction on the output position, ie on the image receiving surface or in the image of the printer, 1. A direct comparison is possible with a product whose curve profile is not known. In this case, for example, the complete curve profile of a number of previously known products can be explained by the Autobno1 device, and together with the curve profile of the directly inspected product, so that it can be quickly and In a way, it is possible to determine to which previously known curve profile the curve profile of the product to be inspected corresponds and therefore to which the product to be inspected can be LJ in relation to the previously known product in configuration or seam. A decision is possible.

特許請求の範囲第3項による本発明の別の形態は、沢山
の違った試料を検査する際に関連する曲線経過が一定の
周波数範囲で広く蓋われ、一方別の周波数範囲で714
徴あるずれが住することか確定されたという事実を考慮
に入れる。/ト発明によると特別のアウトプット位置ご
とにこのJ、うな周波数又は周波数範囲が直りに検知さ
れるだLJてなく、検知し検出するために順序だって取
りだされることができる。このために測定点のピy ’
T−ごとに一定の周波数で取り出すべき演算及び判JJ
5装置(1祐(、hen−uni]八usへerLun
Bseinricb1.ung )から一定の測定値が
予定(Vorgabe )とし2て和分に小されろか又
は公差限界の外側に位置ししたがって予めtjえられた
構成及び予め与えられた継目かりずれるように形成され
るかどうかの予定(V o r ga ))c )を可
能にする調節可能な公差領域(Toleranzre目
er)が作用する。
A further development of the invention according to claim 3 provides that the relevant curve course when testing a large number of different samples is broadly covered in a certain frequency range, while in another frequency range 714
Take into account the fact that the symptoms have been determined to be present. According to the invention, this frequency or frequency range for each particular output location is not detected immediately, but can be taken out in sequence for detection and detection. For this purpose, the measuring point Py'
Calculation and size JJ to be extracted at a constant frequency for each T-
5 devices (1 Yu (, hen-uni) erLun to 8 us
Bseinricb1. ung) from which a certain measured value is reduced to a sum as a predetermined value (Vorgabe), or lies outside the tolerance limits and is therefore formed to be offset from a predetermined configuration and a pregiven seam. An adjustable tolerance range is used which allows for a different schedule.

特許請求の範囲第4項の前提概念に係る装置は4)に特
許請求の範囲第1項乃至第3項の方lJ:を実施するた
めに役立つ。送信コイルの非連続周波数値を測定ザイク
ルの間口動的に速続的にx++、1節する装置は、測定
を作業イイのために楽に操作可能にするばかりでなくそ
の上このような装置の実際の設置可能性のための重要な
測定基準である非常に急速な測定を特徴とする 特許請求の範囲第5項による長時間記1.a装置は直接
検査される製品の周波数に依存する測定値の記1.1以
上に、測定曲線の直接比較及び関連づりを可能にするた
めに、多くの公知の製品の測定曲線の記1.Qを許容す
る。この場合本発明に係る装置の全く基本的利点は装置
特有のパラメータを除去する必要かないとい・)ことに
あり、それは比較曲線の測定記1.6を同じ装置で行う
ことができ、測定面わ;zのずれに本質的には月料21
!l性でのずれにのめ帰しているからである。それに対
して公知の装置では違った測定曲線の比較可能性か欠け
るのが一層大きな問題であるので、金属特性を知るため
のインピーダンス測定点の周eL数依存性を実際に利用
されない。
The device according to the prerequisite concept of claim 4 is useful for carrying out 4) of claims 1 to 3. A device for measuring discontinuous frequency values of the transmitting coil dynamically and continuously x + + of the measuring cycle not only makes the measurement easy to operate, but also makes the practical use of such a device possible. A long-term recorder according to claim 5, characterized by a very rapid measurement, which is an important criterion for the installation possibilities of 1. In addition to notation 1.1 of the frequency-dependent measurements of the directly tested product, the device also provides a direct comparison of the measurement curves of a number of known products, in order to enable a direct comparison and correlation of the measurement curves. Allow Q. In this case, the quite fundamental advantage of the device according to the invention is that there is no need to eliminate device-specific parameters, since the measurements of the comparison curves 1.6 can be carried out with the same device, and the measuring surface ;The deviation of z essentially means monthly fee 21
! This is because they are reverting to the deviation in their natural characteristics. In contrast, the known device lacks the comparability of different measurement curves, which is an even bigger problem, so that the dependence of the impedance measurement point on the eL number for determining the metal properties is not actually utilized.

特許請求の範囲第6項によるアラl−プツト装置は完全
な曲線経過の図示を可能にし、したがって特別早い判定
を可能にする。このアラ1〜プツト装置が画像スクリー
ンとして形成されている限り、この画像スクリーンはい
わゆる電子拡大鏡を具備することかでき、即ちもしこれ
が特別の的中ずハ、き識別にとっての基準として特に適
し7Jに示されると、一定の周波数値又は一定の周波数
範囲の測定点を拡大図示されることが可能である。
The alarm device according to claim 6 makes it possible to visualize the complete curve course and thus to make particularly fast determinations possible. Insofar as this apparatus is designed as a picture screen, this picture screen can be equipped with a so-called electronic magnifying glass, i.e. it is particularly suitable as a reference for identification if there are no particular hits. , it is possible to enlarge the measurement points of a certain frequency value or a certain frequency range.

特許請求の範囲第7項によるグラフィノツプl−1セノ
ザは一定の特性周波数におiJる測定点のための全く個
々の1′、す定基準の設定を許容する。ごのような像点
と記In場所の関連を作り出ず構造要集は画像スクリー
ン及び関連する制御装置の使用のもとに、一定の測定点
又は測定点群か又非規則的に形成された公差領域で設り
る丸めに、この方法で後続の演算装置のために測定基準
を画像スクリーン上に作り出すことを可能にする。
The graphinop l-1 sensor according to patent claim 7 allows the setting of quite individual 1' constant criteria for measuring points iJ at a constant characteristic frequency. Instead of creating an association between the image point and the marked location, the structure profile can be formed at a fixed measuring point or a group of measuring points or irregularly using an image screen and associated control equipment. In this way, it is possible to create a measuring standard on the image screen for the subsequent computing device, due to the rounding established in the tolerance area.

別の特徴、利点おらび発明の個々の点に一ついては図に
基づいて以下に実施例により説明する。
Further features, advantages and individual aspects of the invention are explained below by way of example with the aid of the figures.

第1図において、検査される製品のインピーダンスの実
数部分と虚数部分とにより形成する面が示されている。
In FIG. 1, the plane formed by the real and imaginary parts of the impedance of the product being tested is shown.

この面ではインピーダンス点が!(,1かれており、数
点はその量と位相角ρとにより特徴(=Jけられるイン
ピーダンスベクトル■により示される。同じ符号を有す
る別々の測定点は別々の分離した周波数値に相当する。
There is an impedance point on this plane! (, 1), and several points are characterized by their quantity and phase angle ρ (=J). Separate measurement points with the same sign correspond to different separated frequency values.

測定周波数に依存する虚数面のインピーダンスの測定点
の曲線は非対称円弧状軌跡を有する。この曲線の軌跡は
検査される材料の構成若しくは継目(Gef8ge)に
とって特徴的である。
The curve of the measurement points of the impedance in the imaginary plane, which depends on the measurement frequency, has an asymmetric arc-shaped locus. The trajectory of this curve is characteristic of the composition of the material or seam being examined.

本発明に斯かる処置の説明を簡略化するため、以下では
、問題点が一つの製品の2つの予め知られた可能な構成
の間の違いを適切に表現することにあることから出発す
る。
In order to simplify the explanation of such a measure according to the invention, the following will start from the fact that the problem lies in adequately expressing the difference between two known possible configurations of one product.

このため、両方の公知の製品試料は本発明による装置を
用いて測定され、そのとき、個々の測定周波数は当然予
め与えられた周波数範囲内で連続し、測定されるインピ
ーダンス値が判読され、記t(1され、表示される。試
ネ4の測定が中し分なく行われていることが光学的に検
知された後、測定値は長時間記憶装置にファイル゛され
る。この方法で夫々の製品構成にとって特徴となる、丸
もしくはバラにより示される2つの曲線軌跡が得られる
For this purpose, both known product samples are measured using the device according to the invention, the individual measurement frequencies being of course consecutive within a pre-given frequency range and the impedance values being measured being interpreted and recorded. t(1) and displayed. After it has been optically detected that the measurements of trial 4 have been carried out satisfactorily, the measured values are filed in a long-term storage device. In this way, each Two curve trajectories are obtained, indicated by circles or roses, which are characteristic for the product configuration.

これに続いて構成の知られない試料が測定され、予め知
られた試料の1つの評価された曲線軌跡と比較し、それ
により該当する構成と関連(=Jりられる。第1図に示
すように、Wil+定点゛正方形゛ば曲線軌跡”ハラ”
に、測定点”三角形゛は曲線11i1を跡”丸”に関連
付けられる。関連は特に使用される周波数の範囲r、か
らf8の範囲内の周波数f6において明瞭に1′:Iら
れることが知られる。
Following this, a sample of unknown configuration is measured and compared with the estimated curve trajectory of one of the previously known samples, thereby relating it to the corresponding configuration. If Wil + fixed point ``square'', the curved trajectory ``Hara''
, the measurement point ``triangle'' is associated with the curve 11i1 trace ``circle''. It is known that the relationship is clearly 1':I at the frequency f6 within the range of frequencies used, r, to f8. .

第2図では、周波数f6におL)るイン1ニーダンスの
IIIJ定僅のための虚数面の範囲が拡大図示され°ζ
いる。その隔別の点状に図示されたill]定点が記入
された。この測定点は測定値”三角形゛、”丸”を有す
る試料に相当する公知の構成の試料から出る。がま形状
の範囲内に測定点の分散をイ1.シることが知られる。
In Figure 2, the range of the imaginary plane for the IIIJ constant of the in-1 knee dance L) at frequency f6 is shown in an enlarged manner.
There is. The illumination fixed points were marked in the form of separate dots. These measurement points come from a sample of a known configuration, which corresponds to a sample with the measurement values "triangle" and "circle".It is known to disperse the measurement points within the range of the ring shape.

ここで予め知られた試別若しくは構成に対する周波数f
6におLJる1つの測定点の関連に関し特鈍迅速且一つ
適切な決定を青ることができるようにするために、不規
則に形成されノこ公差領域が設LJられ、該公差領域は
公知の試料の多数の測定点の画像スクリーン図示に応じ
て与えられることができる。このような、例えばC字状
の、公差領域は、予め与えられた測定点に対し比較的大
きな間隔を有する測定点が虚数部分の方向に公差範囲の
範囲内にあるように判定することを可能にし、一方、他
方において予め与えられた測定点に刻し比較的僅かな間
隔を有する測定点が実数部分の方向に予定の外側にある
ように検知することを可能にする、従って例えば自動的
に該当する表示がPJ′X除されることができる。
Here the frequency f for a previously known trial or configuration
In order to be able to make a quick and proper decision regarding the relationship of one measuring point in LJ to LJ, an irregularly formed sawtolerance area is established LJ, and the tolerance area is can be given in accordance with an image screen representation of a number of measurement points of a known sample. Such a tolerance range, for example C-shaped, makes it possible to determine that measurement points with a relatively large spacing relative to a predetermined measurement point are within the tolerance range in the direction of the imaginary part. and, on the other hand, on the other hand, make it possible to detect measuring points with relatively small spacings that are inscribed at pre-given measuring points and lie outside the plan in the direction of the real part, thus e.g. automatically The corresponding display can be divided by PJ'X.

第3図には、図式的ブロック図が示されている。A schematic block diagram is shown in FIG.

送信コイル1は製品3に渦電流2を発生するために役立
ち、受信コイル4は送信電圧6に対して振幅差と位相差
を有することができる測定電圧5を受信することに役立
つ。
The transmitting coil 1 serves to generate eddy currents 2 in the product 3, and the receiving coil 4 serves to receive a measured voltage 5 which may have an amplitude and phase difference with respect to the transmitted voltage 6.

送信交流電圧6を発生するために矩形・正弦変換器8及
び分割器9を有する水晶発信器と共にパワアンブリファ
イヤ7が役立つ。この装置はバスIOを介して制御兼記
憶装置と連結され、それに応じて又送信コイル1の周波
数の分離された値を測定サイクルの間口動的に継続的に
調節するための装置として役立つ。
In order to generate the transmitted alternating current voltage 6, a power amblifier 7 serves together with a crystal oscillator with a rectangular-to-sine converter 8 and a divider 9. This device is connected via a bus IO with a control and storage device and accordingly also serves as a device for dynamically and continuously adjusting the separated value of the frequency of the transmitting coil 1 during the measurement cycle.

測定電圧5の成分(測定された電圧U sinρ、及び
U CO5ρにおいて)の形成のため位相制御される整
流器11が受信コイル4の後に接続される。
A phase-controlled rectifier 11 for forming the components of the measured voltage 5 (at the measured voltages U sinρ and U CO5ρ) is connected after the receiver coil 4 .

位相制御される整流器11は水晶発信器と分割器9に連
結される。位相制御される整流器11の後にはバス10
と連結されるA/D変換器12が接続される。ハスには
マイクロプロセッサ13とブ1コグラム記憶装置14と
データ記憶装置15が接続されている。位相制御される
整流器11とA/D変換器12は、マイクロプロセッサ
13とプログラム記憶装置14およびデータ記憶装置1
5と共に測定されたベクトルインピーダンス値の記1Q
及び処理のための装置を形成する。データ記1鳥装置1
5に加えてテープメモリーの形の外部のし時間記す5a
装置16が設りら丸、該に時間記1意装置ばユニハ゛−
ザルインターフェース(Univcrsalscl+n
1LLsLelle) 17を介して連結されている。
A phase controlled rectifier 11 is coupled to the crystal oscillator and divider 9. After the phase-controlled rectifier 11 there is a bus 10
An A/D converter 12 connected to the A/D converter 12 is connected. A microprocessor 13, blockogram storage device 14, and data storage device 15 are connected to the lotus. The phase-controlled rectifier 11 and the A/D converter 12 are connected to a microprocessor 13 and a program storage device 14 and a data storage device 1.
1Q of vector impedance values measured with 5
and forming equipment for processing. Data record 1 bird device 1
In addition to 5, record the external time in the form of tape memory 5a
A device 16 is provided, and a timekeeping device is provided.
simulator interface (Univcrsalscl+n
1LLsLelle) 17.

ニーバーザルインターフェース17にはまたプリンター
と画像スクリーンの形のアウトプット装置18と19が
接続されている。画像スクリーンには同時に尚インプッ
トキーボードが付屈し、ている。
Output devices 18 and 19 in the form of a printer and an image screen are also connected to the knee-barsal interface 17. At the same time, an input keyboard is attached to the image screen.

一方ではインプット装置と他方ではハスと、グラフイン
クプロセッサ20が接続されている。これは殆ど任意に
形成される公差領域の11・語を可filにし、そのと
きグラフインクプロセッサは画像点間の論理連結部とそ
のタラフィック連結部と記憶場所とを作り出す。
A graph ink processor 20 is connected to the input device on the one hand and to the hash on the other hand. This allows for almost arbitrarily formed tolerance regions of 11 words, where the graph ink processor creates logical connections between image points and their moral connections and storage locations.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は色々の公知の製品と検査される製品のための周
波数に依存する虚数面のインピーダンス点の状態図、第
2図は第1図の拡大部分図、第3図は本発明に係る装置
の原理結線図である。 1・・・送信コイル 2・・・渦電流 3・・・製品 4・・・受信コイル 11・・・整流器 12・・・へ/D変I史器13・・
・マイクロプロセノザ 14・・・プログラム記憶装置
Fig. 1 is a state diagram of impedance points in the imaginary plane depending on the frequency for various known products and products to be tested, Fig. 2 is an enlarged partial view of Fig. 1, and Fig. 3 is a diagram according to the present invention. It is a principle wiring diagram of the device. 1... Transmission coil 2... Eddy current 3... Product 4... Receiving coil 11... Rectifier 12... To/D change I history device 13...
・Microprocessor 14...Program storage device

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)送信コイルが検査すべき製品内に渦電流を発生ず
るために違った周波数で稼働され、評価装置を介してイ
ンピーダンスが測定される、送信コイルと受信コイルと
の利用の下での非破壊材料検査方法において、送信コイ
ルの周波数が自動的に分離された周波数値からまず予め
あたえられた周波数範囲内で変えられ、各周波数値にお
いてインピーダンス測定が実施され、測定されたインピ
ーダンス値が記憶されることを特徴とする非破壊材料検
査方法。
(1) The use of a transmitting coil and a receiving coil, where the transmitting coil is operated at different frequencies to generate eddy currents in the product to be inspected, and the impedance is measured via an evaluation device. In the destructive material inspection method, the frequency of the transmitting coil is automatically varied from separated frequency values first within a pre-given frequency range, an impedance measurement is carried out at each frequency value, and the measured impedance value is stored. A non-destructive material inspection method characterized by:
(2)虚数インピーダンス面を描くアウトプット装置に
直接検査される製品の色々の周波数値毎に測定されるイ
ンピーダンス値が公知の構成の予め測定された製品の該
当する測定値と共に与えられることを特徴とする特許請
求の範囲第1項に記載の非破壊材料検査方法。
(2) Impedance values measured at various frequency values of the product to be directly inspected are provided to an output device that draws an imaginary impedance surface together with corresponding measured values of the product measured in advance with a known configuration. A non-destructive material inspection method according to claim 1.
(3)個々の周波数値毎に不規則に形成される公差領域
が、1つ又は多数の子め知られた製品に対し1つの検査
される製品において測定されるインピーダンス値のため
に虚数面に投入されることを特徴とする特許請求の範囲
第1項又は第2項に記載の非破壊材料検査方法。
(3) A randomly formed tolerance region for each individual frequency value is introduced into the imaginary plane for the impedance value measured in one tested product for one or many child-known products. A non-destructive material inspection method according to claim 1 or 2, characterized in that:
(4)送信コイルが検査すべき製品内に渦電流を発生ず
るために違った周波数の交流で稼(IJiIJ能であり
、受信コイルの後にインピータンス測定のため及び位相
角度を含み測定される実数成分と虚数成分をアウトプッ
トし若しくは表示するための評価装置が配置されており
、送信コイルと受信コイルとを包含する非破壊材料、検
査装置において、送信コイルfilの周波数の分離値を
測定サイクルの間口動的に連続的に調節するための装置
(9)と測定されるー・・りトルインピーダンス値を記
1.Oシ処理する装置(11〜15) 、!:を特徴と
する非破壊飼料検査製置。
(4) The transmitting coil is operated with alternating currents of different frequencies to generate eddy currents in the product to be inspected (IJiIJ function), and after the receiving coil is used for impedance measurement and the real number measured including the phase angle. An evaluation device for outputting or displaying the component and the imaginary component is arranged, and in the nondestructive material inspection device including the transmitter coil and the receiver coil, the separation value of the frequency of the transmitter coil fil is measured in the measurement cycle. A non-destructive feed test characterized by: a device (9) for dynamically and continuously adjusting the frontage; and a device (11-15) for recording the measured impedance value. Manufacture.
(5)長時間記憶装置(14)を特徴とする特許請求の
範囲第4項に記載の非破壊材料検査装置。
(5) The non-destructive material inspection device according to claim 4, characterized by a long-term storage device (14).
(6)虚数インピーダンス面を示す平たいアラ1−プア
ト装置(18,19>を特徴とする非破壊材料検査装置
(6) A nondestructive material inspection device characterized by a flat Ara 1-Puato device (18, 19>) showing an imaginary impedance surface.
(7)アウトプット装置(18,19)と記憶兼処理装
置(11〜15)とに連結されているグラフィソクプロ
セノザ(20)を特徴とする特許請求の範囲第4項から
第6項のうちの1つに記載の非破壊材料検査装置。
(7) Claims 4 to 6 characterized by a graphic processing processor (20) connected to the output device (18, 19) and the storage/processing device (11-15). A non-destructive material testing device as described in one of them.
JP17253784A 1983-08-26 1984-08-21 Nondestructive material inspection method and device Pending JPS6061655A (en)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011085502A (en) * 2009-10-16 2011-04-28 Shinshu Univ Magnetic field detection sensor of metal component, and method for determining quality of the metal component
US10677767B2 (en) 2018-06-12 2020-06-09 Vuv Analytics, Inc. Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy system and method
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