JPS6059980A - Piezoelectric drive device - Google Patents
Piezoelectric drive deviceInfo
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は圧電駆動装置に係り、特に直線状の一方向又
は双方向駆動並びに円環状の回転駆動又は往復駆動の可
能な圧電駆動装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a piezoelectric drive device, and more particularly to a piezoelectric drive device capable of linear unidirectional or bidirectional drive, as well as annular rotational drive or reciprocating drive.
（発明の技術的背景）
この発明は新規な駆動原理を利用した駆動装置を提案す
るものである。(Technical Background of the Invention) The present invention proposes a drive device that utilizes a novel drive principle.
特に、この発明は、振動を利用して部品を搬送又は配列
する部品供給装置、ロボットにおける位置・姿勢の制御
装置、あるいは回転モータ特に低速回転モータなどの電
気機械変換手段として有用である。In particular, the present invention is useful as a component supply device that conveys or arranges components using vibration, a position/attitude control device in a robot, or an electromechanical conversion means for a rotary motor, particularly a low-speed rotary motor.
例えば、低速回転モータを例にとると、従来のモータは
変速ギアの組合せにより、回転数を下げていた。しかし
、この発明によれば、変速ギアは不要であり、直接ロー
タの回転軸から出力がとり出せる。このため、全体が小
型となり、更に電力の消費量が少い、軽量の汎用性の高
いモータの設計が可能となる。For example, if we take a low-speed rotating motor as an example, conventional motors reduce the number of rotations by using a combination of speed change gears. However, according to the present invention, there is no need for a speed change gear, and the output can be taken directly from the rotating shaft of the rotor. Therefore, it is possible to design a lightweight, highly versatile motor that has a smaller overall size and consumes less power.
（発明の目的）
この発明は、新規な駆動原理に基づき、小型軽量且つ電
力消費量の少い汎用性の高い圧電駆動装置を提供するこ
とを目的とする。(Objective of the Invention) An object of the present invention is to provide a highly versatile piezoelectric drive device that is small, lightweight, consumes little power, and is based on a novel drive principle.
（発明の構成）
この目的を達成するため、この発明によれば、辷りモー
ド振動素子と厚みモード振動素子とをそれぞれの振動モ
ード方向が互いに直角になる様に組合せ一体化したユニ
ットを具え、このユニットの前記各素子に所定の駆動信
号を供給するようにする。(Structure of the Invention) In order to achieve this object, the present invention includes a unit in which a sliding mode vibration element and a thickness mode vibration element are combined and integrated so that their respective vibration mode directions are perpendicular to each other. A predetermined drive signal is supplied to each of the elements of the unit.
（発明の効果）
以上の様な構成とすることにより、この発明によれば、
次の様な効果を奏する圧電駆動装置を提供することがで
きる。(Effects of the Invention) With the above configuration, according to the present invention,
A piezoelectric drive device having the following effects can be provided.
（１）界磁コイルや変速ギアなどを含まないため、小型
軽量且つ電力消費量の少い汎用性が高い。(1) Since it does not include a field coil or a transmission gear, it is small, lightweight, consumes little power, and has high versatility.
（２）振動モードが平行となる様にし、且つユニットを
直線状に配列することにより、駆動信号の位相によって
、直線状の往復運動の可能な駆動装置やりニアモータ得
ることができる。(2) By making the vibration modes parallel and arranging the units linearly, a drive device or near motor capable of linear reciprocating motion can be obtained depending on the phase of the drive signal.
（３）振動モードが平行となる様にし、且つユニットを
円環状に配列することにより、駆動信号の位相によって
、円環状の振動運動の可能な駆動装置や回転モータを得
ることができる。(3) By making the vibration modes parallel and arranging the units in an annular shape, it is possible to obtain a drive device or a rotary motor capable of annular vibration motion depending on the phase of the drive signal.
（４）振動モードが直線状になる様に且つ直線状にユニ
ットを配列することにより、駆動信号の位相によって、
直線状の往復運動の可能な駆動装置やりニアモータを得
ることができる。(4) By arranging the units in a straight line so that the vibration mode is linear, the phase of the drive signal allows
A drive device or near motor capable of linear reciprocating motion can be obtained.
（５）振動モードが折線状となる様に且つ円環状に配列
することにより、駆動信号の位相によって、円墳状の振
動運動の可能な駆動装置や回転モータを得ることができ
る。(5) By arranging the vibration modes in a broken line shape and annularly, it is possible to obtain a drive device or a rotary motor that can perform circular vibration motion depending on the phase of the drive signal.
（６）一体成形した半径の異なる円環形状のユニットを
同芯状に複数並置し、駆動信号の位相によって、円環状
の振動運動が可能な駆動装置を得ることができる。(6) By arranging a plurality of integrally molded annular units having different radii concentrically, a drive device capable of annular vibration motion can be obtained depending on the phase of the drive signal.
（発明の実施例）
以下、添付図面に従ってこの発明の詳細な説明する。伺
、各図面において同一の符号は同様の対象を示すものと
する。(Embodiments of the Invention) The present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals in each drawing indicate similar objects.
第１図はこの発明の原理的実施例を示すものである。FIG. 1 shows a basic embodiment of the invention.
同図によれば、辷りモード振動素子（圧電常数ｄＩｉｌ
と厚みモード振動素子（圧電常数ｄ３３）２とを共通電
極３で組合せ一体化し、この電極３の逆側の面にそれぞ
れ小電極４．５を設けて１つのユニットｊＯを構成して
いる。According to the same figure, a sliding mode vibration element (piezoelectric constant dIil
and a thickness mode vibrating element (piezoelectric constant d33) 2 are combined and integrated by a common electrode 3, and small electrodes 4.5 are provided on the opposite side of the electrode 3 to form one unit jO.
ここで、辷りモード振動素子１は矢印Ｐ、の様な振動モ
ードを有し、電極３．４からそれぞれ引出した端子ａ、
ｂに加える電圧の極性によって、例えば点線Ａの様に変
形する。Here, the sliding mode vibration element 1 has a vibration mode as indicated by the arrow P, and the terminals a, which are drawn out from the electrodes 3.4,
Depending on the polarity of the voltage applied to b, the shape changes as shown by dotted line A, for example.
厚みモート振動素子２は矢印Ｐ２の様な振動モートを有
し、電極３．５からそれぞれ引出した端子ａ、、ｃに加
える電圧の極性によって、例えば点線Ｂの様に変形する
。The thickness moat vibration element 2 has a vibration moat as indicated by an arrow P2, and is deformed as indicated by the dotted line B, for example, depending on the polarity of the voltage applied to the terminals a, c drawn out from the electrodes 3.5.
各素子１．２の積層が図示とは上下逆でもよいのはもち
ろんのことである。Of course, the stacking of each element 1.2 may be upside down from that shown in the drawing.
ここで、端子ａｂのみに交番電圧を印加したとき電極４
上の一点Ｏ０は、第２図に示す様に、電圧の極性に従っ
てＯ８→Ａ −ｔ ｏ、→Ｂ→０．の様な振動を繰返す
。Here, when an alternating voltage is applied only to terminal ab, electrode 4
As shown in FIG. 2, the upper point O0 changes from O8→A -to, →B→0, etc. according to the polarity of the voltage. Repeated vibrations.
また、端子ａｃのみに交番電圧を印加したとき電極５上
の一点０２（図示せず）は、第２図に示す様に、印加電
圧の極性に従って０２→Ｃ−＋０２→Ｄ→０２ の様な
振動を繰返す。Furthermore, when an alternating voltage is applied only to the terminal ac, a point 02 (not shown) on the electrode 5 changes as shown in FIG. Repeat the vibration.
従って、端子ａ、ｂ、ｃから各振動子１．２に並列に同
時に電圧を供給して駆動すると、電極４」二の点Ｏ７の
運動は、上述の２つの運動の合成となるため、第２図の
点線ＡＯの方向に振動が生ずることが分かる。Therefore, when voltage is supplied to each vibrator 1.2 simultaneously in parallel from terminals a, b, and c and driven, the motion of point O7 of electrode 4' is a combination of the above two motions. It can be seen that vibration occurs in the direction of the dotted line AO in Figure 2.
ここで、端子ａｃ間に印加する交番電圧の位相を１８０
”’１″らすことにより、振動方向は第２図の点線ＡＥ
で示す様になる。Here, the phase of the alternating voltage applied between terminals ac is 180
By setting "'1", the vibration direction is set to the dotted line AE in Figure 2.
It becomes as shown in .
印加する交番電圧は正弦波や矩形波など周期的な繰返し
信号であれば何でもよい。The applied alternating voltage may be any periodically repeated signal such as a sine wave or a rectangular wave.
ここでいう交番電圧は、共振周波数も包含する。The alternating voltage here also includes the resonant frequency.
また上述の厚みモード振動素子は、圧電常数ｄ□でも同
様の効果を有する。Further, the above-mentioned thickness mode vibrating element has a similar effect even when the piezoelectric constant d□.
第３図は、第１図の変形例を示すものであり、厚みモー
ト振動素子２１．２２．２３．２／Ｉと、交互に各素子
間に伸張する電極３０．３１とを有する厚みモード振動
素子３２を示している。FIG. 3 shows a modification of FIG. 1, which has thickness mode vibration elements 21.22.23.2/I and electrodes 30.31 extending alternately between each element. Element 32 is shown.
電極の配設はセラミック素子の焼成工程と同時に行って
も、また焼成後に電極加工を施こし、分極後に接着完成
させてもよい。The electrodes may be arranged at the same time as the firing process of the ceramic element, or the electrodes may be processed after firing and the bonding may be completed after polarization.
この様に振動素子３２を積層型とすることにより、低い
駆動電圧での駆動が可能である。By forming the vibrating element 32 into a laminated type in this manner, it is possible to drive it with a low driving voltage.
尚、以上の様な単体ユニットの形状は、実際上は、板片
状又はブロック形状であり、厚みのほとんどない又はあ
る程度ある立方体形状又は直方体形状である。Incidentally, the shape of the single unit as described above is actually a plate shape or a block shape, and a cube shape or a rectangular parallelepiped shape with almost no thickness or some thickness.
第４図は、この様なユニットを部品供給装置に適用した
例を示している。FIG. 4 shows an example in which such a unit is applied to a parts supply device.
すなわち、台４１の上に第１図で示したと同様のユニッ
ト４０を設置し、このユニット４０の上に部品皿４５を
載置している。４６．４７は絶縁部材である。That is, a unit 40 similar to that shown in FIG. 1 is installed on a stand 41, and a component tray 45 is placed on this unit 40. 46 and 47 are insulating members.
従って、第１図について説明したと同様に、端子ａ ＋
）間、ａｃ間に電圧を印加すれば、第２図のＡ、Ｏ方向
又は］方向に部品皿４５の振動が可能であり、部品供給
が可能である。すなわち、印加電圧の極性を反転するこ
とによって部品の移動方向を容易に反転することができ
る。Therefore, in the same way as explained with reference to FIG.
) and ac, it is possible to vibrate the parts tray 45 in the directions A, O or ] in FIG. 2, and supply the parts. That is, by reversing the polarity of the applied voltage, the moving direction of the component can be easily reversed.
冑、この様なユニット４０を複数用いて円環状に配列し
、各ユニットを同相で駆動することにより円形状の部品
供給装置を得ることができる。By using a plurality of such units 40 and arranging them in an annular shape and driving each unit in the same phase, a circular component supply device can be obtained.
第５図は、この発明の他の実施例であり、第１図で示し
た様な辷りモード振動素子と厚みモード振動素子とから
成る２つのユニット５１．５２を具えている。ユニット
５１．５２は共通の非導電性の台５３の上に一定の間隔
５４をもって配置されている。FIG. 5 shows another embodiment of the invention, which includes two units 51, 52 consisting of a sliding mode vibrating element and a thickness mode vibrating element as shown in FIG. The units 51 , 52 are arranged at regular intervals 54 on a common non-conductive platform 53 .
ここで、各ユニット５１．５２の振動モードは平行であ
る。すなわち、ユニット５１は厚みモード振動素子５１
ｂの上に辷りモート振動素子５Ｔａが位置し、ユニット
５２も同様に厚みモード振動素子５２ｂの上に辷りモー
ト振動素子５２ａが位置している。従って、ユニット５
】の振動モードＰ１とユニット５２の振動モードＰ３と
は平行であり、またユニット５１の振動モートＰ２とユ
ニット５２の振動モードＰ４とは平行となる。Here, the vibration modes of each unit 51, 52 are parallel. That is, the unit 51 is a thickness mode vibration element 51
A sliding moat vibration element 5Ta is located on top of b, and similarly in the unit 52, a sliding moat vibration element 52a is located on top of a thickness mode vibration element 52b. Therefore, unit 5
] The vibration mode P1 of the unit 52 and the vibration mode P3 of the unit 52 are parallel, and the vibration mode P2 of the unit 51 and the vibration mode P4 of the unit 52 are parallel.
従って、ユニット５１とユニット５２とて逆位相となる
様な電圧を印加すれば、ユニット５１とユニット５２の
部分でよじれる様になる駆動装置を得ることができる。Therefore, by applying voltages such that the unit 51 and the unit 52 have opposite phases, it is possible to obtain a driving device in which the unit 51 and the unit 52 are twisted.
すなわち、この様な極性で電圧を印加した場合には、例
えば第６図に示す様にユニノＡ方向に振動し、各ユニッ
ト５１．５２のそれぞ氾略中夫の部分ＦＸＧですれ違う
。That is, when a voltage is applied with such polarity, the units vibrate in the direction A as shown in FIG. 6, and each unit 51, 52 passes each other at the middle part FXG.
従って、第５図の各ユニット５１．５２の上面に台５３
に常に平行を保つ弾性板を置くと、この板は第６図のＣ
方向に移動してゆく。これは、この弾性板との近接時の
挙動カーブＦＯ，ＧＣ！が互いに次から次へとＣ方向に
移動するためであり、反対方向には何時も弾性板とは遠
ざかることとなるためである。従って、点Ｆ、Ｇを境と
して弾性板の下面との摩擦が近接時の方が大きく、０点
方向に動くこととなる。Therefore, the stand 53 is placed on the top surface of each unit 51, 52 in FIG.
If we place an elastic plate that always remains parallel to
move in the direction. This is the behavior curve FO, GC! when approaching this elastic plate. This is because they move one after another in the C direction, and they always move away from the elastic plate in the opposite direction. Therefore, the friction with the lower surface of the elastic plate between points F and G is greater when the elastic plate is close, and the elastic plate moves toward the zero point.
また、各ユニット５１．５２を同相で駆動すれば、第４
図の場合と同様の部品供給装置を得ることができる。Also, if each unit 51, 52 is driven in the same phase, the fourth
A component supply device similar to that shown in the figure can be obtained.
これらいずれの場合にあっても、第５図のユニットを更
に複数用い直線状に配列することにより、直線型の部品
供給装置を提供することができる。In any of these cases, a linear component supply device can be provided by further using a plurality of units shown in FIG. 5 and arranging them linearly.
円環状に配列して円環状の部品供給装置を得ることもで
きる。It is also possible to obtain a ring-shaped component supply device by arranging them in a ring.
の様に複数のユニットを用いて、隣接するユニット同士
を交互に逆相で駆動することにより、実効接触面積を増
やして有効・な駆動が可能な圧電駆動装置を提供するこ
とができる。By using a plurality of units and driving adjacent units alternately in opposite phases, it is possible to provide a piezoelectric drive device that can increase the effective contact area and perform effective driving.
第７図はこの発明の他の実施例を示すものであり、前述
のユニット自体が円環状となっている。FIG. 7 shows another embodiment of the present invention, in which the aforementioned unit itself has an annular shape.
同図（ａ）はこの様な装置の」−面図、また同図（１）
）は同図（ａｌのＢＢ線での断面図である。Figure (a) is a side view of such a device, and figure (1)
) is a sectional view taken along the BB line of the same figure (al).
同図によれば、半径ｒ、の第１の円環形状のユニノ１７
１と、これより半径の小さい半径ｒ２の第２の円環形状
のユニν１・７２を同芯上に配夕１ル、絶縁板７５を介
して台７６の一ヒに設置されている。According to the figure, a first annular unino 17 with a radius r
1 and a second annular unit ν1 72 having a smaller radius r2 are installed concentrically on one side of a stand 76 with an insulating plate 75 in between.
ユニット７１とユニット７２との間には弾性体７３が介
在している。必要に応じて空間のままとしてもよい。An elastic body 73 is interposed between the unit 71 and the unit 72. You may leave it as a space if necessary.
各ユニット７１．７２はそれぞれ厚みモート振動素子７
１ｂ、７２ｂの上にそれぞれ電極７４ａ、７４ｂを介し
て辷りモー１−振動素子７１ａ、７１ｂを接着しである
。もちろん、素子７１ａ、７２ａの上及び素子７１ｂ７
２ｂの下にも電極があるが図面では明示してない。Each unit 71, 72 has a thickness moat vibration element 7.
The sliding motion 1-vibrating elements 71a and 71b are bonded on top of 1b and 72b via electrodes 74a and 74b, respectively. Of course, on the elements 71a and 72a and on the element 71b7
There is also an electrode under 2b, but it is not clearly shown in the drawing.
この様な構成で、ユニット７１．７２を逆相駆動すると
、第５図のユニットを円環状に複数配列したと同様であ
り、例えば、部重量を」二部に設けることにより、円環
状の部品供給装置を得ることができる。With this configuration, when the units 71 and 72 are driven in opposite phases, it is the same as arranging a plurality of units in a ring shape as shown in FIG. A feeding device can be obtained.
第８図は、第７図のユニットを更に低速回転モータに適
用したものである。FIG. 8 shows the unit shown in FIG. 7 further applied to a low-speed rotating motor.
すなわち、第７図の各ユニット７１．７２の上部に、弾
性板８０を固着したロータ８１を設置し低速回転型モー
タとしたものである。That is, a rotor 81 to which an elastic plate 80 is fixed is installed above each unit 71, 72 in FIG. 7 to form a low-speed rotating motor.
このモータの回転原理は第５図の実施例で説明したと同
様であり、弾性板間を介してロータ８１のロータ板８］
ａに一定方向への力が加えられるためロータ８１の回
転が可能となる。前述した様にロータ８１の一面に固定
された弾性板８０は台７６と平行を保つ必要があり、従
って、例えばロータ８１の回転軸は台７６に回転可能に
固定する。The rotation principle of this motor is the same as that explained in the embodiment shown in FIG.
Since a force is applied to a in a certain direction, the rotor 81 can rotate. As described above, the elastic plate 80 fixed to one surface of the rotor 81 needs to be kept parallel to the table 76, and therefore, for example, the rotating shaft of the rotor 81 is rotatably fixed to the table 76.
尚、８４は各ユニット７１．７２への給電端子である。Note that 84 is a power supply terminal for each unit 71, 72.
・こ・の様なモータは位相の調節により逆回転も可であ
る。・A motor like this can also rotate in the opposite direction by adjusting the phase.
また、この様なモータは、第１図のユニット１０を第９
図に示す様に適数個円環状に配列し、適時に各ユニット
を１つおきに逆位相で駆動することによっても得られる
。In addition, such a motor can be used by replacing the unit 10 in FIG.
It can also be obtained by arranging an appropriate number of units in an annular shape as shown in the figure and driving every other unit in opposite phases at appropriate times.
この発明は、以上の各実施例及び変形例に限定されるこ
となく、各種の変形例を含むものであり、例えば各ユニ
ットは第３図で説明した様に積層型としてもよい。また
、駆動信号も必要に応じて同相、逆相、又は時分割とし
てもよいのはもちろんのことである。The present invention is not limited to the above embodiments and modifications, but includes various modifications. For example, each unit may be of a laminated type as explained in FIG. 3. It goes without saying that the drive signals may also be in-phase, anti-phase, or time-division as necessary.
第１図はこの発明の原理的実施例の構成図、第２図は第
１図の実施例の動作説明図、第３図は第１図の実施例の
要部の変形例説明図、第４図は第１図の実施例の適用例
説明図、第５図はこの発明の第２の実施例の説明図、第
６図は第５図の実施例の動作説明図、第７図はこの発明
の第３の実施例の説明図、第８図は第７図の実施例の適
用例説明図、第９図はこの発明の第４の実施例の説明図
である。
１ 辷りモード振動素子、２ 厚みモード振動素子、３
．４．５・電極、３２・・積層型振動素子、１０．５Ｊ
１５２．７１．７２・・・ユニット。
＠７！Ｉ
（ａ）、 （ｂ
１
１Ｎ９図 第
８図
８１ ８０ ７１ａ ７１ｂ ７６FIG. 1 is a configuration diagram of a principle embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of the embodiment of FIG. 1, FIG. 3 is an explanatory diagram of a modification of the main part of the embodiment of FIG. 4 is an explanatory diagram of an application example of the embodiment of FIG. 1, FIG. 5 is an explanatory diagram of a second embodiment of the present invention, FIG. 6 is an explanatory diagram of the operation of the embodiment of FIG. 5, and FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram of a third embodiment of the invention, FIG. 8 is an explanatory diagram of an application example of the embodiment of FIG. 7, and FIG. 9 is an explanatory diagram of a fourth embodiment of the invention. 1. Slip mode vibration element, 2. Thickness mode vibration element, 3.
．． 4.5・Electrode, 32・・Stacked vibration element, 10.5J
152.71.72...unit. @7! I (a), (b 1 1N9 Figure 81 80 71a 71b 76
Claims (1)
ぞれの振動モード方向が互いに直角になる様に組合せ一
体化したユニットを具えとのユニットの前記各素子に所
定の駆動信号を供給するようにして成る圧電駆動装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記ユ
ニットを複数個・、並置したことを特徴とする圧電駆動
装置。 ３ 特許請求の範囲第２項記載の装置において、前記ユ
ニットは各ユニットの辷り振動モードが平行となる様に
並置したことを特徴とする圧電駆動装置。 ４ 特許請求の範囲第２項記載の装置において、前記ユ
ニットは各ユニットの辷り振動モードが直線状又は円環
状となる様に並置したことを特徴とする圧電駆動装置。 ５、特許請求の範囲第３項記載の装置において、前記ユ
ニットは板片状又はブロック状とし、これを平行直線状
に複数配列したことを特徴とする圧電駆動装置。 ６ 特許請求の範囲第３項記載の装置において、前記ユ
ニットは板片状又はブロック状とし、これを同心円状に
複数配列したことを特徴とする圧電駆動装置。 ７、特許請求の範囲第５項又は第６項のいずれかに記載
の装置において、前記圧いに平行なユニット間で互いに
振動モードが揃う様に又は１８０°位相がずれる様に駆
動信号を印加する様にしたことを特徴さする圧電駆動装
置。 −２ 、特許請求の範囲第４項記載の装置において、前記ユニ
ットは板片状又はブロック状とし、直線形状に配列し、
たことを特徴とする圧電駆動装置。 ９、特許請求の範囲第４項記載の装置において、前記ユ
ニットは板片状又はブロック状とし、円環状に配列した
ことを特徴とする圧電駆動装置。 １０ 特許請求の範囲第８項又は第９項記載の装置にお
いて、隣り合う前記ユニット間の振動モートが揃う様に
又は１８００位相がずれる様に駆動信号を印加する様に
したことを特徴とする圧電駆動装置。 １１、特許請求の範囲第２項記載の装置において、前記
ユニットは半径の異なる円環形状であり、これを同芯状
に複数並置したことを特徴とする圧電駆動装置。 １２、特許請求の範囲第１１項記載の装置において、隣
接する前記ユニット間の振動モードの位相１８０゜ずれ
る様に駆動信号を印加する様にしたことを特徴とする圧
電駆動装置。[Claims] 1. A unit comprising a unit in which a sliding mode vibration element and a thickness mode vibration element are combined and integrated so that their respective vibration mode directions are perpendicular to each other, and a predetermined drive signal is applied to each element of the unit. A piezoelectric drive device configured to supply 2. A piezoelectric drive device according to claim 1, characterized in that a plurality of the units are arranged side by side. 3. The piezoelectric drive device according to claim 2, wherein the units are arranged side by side so that the shuffling vibration modes of each unit are parallel. 4. The piezoelectric drive device according to claim 2, wherein the units are arranged side by side so that the shuffling vibration mode of each unit is linear or annular. 5. The piezoelectric drive device according to claim 3, wherein the units are plate-shaped or block-shaped, and a plurality of units are arranged in parallel and straight lines. 6. The piezoelectric drive device according to claim 3, wherein the units are plate-shaped or block-shaped, and a plurality of units are arranged concentrically. 7. In the device according to claim 5 or 6, a drive signal is applied so that the vibration modes of the units parallel to the pressure are aligned with each other or are out of phase by 180°. A piezoelectric drive device characterized by being designed to -2. In the device according to claim 4, the units are plate-shaped or block-shaped and arranged in a linear shape,
A piezoelectric drive device characterized by: 9. The piezoelectric drive device according to claim 4, wherein the units are plate-shaped or block-shaped and arranged in an annular shape. 10 The piezoelectric device according to claim 8 or 9, characterized in that the drive signal is applied so that the vibration motes between the adjacent units are aligned or are out of phase by 1800 degrees. Drive device. 11. A piezoelectric drive device according to claim 2, characterized in that the units have annular shapes with different radii, and a plurality of units are arranged concentrically in parallel. 12. The piezoelectric drive device according to claim 11, wherein the drive signal is applied such that the vibration modes of the adjacent units are shifted in phase by 180 degrees.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164333A JPS6059980A (en) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | Piezoelectric drive device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164333A JPS6059980A (en) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | Piezoelectric drive device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6059980A true JPS6059980A (en) | 1985-04-06 |
Family
ID=15791176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164333A Pending JPS6059980A (en) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | Piezoelectric drive device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6059980A (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1983
- 1983-09-07 JP JP58164333A patent/JPS6059980A/en active Pending
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