JPS6049151U - 真空蒸着装置の電極構造 - Google Patents
真空蒸着装置の電極構造Info
- Publication number
- JPS6049151U JPS6049151U JP13884783U JP13884783U JPS6049151U JP S6049151 U JPS6049151 U JP S6049151U JP 13884783 U JP13884783 U JP 13884783U JP 13884783 U JP13884783 U JP 13884783U JP S6049151 U JPS6049151 U JP S6049151U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum evaporation
- electrode structure
- evaporation equipment
- filament
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来より一般に使用されている従来例の要部正
面構成説明図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１
図の動作説明図、第４図は本考案の一実施例の要部正面
構成説明図、第５図は第４図の平面図である。 １・・・本体ベース、２，２．・・・固定電極、２１゜
・・・屈曲部、３・・・フィラメント。
面構成説明図、第２図は第１図の平面図、第３図は第１
図の動作説明図、第４図は本考案の一実施例の要部正面
構成説明図、第５図は第４図の平面図である。 １・・・本体ベース、２，２．・・・固定電極、２１゜
・・・屈曲部、３・・・フィラメント。
Claims (1)
- ・ 柱状のフィラメントと、該フィラメントの両端を
支持する固定電極とを具備する真空蒸着装置の電極構造
において、前記固定電極の少くとも一方の電極が前記フ
ィラメントの加熱時における軸方−向の伸びを吸収する
屈曲部を具備したことを特徴とする真空蒸着装置の電極
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13884783U JPS6049151U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 真空蒸着装置の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13884783U JPS6049151U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 真空蒸着装置の電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6049151U true JPS6049151U (ja) | 1985-04-06 |
Family
ID=30311405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13884783U Pending JPS6049151U (ja) | 1983-09-07 | 1983-09-07 | 真空蒸着装置の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049151U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62162431U (ja) * | 1986-04-05 | 1987-10-15 | ||
| JP2006083427A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Sanritsuku:Kk | 蒸着用発熱体 |
-
1983
- 1983-09-07 JP JP13884783U patent/JPS6049151U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62162431U (ja) * | 1986-04-05 | 1987-10-15 | ||
| JP2006083427A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Sanritsuku:Kk | 蒸着用発熱体 |
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