JPS6047528B2 - Linear encoder scale support device - Google Patents

Linear encoder scale support device

Info

Publication number
JPS6047528B2
JPS6047528B2 JP7395781A JP7395781A JPS6047528B2 JP S6047528 B2 JPS6047528 B2 JP S6047528B2 JP 7395781 A JP7395781 A JP 7395781A JP 7395781 A JP7395781 A JP 7395781A JP S6047528 B2 JPS6047528 B2 JP S6047528B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scale
linear encoder
fixed
support device
linear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP7395781A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS57189012A (en
Inventor
英一 今村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority to JP7395781A priority Critical patent/JPS6047528B2/en
Publication of JPS57189012A publication Critical patent/JPS57189012A/en
Publication of JPS6047528B2 publication Critical patent/JPS6047528B2/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715Scale reading or illumination devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、リニア・エンコーダのスケールを摺動させ
る支持装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a support device for sliding a scale of a linear encoder.

一般に、リニア・エンコーダは、透明のメインスケー
ルに透光部と遮光部を一定ピッチで交互に−配置した縞
状の所謂、明暗のパターンを設け、これと同じパターン
のインデックススケールを対面し摺動させ、かつ、スリ
ットを介して前記両パターンを通して光源からの光を受
光するように光電変換素子(主としてフォトトランジス
タあるいはフォトダイオード)を配置したものである。
In general, a linear encoder has a transparent main scale with a so-called light and dark striped pattern in which light-transmitting parts and light-blocking parts are arranged alternately at a constant pitch, and an index scale with the same pattern faces and slides. In addition, a photoelectric conversion element (mainly a phototransistor or a photodiode) is arranged so as to receive light from a light source through both patterns through a slit.

メインスケールがインデックススケールに対し1ピッチ
移動するごとに明暗1サイクルの変化を光電変換素子が
検出し、光電パルス出力が得られる。このパルスを発生
させる各スケールの明暗のピッチは、例えば、4μある
いは5μ巾のパターンになつているので、長さのきわめ
て精密な測定ができる反面、メインスケールはインデッ
クススケールに対し、常に一定の位置関係(両者の間隔
は0.01〜0.0577j77lに維持する必要あり
)になければ、パルスの検出が安定せず、移動量の計測
が確実とならない。〔従来の技術とその問題点〕 ところが、従来のリニア・エンコーダは、例えば、実
開昭54−91133号公報で紹介されているごとく、
これを当該公報の符号を用いていえば、検出機構3とい
われるヘッド部と、移動するスケールを固着したスライ
ダ13といわれる固定スリットホルダとが一体的に結合
されており、かかるリニア・エンコーダ本体へヘッド部
を組込む際には、ヘッド部の姿勢(位置)が固定スリッ
トホルダの位置精度に影響を与えるので、その組立に注
意を要し、治具を必要としたり、両者の接触部の機械加
工をかなり高精度に仕上げる必要がある。
Every time the main scale moves by one pitch relative to the index scale, the photoelectric conversion element detects a change in brightness and darkness by one cycle, and a photoelectric pulse output is obtained. The pitch of light and darkness of each scale that generates this pulse is, for example, a 4μ or 5μ width pattern, so it is possible to measure the length with great precision, but the main scale is always at a constant position relative to the index scale. If there is not a relationship (the distance between the two must be maintained at 0.01 to 0.0577j77l), pulse detection will not be stable and measurement of the amount of movement will not be reliable. [Conventional technology and its problems] However, the conventional linear encoder, for example, as introduced in Japanese Utility Model Application Publication No. 54-91133,
Using the reference numerals in the publication, a head section called a detection mechanism 3 and a fixed slit holder called a slider 13 to which a moving scale is fixed are integrally connected, and the head section is connected to the main body of the linear encoder. When assembling the head, the posture (position) of the head affects the positional accuracy of the fixed slit holder, so care must be taken when assembling, which may require a jig or require machining of the contact area between the two. It needs to be finished with very high precision.

そうしなげれば、メインスケールとインデックススケー
ルと間の微妙な関係に対し、摺動するヘッド部の組立誤
差や加工誤差が直ちに影響をおよぼすことになる。例え
ば、両スケール摺動の間にはギャップが前記のように0
.01〜0.05T!Rlnに限定され、このギャップ
0.05TnIILを越えると、ホトトランジスタと発
光ダイオードとの間の光の平行度あるいは回折等の関係
で誤信を発生することがあり、また、両スケール摺動の
接触摩耗によつて、微細な目盛が損傷するという、検出
不可能な状態を招来する。〔問題点を解決するための手
段〕 そこで本発明はこの従来の欠点を除き、安価で計測精度
の高いリニア・エンコーダを提供するものである。
Otherwise, assembly errors and processing errors in the sliding head will immediately affect the delicate relationship between the main scale and the index scale. For example, the gap between both scales is 0 as described above.
.. 01~0.05T! If the gap exceeds 0.05TnIIL, misunderstandings may occur due to the parallelism or diffraction of light between the phototransistor and the light emitting diode, and contact wear of the sliding scales may occur. This results in damage to the fine scale, making it impossible to detect. [Means for Solving the Problems] Accordingly, the present invention provides a linear encoder that is inexpensive and has high measurement accuracy, while eliminating these conventional drawbacks.

第1図は一部省略全体正面図、第2図は第1図の一方の
スケール固定用側蓋を取外した側面図、第3図は第1図
のA−A断面図を示し、第4図以下は部品図を示すが、
本実施例のリニア・エンコーダは、固定状態のリニア・
エンコーダ本体1と該本体1内で基準をとりながら該本
体1上を往復動するヘッド部2からなつている。
Fig. 1 is a partially omitted overall front view, Fig. 2 is a side view with one side cover for fixing the scale in Fig. 1 removed, Fig. 3 is a sectional view taken along line A-A in Fig. 1, and Fig. The figure below shows the parts diagram.
The linear encoder in this example is a fixed linear encoder.
The encoder consists of a main body 1 and a head part 2 that reciprocates on the main body 1 while taking a reference within the main body 1.

該本体1はトンネル状箱体になつており、その底面3の
略中央部に帯状の明暗パターンを施したメインスケール
4を横長にして垂直に立植している(第2図および第3
図参照)。さて、該メインスケール4の片面では、該片
面て対面して摺動する明暗パターンを施したインデック
ススケール5があり、このインデックススケール5と前
記メインスケール4とを中間にして挟.むようにホトト
ランジスタ6と発光ダイオード7とが対峙して設けられ
ているが、このうちインデックススケール5は固定スリ
ットホルダ8のB面(第3図参照)に固着され、ホトト
ランジスタ6は基板9にプリント基板化して設けられ、
該基板J9がC面にビス11にて固着されている。
The main body 1 is in the form of a tunnel-like box, and a main scale 4 with a band-shaped light and dark pattern is placed approximately in the center of the bottom surface 3 in a horizontally elongated manner (see Figs. 2 and 3).
(see figure). Now, on one side of the main scale 4, there is an index scale 5 with a light and dark pattern that slides facing each other on one side, and this index scale 5 and the main scale 4 are sandwiched in the middle. A phototransistor 6 and a light emitting diode 7 are provided facing each other so that the index scale 5 is fixed to the B side of a fixed slit holder 8 (see FIG. 3), and the phototransistor 6 is printed on a substrate 9. Provided as a substrate,
The substrate J9 is fixed to the C surface with screws 11.

また、発光ダイオード7は他の基板10にプリント基板
化して設けられ、該基板10は、固定スリットホルダ8
のD面にビス11にて固着されている。この固定スリッ
トホルダ8は、正面視でコ字状・の中間金具12にて挾
まれた状態になつているが(第1図参照)、特に、該ホ
ルダ8の略中央部で、インデックススケール5の反対側
に設けた突出部31に線バネ13を挿通し、該線バネ1
3の一端を中間金具12の一方の脚部14に挿通し、他
端を中間金具12の他方の脚部15に挿通して押しボル
ト16にて固定することにより、中間金具12に固定ス
リットホルダ8が吊設された状態になつている。そして
、固定スリットホルダ8は、中間金具12の横バー17
の傾斜面18に螺設したノックピン19″を中心とする
圧縮コイルバネ19にて、常時、メインスケール4方に
押圧されているので、固定スリットホルダ8に取付けら
れたJインデックススケール5とメインスケール4との
位置関係を一定に保つことができる。なお、前記線バネ
13自体のたわみの反力を、該コイルバネ19と同じ押
圧力として働かせると、圧縮コイルバネ19はなくして
もよい。次に、インデックススケール5を固定した、固
定スリットホルダ8のB面の下方や、F面の中間に、第
4図に示すような超高密度ポリエチレンからなるアタリ
部材20,21を植設し、該アタリ部材20,21をメ
インスケール4の上面と側面下方に当接して摺動するよ
うにしているので、インデックススケール5は円滑な摺
動をする。
Further, the light emitting diode 7 is provided as a printed circuit board on another substrate 10, and the substrate 10 is provided with a fixed slit holder 8.
It is fixed to the D side with screws 11. This fixed slit holder 8 is in a state where it is held between U-shaped intermediate fittings 12 when viewed from the front (see Fig. 1). The wire spring 13 is inserted into the protrusion 31 provided on the opposite side of the wire spring 1.
A fixed slit holder is attached to the intermediate fitting 12 by inserting one end of 3 into one leg 14 of the intermediate fitting 12 and inserting the other end into the other leg 15 of the intermediate fitting 12 and fixing it with a push bolt 16. 8 is in a suspended state. The fixed slit holder 8 is attached to the horizontal bar 17 of the intermediate fitting 12.
The J-index scale 5 and main scale 4 attached to the fixed slit holder 8 are constantly pressed against the main scale 4 by a compression coil spring 19 centered on a dowel pin 19'' screwed onto the inclined surface 18 of the main scale. The compression coil spring 19 may be omitted if the reaction force of the deflection of the wire spring 13 itself acts as the same pressing force as the coil spring 19.Next, the compression coil spring 19 may be omitted. Attachment members 20 and 21 made of ultra-high density polyethylene as shown in FIG. , 21 are made to slide in contact with the upper surface and lower side surface of the main scale 4, so that the index scale 5 slides smoothly.

一方、中間金具12は、第2図、第3図に示すように、
その上面にガタツキを除くため設けた板バネ22の端で
のアタリ部材23、前記横バー17の上面に設けたアタ
リ部材24、および中間金具12の背面に設けたアタリ
部材25、でもつて、リニア・エンコーダ本体1の箱体
内面に当接して摺動するようになつているので、中間金
具12も円滑な摺動をすることができる。また、中間金
具12には、ヘッド部2の姿勢に影響されない緩衝機構
を介在して、前記のヘッド部2が跨設されている?。
On the other hand, the intermediate fitting 12, as shown in FIGS. 2 and 3,
A strike member 23 at the end of the leaf spring 22 provided on the upper surface to eliminate rattling, a strike member 24 provided on the upper surface of the horizontal bar 17, and a strike member 25 provided on the back side of the intermediate metal fitting 12, but the linear - Since it is adapted to slide in contact with the inner surface of the box of the encoder main body 1, the intermediate fitting 12 can also slide smoothly. Furthermore, the head section 2 is placed astride the intermediate metal fitting 12 with a buffer mechanism that is not affected by the posture of the head section 2 interposed therebetween. .

すなわち、前記緩衝機構は、ヘッド部2の一方側には前
脚26を吊設し、この前脚26にはボール27を抱持し
、また、他方側には板バネ28を介して中間小金具29
を吊設し、この中間小金具29に横方向に押しボルト3
0を螺設した構成である。したがつて、ヘッド部2は、
中間金具12の摺動する方向の前後に対し、一方ではボ
ール27に当接して、跨設されている。したがつて、通
常、被測定物を伴い、かつ、ガイド部に沿い移動するヘ
ッド部2では、被測定物に影響されるが、板バネ28、
ボール27の点接触などの緩衝機構を介していることか
ら、ヘッド部2の姿勢(位置)がリニア●エンコーダ本
体1内部の中間金具12に、ひいては、インデックスス
ケール5とメインスケール4の位置関係に、影響をしな
いようになる。なお、緩衝機構としては、板バネ28等
の弾性体により、ヘッド部2の姿勢(位置)などが、中
二間金具12などの位置関係に影響しないような構成で
あればよいが、ヘッド部2と中間金具12との位置精度
を考慮すると、ヘッド部2と中間金具12の少なくとも
一辺は、例えば、ボール27などの剛性のある部材を介
して接することが必要で1ある。
That is, in the buffer mechanism, a front leg 26 is suspended from one side of the head portion 2, a ball 27 is held on the front leg 26, and an intermediate small metal fitting 29 is attached to the other side via a leaf spring 28.
, and push bolts 3 horizontally to this intermediate small metal fitting 29.
This is a configuration in which 0 is screwed. Therefore, the head section 2 is
It is provided so as to abut and straddle the ball 27 on one side with respect to the front and back of the sliding direction of the intermediate metal fitting 12. Therefore, in the head section 2 that moves along the guide section along with the object to be measured, although it is affected by the object to be measured, the leaf spring 28,
Because the buffer mechanism such as the point contact of the ball 27 is used, the posture (position) of the head section 2 is linear ● The positional relationship between the intermediate metal fitting 12 inside the encoder body 1 and, by extension, the index scale 5 and the main scale 4 , it becomes unaffected. Note that the buffer mechanism may be configured as long as it has an elastic body such as the leaf spring 28 so that the posture (position) of the head section 2 does not affect the positional relationship of the middle bracket 12, etc.; Considering the positional accuracy between the head portion 2 and the intermediate fitting 12, it is necessary that at least one side of the head portion 2 and the intermediate fitting 12 be in contact with each other via a rigid member such as a ball 27, for example.

本発明の実施例の構成は以上のようになつているが、各
部品の形状がやや複雑であるので、その部品を第5図な
いし第7図に示す。
Although the configuration of the embodiment of the present invention is as described above, the shapes of each part are somewhat complicated, so the parts are shown in FIGS. 5 to 7.

第5図は固定スリットホルダ8に中間金具12ノを組付
けた正面図で、第6図は第5図の側面図、第7図は固定
スリットホルダ8の一部破断平面図を示す。
FIG. 5 is a front view of the fixed slit holder 8 with the intermediate fitting 12 assembled thereto, FIG. 6 is a side view of FIG. 5, and FIG. 7 is a partially cutaway plan view of the fixed slit holder 8.

第5図の32は、複数個のホトトランジスタ6を臨設す
る窓、第6図および第7図の33は線バネ13を挿通す
るキリ孔、第5図の34は2中間金具12の脚部14,
15に線バネ13を挿通するキリ孔を示す。以上のよう
な構成を有するリニア・エンコーダによれば、ヘッド部
2を被測定物をともなつてガイドに沿い、移動させるよ
うにし、また、リニ;ア・エンコーダ本体1を被測定物
近傍に固着しておき、ヘッド部2を移動させれば、該本
体1内部に設けたインデックススケール5がメインスケ
ール4の片面に沿つて摺動することになる。
Reference numeral 32 in FIG. 5 is a window in which a plurality of phototransistors 6 are provided, reference numeral 33 in FIGS. 6 and 7 is a drilled hole through which the wire spring 13 is inserted, and reference numeral 34 in FIG. 14,
15 shows a drilled hole through which the wire spring 13 is inserted. According to the linear encoder having the above configuration, the head section 2 is moved along the guide together with the object to be measured, and the linear encoder main body 1 is fixed near the object to be measured. If the head section 2 is then moved, the index scale 5 provided inside the main body 1 will slide along one side of the main scale 4.

その結果、両スケール4,5に施された明暗パターンが
.重合し、ことが光学的に検出され、電波の波形に変換
されてパルスを発信させる。このパルス出力をデジタル
表示する。したがつて、ヘッド部2の移動距離がデジタ
ル化して表示できるものであるが、かかる原理は、公知
のものをそのまま使用している。以上要するに本発明の
構成は、特許請求の範囲に記載された構成を採択したの
で、以下の効果を奏する。
As a result, the light and dark patterns applied to both scales 4 and 5 are . It polymerizes, which is detected optically and converted into a radio waveform that transmits a pulse. This pulse output is displayed digitally. Therefore, the moving distance of the head section 2 can be digitized and displayed, but the known principle is used as is. In short, since the configuration of the present invention adopts the configuration described in the claims, the following effects are achieved.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

1 リニア・エンコーダ本体上を被測定物をともなつて
ガイドに沿い往復動するヘッド部と、メインスケールお
よびインデックススケールと、の間には、緩衝機構を介
在させているから、移動するスケールおよびこれを固定
し保持する固定スリットホルダのみが、メインスケール
とインデックススケールとの極小間隔に影響し、他の部
材は影響しないようにすることができる。
1 A buffer mechanism is interposed between the main scale and the index scale and the head part that reciprocates along the guide with the object to be measured on the linear encoder body, so that the moving scale and this Only the fixed slit holder that fixes and holds the main scale and the index scale affects the minimum distance between the main scale and the index scale, and other members do not affect the minimum distance between the main scale and the index scale.

すなわち、被測定物に影響を受けるヘッド部の姿勢(例
えば被測定物の重量で傾くなど)いかんは無関係となり
、しかも、ヘッド部は別設したガイド部に案内されるが
、そのガイド部の仕上誤差にも影響を受けず、加えて、
移動するスケールは他の部材、例えば中間金具とはバネ
カを介在させており、一体化していないので、全体とし
て、パルスの検出が安定し、精密な計測ができ、ひいて
は、両スケールが接触摩耗を生じ明暗パターンなどを消
去することもない。2高精度に仕上げる部分を極力少な
くしたので、特に、ヘッド部とリニア・エンコーダ本体
との組込部を高精度に仕上げる必要がないので、熟練の
技術者によらなくても製作でき、加工賃を節減でき、安
価なリニア・エンコーダとすることができる。
In other words, the posture of the head that is affected by the object to be measured (for example, it is tilted due to the weight of the object to be measured) is irrelevant; in addition, although the head is guided by a separate guide section, the finish of that guide section is irrelevant. It is not affected by errors, and in addition,
Since the moving scale is not integrated with other parts, such as intermediate metal fittings, with a spring interposed between them, overall pulse detection is stable and accurate measurement is possible, and as a result, both scales avoid contact wear. It also does not erase the brightness and darkness patterns that occur. 2. The number of parts to be finished with high precision has been minimized, so there is no need to finish the part where the head part and the linear encoder body are assembled with high precision, so it can be manufactured without the need of a skilled engineer, and processing costs can be reduced. This makes it possible to reduce the cost and make the linear encoder inexpensive.

3つまり、バネカの介在と緩衝機構の介在とで相補足し
合い、リニア・エンコーダ自体の製作誤差や、測定中の
被測定物の姿勢には影響されないようにすることができ
る。
3. In other words, the presence of the spring and the presence of the buffer mechanism complement each other, making it possible to avoid being influenced by manufacturing errors of the linear encoder itself or the posture of the object to be measured during measurement.

なお、本発明のリニア・エンコーダは、顕微鏡を構成と
する光学系と光電素子を組合した計測器にも応用できる
ことはいう迄もない。
It goes without saying that the linear encoder of the present invention can also be applied to a measuring instrument that combines an optical system comprising a microscope and a photoelectric element.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明実施例の一部省略全体正面図、第2図は
第1図の一方のスケール固定用側蓋を取外した側面図、
第3図は第1図のA−A断面図、第4図はアタリ部材外
観図、第5図は固定スケールホルダに中間金具を組付け
た正面図、第6図は第5図の側面図、第7図は固定スリ
ットホルダの平面図を示す。 1・・・・・・リニア・エンコーダ本体、4・・・・・
メインスケール、5・・・・・・インデックススケール
、8・・・ノ固定スリットホルダ、12・・・・・中間
金具、13・・・・・線バネ、19・・・・・・圧縮コ
イルバネ。
FIG. 1 is a partially omitted overall front view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of FIG. 1 with one side cover for fixing the scale removed.
Figure 3 is a sectional view taken along the line A-A in Figure 1, Figure 4 is an external view of the attachment member, Figure 5 is a front view of the fixed scale holder with the intermediate metal fittings assembled, and Figure 6 is a side view of Figure 5. , FIG. 7 shows a plan view of the fixed slit holder. 1...Linear encoder body, 4...
Main scale, 5... Index scale, 8... Fixed slit holder, 12... Intermediate metal fitting, 13... Wire spring, 19... Compression coil spring.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 メインスケールとインデックススケールのいずれか
一方のスケールを固定し、他方のスケールをこの固定さ
れたスケールに対面して移動させるリニア・エンコーダ
において、移動するスケールを固定した固定スリットホ
ルダ8を、リニア・エンコーダ本体1に基準をとりなが
ら摺動する中間金具12に吊設し、かつ、該固定スリッ
トホルダ8と該中間金具12との間にバネ力を介在させ
るとともに、前記リニア・エンコーダ本体1上で被測定
物にともなつて往復動させるヘッド部2を、該ヘッド部
2の姿勢を無関係とさせる緩衝機構を介在して、前記中
間金具12に装着した、ことを特徴とするリニア・エン
コーダのスケール支持装置。 2 緩衝機構は、ヘッド部2に配設されたボール27と
、中間金具12をボール27側へ付勢する弾性体28と
、からなる特許請求の範囲第1項に記載のリニア・エン
コーダのスケール支持装置。
[Claims] 1. In a linear encoder in which one of the main scale and index scale is fixed and the other scale is moved to face the fixed scale, a fixed slit to which the moving scale is fixed. The holder 8 is suspended from an intermediate metal fitting 12 that slides while being referenced to the linear encoder main body 1, and a spring force is interposed between the fixed slit holder 8 and the intermediate metal fitting 12, and the linear - The head section 2, which is reciprocated along with the object to be measured on the encoder main body 1, is attached to the intermediate metal fitting 12 through a buffer mechanism that makes the posture of the head section 2 irrelevant. A scale support device for linear encoders. 2. The scale of the linear encoder according to claim 1, wherein the buffer mechanism includes a ball 27 disposed on the head portion 2 and an elastic body 28 that urges the intermediate fitting 12 toward the ball 27. Support device.
JP7395781A 1981-05-15 1981-05-15 Linear encoder scale support device Expired JPS6047528B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7395781A JPS6047528B2 (en) 1981-05-15 1981-05-15 Linear encoder scale support device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7395781A JPS6047528B2 (en) 1981-05-15 1981-05-15 Linear encoder scale support device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS57189012A JPS57189012A (en) 1982-11-20
JPS6047528B2 true JPS6047528B2 (en) 1985-10-22

Family

ID=13533062

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7395781A Expired JPS6047528B2 (en) 1981-05-15 1981-05-15 Linear encoder scale support device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6047528B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57189012A (en) 1982-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5484700B2 (en) Measuring device
US4573000A (en) Measuring instrument
US4444504A (en) Displacement measuring instrument
DE3879569D1 (en) PROBE HEAD FOR COORDINATE MEASURING DEVICES.
US4250381A (en) Linear scale type measuring device
US4095903A (en) Measuring apparatus
US11105656B2 (en) Optical encoder using two different wavelengths to determine an absolute and incremental output for calculating a position
JPS6166936A (en) Optical, electrical and mechanical device for measuring physical parameter
WO2003021194A3 (en) Reference point talbot encoder
EP0884556A2 (en) Measuring instrument
JPH0212564Y2 (en)
US11519763B2 (en) Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support
JPS6047528B2 (en) Linear encoder scale support device
US4684257A (en) Measuring instrument
US7658014B2 (en) Length measuring arrangement
GB2153995A (en) Coordinate measuring instrument
JPH043215Y2 (en)
JPS60125505A (en) Measuring device for length
JP3107365B2 (en) Linear sensor
JPS6222018A (en) Displacement detecting device
JP2579802B2 (en) Measurement probe for 3D measurement
JP3369110B2 (en) Photoelectric encoder
JP4766509B2 (en) Displacement measuring instrument
JPS5937687Y2 (en) displacement detector
JP2567907B2 (en) Linear encoder