JPS6037837U - ダイアフラム式センサ - Google Patents

ダイアフラム式センサ

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Publication number
JPS6037837U
JPS6037837U JP12893283U JP12893283U JPS6037837U JP S6037837 U JPS6037837 U JP S6037837U JP 12893283 U JP12893283 U JP 12893283U JP 12893283 U JP12893283 U JP 12893283U JP S6037837 U JPS6037837 U JP S6037837U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
metal diaphragm
sensor body
sensor
fixed
Prior art date
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Pending
Application number
JP12893283U
Other languages
English (en)
Inventor
照史 岩田
妹尾　良夫
沓間　妙子
Original Assignee
トキコ株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by トキコ株式会社 filed Critical トキコ株式会社
Priority to JP12893283U priority Critical patent/JPS6037837U/ja
Publication of JPS6037837U publication Critical patent/JPS6037837U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の静電容量式渦検出センサの断面図、図２
ａｙ　２ｂ、２ｃは第１図記載の金属ダイアフラムの振
動を説明するための概念図、図３ａｔ　　３ｂｔ　　３
ｃおよび図４ａｖ　　４ｂｙ　４ｃは本考案に係るダイ
アフラム式センサに使用した金属ダイアフラムの詳細図
であって、図３ａはその平面図、図３ｂは図３ａ記載Ｘ
−Ｘ線に沿った矢視力　、同断面図、図３ｃは他の実施
例を示す図３ｂと同様な断面図、図４ａ＊　　４ｂ＊　
４ｃは更に他の実施例を示す金属ダイアフラムの平面図
である。 １・・・渦発生柱、２ａｔ２ｂ・・・金属ダイアフラム
、３ａ、３ｂ・・・固定電極、８，９・・・金属ダイア
フラムの周辺部、１０．１１・・・金属ダイアフラムの
中央部、１２，１３，１４，１５．１６・・・金属ダイ
アフラムの補強部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. センサ本体と、該センサ本体の凹所内に固定された固定
    電極と、該固定電極と対向して前記凹所開口部を覆うよ
    うに前記センサ本体に周辺部が固定され、かつ中央部が
    変位可能とされた金属ダイアフラムを有するダイアフラ
    ム式センサにおいて、前記金属ダイアフラムは、少なく
    とも前記周辺部の中央部側近傍部分が薄肉とされ、前記
    中央部が前記薄肉部よりも厚肉とされた補強部となっテ
    ィることを特徴とするダイアフラム式センサ。
JP12893283U 1983-08-20 1983-08-20 ダイアフラム式センサ Pending JPS6037837U (ja)

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JP12893283U JPS6037837U (ja) 1983-08-20 1983-08-20 ダイアフラム式センサ

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JP12893283U JPS6037837U (ja) 1983-08-20 1983-08-20 ダイアフラム式センサ

Publications (1)

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JPS6037837U true JPS6037837U (ja) 1985-03-15

Family

ID=30292315

Family Applications (1)

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JP12893283U Pending JPS6037837U (ja) 1983-08-20 1983-08-20 ダイアフラム式センサ

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0166047U (ja) * 1987-10-22 1989-04-27
JPH03200017A (ja) * 1989-12-26 1991-09-02 Select Corp 流体流量計

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5562332A (en) * 1978-11-02 1980-05-10 Fuji Electric Co Ltd Pressure measuring device

Patent Citations (1)

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