JPS6029431U - 集積公差吸収リング - Google Patents

集積公差吸収リング

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Publication number
JPS6029431U
JPS6029431U JP12015683U JP12015683U JPS6029431U JP S6029431 U JPS6029431 U JP S6029431U JP 12015683 U JP12015683 U JP 12015683U JP 12015683 U JP12015683 U JP 12015683U JP S6029431 U JPS6029431 U JP S6029431U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
absorption ring
tolerance absorption
ring
integrated tolerance
integrated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12015683U
Other languages
English (en)
Inventor
山本　秀治
上野　透
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Publication of JPS6029431U publication Critical patent/JPS6029431U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は回転テーブル部の縦断面図、第２図は第１図の
Ａ部嵌合部へ本考案の集積公差吸収リングを適用した拡
大断面図、第３図は集積公差吸収リングの平面図である
。 １：・・回転テーブル、２・・・保護ケース、３・・・
チャンバー、４・・・ケース受、５・・・軸封装置、６
・・・止めボルト、７・・・止めボルト、８・・・公差
吸収リング、９・・・公差吸収リング。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 適正量偏芯した公差吸収リングを最終組立品の嵌合部へ
    使用し、これを回転調整することにより半径方向集積公
    差を吸収するようにしたことを特徴とする集積公差吸収
    リング。
JP12015683U 1983-08-03 1983-08-03 集積公差吸収リング Pending JPS6029431U (ja)

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JP12015683U JPS6029431U (ja) 1983-08-03 1983-08-03 集積公差吸収リング

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JP12015683U JPS6029431U (ja) 1983-08-03 1983-08-03 集積公差吸収リング

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JPS6029431U true JPS6029431U (ja) 1985-02-27

Family

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JP12015683U Pending JPS6029431U (ja) 1983-08-03 1983-08-03 集積公差吸収リング

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