JPS60253805A - Optical displacement detection apparatus - Google Patents
Optical displacement detection apparatusInfo
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- JPS60253805A JPS60253805A JP11029684A JP11029684A JPS60253805A JP S60253805 A JPS60253805 A JP S60253805A JP 11029684 A JP11029684 A JP 11029684A JP 11029684 A JP11029684 A JP 11029684A JP S60253805 A JPS60253805 A JP S60253805A
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- hologram
- light
- recording medium
- photodetector
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光軸方向における被検出物の変位を光学的に
検出する為の光学式変位検出装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an optical displacement detection device for optically detecting displacement of an object to be detected in the optical axis direction.
背景技術とその問題点
例えば光デイスクプレーヤにおいては、光ディスクと光
学系とを所定の距離に保持する為のフォーカス・ザーボ
が必要であるが、その為にはまずフォーカス誤差つまり
光ディスクの記録面の光軸方向における所定位置からの
変位を検出する必要がある。BACKGROUND TECHNOLOGY AND PROBLEMS For example, in an optical disc player, a focus servo is required to maintain a predetermined distance between the optical disc and the optical system. It is necessary to detect displacement from a predetermined position in the axial direction.
フォーカス誤差を検出する方法としては、非点収差法や
ナイフ・エツジ法等の種々の方法が従来から知られてい
る。ところが、従来の方法は、何れも光検出器を複数個
用意してこれらの光検出器への入射角を変化させ、夫々
の光検出器の出力の差分をめることによって、フォーカ
ス誤差を検出している。Various methods such as the astigmatism method and the knife edge method are conventionally known as methods for detecting focus errors. However, conventional methods detect focus errors by preparing multiple photodetectors, changing the angle of incidence on these photodetectors, and calculating the difference between the outputs of each photodetector. are doing.
しかし、この様に複数個の光検出器を使用して、しかも
それらの出力の差分をめようとすると、機構が複雑にな
ってしまう。However, if a plurality of photodetectors are used in this way and the difference in their outputs is to be determined, the mechanism becomes complicated.
また、入射角の変化を光検出器によって検出するには、
ごれらの光検出器を正確に配置する必要がある為に、組
立てが容易でなく経年変化による位置ずれにも弱い。In addition, in order to detect the change in the angle of incidence with a photodetector,
Since these photodetectors need to be placed accurately, they are not easy to assemble and are susceptible to misalignment due to aging.
発明の目的
本発明は、上述の問題点に鑑み、機構が簡華で組立ても
容易であり経年変化にも強い光学式変位検出装置を提供
することを目的としている。OBJECTS OF THE INVENTION In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide an optical displacement detection device that has a simple mechanism, is easy to assemble, and is resistant to deterioration over time.
発明の概要
本発明は、表面に対して所定の角度を成すホログラムが
記録されている記録媒体と、前記ホログラムによって収
束される被検出物からの光を検出する光検出器とを夫々
具備し、光軸方向で前記被検出物の変位による前記ポロ
グラムへの入射角の変化によってこのホログラムからの
収束光と透過光との比率を変化させ、この比率の変化に
よって前記変位を検出する様にした光学式変位検出装置
に係るものである。Summary of the Invention The present invention includes a recording medium on which a hologram forming a predetermined angle with respect to the surface is recorded, and a photodetector that detects light from an object to be detected that is focused by the hologram, An optical system that changes the ratio of convergent light and transmitted light from the hologram by changing the angle of incidence on the porogram due to the displacement of the object to be detected in the optical axis direction, and detects the displacement based on the change in this ratio. This relates to a type displacement detection device.
実施例
以下、光ティスフプレーヤに適用した本発明の一実施例
を第1図〜第6図を参照しながら説明する。EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention applied to an optical tisf player will be described with reference to FIGS. 1 to 6.
第1図は、本実施例の構成を示している。レーザダイオ
ード等の半導体レーザ1から射出されたコヒーレントな
光2は、ビームスプリッタ3を透過し、レンズ4によっ
て光ティスフ5の記録面上へ収束される。FIG. 1 shows the configuration of this embodiment. Coherent light 2 emitted from a semiconductor laser 1 such as a laser diode passes through a beam splitter 3 and is focused onto a recording surface of an optical disk 5 by a lens 4 .
光ディスク5の記録面で反射された光2は、再びレンズ
4へ入射する。このレンズ4によって収束されビームス
プリッタ3によって反射された光2は、ホログラムが記
録されている写真乾板等の記録媒体6へ入射し、この記
録媒体6を介して、単一の光検出器7へ入射する。この
光検出器7は一1配置位置によってその形状や面積を種
々に変更することができ、例えば円板状であってよい。The light 2 reflected by the recording surface of the optical disc 5 enters the lens 4 again. The light 2 converged by this lens 4 and reflected by the beam splitter 3 enters a recording medium 6 such as a photographic plate on which a hologram is recorded, and via this recording medium 6, it is transmitted to a single photodetector 7. incident. The shape and area of the photodetector 7 can be changed in various ways depending on the arrangement position, and may be in the shape of a disk, for example.
記録媒体6上のホログラムは、第2図に示す様に、光8
aと8bとの干渉によって記録されたものである。光8
aは、第1図に示した光2の収束点F1 (レンズ4か
らXの距離)に位置する光ディスク5の記録面で反射さ
れて記録媒体6へ入射する光2の入射角に相当する角度
θで、第1図におりる記録媒体6の光2の入射面とは反
対側の面へビームスプリッタ9を介して入射する光であ
ろう光8bは、レンズ10とビームスプリッタ9とを介
して記録媒体6の手前の収束点F2で収束する光である
。The hologram on the recording medium 6 is illuminated by light 8 as shown in FIG.
This was recorded by interference between a and 8b. light 8
a is an angle corresponding to the incident angle of the light 2 reflected by the recording surface of the optical disk 5 located at the convergence point F1 (distance X from the lens 4) shown in FIG. 1 and incident on the recording medium 6; At θ, the light 8b, which is likely to be incident on the surface of the recording medium 6 in FIG. The light converges at a convergence point F2 in front of the recording medium 6.
ホログラムはその記録方式によって幾つかに分類される
が、本実施例では位相ホlノグラJ1を使用している。Holograms are classified into several types depending on their recording method, and in this embodiment, a phase hologram J1 is used.
位相ホログラムは位相液aJ!Jによって再生光を回折
させるものであり、本実施例ではこの回折によって光を
収束させる様にしている。そして、位相ホログラムでは
、記録媒体6に対する記録光である光8a、、8bの強
度と露光時間との選択によって、再生光の利用率を10
0%とすることも可能である。The phase hologram is a phase liquid aJ! The reproducing light is diffracted by J, and in this embodiment, the light is converged by this diffraction. In the phase hologram, the utilization rate of the reproduction light is increased to 10 by selecting the intensity and exposure time of the lights 8a, 8b, which are the recording lights for the recording medium 6.
It is also possible to set it to 0%.
記録媒体6としては通常は既述の如く写真乾板等が用い
られているが、位相ホログラムでは上記の利用率に応し
てその媒体の材質が適宜選択される。そして、通常の写
真乾板で用いられる銀塩に比してより高い利用率を得る
為には、ゼラチンが媒体として用いられる。As described above, a photographic plate or the like is normally used as the recording medium 6, but in the case of a phase hologram, the material of the medium is appropriately selected depending on the above-mentioned utilization rate. Gelatin is used as a medium in order to obtain a higher utilization rate than silver salts used in ordinary photographic plates.
ゼラチンを媒体として用いた場合には、感光月の材質に
もよるが、記録光である光8a、8bと再生光である光
2とは通常は異なる波長のものが使用される。例えば、
光2の波長が0.8μm近傍の帯域であるのに対して、
光8a、8bの波長はごの帯域よりも短波長の帯域であ
る。When gelatin is used as the medium, the recording lights 8a and 8b and the reproduction light 2 usually have different wavelengths, depending on the material of the photosensitive moon. for example,
While the wavelength of light 2 is in the band around 0.8 μm,
The wavelengths of the lights 8a and 8b are in shorter wavelength bands than the respective bands.
波長が互いに異なる光をホログラムへ入射させた場合、
入射角が同じでも出射角が互いに異なるので、同一の収
束点を得る為には、波長が互いに異なる光に対しては入
射角も異ならせる必要がある。When light with different wavelengths is incident on a hologram,
Even if the incident angle is the same, the outgoing angle is different, so in order to obtain the same convergence point, it is necessary to make the incident angle different for light having different wavelengths.
とごろで、記録媒体6の中心を原点とすると共にこの記
録媒体6に垂直な方向を2軸方向とする直交座標をとり
、第2図の収束点F2の座標を(xl yl、z、)、
光8aの光源の座標を(1’+、、Ql、r+ )とし
、第1図の光2が記録媒体6」−のボログラムによって
収束さる点の座標を(x2 、Yz 、Z2 ) 、ホ
ログラムを単に透過してレンズ4の作用によってのめ収
束する点の座標を(pz 、Q2 、rz )とし、ま
た記録光である光8a、8bの波長をλ5、再生光であ
る光2の波長をλ2とした場合、記録後におけるホログ
ラムの引伸し倍率をmとすると、ホログラムの結像公式
は、
と表される。, take orthogonal coordinates with the center of the recording medium 6 as the origin and the direction perpendicular to the recording medium 6 as the two axes, and the coordinates of the convergence point F2 in FIG. 2 as (xl yl, z,) ,
Let the coordinates of the light source of the light 8a be (1'+,, Ql, r+), the coordinates of the point where the light 2 in FIG. The coordinates of the point that simply passes through and converges due to the action of the lens 4 are (pz, Q2, rz), and the wavelength of the recording lights 8a and 8b is λ5, and the wavelength of the reproduction light 2 is λ2. In this case, if the enlargement magnification of the hologram after recording is m, the hologram imaging formula is expressed as follows.
そして、第1図及び第2図に示した様に記録媒体6上の
ホログラムをオン・アクシス・ボロクラムとすると、第
2図の収束点F2の位置つまり第1図の光検出器7の記
録媒体6に対ずイ、位置関係を■弐のみから決定するこ
とができる。If the hologram on the recording medium 6 is an on-axis bologram as shown in FIGS. 1 and 2, then the position of the convergence point F2 in FIG. 2, that is, the recording medium of the photodetector 7 in FIG. In contrast to 6, the positional relationship can be determined from only 2.
記録媒体6には上述の様にして光8a及び8bによって
回折格子であるボログラムが記録されるが、回折光の強
度は回折格子に対する先の入射角に応じて変化し、ブラ
ッグ角条件に一砂したときに最高の回折効率が街られる
。A bologram, which is a diffraction grating, is recorded on the recording medium 6 by the light beams 8a and 8b as described above, but the intensity of the diffracted light changes depending on the previous angle of incidence on the diffraction grating, and it depends on the Bragg angle condition. The highest diffraction efficiency is achieved when
つまり、第1図に示す様に光ディスク5の記録面が収束
点F1に位置していると、この光ディスク5で反射され
た光2は、記録媒体6上のボログラムへ角度θで入射す
る。この先2は、ホログラムをjiiに透過して光8a
とは逆に進む光とホログラムによって収束されて光8b
とは逆に進む光とに分離されるが、入射角がθのときに
収束光の比率が最も高い。That is, when the recording surface of the optical disc 5 is located at the convergence point F1 as shown in FIG. 1, the light 2 reflected by the optical disc 5 is incident on the bologram on the recording medium 6 at an angle θ. From now on, light 8a passes through the hologram to jii.
The light traveling in the opposite direction and being converged by the hologram become light 8b.
When the incident angle is θ, the ratio of convergent light is highest.
従って、光検出器7を第2Hに示した収束点I72の近
傍Qこ配置してお4Jば、光ディスク5の記録面が収束
点f−″1に位置しているときに、光検出2÷(7の出
力が最も大きい。Therefore, if the photodetector 7 is placed near the convergence point I72 shown in 2H, when the recording surface of the optical disc 5 is located at the convergence point f-''1, the photodetector 7 (The output of 7 is the largest.
一方、光ディスク5の記録面が収束点F1の位置から変
位すると、1メンスの結像公式からも明らかな様に、記
録媒体6」=のボロダラムヘ入射する光2の入射角も変
化する。すると、ボログラムによゲて収束される光の比
率が低下し、光検出器7の出力も低下する。On the other hand, when the recording surface of the optical disk 5 is displaced from the position of the convergence point F1, the angle of incidence of the light 2 entering the recording medium 6'' also changes, as is clear from the 1-mens imaging formula. Then, the ratio of light converged by the bologram decreases, and the output of the photodetector 7 also decreases.
この結果、光検出器7の出力は、第3図に示す様に光デ
ィスク5の記録面が収束点F1に位置しているときに最
大の値を有する略対称的な分布となる。従って、光検出
器7の出力が最大のときが、フォーカス誤差つまり光デ
ィスク5の記録面の変位が無い位置である。As a result, the output of the photodetector 7 has a substantially symmetrical distribution having a maximum value when the recording surface of the optical disc 5 is located at the convergence point F1, as shown in FIG. Therefore, when the output of the photodetector 7 is maximum, this is the position where there is no focus error, that is, no displacement of the recording surface of the optical disc 5.
以上の様な本実施例では、収束点F1からの光ディスク
5の記録面の変位を四−の光検出器7で検出することが
でき、複数の光検出器の出力の差分をめる必要もないの
で、Wl、IQが簡単である。In this embodiment as described above, the displacement of the recording surface of the optical disc 5 from the convergence point F1 can be detected by the four photodetectors 7, and there is no need to calculate the difference between the outputs of the plurality of photodetectors. Since there is no such thing, Wl and IQ are easy.
また、本実施例では、光2の入射角の変化を光検出器7
によって直接に検出しているのではなく、光検出器7は
記録媒体6上のホログラムからの収束光の強弱自体を検
出しているので、光検出器7をそれ程正確には配置する
必要がなく、組立てが容易で且つ経年変化による位置ず
れにも強い。In addition, in this embodiment, the change in the incident angle of the light 2 is detected by the photodetector 7.
Since the photodetector 7 detects the intensity of the convergent light itself from the hologram on the recording medium 6 instead of directly detecting it, the photodetector 7 does not need to be placed so precisely. , easy to assemble, and resistant to misalignment due to aging.
また、非点収差法ではカマホコ型の円柱レンズを使用し
ており、レンズは研磨が必要なこともあって高価である
が、ホログラムは写真技術で容易に大量生産をすること
ができるので非常に安価でである。In addition, the astigmatism method uses a cylindrical lens in the shape of a bullet hole, which is expensive as it requires polishing, but holograms can be easily mass-produced using photographic technology, making them extremely useful. It's cheap.
第4図は第1図に示した実施例の一応用例を示しており
、この応用例は検出したフォーカス誤差に基いてツメ−
カス調節を行う機構を有している。FIG. 4 shows an example of application of the embodiment shown in FIG.
It has a mechanism for adjusting waste.
この応用例では、ビー1、スプリッタ3に板状の複屈折
媒体11が取り付けられると共に、この複屈折媒体11
で分離された光2のうちの一方を反射させる環状の反射
媒体12がレンズ4に取り何げられている。また、反射
媒体12及びビームスプリンタ3で反射され且つ記録媒
体6上のホログラムを透過した光2を検出する乃の環状
の光検出器13が、光検出器7の外周に接する様に配さ
れている。In this application example, a plate-shaped birefringent medium 11 is attached to the beam 1 and the splitter 3, and this birefringent medium 11
An annular reflecting medium 12 that reflects one of the lights 2 separated by the lens 4 is attached to the lens 4. Further, an annular photodetector 13 that detects the light 2 reflected by the reflection medium 12 and the beam splinter 3 and transmitted through the hologram on the recording medium 6 is arranged so as to be in contact with the outer periphery of the photodetector 7. There is.
反則媒体12及びビームスプリ、り3で反射されて記録
媒体6上のホログラム・\入射する光2の入射角は、光
ディスク5及びビームスプリッタ3で反射された光2の
入射角とは大巾に異なる。この為に、反射媒体12で反
射された光2の大部分は、記録媒体6」二のホログラム
を単に透過するのみである。The incident angle of the light 2 that is reflected by the anti-fouling medium 12 and the beam splitter 3 and enters the hologram on the recording medium 6 is much larger than the incident angle of the light 2 that is reflected by the optical disk 5 and the beam splitter 3. different. For this reason, most of the light 2 reflected by the reflective medium 12 simply passes through the hologram of the recording medium 6''.
従って、光検出器13の出力は、第5図に示す様に略直
線状に変化する。そして、光検出器13の面積や形状は
、光ディスク5の記録面が収束点Flに位置するときに
レンズ4の位置が」−記のInB直線状に変化する部分
に対応する様に設定されている。Therefore, the output of the photodetector 13 changes approximately linearly as shown in FIG. The area and shape of the photodetector 13 are set so that when the recording surface of the optical disc 5 is located at the convergence point Fl, the position of the lens 4 corresponds to the part where the position of the lens 4 changes linearly. There is.
以」二の様な応用例でフォーカス調節を行うにLす1、
ツメ−カス誤差を検出した時にレンズ4の移動方向を決
定できる様に、光ディスク5の作動前に初期処理として
レンズ4の基準位置をめておく。To adjust the focus in the following application example,
The reference position of the lens 4 is set as an initial process before the optical disc 5 is operated so that the moving direction of the lens 4 can be determined when a nail error is detected.
第6図は、この初期処理の手順を示している。FIG. 6 shows the procedure of this initial processing.
まず、光検出器13及び7の夫々のサンプリング出力を
記1意する為のメモリlVl+ &OMz (図示ゼず
)をセロクリアすると共に、これらのメモリlVl+
、 M2の番地カウンタnを1に設定し、更にレンズ4
を光軸方向へ駆動させる為の駆動電圧■をOに設定する
。First, the memories lVl+ &OMz (not shown) for recording the sampling outputs of the photodetectors 13 and 7 are cleared by cello-clearing, and these memories lVl+
, set the address counter n of M2 to 1, and then set the lens 4
Set the driving voltage (■) to O to drive the lens in the optical axis direction.
次に、プログラムl1014の使用端子を13とすると
共に、端子Aからの指令によってスイ・ノチ回路15を
L P F 16側へオンにずろ。そして、L P F
16、スイッチ回路15、A I)変換器】7及び端
子Bを介して、光検出器13の()−ンプリング出力を
メモリM、のn番地へ格納する。Next, set the terminal to be used in the program 11014 to 13, and turn on the switch circuit 15 to the L P F 16 side according to the command from the terminal A. And L P F
16, switch circuit 15, A I) converter] 7 and terminal B, the ()-sampling output of photodetector 13 is stored in address n of memory M.
次いで、プログラムl1014の端子へからの指令乙こ
よってスイッチ回路15をL P F 18 側へオン
にする。そして、L P F ]、 8、スイッチ回路
15、A D変換器17及び端子Bを介して、光検出器
7のサンプリング出力をメモリM2のn番地−1格納す
る。Next, a command B from the terminal of the program l1014 turns on the switch circuit 15 to the L P F 18 side. Then, the sampling output of the photodetector 7 is stored in address n-1 of the memory M2 via the switch circuit 15, the AD converter 17, and the terminal B.
メモリMZ (n)中のデータがメモリ1vjz (n
4)中のデータよりも小さく且つM2 (n)中のデー
タが0であれば、この初期処理を終了する。上記の何れ
かに該当しない場合は、プログラムl1014の使用端
子をCとすると共に、駆動電圧■を単位量だけ増加させ
、この駆動電圧■を端子Cから出力する。The data in memory MZ (n) is transferred to memory 1vjz (n
4) If the data in M2(n) is smaller than the data in M2(n) and the data in M2(n) is 0, this initial processing is terminated. If none of the above applies, the terminal to be used in the program 11014 is set to C, the driving voltage (■) is increased by a unit amount, and this driving voltage (■) is output from the terminal C.
端子Cから出力された駆動電圧■は、DA変換器21を
介して駆動回路22へ供給され、レンズ4が光軸方向へ
駆動される。その後、番地カウンタnを1だけ増加させ
て、光検出器13.7の出力のサンプリングを繰り返す
。The drive voltage (2) output from the terminal C is supplied to the drive circuit 22 via the DA converter 21, and the lens 4 is driven in the optical axis direction. Thereafter, the address counter n is incremented by 1 and sampling of the output of the photodetector 13.7 is repeated.
なお、光検出器】3,7の出力は、駆動回路22による
サーボ帯域(数kHz〜10数kllz >の倍の周波
数でサンプリングする。また、LPF16゜18は、各
種の雑音を取り除く為のものてあり、0〜10数kll
zの帯域の信号を取り出す。Note that the outputs of the photodetectors 3 and 7 are sampled at a frequency twice as high as the servo band (several kHz to 10-odd kHz) by the drive circuit 22. Also, the LPF 16° 18 is used to remove various noises. There are 0 to 10 kll
Extract the signal in the z band.
以上の様な初期処理によって、メモリM1及びM2の夫
々には第5図及び第3図に示した光検出器13及び7の
サンプリング出力が記1,0される。Through the above initial processing, the sampling outputs of the photodetectors 13 and 7 shown in FIGS. 5 and 3 are recorded in the memories M1 and M2, respectively.
そして、記1.aデータの値が最大であるメモリM2の
番地と同一のメモリM1の記憶データの値つまり第5図
の直線状に変化している部分の所定位置の値を基準値と
し、この所定位置をレンズ4の基準位置とする。And note 1. The value of the stored data in the memory M1 that is the same as the address in the memory M2 where the value of the a data is the maximum, that is, the value at a predetermined position in the linearly changing part in FIG. 4 as the reference position.
従って、光ディスク5の作動時に)劃−カス調節を行う
には、先ず光検出器7の出力か最大値であるかどうかを
判定し、最大値でなければ光検出器13の出力が基準値
よりも大であるかまたは小であるかによって、レンズ4
の移動方向を決定する。Therefore, in order to perform the flux adjustment (during the operation of the optical disk 5), it is first determined whether the output of the photodetector 7 is at the maximum value, and if it is not the maximum value, the output of the photodetector 13 is lower than the reference value. Lens 4 depending on whether it is also large or small.
Determine the direction of movement.
なお、以」二においては、本発明を光デイスクプレーヤ
に適用した実施例について説明したが、本発明が光デイ
スクプレーヤ以外にも適用可能であることは勿論である
。In the following, an embodiment in which the present invention is applied to an optical disc player has been described, but it goes without saying that the present invention can be applied to other devices besides optical disc players.
発明の効果
−L述の如く、本発明による光学式変位検出装置によれ
ば、光検出器が1個でもホログラムへの入射角の変化に
よって光軸方向における被検出物の変位を検出すること
ができ、しかも複数の光検出器の出力の差分をめる為の
回路も不要であるので、機構が簡単である。Effects of the Invention - As described in L, according to the optical displacement detection device according to the present invention, the displacement of the object to be detected in the optical axis direction can be detected by changing the angle of incidence on the hologram even with one photodetector. Moreover, since there is no need for a circuit to calculate the difference between the outputs of a plurality of photodetectors, the mechanism is simple.
また、光検出器によって入射角の変位を直接に検出して
いるのではなく、光検出器はホログラムからの収束光p
強弱臼体を検出しているので、光検出器をそれ程正確に
は配置する必要がなく、組立てが容易で且つ経年変化に
も強し・。In addition, the photodetector does not directly detect the displacement of the incident angle, but the photodetector detects the convergent light p from the hologram.
Since it detects strong and weak abutments, there is no need to place the photodetector very accurately, and it is easy to assemble and is resistant to changes over time.
第1図は本発明の一実施例を示す概略的な側面図、第2
図は第1図に示した実施例で使用されているホログラム
の記録方法を示す概略的な側面図、第3図は第1図に示
した実施例の光検出器の出力を示すグラフ、第4図は第
1図に示した実施例の一応用例を示す概略的な側面図、
第5図は第4図に示した応用例の別の光検出器の出力を
示すグラフ、第6図は第4図に示した応用例の初期処理
の手順を示す流れ図である。
なお図面に用いられた符号において、
2−−−−−−−−−−一光
5−−−一=−−−−−−−−−−−−光ティスク6−
−−−−−−〜−−−−−−−−記録媒体7−−−−−
−一−−−−−光検出器
である。
代理人 土星 勝
常包芳男
第1図
第3図
第5図
第4図
第6図FIG. 1 is a schematic side view showing one embodiment of the present invention, FIG.
The figure is a schematic side view showing the hologram recording method used in the embodiment shown in Fig. 1, and Fig. 3 is a graph showing the output of the photodetector in the embodiment shown in Fig. 1. FIG. 4 is a schematic side view showing an example of application of the embodiment shown in FIG.
FIG. 5 is a graph showing the output of another photodetector in the applied example shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a flowchart showing the procedure of initial processing in the applied example shown in FIG. In the symbols used in the drawings, 2--
−−−−−−−−−−−−−−Recording medium 7−−−−−
-1---It is a photodetector. Agent Saturn Yoshio Katsunekan Figure 1 Figure 3 Figure 5 Figure 4 Figure 6
Claims (1)
いる記録媒体と、前記ホログラムによって収束される被
検出物からの光を検出する光検出器とを夫々具備し、光
軸方向での前記被検出物の変位による前記ホログラムへ
の入射角の変化によってこのホログラムからの収束光と
透過光との比率を変化させ、この比率の変化によって前
記変位を検出する様にした光学式変位検出装置。The recording medium has a recording medium on which a hologram forming a predetermined angle with respect to the surface is recorded, and a photodetector that detects the light from the object to be detected that is focused by the hologram, and An optical displacement detection device that changes the ratio of convergent light and transmitted light from the hologram by changing the angle of incidence on the hologram due to the displacement of the object to be detected, and detects the displacement based on the change in this ratio.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11029684A JPS60253805A (en) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | Optical displacement detection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11029684A JPS60253805A (en) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | Optical displacement detection apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60253805A true JPS60253805A (en) | 1985-12-14 |
Family
ID=14532095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11029684A Pending JPS60253805A (en) | 1984-05-30 | 1984-05-30 | Optical displacement detection apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60253805A (en) |
-
1984
- 1984-05-30 JP JP11029684A patent/JPS60253805A/en active Pending
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