JPS60249005A - 歯車の尖鋭加工部の先端中心摩れ計測方法およびその装置 - Google Patents
歯車の尖鋭加工部の先端中心摩れ計測方法およびその装置Info
- Publication number
- JPS60249005A JPS60249005A JP59106266A JP10626684A JPS60249005A JP S60249005 A JPS60249005 A JP S60249005A JP 59106266 A JP59106266 A JP 59106266A JP 10626684 A JP10626684 A JP 10626684A JP S60249005 A JPS60249005 A JP S60249005A
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- Japan
- Prior art keywords
- gear
- light
- center thickness
- sensor
- measuring
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2416—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures of gears
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、歯車の中心厚れ計測方法およびその装置に関
する。
する。
従来、歯車の中心厚れを計測するための装置としては、
三次元測定器のようなものはあった。
三次元測定器のようなものはあった。
しかし、こｔ’Ｌ Ｇ−ｊ判定速度が遅いためにライン
上での全点検査は不可能であり、また接触型であるため
に誤差の大きいものであった。
上での全点検査は不可能であり、また接触型であるため
に誤差の大きいものであった。
本発明は成上の事情に鑑みて、半導体レーザを使用する
ことによって、コンパクトなセンサとし・又変調をかけ
やず＜シ、変調光によってるものである。
ことによって、コンパクトなセンサとし・又変調をかけ
やず＜シ、変調光によってるものである。
１１体し−ザによるレーザ光がマイクロレンズを通して
歯車ワークに出射させる手段と、該歯車ワークの左およ
び右傾斜面に当てた反射・散乱光を夫夫左および右ホト
ダイオードにレンズで集光させる手段と、該集光を電圧
に変換する手段と、該変換信号光をフンパレータを通し
てデジタル出力としセンサ部より出力する手段よ、該セ
ンサ出力を処理部に入力して左右の時間差を計測する手
段とにより歯車の中心厚れの値を測定するよ゛うにした
歯車の中心厚れ計測方法とその装置を提供するものであ
る。
歯車ワークに出射させる手段と、該歯車ワークの左およ
び右傾斜面に当てた反射・散乱光を夫夫左および右ホト
ダイオードにレンズで集光させる手段と、該集光を電圧
に変換する手段と、該変換信号光をフンパレータを通し
てデジタル出力としセンサ部より出力する手段よ、該セ
ンサ出力を処理部に入力して左右の時間差を計測する手
段とにより歯車の中心厚れの値を測定するよ゛うにした
歯車の中心厚れ計測方法とその装置を提供するものであ
る。
本発明は、歯車ワークの左右傾斜面に光をあて、反射・
散乱光を集光させてデジタル出力に変換し、この信号の
左右レベルの時間差を計算して中心厚れの値を測定する
ものである。
散乱光を集光させてデジタル出力に変換し、この信号の
左右レベルの時間差を計算して中心厚れの値を測定する
ものである。
例を説明する。半導体レー′ザにより変調を加えられた
レーザ光ハ、シングルモードファイバー（１）から、マ
イクロレンズ（２１を通り、歯車のワーク（３）に出射
される。（４）は、Ｌ−Ｄ）−ライバ回路からなる光源
部である。もし、光がワークの左傾斜面（３ａ）に当た
れば、反射・散乱光は左のホトダイオード（５）にレン
ズ（６）で集光される。又、光がワークの右傾斜面（３
ｂ）に当たれば、反射・散乱光は右のホトダイオ−）−
（７１にレンズ（８）で集光される。なお、（９）はア
ンプで、ｆｌｏｌがセンサヘッドである。
レーザ光ハ、シングルモードファイバー（１）から、マ
イクロレンズ（２１を通り、歯車のワーク（３）に出射
される。（４）は、Ｌ−Ｄ）−ライバ回路からなる光源
部である。もし、光がワークの左傾斜面（３ａ）に当た
れば、反射・散乱光は左のホトダイオード（５）にレン
ズ（６）で集光される。又、光がワークの右傾斜面（３
ｂ）に当たれば、反射・散乱光は右のホトダイオ−）−
（７１にレンズ（８）で集光される。なお、（９）はア
ンプで、ｆｌｏｌがセンサヘッドである。
ホトダイオードｆ５） （７）に集光された光は、ハイ
／＜ スフイルクで外乱光と信号光を分離し、信号光の
みが取り出される。この信号は、コンパレータを通し、
デジタル出力としてセンサ部より出力されるＣなお第２
図の場合、（Ｇ）は歯車であり−ｅ ｆｌｆｉｌＧｊ左
傾斜面の信号、（１７１は右傾斜面の信号であって、（
ＣＩ）が信号ａθのパルスであり、（Ｃ２）表示回路で
、（棒がセンサ信号処理部である。
／＜ スフイルクで外乱光と信号光を分離し、信号光の
みが取り出される。この信号は、コンパレータを通し、
デジタル出力としてセンサ部より出力されるＣなお第２
図の場合、（Ｇ）は歯車であり−ｅ ｆｌｆｉｌＧｊ左
傾斜面の信号、（１７１は右傾斜面の信号であって、（
ＣＩ）が信号ａθのパルスであり、（Ｃ２）表示回路で
、（棒がセンサ信号処理部である。
処理部（１５は、センサ出力の信号を人力し、入力した
信号、即ち左傾斜信号（１６１及び右傾斜信号（Ｉ？ｌ
と、基準クロック（１８１との論理積回路（Ａ Ｎ Ｄ
）を取る。ＡＮＤの出力をカウンタ（摂■に入力し、セ
ンサ部デジ々ル出力の立ち上がり１２］１ （２２）で
カウンタをリセットし、立ち上かり（Ｚ３１１２４＋で
カラン々をセットすると共に、処理部＋Ｉｓのフシビュ
ー々側から割り込みで、カラン々値をデータとして入力
する。
信号、即ち左傾斜信号（１６１及び右傾斜信号（Ｉ？ｌ
と、基準クロック（１８１との論理積回路（Ａ Ｎ Ｄ
）を取る。ＡＮＤの出力をカウンタ（摂■に入力し、セ
ンサ部デジ々ル出力の立ち上がり１２］１ （２２）で
カウンタをリセットし、立ち上かり（Ｚ３１１２４＋で
カラン々をセットすると共に、処理部＋Ｉｓのフシビュ
ー々側から割り込みで、カラン々値をデータとして入力
する。
処理部内では、入力されたデータから、左のホトダイオ
ード（ハレベルの時間と、右のホトダイオードのレベル
の時間との差を計算し、中心厚れの値を測定し、その値
をＣＲＴ（５）に出す。
ード（ハレベルの時間と、右のホトダイオードのレベル
の時間との差を計算し、中心厚れの値を測定し、その値
をＣＲＴ（５）に出す。
中心厚れの測定は、カウント数と速度常数の積が距離で
あることにより計算し、歯車を回転機構にて一定速度（
Ｖ）で回転きせる。
あることにより計算し、歯車を回転機構にて一定速度（
Ｖ）で回転きせる。
第３図の処理部（１５は、囚が前処理ボード、万リ、３
１）は入出力ボードで、［有］が外部機器である。
１）は入出力ボードで、［有］が外部機器である。
なお叫）はデールーバスを、（財）はアドレスバスを示
している。
している。
本発明は、半導体レーザを使用している。そのため非常
にコンパクトなセンサが作れると共に、変調をかけるの
も非常に簡単である。
にコンパクトなセンサが作れると共に、変調をかけるの
も非常に簡単である。
また、変調光であるため、ディテクタでフィルターを構
成し、外乱光（自然光）と信号光の分離が非常に容易で
ある。
成し、外乱光（自然光）と信号光の分離が非常に容易で
ある。
さらに、シングルモードファイバー４使用しているため
、レーザ光のビーム径を小さく絞ることができ、精度１
の゛よい測定系を容易に作ることのでき、しかも非接触
のため短時間で高精度の測定が可能である。
、レーザ光のビーム径を小さく絞ることができ、精度１
の゛よい測定系を容易に作ることのでき、しかも非接触
のため短時間で高精度の測定が可能である。
第１図番Ｊ本発明の方法の原理図、第２図は本発明の方
法のセンサ出力信号の原理図、第３図は本発明の方法の
構成を示すブロック図、第４Ｔｈ、本発明の方法の回路
図、第５図は本発明の装置の斜視図である。 図中： （１１・・・シングルモート−ファイバー、（
２１・・・マイクロレンズ、（３１・・・歯車のワーク
、（４）・・・光源部、（３ａ）・・・左傾斜面、（３
ｂ）・・・右傾斜面、（５）・・・左のホトダイオード
、ｆ６１・・・左のレンズ、（７）・・・右のホトグイ
オート−１ｆ８）・・・右のレンズ、（１ト・・処理部
、（１６１・・・左傾斜信号、（１７１・・・右傾斜信
号、（１ト・・基準クロック、（１１ト・・カウンタ、
ｆ２１１’２２）・・・センサ部デジタル出力の立ち上
がり・、圀；例・・・センサ部デジタル出力の立ち下が
り、（Ｃ５）・・・左傾斜面の信号のパルス、（Ｃ２）
・・・右傾斜面の信号のパルス、（Ｇ）・・・歯車。 （ほか１名） 第１図 −一◆Ｖ
法のセンサ出力信号の原理図、第３図は本発明の方法の
構成を示すブロック図、第４Ｔｈ、本発明の方法の回路
図、第５図は本発明の装置の斜視図である。 図中： （１１・・・シングルモート−ファイバー、（
２１・・・マイクロレンズ、（３１・・・歯車のワーク
、（４）・・・光源部、（３ａ）・・・左傾斜面、（３
ｂ）・・・右傾斜面、（５）・・・左のホトダイオード
、ｆ６１・・・左のレンズ、（７）・・・右のホトグイ
オート−１ｆ８）・・・右のレンズ、（１ト・・処理部
、（１６１・・・左傾斜信号、（１７１・・・右傾斜信
号、（１ト・・基準クロック、（１１ト・・カウンタ、
ｆ２１１’２２）・・・センサ部デジタル出力の立ち上
がり・、圀；例・・・センサ部デジタル出力の立ち下が
り、（Ｃ５）・・・左傾斜面の信号のパルス、（Ｃ２）
・・・右傾斜面の信号のパルス、（Ｇ）・・・歯車。 （ほか１名） 第１図 −一◆Ｖ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｌ 半導体レーザによるレーザ光がマイクロレンズを通
して歯車ワークに出射させる手段と、該歯車ワークの左
および右傾斜面に当てた反射拳散乱光を夫夫左および右
ホ［ダイオードにレンズで集光させる手段と、該集光を
電圧に変換する手段と、該変換信号光をコンパレータを
通してデジタル出力としセンサ部より出力する手段と、
該センサ出力を処理部に入力して左右の時間差を計測す
る手段とにより歯車の中心厚れの値を測定するようにし
たことを特徴とする歯車の中心厚れ計測方法。 ２、 レーザ光を、変調光にしたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の歯車の中心厚れ計測方法。 処理部に入力したセンサ出力を、基準クロックと入力信
号の論理梢１回、ｆ８をとってカラ々に入力し、センサ
部デジタル出力の立ち上がりでカウンタをリセットし、
一方、立ち上がりでカウンタをセットすると共に、コン
ピュータ側から割り込みでカウンタ値をデー々として入
力する手段とによって歯車の中心厚れの値を測定するよ
うにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
歯車の中心厚れ計測方法。 ４、 歯車ワークにあてるレーザ光線を出射させるため
の光源部と、該出射光を歯車ワークにあてるためのマイ
クロレンズと、該歯車ワークからの反射・散乱光を左・
右のホードダイオードに集光させるための左の右のレン
ズと、該集光より信号光のみを分離するためのバイバス
フィルターと、該信号光をデジタル出力として出力する
ためのコンパレータ付きセンサ部と、該センサ出力を人
力するためのカウンタト、該カウンタ値を演算するため
のフンピユータを設けたことを特徴とする歯車の中心厚
れ測定装置。 ５ レーザ光線を歯車ワークにあてる際、シングルモー
ドファイバーを使用したことを特徴とする特許請求の範
囲第４項記載の歯車の中
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59106266A JPS60249005A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 歯車の尖鋭加工部の先端中心摩れ計測方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59106266A JPS60249005A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 歯車の尖鋭加工部の先端中心摩れ計測方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60249005A true JPS60249005A (ja) | 1985-12-09 |
| JPH0263163B2 JPH0263163B2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=14429281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59106266A Granted JPS60249005A (ja) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | 歯車の尖鋭加工部の先端中心摩れ計測方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60249005A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012517640A (ja) * | 2009-02-13 | 2012-08-02 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | インターフェース |
| CN109059756A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-21 | 太原理工大学 | 基于聚焦形貌恢复的刮板输送机链轮磨损测量装置与方法 |
-
1984
- 1984-05-24 JP JP59106266A patent/JPS60249005A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012517640A (ja) * | 2009-02-13 | 2012-08-02 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | インターフェース |
| CN109059756A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-12-21 | 太原理工大学 | 基于聚焦形貌恢复的刮板输送机链轮磨损测量装置与方法 |
| CN109059756B (zh) * | 2018-06-14 | 2019-12-20 | 太原理工大学 | 基于聚焦形貌恢复的刮板输送机链轮磨损测量装置与方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0263163B2 (ja) | 1990-12-27 |
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