JPS6020382A - Bubble detector for contiguous disk bubble element - Google Patents
Bubble detector for contiguous disk bubble elementInfo
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- JPS6020382A JPS6020382A JP58128416A JP12841683A JPS6020382A JP S6020382 A JPS6020382 A JP S6020382A JP 58128416 A JP58128416 A JP 58128416A JP 12841683 A JP12841683 A JP 12841683A JP S6020382 A JPS6020382 A JP S6020382A
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- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/02—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements
- G11C11/14—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using magnetic elements using thin-film elements
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、コンテイギュアス・ディスク・ノくプル素子
のバブル検出器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a contiguous disc nopple element bubble detector.
従来、バブル素子にはバブル保持層の上に軟磁性体パタ
ーンを互いに間隙を設けて面内磁場回転によりバブルを
転送させる方法が採用されてきた。Conventionally, bubble devices have adopted a method in which soft magnetic patterns are provided on a bubble retaining layer with a gap between them and bubbles are transferred by in-plane magnetic field rotation.
しかし、前記のパターンの間隙は、ノ(プル密度の低下
、バブルの高速度転送に対する障害そしてパターン微細
加工の限界という点で好ましくなかった。これに対し、
米国特許第3,828,329号公報に無間隙のパター
ンを用いてバブルを転送さする素子が提示され、最近急
速に開発が進められてきた。そこではパターンはイオン
注入法で形成されている。その水子は転送パターンが円
を連らねた形状であったことから、その後に開発された
形状のものも含めてコンテイギュアス・ディスク(以下
CDと略称する)素子と言われている。However, the above-mentioned pattern gaps are undesirable in terms of a decrease in pull density, an obstacle to high-speed bubble transfer, and a limit to pattern microfabrication.
U.S. Pat. No. 3,828,329 discloses a device that transfers bubbles using a gapless pattern, and its development has been progressing rapidly recently. There, the pattern is formed by ion implantation. Since the transfer pattern of the Mizuko had a shape of a series of circles, it is said to be a continuous disk (hereinafter abbreviated as CD) element, including those with shapes developed later.
CD素子において、バブル検出器は最も7F、”;’l
な++:を細部の一つである。CD素子のバブル検出器
(」、i星来、バブル検出用のパーマロイパターンf
F ケ、バブルを電流磁界で伸長しその磁界をパーマロ
イパターンの磁気抵抗効果で検知する方式のものが用い
られている。第1図にその従来例を示す。In the CD element, the bubble detector is the most 7F,'';'l
Na++: is one of the details. CD element bubble detector ('', i Seira, permalloy pattern f for bubble detection
F. A method is used in which a bubble is expanded by a current magnetic field and the magnetic field is detected by the magnetoresistance effect of a permalloy pattern. FIG. 1 shows a conventional example.
第1図においてバブルIOはイオン注入により形成され
たパターン11に沿って転送された後、八’7 f’r
;パターン12の磁界によって伸長される。伸長さJし
たバブルの磁界をパーマロイで作られた検出パターン1
3により磁気抵抗効7毛を利用して検知する。In FIG. 1, the bubble IO is transferred along the pattern 11 formed by ion implantation, and then
elongated by the magnetic field of the pattern 12; Detection pattern 1 made of permalloy for the magnetic field of a bubble with an elongated length J
3, it is detected using magnetoresistive 7 hairs.
非イオン注入領域パターン14は伸長バブルからの磁界
の検知を容易にするため設けられているものである。こ
こで検出パターンの磁気抵抗変化を引起す磁界としては
、伸長バブルからの磁界の他に面内回転駆動磁界()l
a)や導体パターン12からの磁界があるが、これらか
らの寄与を差引くだめにアクティブ検出器の他にダミー
検出器が通常設けられている。アクティブ検出器とダミ
ー検出器とは通常同形に作られるが、現実にはバブル磁
界以外の寄与による磁気抵抗変化を零にすることは不可
能に近く、バブル検出信号に対するノイズとなって現わ
れる。このノイズが大きいとバブル検出器の信頼性を損
うため素子の動作上問題である。The non-ion implanted region pattern 14 is provided to facilitate detection of the magnetic field from the elongated bubble. In addition to the magnetic field from the elongated bubble, the magnetic field that causes the change in magnetoresistance of the detection pattern includes the in-plane rotational drive magnetic field ()l
There are magnetic fields from a) and the conductor pattern 12, but in order to subtract the contributions from these, a dummy detector is usually provided in addition to the active detector. The active detector and the dummy detector are usually made to have the same shape, but in reality, it is nearly impossible to reduce the magnetic resistance change due to contributions other than the bubble magnetic field to zero, and this appears as noise in the bubble detection signal. If this noise is large, it impairs the reliability of the bubble detector and is a problem in terms of device operation.
従来の検出器で問題になっているノイズは、アイ・イー
・イー・イー・トランザクションズ・オン拳マグネティ
ク、x、 (IEEETrans、Magn、)第16
巻(1980年)第99頁に記載されているように、パ
ーマロイの磁化スイッチングノイズであり、このノイズ
はパーマロイパターン幅が細くなる程顕著になる。パー
マロイパターン幅が細くなるにつれて磁気抵抗信号にノ
イズが増大する現象は、パーマロイパターンの反磁界が
増加し磁区を生じやすくなるためと説明されている。パ
ーマロイパターン幅はバブル磁界による信号出力を最大
にするよう、バブル径の1〜2倍に通常決められている
。上記の磁化スイッチングノイズを減少させるため、パ
ーマロイパターン幅を通常より大きくした場合、信号出
力が下がり、シへ比が改善されない点が問題である。現
在、メモリーの大容量化を目指してパズル径が微小化さ
れつつあるが、それに伴ないパーマロイ検出パターン幅
も減少することから、パーマロイ磁化スイッチングノイ
ズの問題は増加する傾向にある。Noise, which is a problem with conventional detectors, is the problem in IE Transactions on Fist Magnetic,
As described in Vol. (1980), page 99, this is magnetization switching noise of Permalloy, and this noise becomes more noticeable as the Permalloy pattern width becomes narrower. The phenomenon in which noise increases in the magnetoresistive signal as the permalloy pattern width becomes narrower is explained by the fact that the demagnetizing field of the permalloy pattern increases, making it easier to generate magnetic domains. The permalloy pattern width is usually determined to be 1 to 2 times the bubble diameter so as to maximize the signal output by the bubble magnetic field. If the permalloy pattern width is made larger than usual in order to reduce the magnetization switching noise described above, the problem is that the signal output decreases and the shear ratio is not improved. Currently, puzzle diameters are becoming smaller in order to increase the capacity of memory, but the permalloy detection pattern width also decreases, so the problem of permalloy magnetization switching noise tends to increase.
本発明の目的は、パーマロイの磁気抵抗効果を用いた従
来のCD素子バブル検出器の磁化スイッチングノイズに
関する欠点を補い、信頼性の高いCD素子バブル検出器
を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a highly reliable CD bubble detector that compensates for the drawbacks regarding magnetization switching noise of conventional CD bubble detectors using the magnetoresistive effect of permalloy.
すなわち本発明は、バブル保持層上に、バブル検出用の
パーマロイパターンを設けたCD素子バブル検出器にお
いて、バブル検出用のパーマロイパターンの他に別のパ
ーマロイパターンを追加し、しかも、これをバブル検出
用パーマロイパターンの近傍に平行して設けたことを特
徴とするCD素子バブル検出器である。That is, the present invention adds another permalloy pattern in addition to the permalloy pattern for bubble detection in a CD element bubble detector in which a permalloy pattern for bubble detection is provided on the bubble retaining layer, and furthermore, this invention is used for bubble detection. This is a CD element bubble detector characterized in that it is provided in parallel in the vicinity of a permalloy pattern.
以下、本発明について実施例を用い詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in detail using examples.
第2図は本発明のバブル検出器の第1の実施例を示す概
略図である。バブル転送路11、パズル伸長用導体パタ
ーン12、非イオン注入パターン14、バブル検出用パ
ーマロイパターン13は従来のものとほぼ同じであるが
、新たにパーマロイパターン21がバブル検出パターン
13の両側に平行して配置されている。1μmバブルC
D素子のトキ、パーマロイパターン13の膜厚は300
A、パターン幅は約1.5μmでちる。パーマロイパタ
ーン21の膜厚、パターン幅はパターン13のものと同
じである・従来型に対しマスクの簡単な変更のみで、第
2図のパターンを形成できる。検出ノゞ−マロイ幅約1
.5μmの従来型検出器の場合、パーマロイ磁化スイッ
チングノイズが見られ、特に面内回転磁界I(B500
e n近で多い問題があった。これに対し第2図の検出
器の場合は、従来のようなノイズは殆んど見られなくな
った。一般に、パターン幅WS膜厚t、飽a 磁WMの
パーマロイパターンの反磁界の大きさは近似的に4πM
t/Wで表わされるが、第2図の場合、パーマロイパタ
ーンを近接して配置することにより、実効的にパターン
幅が増加し反磁界が減少していると考えられる。すなわ
ち、磁区が形成されにくく、従来型に比べより低い面内
回転磁界で容易にパーマロイの磁化が回転し、磁気抵抗
信号のノイズが少ないと解釈される。また、本実施例で
はバブルの伸長用導体電流値が、従来に比べ減少するこ
と、またパーマロイパターン21を更に数多く配置する
ことにより、伸長電流値が多少減少し、検出器のデユー
ティを下げるメリットが見出された。これは、パーマロ
イパターンとバブルの相互作用によりバブルがストライ
プアウトしやすくなるためと考えられる。FIG. 2 is a schematic diagram showing a first embodiment of the bubble detector of the present invention. The bubble transfer path 11, the conductor pattern 12 for puzzle extension, the non-ion implantation pattern 14, and the permalloy pattern 13 for bubble detection are almost the same as the conventional ones, but the new permalloy pattern 21 is parallel to both sides of the bubble detection pattern 13. It is arranged as follows. 1μm bubble C
The thickness of the permalloy pattern 13 of the D element is 300 mm.
A. The pattern width is approximately 1.5 μm. The film thickness and pattern width of the permalloy pattern 21 are the same as those of the pattern 13.The pattern shown in FIG. 2 can be formed by simply changing the mask compared to the conventional type. Detection No. Malloy width approx. 1
.. For the 5 μm conventional detector, permalloy magnetization switching noise is observed, especially in the in-plane rotating magnetic field I (B500
There were many problems near en. On the other hand, in the case of the detector shown in FIG. 2, the conventional noise is hardly seen. In general, the magnitude of the demagnetizing field of a permalloy pattern with pattern width WS film thickness t and saturation a magnetic WM is approximately 4πM
It is expressed as t/W, and in the case of FIG. 2, it is considered that by arranging the permalloy patterns close to each other, the pattern width effectively increases and the demagnetizing field decreases. That is, it is interpreted that magnetic domains are less likely to be formed, and the magnetization of permalloy rotates easily with a lower in-plane rotating magnetic field than in the conventional type, resulting in less noise in the magnetoresistive signal. In addition, in this embodiment, the conductor current value for bubble expansion is reduced compared to the conventional one, and by arranging more permalloy patterns 21, the expansion current value is somewhat reduced, which has the advantage of lowering the duty of the detector. discovered. This is thought to be because the interaction between the permalloy pattern and the bubbles makes it easier for the bubbles to strip out.
第3図は本発明のバブル検出器の第2の実施例を示す概
略図である。本実施例ではバブル検出用の折曲ったパー
マロイパターンに沿って平行に別のパーマロイパターン
31が設けられていることが特徴である。バブル検出用
パーマロイパターンが折曲った検出器は、従来の通常型
に比ベバブル伸長導体の長さを1/2にしても出力は従
来通りに保つことができ、伸長パルスの減少と与体抵抗
半減とてよりデユーティが低いという従来の通常型にな
いメリットを持っている。パーマロイ磁化スイッチング
ノイズに関しても従来の通常型よシ少ないが、依然見ら
れていた。これに対し、第3図のように検出パーマロイ
パターン13の他に別のパーマロイパターン31を加え
ることによシ、パーマロイ磁化スイッチングノイズは殆
んど見られなくなった。なお、第3図において、パーマ
ロイパターン31を折曲部で8g2図のように分割して
配置してもノイズ減少が見られた。FIG. 3 is a schematic diagram showing a second embodiment of the bubble detector of the present invention. This embodiment is characterized in that another permalloy pattern 31 is provided parallel to the bent permalloy pattern for bubble detection. The detector with a bent permalloy pattern for bubble detection can maintain the same output even if the length of the bubble elongated conductor is halved compared to the conventional normal type, reducing the elongated pulse and reducing donor resistance. It has the advantage of lower duty compared to conventional conventional types. Regarding permalloy magnetization switching noise, it was still observed, although it was less than the conventional type. On the other hand, by adding another permalloy pattern 31 in addition to the detection permalloy pattern 13 as shown in FIG. 3, the permalloy magnetization switching noise can hardly be seen. In addition, in FIG. 3, noise reduction was observed even when the permalloy pattern 31 was divided and arranged at the bent portion as shown in FIG. 8g2.
以上説明したように本発明によれば、従来のCD素子バ
ブル検出器に対し簡単なマスク変更だけで、検出器のパ
ーマロイ磁化スイッチングノイズを従来に比べ減少する
ことができ、またバブル伸長電流を減少させるデニーテ
イ面でのメリットも得られ、信頼性の高いバブル素子の
大容量化を達成できる効果がある。As explained above, according to the present invention, the permalloy magnetization switching noise of the detector can be reduced compared to the conventional CD element bubble detector by simply changing the mask, and the bubble extension current can also be reduced. There is also an advantage in terms of density, which has the effect of increasing the capacity of a highly reliable bubble element.
第1図は従来のCD素子のバブル検出器を示す概略図、
第2図は本発明の第1の実施例を示す概略図、第3図は
本発明の第2の実施例を示す概略図である。
工0・・・バブル、11・・・バブル転送路パターン、
12・・・導体パターン、13・・・バブル検出用パー
マロイパターン、14・・・非イオン注入領域パターン
、21・・・パーマロイパターン、31・・・パーマロ
イパターン。
特許出願人 日本電気株式会社FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional CD element bubble detector;
FIG. 2 is a schematic diagram showing a first embodiment of the invention, and FIG. 3 is a schematic diagram showing a second embodiment of the invention. 0...bubble, 11...bubble transfer path pattern,
12... Conductor pattern, 13... Permalloy pattern for bubble detection, 14... Non-ion implanted region pattern, 21... Permalloy pattern, 31... Permalloy pattern. Patent applicant: NEC Corporation
Claims (1)
ターンを設けたコンテイギュアス・ディスク・バブル素
子のバブル検出器において、前記バブル検出用のパーマ
ロイパターンの近傍に平行して別のパーマロイパターン
を設けたことを特徴とするコンティギュアス・ディスク
・バブル素子のバブル検出器。(1) In a bubble detector of a contiguous disk bubble element in which a No-Malloy pattern for bubble detection is provided on a bubble holding layer, another permalloy pattern is provided in parallel in the vicinity of the permalloy pattern for bubble detection. A bubble detector using a continuous disk bubble element.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128416A JPS6020382A (en) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Bubble detector for contiguous disk bubble element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58128416A JPS6020382A (en) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Bubble detector for contiguous disk bubble element |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6020382A true JPS6020382A (en) | 1985-02-01 |
Family
ID=14984219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58128416A Pending JPS6020382A (en) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Bubble detector for contiguous disk bubble element |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6020382A (en) |
-
1983
- 1983-07-14 JP JP58128416A patent/JPS6020382A/en active Pending
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