JPS60190035U - 石英ボ−ト - Google Patents
石英ボ−トInfo
- Publication number
- JPS60190035U JPS60190035U JP7727884U JP7727884U JPS60190035U JP S60190035 U JPS60190035 U JP S60190035U JP 7727884 U JP7727884 U JP 7727884U JP 7727884 U JP7727884 U JP 7727884U JP S60190035 U JPS60190035 U JP S60190035U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz boat
- abstract
- wafer
- utility
- registration request
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は各々この従来例を示す斜視図、第３
図乃至第５図はこの考案の一実施例を示す図で、第３図
は斜視図、第４図は側面図、第５図は上面図である。１
・・・樋体、３・・・スリット。
図乃至第５図はこの考案の一実施例を示す図で、第３図
は斜視図、第４図は側面図、第５図は上面図である。１
・・・樋体、３・・・スリット。
Claims (1)
- 断面略円弧状の薄い樋体１の内面にウェハ４の径と同じ
径で円弧状の切込みからなる浅いスリット３を設けて成
る石英ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7727884U JPS60190035U (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 石英ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7727884U JPS60190035U (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 石英ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60190035U true JPS60190035U (ja) | 1985-12-16 |
Family
ID=30620199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7727884U Pending JPS60190035U (ja) | 1984-05-25 | 1984-05-25 | 石英ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60190035U (ja) |
-
1984
- 1984-05-25 JP JP7727884U patent/JPS60190035U/ja active Pending
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