JPS60188392U - 半導体検査ヘツド機構 - Google Patents

半導体検査ヘツド機構

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Publication number
JPS60188392U
JPS60188392U JP7485084U JP7485084U JPS60188392U JP S60188392 U JPS60188392 U JP S60188392U JP 7485084 U JP7485084 U JP 7485084U JP 7485084 U JP7485084 U JP 7485084U JP S60188392 U JPS60188392 U JP S60188392U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor inspection
head mechanism
inspection head
test system
test
Prior art date
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Pending
Application number
JP7485084U
Other languages
English (en)
Inventor
笠江　敏信
透 北村
Original Assignee
横河電機株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP7485084U priority Critical patent/JPS60188392U/ja
Publication of JPS60188392U publication Critical patent/JPS60188392U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体検専のための複数の検査系統を信号線路の影響の
    大きな第１の検査系統と信号線路の影響の小さな第２の
    検査系統とに分けてこれら第１の検査系統と第２の検査
    系統をそれぞれ別のボードに設け、第１の検査系統が設
    けられた第１のボードを第２の検査系統が設けられた第
    ２のボードの上に配置し、第１のボードを介して検査対
    象半導体と各検査系統を接続することを特徴とする半導
    体検査ヘッド機構。
JP7485084U 1984-05-22 1984-05-22 半導体検査ヘツド機構 Pending JPS60188392U (ja)

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JPS60188392U true JPS60188392U (ja) 1985-12-13

Family

ID=30615524

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JP (1) JPS60188392U (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS547279A (en) * 1977-06-20 1979-01-19 Hitachi Ltd Socket adapter for ic measurement
JPS54156479A (en) * 1978-05-30 1979-12-10 Mitsubishi Electric Corp Test unit for integrated circuit device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS547279A (en) * 1977-06-20 1979-01-19 Hitachi Ltd Socket adapter for ic measurement
JPS54156479A (en) * 1978-05-30 1979-12-10 Mitsubishi Electric Corp Test unit for integrated circuit device

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