JPS6018733A - Temperature measuring device - Google Patents
Temperature measuring deviceInfo
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- JPS6018733A JPS6018733A JP12677883A JP12677883A JPS6018733A JP S6018733 A JPS6018733 A JP S6018733A JP 12677883 A JP12677883 A JP 12677883A JP 12677883 A JP12677883 A JP 12677883A JP S6018733 A JPS6018733 A JP S6018733A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
この発明は、螢光体を応用した光学的濡度測気信号が用
いられていないので、電磁界による影響を受けないとい
う特徴をもち、光ファイバなかでも螢光体を利用した光
学的湿度計測では、螢光体の励起−発光過程で光の波長
が変換されるために、計測系の入力光と出力光とを容易
に区別できるという利点がある。このため、単線の光フ
ァイバを用いて入力、出力光を伝達できるので伝送系が
コンパクトになる。[Detailed Description of the Invention] Background of the Invention The present invention is characterized in that it is not affected by electromagnetic fields because it does not use an optical wetness measurement signal using a fluorescent material, and is one of the best among optical fibers. Optical humidity measurement using a phosphor has the advantage that the input light and output light of the measurement system can be easily distinguished because the wavelength of the light is converted during the excitation-emission process of the phosphor. Therefore, input and output light can be transmitted using a single optical fiber, making the transmission system compact.
螢光体応用の温度計測技術には、大別して、励起中の螢
光現象の温度変化を利用するものと、励起停止後の残光
現象の湿度変化を利用するものがある。残光現象の応用
には、残光輝度変化にもとづくものと残光時間変化にも
とづくものとがある。Temperature measurement techniques using fluorescent materials can be roughly divided into two types: those that utilize temperature changes caused by the fluorescence phenomenon during excitation, and those that utilize humidity changes that occur after the excitation stops. Applications of the afterglow phenomenon include those based on changes in afterglow brightness and those based on changes in afterglow time.
第1図に従来の残光時間の温度変化を利用した温度測定
装置の原理が示されている。螢光体を励起光(A)で励
起すると螢光体から螢光および残光中)が発光する。励
起停止時点to以降の光が残光である。この残光時間は
湿度に応じて変化する。第1図においてT I<T 2
<T 3の関係にあり、一般に温度が高いと残光時間が
短い。FIG. 1 shows the principle of a conventional temperature measuring device that utilizes temperature changes during afterglow time. When the phosphor is excited with excitation light (A), the phosphor emits fluorescent light and afterglow). The light after the excitation stop time to is afterglow. This afterglow time changes depending on the humidity. In Figure 1, T I < T 2
<T 3, and generally the higher the temperature, the shorter the afterglow time.
残光時間τdは、残光輝度が励起停止時toのピーク輝
度Ipから0.11pになるまでの時間と定義されてい
る。受光器により電気信号に変換された残光信号は、サ
ンプリング・パルス(C)によってサンプリングされ、
A/D変換される。The afterglow time τd is defined as the time until the afterglow luminance reaches 0.11p from the peak luminance Ip at the time of stopping the excitation to. The afterglow signal converted into an electrical signal by the optical receiver is sampled by a sampling pulse (C),
A/D conversion is performed.
このA/D変換されたサンプリング・データが便宜上ア
ナログ的に(ロ)として拡大されて示されている。ピー
ク値Ipである第1番目のデータから輝度がOとみなし
うるn番目のデータまでの間において、0.11pの輝
度に最も近い値のX番目のデータまでが残光時間τd内
のデータである。サンプリング・パルスC)の周期をt
sとすると、残光時間 τd≠x*ts としてめられ
る。This A/D converted sampling data is shown enlarged in analog form (b) for convenience. Between the first data, which is the peak value Ip, and the n-th data, which can be considered to have a luminance of O, up to the X-th data, which has the value closest to the luminance of 0.11p, is the data within the afterglow time τd. be. The period of sampling pulse C) is t
s, the afterglow time can be expressed as τd≠x*ts.
上述の測定のやり方を変形し、残光時間を実用的に定義
しなおし、この新たな定義にもとづいて残光時間を測定
するやり方がU S P 4.22螢光および残光は受
光器により受光される。この残光の受光信号が励起停止
時点toからthの時間だけサンプル・ホールドされ、
このホールド値にもとづいてアウトプット・レギュレー
ティング・システムによって(ト)で示されているよう
に残光信号の波形が正規化される。すなわち、すべての
残光についてそれらのピーク・レベルが一定値LOにな
るように受光信号の増巾器の増中度が自動的に調整され
る。あらかじめ高低おり、残光信号はこれらのレベルで
弁別されてパルス信号に変換される。このパルス信号の
パルス巾wt が残光時間と定義され、このパルス巾w
tが検知される。The method of measuring afterglow described above has been modified to redefine the afterglow time in a practical manner, and the method of measuring the afterglow time based on this new definition is based on USP 4.22 Fluorescence and afterglow measurement using a receiver. Light is received. This afterglow light reception signal is sampled and held for a period of time th from the excitation stop time to,
Based on this hold value, the output regulating system normalizes the waveform of the afterglow signal as shown in (g). That is, the degree of amplification of the received light signal is automatically adjusted so that the peak levels of all afterglows become a constant value LO. The afterglow signal is discriminated based on these levels and converted into a pulse signal. The pulse width wt of this pulse signal is defined as the afterglow time, and this pulse width wt
t is detected.
第1図に示されている定義にもとづく残光時間の測定に
おいては、測定時間帯のすべての点tO〜tnについて
のデータの収集を行ない、この後0.IIpの値を示す
データがどれであるかを判定し、そうして残光時間τd
を演算するから、処理が複雑で時間がかかるという問題
かある。さらに時間計測の分解能はA / D変換の速
く・
度S規定されてしまい、必ずしも充分に高精度の分解能
を得ることはできない。すなわち、残光時間の温度変化
は一般に輝度の温度変化に比べて小さい。したがって、
温度の変化による残解能は相当に高い時間分解能を要求
する。この高
ことは、精度な温度測定を行なうためにはきわめて高価
な超高速A / D変換器が必要となることを意味し、
また残光時間がmsオーダ以下の短残光螢光体には適用
できないという欠点がある。In measuring afterglow time based on the definition shown in FIG. 1, data is collected for all points tO to tn in the measurement time period, and then 0. Determine which data indicates the value of IIp, and then determine the afterglow time τd
The problem is that the processing is complex and time consuming. Furthermore, the resolution of time measurement is determined by the speed of A/D conversion, and it is not always possible to obtain sufficiently high precision resolution. That is, temperature changes in afterglow time are generally smaller than temperature changes in brightness. therefore,
Residual resolution due to temperature changes requires considerably high time resolution. This high value means that extremely expensive ultra-high speed A/D converters are required to make accurate temperature measurements.
Another drawback is that it cannot be applied to short afterglow phosphors whose afterglow time is on the order of milliseconds or less.
残光信号が指数関数的に減少すると仮定すると、残光特
性は次の一般式で表わされる。Assuming that the afterglow signal decreases exponentially, the afterglow characteristic is expressed by the following general formula.
I (t)= A −I p(I’) * exp (
−−) ・・・(1)咄
ここでTは温度、tは励起停止時点(to)から計時さ
れた時間、工(t)は時間(1)における残光輝度、I
P(1)は励起停止時点(1=0)における残光輝度、
τ(1)は螢光体における励起状態の平均寿命、Aは比
例定数である。これらのパラメータのうちで、温度Tに
よって変化するものはIp■とτ■であり、τ(1)の
湿度による変化が残光時間の湿度による変化として現わ
れる。I (t)= A −I p(I') * exp (
--) ... (1) Here, T is the temperature, t is the time measured from the excitation stop point (to), time (t) is the afterglow brightness at time (1), and I
P(1) is the afterglow brightness at the time of stopping excitation (1=0),
τ(1) is the average lifetime of the excited state in the phosphor, and A is the proportionality constant. Among these parameters, those that change depending on the temperature T are Ip■ and τ■, and a change in τ(1) due to humidity appears as a change in afterglow time due to humidity.
残光時間τdは上述のように励起停止時点から残光輝度
が10チまで減衰するのに要する時間であるから、この
残光時間τdは次式で与えられる。Since the afterglow time τd is the time required for the afterglow brightness to attenuate to 10 degrees from the time when excitation is stopped as described above, this afterglow time τd is given by the following equation.
第(2)式より、l11(T)の温度変化がたとえ大き
な値を示したとしても、τ(ト)の温度変化が小さけれ
ば残光時間τdの温度変化も小さいことがわかる。すな
わち、残光時間τdはτののみによって支配される。From equation (2), it can be seen that even if the temperature change in l11(T) shows a large value, if the temperature change in τ(g) is small, the temperature change in the afterglow time τd is also small. That is, the afterglow time τd is dominated only by τ.
第2図に示されている測定のやり方では、波形を正規化
しているので信号処理が複雑になる、残光輝度の最も変
化率の大きい励起停止直後のデータが測定値に含まれな
い、などの欠点がある。正規化は単に増中度の自動調整
によって達成されるだけであるから、精度向上のために
は何ら役立っていない。第2図のやり方は、原理的には
、正規化されたピーク輝度(レベルLO)に対して所定
のレベルLl、L2の間、すなわちピーク輝度の /
L OX 100 %とL2/L。The measurement method shown in Figure 2 normalizes the waveform, which complicates signal processing, and the measured value does not include data immediately after excitation stops, where the rate of change in afterglow brightness is greatest. There are drawbacks. Since normalization is simply achieved by automatic adjustment of the magnification, it does nothing to improve accuracy. The method shown in FIG. 2 is, in principle, between the predetermined levels Ll and L2 with respect to the normalized peak brightness (level LO), that is, the peak brightness /
L OX 100% and L2/L.
1
x100%との間の区間の時間を測定しているにすぎな
いからである。This is because only the time in the interval between 1 x 100% is measured.
発明の概要
この発明は、従来のような残光時間測定ではな(て新し
い計測量を用いることにより、より高い分解能が得られ
したがって高精度で、しかも信号処理の容易な温度測定
装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a temperature measuring device that uses a new measurement quantity, rather than the conventional afterglow time measurement, to obtain higher resolution, thus providing high precision and easy signal processing. The purpose is to
この発明による温度測定装置は、残光特性が温度依存性
をもつ螢光体、螢光体を励起する励うちの残光を検知し
電気信号に変換する受光手段、受光された残光信号をあ
らかじめ定められた所定のレベルで弁別するレベル弁別
回路、一定周波数のクロック・パルスを発生するクロッ
ク・パルス発生手段、レベル弁別回路の出力によって制
御され、入力するクロック・パルスの通過を許すゲート
回路、ゲート回路から出力されるクロック・パルスを計
数する手段、および得られた計数値を、螢光体に応じて
あらかじめ設定された計数値の温度特性と比較すること
により温度を演算する演算手段、からなることを特徴と
する。クロック・パルスの計数開始時点3
夢励起の停止時点であることが好ましい。The temperature measuring device according to the present invention includes a phosphor whose afterglow characteristic is temperature dependent, a light receiving means that detects the afterglow of the excitation that excites the phosphor and converts it into an electrical signal, and a light receiving means that detects the afterglow of the excitation that excites the phosphor and converts it into an electric signal. a level discrimination circuit that discriminates at a predetermined level, a clock pulse generation means that generates a clock pulse of a constant frequency, a gate circuit that is controlled by the output of the level discrimination circuit and allows the input clock pulse to pass; means for counting clock pulses output from the gate circuit, and calculation means for calculating the temperature by comparing the obtained count value with the temperature characteristic of the count value set in advance according to the phosphor. It is characterized by becoming. Clock pulse counting start time 3 Preferably, this is the time when dream excitation stops.
上述のように従来の温度測定においては、残光が励起停
止時のピーク輝度Ipからその所定またはピーク輝度I
pのある割合から他のある割合まで残光輝度が減衰する
までの時間が残光時間として計測されているので、ピー
ク輝度Ipのファクタが消去されτ■に依存する量のみ
が計測されている。これに対してこの発明においては、
残光がピーク輝度Ip(T)からある一定の輝度レベル
Isまで減衰するのに要する時間(これを以下減衰時間
という)が計測されている。As mentioned above, in conventional temperature measurement, the afterglow varies from the peak brightness Ip at the time of stopping excitation to its predetermined or peak brightness Ip.
Since the time required for the afterglow brightness to decay from a certain percentage of p to another certain percentage is measured as the afterglow time, the factor of the peak brightness Ip is eliminated and only the amount that depends on τ■ is measured. . On the other hand, in this invention,
The time required for the afterglow to decay from the peak luminance Ip(T) to a certain luminance level Is (hereinafter referred to as decay time) is measured.
したがってこの発明において計測される減衰時間tdは
、第(1)式を用いて次のように表わされる。Therefore, the decay time td measured in this invention is expressed as follows using equation (1).
第(3)式を第(2)式と比較すれば明らかなように、
るのに対し、第(3)式では減衰時間二ヰはτのとIp
(1)との関数となっている。温度Tによってに影響を
及ぼすファクタである。たとえば、螢光体YFa:yb
、Erの残光時間τdの変化量は温度の範囲0〜300
’Cに対して2倍程度であるのに対して、2つの温度
ファクタτ(1)とIp(I’)を考慮した減衰時間t
dの変化量は7倍程度となる。これにより、減衰時間t
dの湿度変化に対する変化率を大きくとることが可能と
なり、分解能が高くなることが理解できょう。また、温
度測定用センサとして利用できる螢光体の選択範囲も広
くとることができる。As is clear from comparing equation (3) with equation (2),
On the other hand, in equation (3), the decay time 2 is equal to τ and Ip
(1). This is a factor that affects the temperature T. For example, fluorophore YFa:yb
, the amount of change in the afterglow time τd of Er is within the temperature range 0 to 300.
The decay time t takes into account the two temperature factors τ(1) and Ip(I'), whereas
The amount of change in d is about 7 times. As a result, the decay time t
It will be understood that the rate of change of d with respect to humidity changes can be increased, resulting in higher resolution. Furthermore, a wide range of fluorescent materials can be selected that can be used as temperature measurement sensors.
またこの発明では、簡単なレベル弁別回路とクロック・
パルス発生回路とゲート回路とカウンタとの組合せによ
って上記の減衰時間tdを計測するこ吉ができるので、
従来のようにA/D変換器によるA / D変換、サン
プル・データのRAMへのストアなどの動作が不要とな
り、信号処理が容易であるとともに、構成が簡単とナル
。クロック・パルスの周波数によって計測分解能を調整
することも可能である。In addition, this invention uses a simple level discrimination circuit and a clock
Since the above decay time td can be measured by the combination of the pulse generation circuit, gate circuit, and counter,
This eliminates the need for conventional operations such as A/D conversion using an A/D converter and storing sample data in RAM, making signal processing easy and the configuration simple. It is also possible to adjust the measurement resolution by the frequency of the clock pulse.
この発明では、残光特性が温度依存性をもちかつ測定可
能な残光減衰時間の螢光体であれば、その種類を限定さ
れず種々のものを用いることができる。好ましくは、減
衰時間が10 se6〜lQ see程度の螢光体がよ
い。たとえば、εμ
紫外光励起では、Y2O25i:しなどの希土類金属オ
キシサルファイド、ZnS:Ln(Lnは希土類元素の
総称)、SrS:Lnなどの硫化物螢光体をはじめ、C
RT用螢光体の多くのものが使用できる。また赤外光励
起では、LnF3:(Yb、Er)、LnOF : (
Yb、 Er)、実施例の説明
以下、図面を参照してこの発明をさらに詳細に説明する
。In the present invention, a variety of phosphors can be used without any limitation as long as the afterglow characteristics are temperature dependent and the afterglow decay time is measurable. Preferably, a phosphor having a decay time of about 10 se6 to lQ see is used. For example, for εμ ultraviolet light excitation, rare earth metal oxysulfides such as Y2O25i:Shi, sulfide phosphors such as ZnS:Ln (Ln is a general term for rare earth elements), SrS:Ln, and C
Many types of RT phosphors can be used. In addition, in infrared light excitation, LnF3: (Yb, Er), LnOF: (
Yb, Er), Description of Examples Hereinafter, the present invention will be described in further detail with reference to the drawings.
第3図は温度測定装置の構成を、第4図はその動作をそ
れぞれ示している。光ファイバ(1)の先端に所定の螢
光体(2)が取付けられ、温度プローブが構成されてい
る。この湿度プローブは、その先端が温度測定すべき雰
囲気中にまたは物体に接触した状態で配置される。CP
U flO)がらはタイミング・パルス信号CP)が
出方される。こ誉
のパルスの)は、外光器(3)を駆動させるためのもの
であって、一定周期(Ta)で出方される。この周期(
Ta)は、測定範囲内のすべての温度において、螢光体
(2)から発光された残光が完全に消失するのに充分な
時間に設定されている。FIG. 3 shows the configuration of the temperature measuring device, and FIG. 4 shows its operation. A predetermined fluorescent material (2) is attached to the tip of the optical fiber (1) to constitute a temperature probe. The humidity probe is placed with its tip in contact with the atmosphere or object whose temperature is to be measured. C.P.
A timing pulse signal CP) is output from the UflO). This pulse () is for driving the external light device (3), and is emitted at a constant period (Ta). This period (
Ta) is set to a time sufficient for the afterglow emitted from the phosphor (2) to completely disappear at all temperatures within the measurement range.
出力され、光ファイバ(1)を通って螢光体(2)に照
射される。この励起によって螢光体(2)から発光され
た螢光および残光は光ファイバ(1)を伝搬し、ビーム
・スプリッタ(11)を介して取出され、受光器(4)
に受光される。受光器(4)の検知信号は増中度可変の
増巾器(5)で増巾されたのち、コンパレータ(6)に
入力する。It is output and irradiated to the phosphor (2) through the optical fiber (1). The fluorescence and afterglow emitted from the phosphor (2) by this excitation propagate through the optical fiber (1), are extracted via the beam splitter (11), and are sent to the light receiver (4).
The light is received by the The detection signal from the photoreceiver (4) is amplified by a variable amplification amplifier (5) and then input to a comparator (6).
コンパレータ(6)は残光信号(G)のレベルがあらか
じめ定められた所定レベルIs以上の場合にのみHレベ
ルの信号を出力する。コンパレータ(6)の出力はAN
Dゲート(7)の第1のゲート制御信号となる。AND
ゲート(7)にはまた第2のゲート制御信号としてタイ
ミング・パルス(P)のN01回路(9)で反転された
信号が入力している。The comparator (6) outputs an H level signal only when the level of the afterglow signal (G) is equal to or higher than a predetermined level Is. The output of comparator (6) is AN
This becomes the first gate control signal for the D gate (7). AND
Also input to the gate (7) is a signal inverted by the N01 circuit (9) of the timing pulse (P) as a second gate control signal.
第2のゲート信号はパルスの)とは別個にCPU(10
)から出力させるようにしてもよい。可変周波数クロッ
ク・パルス発生回路(8)は調整された周波数ツクロッ
ク・パルスを出力しこのクロック・パルスはAN、Dゲ
ート(7)に送られる。ANDゲート(7)は、タイミ
ング・パルスT)の立下りの時点(すなわち励起停止の
時点)から残光信号(G)がレベルエ8以下になるまで
の間、そのゲートが開かれるから、この間にクロック・
パルスはゲート(7)を通過してカウンタに入力する(
パルス(6)几カウンタはCP U (10)内のレジ
スタやメモリ・エリヤを利用したものでも、 CP U
(In)外部に設けられたカウンタであってもどちらで
もよい。いずれにしても、カウンタに入力するパルス(
6)が計数され、この計数値が減衰時間を表わす。The second gate signal is pulsed separately from the CPU (10
) may be output. The variable frequency clock pulse generator circuit (8) outputs adjusted frequency clock pulses which are sent to the AN, D gate (7). The AND gate (7) is opened from the time when the timing pulse T) falls (that is, when the excitation stops) until the afterglow signal (G) becomes level 8 or less. clock·
The pulse passes through the gate (7) and enters the counter (
The pulse (6) counter may be one that utilizes registers or memory areas within the CPU (10);
(In) It may be an externally provided counter. In any case, the pulse input to the counter (
6) is counted, and this counted value represents the decay time.
螢光体(2)の励起は周期Taごとに所定数N回繰返さ
れ、各回ごとのカウンタの計数値が加算されてレジスタ
にストアされる。The excitation of the phosphor (2) is repeated a predetermined number of times N times at each period Ta, and the count value of the counter each time is added and stored in a register.
CP U (10)のメモリには、使用される螢光体に
ついて種々の温度Tに対してその減衰時間td(カウン
タの計数値、N回の計数値の加算値)があらかじめ測定
され、既知関数として第5図に示すような特性があらか
じめ設定されている。In the memory of the CPU (10), the decay time td (counter count value, addition value of N count values) of the fluorescent material used is measured in advance at various temperatures T, and the decay time td (counter count value, addition value of the count value N times) is measured in advance, and a known function is stored. The characteristics shown in FIG. 5 are set in advance.
N回の上記測定が終了したのち、測定された計数値(ま
たはN回の加算値)がCP U (10)によってこの
湿度特性と比較されることにより湿度がめられる。After the above measurements are completed N times, the CPU (10) compares the measured count value (or the N times added value) with this humidity characteristic to determine the humidity.
第1図および第2図は従来の残光時間測定のやり方を示
す波形図、第3図はこの発明の実施例を示すブロック図
、第4図はその波形図、第5図は減衰時間の温度特性を
示すグラフである。
光器、(41・・・受光器、(6)・・・コンパレータ
、(7)・・・ゲート回路、(8)・・・クロック、パ
ルス発生回路、(10)・・・CPU0
以 上
外4名
1)+C軒υ↓り■旬■グ−Figures 1 and 2 are waveform diagrams showing the conventional method of measuring afterglow time, Figure 3 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, Figure 4 is its waveform diagram, and Figure 5 is a diagram of the decay time. It is a graph showing temperature characteristics. Optical device, (41... Light receiver, (6)... Comparator, (7)... Gate circuit, (8)... Clock, pulse generation circuit, (10)... CPU0 and above. 4 people 1) + C eaves υ↓ri■season■gu-
Claims (2)
励起する励起単段、 励起された螢光体から発光される光のうちの残光を検知
し電気信号に変換する受光手段、受光された残光信号を
あらかじめ定められた所定のレベルで弁別するレベル弁
別回路、一定周波数のクロック・パルスを発生するクロ
ツーク・パルス発生手段、 レベル弁別回路の出力によって制御され、入力するクロ
ック・パルスの通過を許すゲート回路、 スを計数する手段、および 得られた計数値を、螢光体に応じてあらかじめ設定され
た計数値の温度特性と比較することにより温度を演算す
る演算手段、 からなる湿度測定装置。(1) A phosphor whose afterglow characteristics are temperature dependent, a single stage of excitation to excite the phosphor, and a method that detects the afterglow of the light emitted from the excited phosphor and converts it into an electrical signal. A light receiving means, a level discrimination circuit that discriminates the received afterglow signal at a predetermined level, a clock pulse generation means that generates a clock pulse of a constant frequency, and a level discrimination circuit that is controlled by the output and inputted. a gate circuit that allows the passage of clock pulses, a means for counting the clock pulses, and a calculation means for calculating the temperature by comparing the obtained count value with the temperature characteristic of the count value set in advance according to the phosphor. A humidity measuring device consisting of .
時点である、特許請求の範囲第(1)項記載の温度測定
装置。(2) The temperature measuring device according to claim (1), wherein the clock pulse counting start point is the excitation stop point.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12677883A JPS6018733A (en) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Temperature measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12677883A JPS6018733A (en) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Temperature measuring device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6018733A true JPS6018733A (en) | 1985-01-30 |
Family
ID=14943696
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12677883A Pending JPS6018733A (en) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | Temperature measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6018733A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145257A (en) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Yamatake Corp | Temperature sensor and measuring method of temperature |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5830628A (en) * | 1981-08-15 | 1983-02-23 | Machida Oputo Giken:Kk | Method and device for measuring temperature |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12677883A patent/JPS6018733A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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