JPS60178818U - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS60178818U JPS60178818U JP6836384U JP6836384U JPS60178818U JP S60178818 U JPS60178818 U JP S60178818U JP 6836384 U JP6836384 U JP 6836384U JP 6836384 U JP6836384 U JP 6836384U JP S60178818 U JPS60178818 U JP S60178818U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure equipment
- piezoelectric member
- semitransparent
- piezoelectric
- transparent body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例説明図。第２図は本考案の要
部説明図。第３図は本考案の別例説明図。第４図は第３
図のさらなる説明図である。 図中、７，１５は圧電部材である。
部説明図。第３図は本考案の別例説明図。第４図は第３
図のさらなる説明図である。 図中、７，１５は圧電部材である。
Claims (2)
- （１）照明系もしくは結像系中に設けられた透明体もし
くは半透明体の一部もしくは全部を圧電部材で形成する
か、又は透明体もしくは半透明体の一部に圧電部材を接
触し、励振させることを特徴とする露光装置。 - （２）該圧電部材が透光性圧電セラミックスであること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の露光
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6836384U JPS60178818U (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6836384U JPS60178818U (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178818U true JPS60178818U (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=30603043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6836384U Pending JPS60178818U (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60178818U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007264096A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Canon Inc | 塵埃除去装置 |
-
1984
- 1984-05-10 JP JP6836384U patent/JPS60178818U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007264096A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Canon Inc | 塵埃除去装置 |
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